JP4241291B2 - Y分岐導波路の製造方法 - Google Patents
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Description
本実施形態のY分岐導波路は、図1に示すように、クラッド層2内に直線状の入力側コア1iと入力側コア1iから分岐した2つの直線状の出力側コア1a,1bとからなるY字状のコア1が設けられている。
L≧2λ/tan(θ/2)
の関係を満たすようにLを設定してある。一例を挙げれば、角度θを1°に設定し、規定波長λを1300nmとする場合には、Lは298μm以上の値に設定すればよい。
本実施形態のY分岐導波路の構成は実施形態1と同じであって、製造方法が相違するだけなので、以下、製造方法について図7および図8を参照しながら説明する。
本実施形態のY分岐導波路の基本構成は実施形態1と略同じであって、図9に示すように、出力側コア1a,1b間に介在する所定領域(以下、第1の所定領域と称す)に形成された分岐内光漏れ防止3との間に各出力側コア1a,1bにおける入力側コア1i近傍の部分を挟む領域に、屈折率の異なる複数の媒質からなり上記規定波長の光の導波モードの存在しない屈折率周期構造を有するフォトニック結晶からなる分岐外光漏れ防止部4,4が形成されている点で相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
本参考例のY分岐導波路の基本構成は実施形態1と略同じであって、図10に示すように、クラッド層2内に直線状の入力側コア1iと入力側コア1iから分岐した2つの直線状の出力側コア1a,1bとからなるY字状のコア1が設けられており、実施形態1において説明した所定領域にフォトニック結晶からなる分岐内光漏れ防止部3を形成していない点が相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
1i 入力側コア
1a,1b 出力側コア
2 クラッド層
3 分岐内光漏れ防止部
21 下部クラッド層
22 上部クラッド層
Claims (1)
- クラッド層内に直線状の入力側コアと入力側コアから分岐した2つの直線状の出力側コアとからなるY字状のコアが設けられ、出力側コア間に介在する領域であり且つ入力側コア近傍の所定領域に、屈折率の異なる複数の媒質からなり各出力側コアを伝搬する規定波長の光の導波モードの存在しない屈折率周期構造を有するフォトニック結晶からなる分岐内光漏れ防止部が形成されてなるY分岐導波路の製造方法であって、前記クラッド層の材料からなりコア形成予定領域から前記所定領域を含みコア形成予定領域に一部が重複するように設定した規定領域と重なる部分を除いた領域に溝を有する下部クラッド層を形成した後、規定領域の全域に前記屈折率周期構造を形成し、その後、規定領域のうちコア形成予定領域と重なる部分を、レーザ照射部分周辺への熱損傷を生じないパルス時間幅のパルスレーザを照射することにより除去することで前記溝をコア形成予定領域に対応したコア溝とし、次に、コア溝にコアの材料を埋め込むことによりコアを形成し、さらに、下部クラッド層とともにクラッド層を構成する上部クラッド層をコア溝が形成された側の下部クラッド層表面およびコア溝に形成されたコアの表面に形成することを特徴とするY分岐導波路の製造方法。
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