JP4243471B2 - 微小物体の外観検査装置 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、ICチップやチップ型コンデンサ等の超微小な電子素子などの微小物体の傷や寸法等の外観検査を行い、良品と不良品に選別する微小物体の外観検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
ICチップやチップ型コンデンサ等の電子素子(チップ部品)は、小型化が進んでおり、小型・薄型化が進む携帯電話や携帯情報端末等に広く搭載されるようになっている。このような精密小型の電子素子は、その性能(ICチップでは電気特性等であり、チップ型コンデンサでは電気容量等)の検査、外周の傷の検査や、その種類や大きさを選別するための測定が行われる。このような精密小型の電子素子の外観検査としては、電子素子を吹き飛ばしながら外周側面を多角度的に撮像する方法が開発されている(例えば特開2000−157935号公報参照)。撮像手段としては、イメージセンサ(一次元又は二次元以上の光学情報を時系列の電気信号に変換する一種の光センサ)や、イメージセンサと発光ダイオードとを組み合わせた光学式外径測定器の他、高感度カメラ(CCDカメラ)等が使用される。なお、チップ部品の中には、その表裏を選別することが要求される場合がある。
【0003】
しかし、微小物体を吹き飛ばしながら撮像する方法は、微小物体が空気抵抗等でぶれて撮像が正確に行えないこと、微小物体が直方体形状の電子素子である場合は、その外周側面の四面の撮像が行われるにすぎず、上記電子素子の外周六面のすべてを撮像することはできない欠点がある。このため、外周側面に微小物体を収納する収納溝が形成され回転する円盤状の回転インデクサに、微小物体をその収納溝に収納させた状態で外観検査するものや、微小物体を回転インデクサの収納溝に収納させた状態とその前の搬送途中での外観検査とを併用して行うものが開発されている(例えば特開2000−213922号公報参照)。図11乃至図13に示す微小物体の外観検査装置は、検査対象である微小物体を整列搬送する直進フィーダF2と、外周側面に微小物体である電子素子Cを収納する収納溝56が形成され回転する円盤状の回転インデクサID5と、直進フィーダF2と回転インデクサID5との間に位置して直進フィーダF2から整列搬送される微小物体Cを回転インデクサID5の収納溝56に搬送する無振動中継台55と、無振動中継台55に移行した微小物体Cを吸引する第1の吸引手段Q51とを備えた装置である。そして、微小物体Cを回転インデクサID5の収納溝56に収納させた状態で撮像手段により撮像するとともに、その前の無振動中継台55の位置でも撮像手段S1,S2により撮像して、外観検査を行う。
【0004】
直進フィーダF2は、図示しない円筒フィーダから送られてくる微小物体Cを振動させながら無振動中継台55に搬送し、この無振動中継台55から回転インデクサID5の収納溝56に収納させる。無振動中継台55は、上方に搬送溝55aが形成された振動しない中継台であり、上記搬送溝55aは水平状態に形成され、縦型の回転インデクサID5と垂直な位置関係で配置されている(図11)。無振動中継台55の位置には、電子素子Cの外周側面を撮像する2つの第1の位置の撮像手段S1,S2が配置されている。電子素子Cは直進フィーダF2から整列搬送されて無振動中継台55の搬送溝55aに至ると、無振動中継台55に横付けされた第1の吸引手段Q51により吸引されて回転インデクサID5の収納溝56に収納されるとともに、回転インデクサID5に形成されている吸引溝M2aを介して第2の吸引手段Q52によって吸引される。縦型の回転インデクサID5は、その横方向に配されているモータ7により回転され、所定位置まで回転搬送されると、第2の位置の撮像手段S3,S4,S5,S6により、上記第1の位置の撮像手段S1,S2により撮像されなかった他の四側面が撮像される。これにより直方体形状の六面すべてが撮像され、更に回転搬送されて所定位置(上方)まで搬送されると、撮像手段により撮像された良品と不良品とが選別されて取り出される。取り出しに際しては、送風手段(図示せず)により第2の吸引手段Q52による吸引力よりも大きな力のエアーを送ることにより取り出される。無振動中継台55の位置には、無振動中継台55を通過したことを検知する第1の光センサ(トリガーセンサ)L11が配されるとともに、第2の光センサ(トリガーセンサ)L12が配され、第1の光センサL11により第1の位置の撮像手段S1,S2の撮像動作が行われ、第2の光センサL12により回転インデクサID5の収納溝56に収納されたことが検知され、円盤状の回転インデクサID5を回転させ、次の位置の収納溝56を無振動中継台55の取り出し口まで回転して停止する。このような寸動回転と寸動停止を高速に繰り返して、電子素子Cを排出側まで回転搬送する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、直進フィーダF2からの微小物体Cは振動されながら搬送されてくるが、直進フィーダF2からの微小物体C群に押されて連結状態で、無振動中継台55の搬送溝55aに至る場合があり、このために、円盤状の回転インデクサID5の収納溝56に対して収納されるときに目詰まりする問題を有していた。また、微小物体Cは連結状態で搬送溝55aに沿って搬送されると、第1の位置の撮像手段S1,S2により撮像するとき連結状態で撮像されてしまう問題や、無振動中継台55を通過したことを検知する第1の光センサL11が誤動作する問題を有していた。
【0006】
また、直進フィーダF2から搬送されてくる微小物体Cは高速に搬送されてくる。そのスピードは、例えば、直進フィーダF2より1100個/分以上の速度で微小物体Cが搬送されてくる。そして、無振動中継台55に移行した微小物体Cは、第1の吸引手段Q51により、上記速度よりも高速に吸引されて回転インデクサID5の収納溝56に収納される。このように、無振動中継台55に至ると、微小物体Cの搬送速度の制御は、第1の吸引手段Q51によるしかないが、微小物体Cが高速搬送されると、バックゲージへの衝突ダメージが大きく、微小物体Cである電子素子の衝突による表面剥離が生じる問題を有する。
【0007】
そこで本発明の目的は、フィーダから微小物体が連結状態で搬送されてきた場合でも、無振動中継台において微小物体と微小物体の間隔を一定の間隔に揃えて搬送させるとともに、無振動中継台における微小物体の搬送速度を調節することが可能な微小物体の外観検査装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の請求項1記載の微小物体の外観検査装置は、検査対象である微小物体を整列搬送するフィーダと、外周に斜め下方に突出した傾斜突出部に形成された微小物体を収納する収納溝を下にした水平状態で回転する円盤状の回転インデクサと、フィーダと回転インデクサとの間に位置してフィーダから整列搬送される微小物体を回転インデクサの収納溝に搬送する搬送溝を有する無振動中継台と、当該無振動中継台の搬送溝の開口を介して微小物体の底部側を吸引するための吸引手段とを備え、前記回転インデクサの傾斜突出部が、無振動中継台の上方位置に重なるように配されており、前記無振動中継台は、断面が円形状の開口溝と分離用回転ローラからなり、断面が円形状の開口溝の中心に対して分離用回転ローラの中心を上方にずれて設けることで、断面が円形状の開口溝の開口に分離用回転ローラの外周が突出するように分離用回転ローラが配され、この分離用回転ローラが駆動手段により搬送溝に搬送されてくる微小物体の搬送方向に回転して、分離用回転ローラの回転により分離用回転ローラの外周が微小物体の底面を持ち上げるようにして連結状態の微小物体を切り離すようにすることを特徴とする。ここで、分離用回転ローラの位置における微小物体の搬送速度は、フィーダから整列搬送される微小物体の搬送速度よりも遅くなるように分離用回転ローラの回転速度が設定されていることが好ましい。
【0009】
この発明によれば、検査対象である微小物体はフィーダから整列搬送されて無振動中継台の搬送溝に至り、微小物体は後ろから押されるように連結状態で搬送されてきた場合でも、分離用回転ローラの回転によりその外周が微小物体の底面を持ち上げるようにして連結状態の微小物体を切り離すようにする。このため、各微小物体は回転インデクサの収納溝に確実に収納されることとなる。また、本発明によれば、分離用回転ローラの回転速度は、駆動手段により任意に設定可能になるが、分離用回転ローラの位置における微小物体の搬送速度は、フィーダから整列搬送される微小物体の搬送速度よりも遅くなるように分離用回転ローラの回転速度を設定することにより、フィーダから整列搬送される微小物体が高速搬送されてきた場合でも、バックゲージへの衝突ダメージを緩和すること、つまり電子素子の衝突による剥離防止が可能になる。
【0010】
【0011】
この発明によれば、微小物体の底部側を吸引する底部吸引手段が微小物体の底部側を吸引することから、分離用回転ローラの回転により微小物体の底面側が持ち上げるようになっても、常に微小物体の底部側を吸引するので安定して搬送させることとなる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図面に基づいて説明する。本実施の形態は、図9に示すように、ICチップやチップ型抵抗等の超微小物体である電子素子の外観を測定する外観測定装置に本発明を適用した微小物体の外観検査装置1である。この微小物体の外観検査装置1は、図1乃至図3に示すように、外周に多数の収納溝6が形成された回転インデクサIDを上方に配置される駆動手段であるモータ7により回転させる等の制御を行う制御台10と、回転インデクサIDの収納溝6に超微小物体である電子素子(チップ部品)Cを供給する直進フィーダF2等を搭載する搬送用台2と、搬送用台2上に配置される円筒フィーダ(ボールフィーダ)F1とを備えている。測定対象の超微小物体である電子素子Cは、図9(a)(b)に示すようなチップ型コンデンサ(チップ部品とも呼ばれる)Cであり、その長手方向の両側に電極が設けられている。この直方体形状の電子素子Cの種類や大きさを選別するために、例えば、「0603」、「1005」、「1608」、「2012」とかの数字で呼ばれることが多い。「1005」の例では、1.0mm×0.5mmであることを意味する。なお、チップ部品の中には、その表裏を選別することも要求される場合がある。
【0013】
搬送用台2には、直進フィーダ(リニアフィーダとも呼ばれる)F2の他、直進フィーダF2と連結される円筒フィーダF1が配置されている。円筒フィーダF1は、振動により大量に投入された電子素子Cを外周壁面に順序よく整列させて、一つずつその排出口から直進フィーダF2に移動させる。直進フィーダF2は、円筒フィーダF1の排出口から取り出された電子素子Cを振動させながら送り出すもので、円筒フィーダF1の排出口と連続された直線状の溝3が形成されており(図2)、この溝3から無振動中継台5の搬送溝5aへと微小物体である電子素子Cを送り出す。直進フィーダF2の排出側には、上記溝3を搬送する微小物体Cを溝3から振り落とすエアー排出手段(エアーノズル)AEが配されるとともに、微小物体である電子素子Cの面を検出する検出センサASが配されている。エアー排出手段AEは、検出センサASにより向きの正しくない微小物体Cを検出して、溝3から振り落とし、円筒フィーダF1に戻すものである。すなわち、本実施の形態では、図9(a)に示すように、直方体形状の電子素子Cの一側面(丸数字の1)がこの位置になるようにして外観検査される。換言すると、図9(b)に示すように、直方体形状の電子素子Cの底部側の一側面(丸数字の3と4)は、断面V字形状の搬送溝5aの左右の二面のうちの一方(符号5a2)に必ず位置するようになっている。
【0014】
直進フィーダF2の排出側には、後述する無振動中継台5が配置されるが、無振動中継台5の排出側、つまり回転インデクサID側には、フレーム11を介してバックゲージ13が取り付けられている。これらは、フレーム11に昇降装置とともに取り付けられ、振動しない制御台10に取り付けられている(図1)。バックゲージ13の上方には、第1の吸引手段Q1の吸引溝M1が無振動中継台5の搬送溝5aに向けて設けられている(図6)。
【0015】
無振動中継台5は、図5に示すように、直進フィーダF2と回転インデクサIDとの間に位置して直進フィーダF2から整列搬送される電子素子Cを回転インデクサIDの収納溝6に搬送する中継台であり、上面5bの中央に搬送溝5aが形成されている。搬送溝5aは、断面V字形状で回転インデクサIDの収納溝6に向かって下方傾斜して形成されている。搬送溝5aの傾斜角度、すなわち、無振動中継台5の上面5bの傾斜角度θ1は、約10度であり、無振動中継台5の所定幅H1は約3.0mmである(図6)。したがって、検査対象である電子素子Cが直方体形状であるとすると、断面V字形状の搬送溝5aの左右の二面に、その二側面が接触して整列搬送され、回転インデクサIDの収納溝6に向かって滑るように収納される。ここで、無振動中継台5の上面5bを傾斜させずに水平な面とすることも可能である。また、搬送溝5aの幅は同じ幅で形成されているが、直進フィーダF2側から回転インデクサID側に向かって徐々に狭幅になるように形成しても良い。この場合は、検査対象である微小物体Cの中心が収納溝6に搬送される間に揃えられることとなる。
【0016】
無振動中継台5の上方には、断面が円形状の開口溝M5が設けられ、この開口溝M5により搬送溝5aに開口5dが設けられている(図6)。開口溝M5は、分離用回転ローラSRを配設するとともに、第3の吸引手段Q3を配設するために設けられるもので、無振動中継台5の直進フィーダF2側の上方に設けられている。分離用回転ローラSRは、直径0.8mm程度の軸5Jに取り付けられる金属製のもので、軸5Jに取り付けられた分離用回転ローラSRは、その外周SRaが上記開口5dに突出するように配設されている。また、分離用回転ローラSRは、駆動手段であるモータ5MMの駆動により、搬送溝5aに搬送されてくる微小物体Cの搬送方向、つまり図中時計回りに回転する(図6中の矢印方向)。すなわち、無振動中継台5の両側には、軸受け5Jaが取り付けられるクランプC5が左右一対取り付けられ、左右のクランプC5は、無振動中継台5を挟持するように連結固定され、軸5Jは、モータ5MMとカップリング5MCを介して連結されている(図2、図3、図4)。したがって、分離用回転ローラSRは、搬送溝5aと垂直方向において開口溝M5が形成され、その一方向に配されるモータ5MMにより回転される。
【0017】
ここで、分離用回転ローラの位置における微小物体の搬送速度は、直進フィーダF2から整列搬送される微小物体の搬送速度よりも遅くなるように分離用回転ローラSRの回転速度が設定されている。分離用回転ローラSRの回転速度は、モータ5MMの回転数を変えることにより、任意に、つまり直進フィーダF2から搬送される速度や第1の吸引手段Q1による搬送速度よりも早くしたり遅くしたり調整可能であるが、本実施の形態では、回転インデクサIDの収納溝6に収納されるときの衝突ダメージ(或いは、バックゲージへの衝突ダメージ)を緩和するために、これらの搬送速度よりも遅くなるように分離用回転ローラSRの回転速度が設定されている。また、撮像手段S1,S2による撮影スピードに合わせた速度に設定することも可能になる。
【0018】
また、本実施の形態では、断面が円形状の開口溝M5の中心Saに、分離用回転ローラSRの中心Sbが対応するように設けられているが、このような構造の分離用回転ローラSRは、その駆動手段5MMとともに、2列以上を搬送溝5aの搬送方向に沿うように配設することも可能である。また、図7に示すように、断面が円形状の開口溝M5の中心Saに対して分離用回転ローラSRの中心Sbがずれて(図7中上方にずれて)設けるようにしても良い。すなわち、上記軸受け5Jaの中心位置を変更して、上記開口5dの隙間をできるだけ小さくして、上記開口5dの位置による目詰まりを生じさせないようにすると良い。
【0019】
無振動中継台5の開口溝M5は、微小物体Cの底部側を吸引する第3の吸引手段Q3と連続している。すなわち、第3の吸引手段Q3は、微小物体Cの底部側を開口5dを介して吸引するもので、図示しない真空ポンプと連結されている。したがって、電子素子Cは、その底部側を吸引されながら、上記分離用回転ローラSRにより上方に持ち上げられるようにして搬送される。
【0020】
無振動中継台5の排出口側に横付けされた第1の吸引手段Q1は、上記搬送溝5aに搬送された電子素子Cを吸引して回転インデクサIDの収納溝6に導くもので、バックゲージ13の連結孔8の上方に吸引溝M1が上記搬送溝5aに向けて形成されている(図8)。吸引溝M1の傾斜角度も約10度である。連結孔8は、制御台10に搭載される真空ポンプ(図示せず)と連結されている。
【0021】
回転インデクサIDは、電子素子Cを多数収納して高速回転搬送させる円盤状のもので、外周に電子素子Cを多数収納する収納溝6が所定間隔をおいて形成されている。回転インデクサIDは、収納溝6を下にした水平状態に取り付けられている。回転インデクサIDは、真空ホルダ12と共に構成され、後述する第2の吸引溝Q2と第2の吸引溝M2に吸引力を得る。なお、回転インデクサIDには、その中央にシャフトが取り付けられる中央穴が設けられている。回転インデクサIDの上方には、シャフトを回転させる駆動手段であるモータ(ステッピングモータ)7が配設されている。モータ7の駆動軸にはカップリング14が配設され、モータ7の上方には、エンコーダ17がロッド19を介して配設されている(図1)。
【0022】
回転インデクサIDの外周には斜め下方に突出した傾斜突出部9が設けられ、傾斜突出部9に収納溝6が形成されている。傾斜突出部9は、回転インデクサIDの外周の下方側に円環状に形成されており、無振動中継台5の傾斜した上面5bの上方位置に配されるようになっている。傾斜突出部9の下面9aは、無振動中継台5の搬送溝5aの傾斜角度θ1に対応して傾斜して形成されている。すなわち、下方に傾斜した搬送溝5aから電子素子Cを収納溝6に入れ易いようにするために、傾斜突出部9の下面9aの傾斜角θ2は、搬送溝5aの傾斜角度θ1よりやや大きくなっている(図6)。つまり、搬送溝5aの傾斜角度θ1は、約10度、収納溝6の傾斜角度θ2は約15度となっている。なお、傾斜角θ1とθ2は同じ角度とすることも可能である。円環状を呈する傾斜突出部9に収納溝6が等間隔で複数形成されているが、各収納溝6は、下方が広い断面逆V字形状に形成され、その角部中央に第2の吸引溝Q2と連続する第2の吸引溝M2が設けられている。つまり、先端側に収納溝6を有する傾斜突出部9には、第2の吸引溝M2が形成されている。この第2の吸引溝M2は、斜め上方に向かって形成され、回転インデクサIDの上方外周に円環状に形成される上方溝M3と連続して、図示しない吸引手段である真空ポンプを介して接続されて、第2の吸引手段Q2として構成されている。したがって、多数の収納溝6に収納された電子素子Cを各々上方から吸引して電子素子Cが吊り下げられる。回転インデクサIDは水平状態に配されているので、上記円環状の上方溝M3と第2の吸引溝M2を介して多数の電子素子Cは、一律な吸引力で収納溝6に吸着され、後述する排出側Zの送風手段A1…A5等を円周上のどの位置に配してもその制御が同じ条件で排出可能になる(図10)。
【0023】
このような回転インデクサIDは、外周の傾斜突出部9が無振動中継台5の上方に重なるように配置されている。したがって、回転インデクサIDと無振動中継台5との距離も近づけることができるようになっている。ここで、傾斜突出部9に形成される逆V字形状の収納溝6の長さ(奥行き長さ)は、電子素子Cの長さよりも短くすると良い。撮像手段の撮像に際して照明装置による照明が反射する要因をなくすためである。
【0024】
次に、電子素子Cの外周側面を撮像する撮像手段S1,S2,S3,S4,S5,S6は、無振動中継台5の位置と回転インデクサIDの水平回転の途中の位置に各々配されている(図1)。各撮像手段S1,S2,S3,S4,S5,S6は、イメージセンサや、イメージセンサと発光ダイオードとを組み合わせた光学式外径測定器の他、高感度カメラ(CCDカメラ)等であり、直方体形状の電子素子Cの外周側面(6面)の各々の側面を撮像して、制御台10に配設されている制御盤15により、各々の面の長さ・幅や面積を撮像したり、傷の有無を撮像したりする。
【0025】
無振動中継台5の位置には、電子素子Cの外周側面を撮像する第1の位置の撮像手段S1,S2が制御台10に配設されている。第1の位置の撮像手段S1,S2は、無振動中継台5の搬送溝5aを滑るように搬送される電子素子Cの二側面を撮像するもので、斜め上方に2個配置され、先端のカメラが電子素子Cに向けて配設されている(図1)。第1の位置の撮像手段S1,S2の撮像動作は、無振動中継台5の位置に配される第1の光センサ(トリガーセンサ)L1が無振動中継台5を通過したことを検知して(図6)、その信号を制御盤15に送り、第1の位置の撮像手段S1,S2の撮像動作が行われる。
【0026】
次に、水平状態の回転インデクサIDの中央、つまり、無振動中継台5と送風手段A1…A5等が配される排出側Zとの間には、電子素子Cの外周側面を撮像する第2の位置の撮像手段S3,S4,S5,S6が4個配置されている(図1)。これら4個の撮像手段S3,S4,S5,S6は、下方側から撮像する撮像手段S3,S4,S5と、やや斜め上方(回転インデクサIDの横方向)から撮像する撮像手段S6との4個が制御台10の所定箇所に配設され、各々の先端に搭載されるカメラが直方体形状の4側面を同時に撮像する。すなわち、下方に向けられた断面逆V字形状の搬送溝6に電子素子Cの二側面が接触して吊り下げられた状態となっているため、この二側面以外の四側面が同時に撮像される。
【0027】
回転インデクサIDの無振動中継台5と反対側には、図10に示すように、上記収納溝6から電子素子Cを取り出すための送風手段A1…A4と、排出側ブラケット21が固定プレートを介して取り付けられている。送風手段A1…A5は、真空ホルダ12を貫通するように設けられる連続孔を介して吸引溝M2に連続している。排出側ブラケット21には、収納溝6から取り出して選別ボックスに連結される複数の排出ホース28と排出孔上方先端28aと、排出されたことを検知するとともに個数をカウントする光センサL5が取り付けられている。本実施の形態では、良品と、再検査品と検査不可能品との選別と、これらいずれでもないものが最終的にすべて排出されるようになっている。なお、送風手段A5と排出ホース28Aは、予備のためのものである。このように選別排出された電子素子Cは、各々の選別ボックスに排出ホース28を介して収納される。排出側Zでは、第2の吸引手段Q2による吸引よりも送風手段A1…A5によってエアーを強く送風し、収納溝6から微小物体Cを離脱させる。
【0028】
次に、本実施の形態の微小物体の外観検査装置1を実際に使用して微小物体(電子素子)Cの外観検査する場合の動作について説明する。
【0029】
円筒フィーダF1内の微小物体である電子素子Cは、直進フィーダF2に向けて振動されながら送られ、直進フィーダF2はその電子素子Cを受け取り直進方向、つまり無振動中継台5の搬送溝5aに向けて搬送される(図6)。このとき、電子素子Cは、直進フィーダF2の微小物体C群に押されて振動されながら連続した状態で通常搬送されてくる。無振動中継台5の位置に至ると、V字形状の搬送溝5aで断面菱形状で搬送され、下方に傾斜した搬送溝5aを滑るようになるとともに、第1の吸引手段Q1により吸引されるが、無振動中継台5の直進フィーダF2側には、分離用回転ローラSRが配設されているために、分離用回転ローラSRの外周SRaが電子素子Cの底面側を持ち上げるようになる。したがって、直進フィーダF2から連結状態の整列状態で電子素子Cが搬送されてきた場合でも、引き離されて(分離され)適度な間隔が生じる。
【0030】
ここで、分離用回転ローラSRの回転により微小物体Cの底面側が持ち上げるようになっても、微小物体Cの底部側を吸引する吸引手段Q3が微小物体の底部側を吸引することから、安定して搬送させることとなる。また、中継無振動台5の搬送溝5aは、回転インデクサIDの収納溝5に向かって下方傾斜して形成されていることから、搬送溝5aが水平状態の場合よりも分離用回転ローラSRの外周SRaに乗り上げ易くなり、乗り上げた後は回転インデクサIDの収納溝6に向かって搬送溝5aを滑るように搬送される。また、微小物体Cの底面側を持ち上げるようになる。電子素子Cの底部側とは、断面V字形状の搬送溝5aの左右の二面と接触する図9(a)に示す直方体形状の電子素子Cの底部側の一側面(一点鎖線の丸の3面と4面)をいう。なお、軸5Jに取り付けられた分離用回転ローラSRは、その径の大きさの違うものを交換することで、電子素子Cの種類や大きさに対応させることが可能である。
【0031】
このようにして、分離され搬送された電子素子Cは、その後に続くV字形状の搬送溝5aで断面菱形状で搬送され、無振動中継台5の位置の斜め上方に配される第1の位置の撮像手段S1とS2によりその断面菱形状の上方側の二側面が撮像される(図1)。すなわち、光センサL1が通過したことを検知して、第1の位置の撮像手段S1とS2の撮像動作をさせて、電子素子Cの二側面が撮像される。これを図9(a)に示す直方体形状の電子素子Cで説明すると、丸の1面と丸の2面が撮像される。この二側面の測定が終了すると同時に、第1の吸引手段Q1により瞬間的に電子素子Cが回転インデクサIDの収納溝6の下方側、つまり無振動中継台5の取り出し口5cに移動させるとともに、微小物体Cを第2の吸引手段Q2が上方から吸引して収納溝6に収納させて電子素子Cを吊り下げる。光センサL1は、電子素子Cが回転インデクサIDの収納溝6に収納されたことを検知する役割も併せ持つため、水平状態の回転インデクサIDを回転させる信号を制御盤15に送り、次の位置の収納溝6を無振動中継台5の取り出し口5cまで回転して停止する。このような回転動作と停止(ステッピング停止)を高速で繰り返して(ステッピング動作して)、電子素子Cを回転搬送する。
【0032】
また、傾斜突出部9の収納溝6の傾斜角θ2は、無振動中継台5の搬送溝5aの傾斜角度θ1よりも大きいために、下方傾斜した搬送溝5aから電子素子Cを収納溝6に入り易く、第2の吸引手段Q2が第2の吸引溝M2を介して吸引したとき、電子素子Cの先端側(取り出し口5c側)はそのままにして後方側(直進フィーダF2側)のみを搬送溝5aから引き離すように傾斜角度θ2の収納溝6に吸着させる。なお、上記傾斜角度θ1とθ2の相違から、回転インデクサIDの傾斜突出部9を無振動中継台5の上方位置に重なるように配置するとき、互いに擦れ合うこともない。
【0033】
回転インデクサIDが水平回転して、第2の位置の撮像手段S3,S4,S5,S6の位置にくると、回転インデクサIDのステッピング停止時に第2の位置の撮像手段S3,S4,S5,S6を撮像動作させて、電子素子Cの四側面が撮像される。これを図9に示す直方体形状の電子素子Cで説明すると、第3乃至第6の撮像手段S3,S4,S5,S6により四角で囲む4面と5面と6面とが撮像される(図9(b))。なお、丸1面と丸2面の撮像は、第1の位置の撮像手段S1,S2により既に終了しており、回転インデクサIDの断面逆V字形状の収納溝6で隠れることとなる。また、各撮像手段S1,S2,S3,S4,S5,S6による撮像の際には、撮像のタイミングに合わせて発光ダイオード等の照明装置(図示せず)が発光する。そして、電子素子Cは吊り下げられた状態で回転搬送されるが、このように吊り下げられると(図1)、この電子素子Cを下方側から撮像する第2の位置の撮像手段S3,S4,S5,S6において、撮像の邪魔になる(視界を妨げる)要因はなくなり、正確な撮影が可能になる(図1)。その結果、一つの回転インデクサIDにより電子素子Cの外周六面をすべて撮像することができる。外周六面の撮像結果は、制御盤15に送られ、蓄積データと照合されて、良品であるか、不良品であるか、更には再検査品であるか検査不可能品であるか等の選別が行われる。
【0034】
第2の位置の撮像手段S3,S4,S5,S6による撮像が終了して、排出側Zに回転搬送されると、上記外観検査結果を下に、良品と不良品等とが選別排出される。すなわち、排出側Zでは、第2の吸引手段Q2による吸引よりも送風手段A1…A5によるエアーを強く送り収納溝6から微小物体Cを離脱させ、排出ホース28を介して選別ボックスに収納される(図1、図10)。
【0035】
(実施例)
次に、本実施の形態の具体的実施例を説明する。この実施例では、直進フィーダF2より約1100個/分以上の速度で微小物体Cが搬送されてくるとし、他方、分離用回転ローラSRは1000個/分の速度で図中時計方向、すなわち微小物体の搬送方向に回転するように設定した。また、この実施例では、図9(a)に示すように、直方体形状の電子素子Cの一側面(丸数字の1)がこの位置になるようにして外観検査される。換言すると、図9(b)に示す直方体形状の電子素子Cの底部側の一側面(丸の3面)は、断面V字形状の搬送溝5aの左右の二面のうちの一方(符号5a2)に必ず位置するようにした。なお、電子素子Cの底部側の他側面(丸数字の4)は、断面V字形状の搬送溝5aの左右の二面のうちの他方(符号5a1)に必ず位置する。すなわち、従来一般には、直方体形状の電子素子Cの場合、その長手方向の4側面のうちのいずれかが断面V字形状の搬送溝5aの左右の二面に接触する状態で外観検査を行っているが、これでは結果的に各電子素子Cの六面が測定されたとしても、厳密にはすべて同じ位置関係で測定したことにはならない。直方体形状の電子素子Cの長手方向の4側面で説明すると、そのうちのどの面かは区別しておらず、このため前後の2面もどちらの面か区別していない。しかし、電子素子Cの種類によっては、どの面か定まっているものがあり(例えば、チップ部品の中には、その表裏を選別することも要求される場合がある。)、個々の6面すべて常に測定したいという要求は高い。このため、実施例では、図8に示すように、エアー排出手段(エアーノズル)AEと検出センサASにより、向きの正しくない微小物体Cを検出して、溝3から振り落とし、円筒フィーダF1に戻すこととした。
【0036】
このため、直進フィーダF2から振動されながら搬送されてくる微小物体である電子素子Cは、電子素子Cの向きが正しくないために振り落とされため、電子素子Cと電子素子Cとの間が空いたものと、電子素子Cの向きが正しいものが連続したために、間隔を空けずに連続状態のものが混在して搬送されることとなった。前者の例としては、上記表裏選別を要するチップ部品では、直進フィーダF2から搬送されてくる微小物体Cは目的のスピードの4倍速で搬送されてくる。その搬送スピードを1000個/分とすると、直進フィーダF2より4000個/分のスピードが発生する。表裏選別が数個連続した時、チップとチップの間隔が15m/sになる。このタイミング(スピード)ではカメラ画像処理、インデクサモータタイミングが不能となる。しかし、その搬送速度よりも分離用回転ローラSRが一割程度遅い速度で回転しているために、微小物体Cは分離用回転ローラSRの表面速度により矯正されることとなった。すなわち、間隔を空けて搬送されてきたものは、上記遅い速度の分離用回転ローラSRの前で連続した状態に整列搬送状態に揃えられ、次いで、1000個/分の速度で分離用回転ローラSR上を押し上げられるようになると、無振動中継台5の搬送溝5aにおいて、電子素子Cと電子素子Cの間隔が一定の間隔に揃えられて搬送させられ、次いで、バックゲージ13の第1の吸引手段Q1により吸引され早い速度に変わって一つずつ確実に回転インデクサIDの収納溝6に収納された。他方、直進フィーダF2から整列搬送される電子素子Cの搬送速度よりも早くなるように分離用回転ローラSRの回転速度を設定した場合も、連結状態の電子素子Cを切り離し、一つずつ確実に回転インデクサIDの収納溝6に収納された。
【0037】
以上、本実施の形態では、水平型の回転インデクサの例で説明したが、従来の縦型の回転インデクサの場合等にも適用可能であり、無振動中継台5を有するもの全般に適用可能である。また、ICチップやチップ型コンデンサ等の超微小な電子素子を例に明したが、本発明は、電子素子以外の微小物体の測定が可能である。また、無振動中継台5の上面5bの傾斜角度、回転インデクサIDの傾斜突出部9の傾斜角度や無振動中継台5の幅H1等は、本実施の形態のものに限られるものではないことは言うまでもない。
【0038】
【発明の効果】
本発明の微小物体の外観検査装置によれば、検査対象である微小物体はフィーダから整列搬送されて無振動中継台の搬送溝に至り、微小物体は後ろから押されるように連結状態で搬送されてきた場合でも、分離用回転ローラの回転によりその外周が微小物体の底面を持ち上げるようにして連結状態の微小物体を必ず切り離すために、微小物体の連続状態が解除され、微小物体の間隔を一定の間隔に揃えて搬送させることができ、一つずつ確実に回転インデクサの収納溝に収納されることとなり、目詰まりを生じさせることがなくなった。また、連結状態で搬送されてきた微小物体を切り離すために、無振動中継台を通過したことを検知する第1の光センサが誤動作することも防止可能になった。
【0039】
また、本発明によれば、分離用回転ローラの回転速度は、駆動手段により任意に設定可能になるが、分離用回転ローラの位置における微小物体の搬送速度は、フィーダから整列搬送される微小物体の搬送速度よりも遅くなるように分離用回転ローラの回転速度を設定することにより、フィーダから整列搬送される微小物体が高速搬送されてきた場合でも、回転インデクサの収納溝に収納されるときの衝突ダメージを緩和すること、つまり電子素子の衝突による剥離防止が可能になる。また、分離用回転ローラの回転速度は、駆動手段により任意に設定可能になることから、フィーダによる搬送速度や回転インデクサの収納溝に収納させるための吸引手段に依存されるような撮像手段による撮像スピードを分離用回転ローラの回転速度により調節することも可能になる。
【0040】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の微小物体の外観検査装置を示す全体図である。
【図2】上記一実施の形態の微小物体の直進フィーダと無振動中継台と回転インデ クサを示す斜視図である。
【図3】上記一実施の形態の無振動中継台の箇所を示す斜視図である。
【図4】上記一実施の形態の分離用回転ローラの箇所を示す分解斜視図である。
【図5】上記一実施の形態の微小物体の搬送状態を示す断面図である。
【図6】上記無振動中継台の搬送溝と回転インデクサの収納溝とを示す断面図である。
【図7】上記一実施の形態の無振動中継台の他の例を示す断面図である。
【図8】上記一実施の形態の直進フィーダと無振動中継台を示す断面図である。
【図9】微小物体である電子素子を示す斜視図である。
【図10】上記回転インデクサの排出側の斜視図である。
【図11】従来の微小物体の外観検査装置を示す斜視図である。
【図12】上記従来の一実施の形態の微小物体の外観検査装置の撮像手段の配置状態 を示す断面図である。
【図13】上記従来の微小物体の外観検査装置の無振動中継台の搬送溝と回転インデクサの収納溝とを示す断面図である。
【符号の説明】
1 微小物体の外観検査装置、
2 制御台、
5 無振動中継台、
5a 搬送溝、5b 上面、5c 取り出し口、5d 開口、
5MM 駆動手段(モータ)、M5 開口溝、
6 回転インデクサの収納溝、
7 駆動手段(モータ)、
10 制御台、
15 制御盤、
A1…A5 送風手段、
C 微小物体(電子素子)、
M1,M2,M3 吸引溝、
L1,L5 光センサ(トリガセンサ)、
ID 回転インデクサ、
Q1 第1の吸引手段、Q2 第2の吸引手段、Q3 第3の吸引手段、
S1,S2 第1の位置の撮像手段、
S3…S6 第2の位置の撮像手段、
SR 分離用回転ローラ、SRa 分離用回転ローラの外周、
Sa 断面が円形状の開口溝の中心、Sb 分離用回転ローラの中心、
Z 排出側
Claims (1)
- 検査対象である微小物体を整列搬送するフィーダと、外周に斜め下方に突出した傾斜突出部に形成された微小物体を収納する収納溝を下にした水平状態で回転する円盤状の回転インデクサと、フィーダと回転インデクサとの間に位置してフィーダから整列搬送される微小物体を回転インデクサの収納溝に搬送する搬送溝を有する無振動中継台と、当該無振動中継台の搬送溝の開口を介して微小物体の底部側を吸引するための吸引手段とを備え、前記回転インデクサの傾斜突出部が、無振動中継台の上方位置に重なるように配されており、前記無振動中継台は、断面が円形状の開口溝と分離用回転ローラからなり、断面が円形状の開口溝の中心に対して分離用回転ローラの中心を上方にずれて設けることで、断面が円形状の開口溝の開口に分離用回転ローラの外周が突出するように分離用回転ローラが配され、この分離用回転ローラが駆動手段により搬送溝に搬送されてくる微小物体の搬送方向に回転して、分離用回転ローラの回転により分離用回転ローラの外周が微小物体の底面を持ち上げるようにして連結状態の微小物体を切り離すようにすることを特徴とする微小物体の外観検査装置。
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