JP4244501B2 - 熱処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は熱処理装置に関し、より詳細には、例えばウェ−ハにエピタキシャル成長処理、エッチング処理等を施す際に用いられる熱処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
ウェ−ハの表面を傷付けず、かつチャンバ内の雰囲気を汚染することなくウェ−ハ等の表面温度を非接触で測定し得るため、従来より熱処理装置には放射温度計がよく用いられている。
図7は放射温度計が設置された従来のこの種熱処理装置を模式的に示した断面図であり、図中31aはチャンバを示している。チャンバ31aは赤外線を透過する例えば石英ガラス等の材料を用いて断面視略長円形状に形成されている。チャンバ31aの左右端部にはガスの供給口31b、排出口31cがそれぞれ形成されており、供給口31bより供給された所定のガス32はチャンバ31a内を通ってウェ−ハ33に至り、排出口31cより排出されるようになっている。チャンバ31a内の所定箇所には支持台31dが配設されており、支持台31dは駆動手段(図示せず)により回転させられるようになっている。また支持台31d上にはワークとしての略円板形状をしたウェ−ハ33が載置されている。これらチャンバ31a、供給口31b、排出口31c、支持台31d等を含んで装置本体31が構成されている。
【0003】
チャンバ31a外側の上方及び下方には、加熱手段34としての赤外線ランプ34a、34bがそれぞれ設置されており、これら赤外線ランプ34a、34bは配線35a、35bを介して電力供給手段35にそれぞれ接続されている。この電力供給手段35は信号線36bを介し、電力供給制御部36aを含んで構成された制御手段36に接続されている。一方、チャンバ31a外側におけるウェ−ハ33上方の所定箇所には、温度測定手段としての放射温度計37が配設されており、この放射温度計37は信号線37aを介して制御手段36に接続されている。
【0004】
ウェ−ハ33の上面より放射された放射光33aがチャンバ31a(透過部位31e)を透過して放射温度計37に入射されると、放射光33aの輝度信号、ウェ−ハ33の放射率等に基づき、放射温度計37によりウェ−ハ33上面の測定温度Tm が求められ、この信号s1 が信号線37aを通って制御手段36に伝送される。そして制御手段36における電力供給制御部36aにより、この測定温度Tm と予め設定しておいた目標温度TM との偏差に基づいて必要電力量Pが演算され、この信号Pが信号線36bを介して電力供給手段35に伝送される。するとこの信号Pに基づき、電力供給手段35より所定の電力量P1 、P2 (ただし、P1 +P2 =P)が配線35a、35bを介して赤外線ランプ34a、34bにそれぞれ分配・供給されるようになっている。これら装置本体31、加熱手段34、電力供給手段35、制御手段36、放射温度計37等を含んで熱処理装置30が構成されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
図8は従来の熱処理装置30を用い、支持台31dを完全に水平に調整し、同一の加熱パターンにより、1枚ずつ合計7枚のウェ−ハ33(共に図7)にエピタキシャル成長処理を施した後、チャンバクリーニングを施す(以下、同一の操業条件により所定枚数のウェ−ハ33に連続的に熱処理を施した後、チャンバクリーニングを施すまでの1工程を1チャンスと定義する)。そしてこれらの工程を繰り返し連続的に行った際における測定温度の変化を示したグラフである。図中×印はウェ−ハ33上面の測定温度Tm 、○印は別に設けた熱電対温度計(図示せず)により計測した支持台31d下面の測定温度Tp を示している。
【0006】
図8より明らかなように、放射温度計37(図7)により計測したウェ−ハ33上面の測定温度Tm は常時所定値(約1125℃)近傍に維持されている。一方、熱電対温度計により計測した支持台31d下面の測定温度Tp は、ウェ−ハ33の処理枚数が1枚より7枚に増えるにつれて約1125℃より約1129℃まで次第に上昇し、この後、チャンバクリーニングを施すことにより再び元の約1125℃に戻っている。これはウェ−ハ33を1枚処理するたびに、透過箇所31e近傍における放射光33a(共に図7)の透過率が次第に低下し、ウェ−ハ33上面の温度が見掛け上低くなる。すると、目標温度(約1125℃)を確保するために余分の電力が加熱手段34(図7)に供給され、この結果、支持台31d下面の温度Tp が実質的に上昇することを示している。
【0007】
図9は従来の熱処理装置30を用い、支持台31dを完全に水平に調整し、テスト的に常時所定の電力量Pを加熱手段34に供給した状態で、1枚ずつ合計計7枚のウェ−ハ33(共に図7)にエピタキシャル成長処理を施した後、チャンバクリーニングを施す。そしてこれらの工程を繰り返し連続的に行った際における測定温度の変化を示したグラフである。図中×印はウェ−ハ33上面の測定温度Tm 、○印は別に設けた熱電対温度計(図示せず)により計測した支持台31d(図7)下面の測定温度Tp を示している。
【0008】
図9より明らかなように、熱電対温度計により計測した支持台31d下面の測定温度Tp は常時略1125℃になっている。一方、放射温度計37(図7)により計測したウェ−ハ33上面の測定温度Tm は、ウェ−ハ33の処理枚数が1枚より7枚に増えるにつれて約1125℃より約1118℃まで次第に下降し、この後、チャンバクリーニングを施すことにより再び元の約1125℃に戻っている。これはウェ−ハ33を処理するたびに、透過箇所31eにおける放射光33a(共に図7)の透過率が次第に低下し、ウェ−ハ33上面の測定温度Tm が見掛け上低くなることを裏付けている。
【0009】
図10は従来の熱処理装置30を用い、支持台31d上にウェ−ハ33を僅かに傾けて載置し、この支持台31dを回転させつつ、所定の加熱パターンにより1枚のウェ−ハ33(共に図7)にエピタキシャル成長処理を施した際における温度変化を示したグラフである。図中(A)は目標温度TM 、(B)はウェ−ハ33上面の測定温度Tm 、(C)は別に設けた熱電対温度計(図示せず)により計測した支持台31d下面の測定温度Tp を示している。
【0010】
図10より明らかなように、ウェ−ハ33上面の測定温度Tm と、目標温度TM 、支持台31d下面の測定温度Tp とは一致しておらず、またウェ−ハ33上面の測定温度Tm は周期的に小さい変動を繰り返している。この周期的変動は支持台31dの回転周期と同調しており、ウェ−ハ33が僅かに傾いていると、ウェ−ハ33表面が鏡面であるため、放射温度計37による測定温度Tm が周期的に変動し易いことを示している。
【0011】
上記した熱処理装置30においては、上述したように、エピタキシャル成長処理やエッチング処理工程中、ガス32やウェ−ハ33からの分解成分がウェ−ハ33上面やチャンバ31a内壁部に付着・積層し易い。するとチャンバ31aや、鏡面状のウェ−ハ33上面がくもり、チャンバ31aの透過率やウェ−ハ33の放射率が低下し易い。しかもこの付着積層物(図示せず)の厚さや付着箇所は、チャンバ31a内壁部の温度及び使用回数、ガス32の種類、流速及び流通経路、あるいは付着積層物の除去(チャンバクリーニング)タイミング等により変動し易く、ウェ−ハ33上面の温度を常時正確に測定することが困難である。また、支持台31dを回転させた場合、ウェ−ハ33が僅かに傾くと、ウェ−ハ33上面の温度を正確に測定することが難しく、また回転する支持台31d下面の温度を熱電対温度計を用いて正確に計測することが困難である。これらの結果、加熱手段34に適正な電力量Pを供給することが難しく、ウェ−ハ33上面の温度Tm を目標値TM に近づけることが困難となり、エピタキシャル成長やエッチング処理後におけるウェ−ハ33の品質が不安定になるおそれがあるという課題があった。
【0012】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、ウェ−ハの温度を常時正確に測定することができ、ウェ−ハを所定温度に維持しつつ、ウェ−ハにエピタキシャル成長やエッチング処理を施すことができ、この結果、ウェ−ハの半導体としての品質を確保することができる熱処理装置を提供することを目的としている。
【0013】
【課題を解決するための手段及びその効果】
図7に示した装置本体31では、支持台31dの下面側よりも、ウェ−ハ33の上面側を流れるガス32の流量を比較的に多く設定する一方、赤外線ランプ34bよりも、赤外線ランプ34aへの供給電力量P1 を比較的に多く設定すると、チャンバ31a下面側への分解物の付着・積層を比較的抑制し得ることとなる。
【0014】
又図11は、図10に示したウェ−ハ上面の測定温度Tm における2サイクル部分を詳細に示した部分拡大曲線図である。これより明らかなように、支持台31dの回転につれて生じるウェ−ハ33(共に図7)上面の測定温度Tm は略sin曲線となっている。したがってこれを打ち消す補正を行うと、回転する支持台31d上にウェ−ハ33が水平に取り付けられていない場合であっても、ウェ−ハ33上面の温度を正確に測定し得ることとなる。
本発明者等は上記知見に基づき、本発明を完成するに至った。
【0015】
上記目的を達成するために本発明に係る熱処理装置(1)は、加熱手段と、該加熱手段へ電力を供給する電力供給手段と、前記加熱手段への電力供給量を制御する制御手段と、赤外線を透過する部材を通してワークの温度を測定する第1の温度測定手段とを含んで構成された熱処理装置において、前記制御手段が、前記第1の温度測定手段からの出力、前記加熱手段への電力供給量及び/又は前記第1の温度測定手段とは異なる第2の温度測定手段からの出力に基づいて、前記第1の温度測定手段からの出力を学習・修正させる学習・修正部を備えていることを特徴としている。
【0016】
上記した熱処理装置(1)によれば、前記制御手段が、前記第1の温度測定手段からの出力、前記加熱手段への電力供給量及び/又は前記第1の温度測定手段とは異なる第2の温度測定手段からの出力に基づいて、前記第1の温度測定手段からの出力を学習・修正させる学習・修正部を備えているので、前記部材に付着・積層物が付着したり、あるいは前記部材の赤外線透過性能が劣化した場合においても、前記ワークの温度を常時正確に測定することができ、前記ワークがウェ−ハであっても、該ウェ−ハの温度を目標温度に維持しつつ、これにエピタキシャル成長やエッチング処理を確実に施すことができ、この結果、ウェ−ハの半導体品質を確保することができる。
【0017】
また本発明に係る熱処理装置(2)は、加熱手段と、該加熱手段へ電力を供給する電力供給手段と、前記加熱手段への電力供給量を制御する制御手段と、赤外線を透過する部材を通してワークの温度を測定する第1の温度測定手段とを含んで構成された熱処理装置において、前記制御手段が、ワークの回転に伴って前記第1の温度測定手段の出力に現れるワークの傾きにより生じるsin曲線成分を打ち消すように制御する回転成分打消部を備えていることを特徴としている。
上記した熱処理装置(2)によれば、前記制御手段が、ワークの回転に伴って前記第1の温度測定手段の出力に現れるワークの傾きにより生じるsin曲線成分を打ち消すように制御する回転成分打消部を備えているので、前記ワークを回転させる場合においても、該ワークの温度を常時正確に測定することができ、上記熱処理装置(1)と略同様の効果を得ることができる。
【0018】
また本発明に係る熱処理装置(3)は、加熱手段と、該加熱手段へ電力を供給する電力供給手段と、前記加熱手段への電力供給量を制御する制御手段と、赤外線を透過する部材を通してワークの温度を測定する第1の温度測定手段とを含んで構成された熱処理装置において、前記制御手段が、前記第1の温度測定手段からの出力、前記加熱手段への電力供給量及び/又は前記第1の温度測定手段とは異なる第2の温度測定手段からの出力に基づいて、前記第1の温度測定手段からの出力を学習・修正させる学習・修正部を備えると共に、ワークの回転に伴って前記第1の温度測定手段の出力に現れる周期的変動信号成分を打ち消すように制御する回転成分打消部を備えていることを特徴としている。
【0019】
上記した熱処理装置(3)によれば、前記制御手段が、前記第1の温度測定手段からの出力、前記加熱手段への電力供給量及び/又は前記第1の温度測定手段とは異なる第2の温度測定手段からの出力に基づいて、前記第1の温度測定手段からの出力を学習・修正させる学習・修正部を備えると共に、ワークの回転に伴って前記第1の温度測定手段の出力に現れる周期的変動信号成分を打ち消すように制御する回転成分打消部を備えているので、上記熱処理装置(1)及び(2)の相乗作用により、一層の効果を得ることができる。
【0020】
また本発明に係る熱処理装置(4)は、上記熱処理装置(1)〜(3)において、前記加熱手段が、赤外線を透過する部材の外側に設置されると共に、赤外線を用いてワークを加熱するように構成されていることを特徴としている。
上記した熱処理装置(4)によれば、前記加熱手段が、赤外線を透過する部材の外側に設置されると共に、赤外線を用いてワークを加熱するように構成されているので、該ワークが前記加熱手段により汚染されるのを確実に阻止することができ、熱処理後における前記ワークの品質を確保することができる。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る熱処理装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、従来例と同一機能を有する構成部品には同一の符号を付すこととする。
図1は実施の形態に係る熱処理装置を模式的に示したブロック図であり、図中31、34、35、37は図7に示したものと同様の装置本体、加熱手段、電力供給手段、放射温度計をそれぞれ示している。この第1の温度測定手段としての放射温度計37は信号線13aを介して学習・修正部12aに接続されている。一方、装置本体31における支持台31d下方の所定箇所には、第2の温度測定手段としての放射温度計11が配設されており、この放射温度計11は信号線13bを介して学習・修正部12aに接続されている。また学習・修正部12aは回転成分打消部12bに接続され、回転成分打消部12bは電力供給制御部12cに接続されている。これら学習・修正部12a、回転成分打消部12b、電力供給制御部12c等を含んで制御手段12が構成されている。制御手段12の記憶部(図示せず)には、下記の数1〜数3や係数k1 、k2 、β、γ等の設定値等が記憶されている。また電力供給制御部12cは、信号線13cを介して電力供給手段35に接続されている。
【0022】
【数1】
【0023】
【数2】
【0024】
【数3】
ウェ−ハ33の上面より放射された放射光33aがチャンバ31a(透過部位31e)を透過して放射温度計37に入射すると、放射光33aの輝度信号、ウェ−ハ33の放射率等に基づき、放射温度計37によりウェ−ハ33上面の測定温度Tmiが求められ、この信号s1 が信号線13aを通って学習・修正部12aに伝送される。一方、支持台31dの下面より放射された放射光11aがチャンバ31a(部位31f)を透過して放射温度計11に入射すると、放射光11aの輝度信号、支持台31dの放射率等に基づき、放射温度計11により支持台31d下面の測定温度Tp が求められ、この信号s2 が信号線13bを通って制御手段12に伝送される。すると制御手段12により、信号s1 、s2 、数1〜数5等に基づいてウェ−ハ33上面の制御温度T、Ti が演算され、この制御温度T、Ti と目標温度TM との偏差に基づいて供給電力量Pが演算されるようになっている。その他の構成は図7に示したものと略同様であるので、ここではその構成の詳細な説明は省略することとする。これら放射温度計11、37、制御手段12、装置本体31、加熱手段34、電力供給手段35等を含んで熱処理装置10が構成されている。
【0025】
図2は、図1に示した制御手段12の行う動作を概略的に示したフローチャートである。動作を開始すると、ステップ(以下、Sと記す)1において信号s1 (測定温度Tmi)が入力されたか否かを判断し、入力されていないと判断すると元に戻る。一方、信号s1 が入力されたと判断すると、S2において信号s2 (温度測定値Tp )が入力されたか否かを判断し、入力されたと判断すると、nチャンス時における操業条件(△Tp 、N、Tmi、P、供給ガス32(図1)の流量等)、記憶している信号s1 、s2 データ、予め設定・記憶した係数k1 、k2 、β、γ等を呼び出した後(S3)、S5に進む。他方、信号s2 が入力されていないと判断すると、nチャンス時における操業条件(△Tp 、N、Tmi、P、供給ガス32の流量等)、記憶している信号s1 のデータ、予め別に設定・記憶した係数k1 、k2 、γ(ただし、k1 =0、k2 =k2 ’、γ=γ’)を呼び出した後(S4)、S5に進む。
【0026】
次にこれらの条件、データ、係数等を数1、数2に導入し、(n+1)チャンス時における制御温度Ti を求めた後(S5)、S6において支持台31d(図1)が回転しているか否かを判断する。そして回転していると判断すると、数3により制御温度Tを求める(S7)。次にこの制御温度Tと目標温度TM との偏差に基づいて必要電力量Pを求めた後(S8)、S10に進む。一方、S6において支持台31dが回転していないと判断すると、制御温度Ti と目標温度TM との偏差に基づいて必要電力量Pを求めた後(S9)、S10に進む。次にS10において(n+1)チャンスの工程が終了したか否かを判断し、終了していないと判断すると、S1に戻る。他方、(n+1)チャンスの工程が終了したと判断すると、nチャンス時における操業条件、記憶した信号s1 、s2 データ等を(n+1)チャンスのものに更新した後(S11)、動作を終了する。
【0027】
上記説明から明らかなように、実施の形態に係る熱処理装置10では、制御手段12が、放射温度計37からの出力s1 、加熱手段34への電力供給量P及び放射温度計11からの出力s2 に基づいて、放射温度計37からの出力s1 を学習・修正させる学習・修正部12aを備えているので、チャンバ31aにガス成分等が付着・積層したり、あるいはチャンバ31aの赤外線透過性能が劣化した場合においても、ウェ−ハ33の温度を常時正確に測定することができ、ウェ−ハ33を目標温度TM に維持しつつ、これにエピタキシャル成長やエッチング処理を確実に施すことができ、この結果、ウェ−ハ33の半導体品質を確保することができる。
【0028】
又制御手段12が、ウェ−ハ33の回転に伴って放射温度計37の出力s1 に現れるsin曲線成分を打ち消すように制御する回転成分打消部12bを備えているので、ウェ−ハ33を回転させる場合においても、ウェ−ハ33の温度を常時正確に測定することができ、上記したものと略同様の効果を得ることができる。
【0029】
又制御手段12が、放射温度計37の出力s1 、加熱手段34への電力供給量P及び放射温度計11からの出力s2 に基づいて、放射温度計37からの出力s1 を学習・修正させる学習・修正部を備えると共に、ウェ−ハ33の回転に伴って放射温度計37の出力s1 に現れるsin曲線成分を打ち消すように制御する回転成分打消部12bを備えているので、上記したものの相乗作用により、一層の効果を得ることができる。
【0030】
又加熱手段34が、赤外線を透過するチャンバ31aの外側に設置されると共に、赤外線ランプ34a、34bによりウェ−ハ33を加熱するように構成されているので、ウェ−ハ33が加熱手段34により汚染されるのを確実に阻止することができ、熱処理後におけるウェ−ハ33の品質を確保することができる。
【0031】
尚、実施の形態に係る熱処理装置10では、ワークとしてウェ−ハ33を用いた場合について説明したが、ワークは何らウェ−ハ33に限定されるものではない。
【0032】
又、実施の形態に係る熱処理装置10では、チャンバ31a全体が石英ガラス等の赤外線透過材料を用いて形成されている場合について説明したが、別の実施の形態では、少なくともチャンバ31aにおける放射光11a、33aの透過部位31e、31fや赤外線ランプ34a、34bの近傍が石英ガラス等により形成されたものであってもよい。
【0033】
又、実施の形態に係る熱処理装置10では、第2の温度測定手段として放射温度計11を用い、支持台31d下面の温度を測定する場合について説明したが、別の実施の形態では、チャンバ31a内に埋め込まれた壁面温度計であってもよい。
【0034】
又、実施の形態に係る熱処理装置10では、放射温度計11が配設されている場合について説明したが、別の実施の形態では放射温度計11が配設されていなくともよく、この場合、図2に示したフローチャートにおけるS4の実行により対応することができる。
【0035】
又、実施の形態に係る熱処理装置10では、支持台31dが回転可能な場合について説明したが、別の実施の形態では支持台31dが固定されていてもよく、この場合、図2に示したフローチャートにおけるS9の実行により対応することができる。
【0036】
【実施例及び比較例】
以下、実施例に係る熱処理装置を用いて試料にエピタキシャル成長処理を施し、測定温度、供給電力量、ウェ−ハの比抵抗の変化を調査した結果について説明する。
装置、試料は図1に示した熱処理装置10、ウェ−ハ33をそれぞれ用いた。実験条件としては、補正係数β=1.2、忘却係数k1 =1、忘却係数k2 =0、1チャンスにおける放射温度計11の測定温度変化量△Tp=4、目標温度TM =1125℃を選んだ。すると制御温度Ti は、制御手段により下記の数4、数5にしたがって自動的に演算される。
【0037】
【数4】
【0038】
【数5】
また支持台を固定している場合、下記の数6、数7によりサイクルTp、振幅Aを演算し、振幅Aの閾値がAmax 以下であるときに制御温度Ti からAsin(2π/Tp×t)を差し引き、制御温度Tを求めた。ただし、図11における温度微分値T’がゼロのときの時刻t4 から時間を計測し、t4 +Tp/4により位相を求めた。
【0039】
【数6】
【0040】
【数7】
尚比較例としては、熱処理装置10を用いて制御手段12(図1)を作動させ
ない場合、あるいは図7に示した従来の熱処理装置30を用いた場合を選んだ。
【0041】
図3は実施例に係る熱処理装置10(支持台31dは固定)を用いて制御手段12を作動させた場合、あるいは作動させない場合における温度とウェ−ハ33の処理枚数との関係を比較して示したグラフであり、図中×印は放射温度計37により計測したウェ−ハ33上面の測定温度Tmi、○印は放射温度計11により計測した支持台31d下面の測定温度Tp 、▲印は制御手段12(共に図1)を作動させたときの制御温度Ti を示している。また図4は、図3に示した制御手段を作動させた場合、あるいは作動させない場合における各ウェ−ハの比抵抗を示したグラフである。
【0042】
図3、図4より明らかなように、制御手段12を作動させた実施例に係る装置の場合(ウェ−ハ処理枚数が15〜28枚のとき)、ウェ−ハの測定温度Tmiは各チャンネル内で右下がりとなっているが、これを補正した制御温度Ti は目標温度TM に近似し、かつ比抵抗のマイナス側への変動率は小さくなっている。一方、制御手段12を作動させない比較例に係る装置の場合(ウェ−ハ処理枚数が1〜14枚のとき)、ウェ−ハの測定温度Tm は目標温度TM に近似しているが、実際温度に近い支持台下面の測定温度Tp は各チャンネル内で右上りであり、目標温度TM よりオーバーしており、かつ比抵抗のマイナス側への変動率が大きくなっている。
【0043】
図5は実施例に係る熱処理装置10(図1、支持台は回転)を用いて1枚のウェ−ハにエピタキシャル成長処理を施した場合における温度(a)、供給電力量(b)の変化をそれぞれ示したグラフである。また図6は比較例に係る熱処理装置30(図7、支持台は回転)を用いて1枚のウェ−ハにエピタキシャル成長処理を施した場合における温度(a)、供給電力量(b)の変化をそれぞれ示したグラフである。
【0044】
図5より明らかなように、実施例に係る装置の場合、変動量を抽出した後において、制御温度Tはウェ−ハ支持の際の水平度の影響が小さくなっており、かつ供給電力量Pの変動も少ない。一方、図6より明らかなように、比較例に係る装置の場合、測定温度Tm はウェ−ハ支持の際の水平度の影響が大きくなっており、かつ供給電力量Pの変動も多い。
【0045】
上記結果から明らかなように、実施例に係る熱処理装置10では、ウェ−ハ33の温度を常時正確に測定することができ、ウェ−ハ33を目標温度TM に維持しつつ、これにエピタキシャル成長処理を確実に施すことができ、この結果、各ウェ−ハ33ごとの比抵抗のばらつきを減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る熱処理装置の実施の形態を模式的に示した断面図である。
【図2】実施の形態に係る熱処理装置における制御手段の行う動作を概略的に示したフローチャートである。
【図3】実施例に係る熱処理装置(支持台は固定)を用い、制御手段を作動させない場合、または作動させた場合における温度とウェ−ハ処理枚数との関係を示したグラフであり、図中×印は第1の放射温度計により計測したウェ−ハ上面の測定温度、○印は第2の放射温度計により計測した支持台下面の測定温度、▲印は制御手段を作動させたときの制御温度を示している。
【図4】図3に示した制御手段を作動させた場合、あるいは作動させない場合における各ウェ−ハの比抵抗の変動を示したグラフである。
【図5】実施例に係る熱処理装置(支持台は回転)を用いて1枚のウェ−ハにエピタキシャル成長処理を施した場合における温度(a)、供給電力量(b)の変化をそれぞれ示したグラフである。
【図6】比較例に係る熱処理装置(支持台は回転)を用いて1枚のウェ−ハにエピタキシャル成長処理を施した場合における温度(a)、供給電力量(b)の変化をそれぞれ示したグラフである。
【図7】放射温度計が設置された従来の熱処理装置を模式的に示した断面図である。
【図8】従来の熱処理装置を用い、支持台を回転させることなく、同一の加熱パターンにより、1枚ずつ合計7枚のウェ−ハにエピタキシャル成長処理を施した後、チャンバクリーニングを施し、これらの工程を繰り返し連続的に行った際における測定温度の変化を示したグラフであり、図中×印はウェ−ハ上面の測定温度、○印は別に設けた熱電対温度計により計測した支持台下面の測定温度を示している。
【図9】従来の熱処理装置を用い、支持台を回転させることなく、テスト的に常時所定の電力量を加熱手段に供給した状態で、1枚ずつ合計計7枚のウェ−ハにエピタキシャル成長処理を施した後、チャンバクリーニングを施し、これらの工程を繰り返し連続的に行った際における測定温度の変化を示したグラフであり、図中×印はウェ−ハ上面の測定温度、○印は別に設けた熱電対温度計により計測した支持台下面の測定温度を示している。
【図10】従来の熱処理装置を用い、支持台上にウェ−ハを僅かに傾けて載置し、この支持台を回転させつつ、所定の加熱パターンにより1枚のウェ−ハにエピタキシャル成長処理を施した際における温度変化を示したグラフであり、図中(A)は目標温度、(B)はウェ−ハ上面の測定温度、(C)は別に設けた熱電対温度計により計測した支持台下面の測定温度を示している。
【図11】図10に示したウェ−ハ上面の測定温度(B)における2サイクル部分を模式的に示した部分拡大曲線図であり、(a)は温度T−時間tのsin曲線、(b)は温度微分T′−時間tのcos曲線を示している。
【符号の説明】
10 熱処理装置
11、37 放射温度計
12 制御手段
12a 学習・修正部
12b 回転成分打消部
12c 電力供給制御部
31a チャンバ
33 ウェ−ハ
34 加熱手段
35 電力供給手段
s1 、s2 信号
P 電力供給量
Claims (4)
- 加熱手段と、該加熱手段へ電力を供給する電力供給手段と、前記加熱手段への電力供給量を制御する制御手段と、赤外線を透過する部材を通してワークの温度を測定する第1の温度測定手段とを含んで構成された熱処理装置において、前記制御手段が、前記第1の温度測定手段からの出力、前記加熱手段への電力供給量及び/又は前記第1の温度測定手段とは異なる第2の温度測定手段からの出力に基づいて、前記第1の温度測定手段からの出力を学習・修正させる学習・修正部を備えていることを特徴とする熱処理装置。
- 加熱手段と、該加熱手段へ電力を供給する電力供給手段と、前記加熱手段への電力供給量を制御する制御手段と、赤外線を透過する部材を通してワークの温度を測定する第1の温度測定手段とを含んで構成された熱処理装置において、前記制御手段が、ワークの回転に伴って前記第1の温度測定手段の出力に現れるワークの傾きにより生じるsin曲線成分を打ち消すように制御する回転成分打消部を備えていることを特徴とする熱処理装置。
- 加熱手段と、該加熱手段へ電力を供給する電力供給手段と、前記加熱手段への電力供給量を制御する制御手段と、赤外線を透過する部材を通してワークの温度を測定する第1の温度測定手段とを含んで構成された熱処理装置において、前記制御手段が、前記第1の温度測定手段からの出力、前記加熱手段への電力供給量及び/又は前記第1の温度測定手段とは異なる第2の温度測定手段からの出力に基づいて、前記第1の温度測定手段からの出力を学習・修正させる学習・修正部を備えると共に、ワークの回転に伴って前記第1の温度測定手段の出力に現れる周期的変動信号成分を打ち消すように制御する回転成分打消部を備えていることを特徴とする熱処理装置。
- 前記加熱手段が、赤外線を透過する部材の外側に設置されると共に、赤外線を用いてワークを加熱するように構成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかの項に記載の熱処理装置。
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