JP4241033B2 - 流量制御機構 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば給水管や給油管等を流れる流体の流量を制御する流体制御機構に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば給水管や給油管等の流体の流路内で流量を制御する流量制御機構として、弁やオリフィス等が知られている。
特に、流量を絞って調整する場合には、従来から簡単な構造で流量を絞ることができるオリフィスがよく用いられている。
【0003】
上記のオリフィスは、平板に設けられた小孔を流体が通過する際の圧力損失を利用して流量を絞る構成となっている。この圧力損失の効果を向上させるため、複数のオリフィス部材が流路方向に連設されて構成されている多段オリフィスが使用される(例えば、特許文献1、2参照)。
【0004】
【特許文献1】
実開平4−25094号公報(第1図、第6図)
【特許文献2】
特開平9−292087号公報(第1図)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の多段オリフィスは、給水管や給油管内の長さ寸法の制約を受けるため、複数のオリフィス部材と、これらオリフィス部材を適切な間隔をもって支持するパッキンとを連設させる個数が制限される。そのため、絞り量によっては、オリフィス部材を複数個挿入しても十分な絞り量を得ることが困難となる場合があった。
【0006】
本発明は上記事情に鑑みて成されたものであり、限られた長さ寸法であっても流体の流量を効果的に絞ることができる流体制御機構を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用する。
本発明は、オリフィス孔を有するオリフィス部材と、パッキン孔を有するパッキンとが取付対象物の貫通孔内に交互に連設され、前記オリフィス孔と前記パッキン孔とが連通されて流体の流路が形成される流量制御機構であって、前記パッキンには、複数のパッキン孔が形成され、上流側の前記オリフィス孔に連通する一つの前記パッキン孔と、下流側の前記オリフィス孔に連通する他の前記パッキン孔を、直接又はさらに異なる別のパッキン孔を介して連通させるパッキン内微細孔又はパッキン孔毛細管路を備えていることを特徴とする。
【0008】
この流量制御機構では、パッキンにパッキン孔と、パッキン内微細孔又はパッキン孔毛細管路とが設けられているので、パッキン自体でもより長い流体の流路長を確保でき、圧力損失量を増加させることができる。
【0009】
本発明は、請求項記載の流量制御機構であって、前記オリフィス部材及び前記パッキンは、それぞれ外周部に位置決め用の部材側凹部又は部材側凸部が形成され、前記取付対象物の貫通孔には、該貫通孔内周面に前記部材側凹部又は部材側凸部に係合する孔側凸部又は孔側凹部が形成されていることを特徴とする。
【0010】
この流量制御機構には、オリフィス部材及びパッキンに凹部又は凸部が形成され、これら凹部又は凸部に係合する凸部又は凹部が取付対象物の貫通孔内周面に形成されているので、両者が係合されることによって、組立て時にオリフィス部材及びパッキンを位置決めしやすい。
【0011】
本発明は、請求項1または2記載の流量制御機構であって、少なくとも一つの前記オリフィス部材の上流側の前記流体の流路内に前記オリフィス孔の径よりも小さい網目のメッシュ部材が配設されていることを特徴とする。
【0012】
この流量制御機構は、オリフィス部材の上流側にオリフィス孔の径よりも小さい網目のメッシュ部材が配設されているので、流量制御機構に流入しようとする異物がメッシュで除去されて、オリフィス孔に異物が詰まるのが抑制される。
【0013】
本発明は、請求項1から3の何れかに記載の流量制御機構であって、前記オリフィス部材と前記パッキンとが内部貫通孔に連設されて構成されるプラグ部材を備え、該プラグ部材を前記取付対象物の前記貫通孔に着脱させる着脱機構を備えていることを特徴とする。
【0014】
この流量制御機構は、プラグ部材を備え、このプラグ部材を取付対象物の貫通孔に着脱させる着脱機構を備えているので、流量制御量の変更が生じた場合やメンテナンス等で、容易に取外しや取換えが可能になる。
【0015】
本発明は、請求項記載の流量制御機構であって、前記着脱機構は、前記プラグ部材の外周面に形成された雄ねじ部と、前記取付対象物の前記貫通孔内面に形成されて前記雄ねじ部と螺合される雌ねじ部とで構成されていることを特徴とする。
【0016】
この流量制御機構は、プラグ部材面には雄ねじ部が形成され、取付対象物の貫通孔内面には雌ねじ部が形成されているので、オリフィス部材とパッキンとを組立後にねじ方式によって取付対象物に容易に着脱させることができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
図1から図5は本発明の参考例を示す。
図1は、本参考例に係る多段オリフィス(流量制御機構)の一例を示す概略断面図であり、この多段オリフィス1を用いた流量制御機構としては、例えば、図2に示すスクロール型圧縮機(取付対象物)2の潤滑油量制御機構が挙げられる。
【0018】
上記スクロール型圧縮機2は、筒形状のハウジング3と、回転軸4を介してハウジング3内部に配設されたスクロール型圧縮機構5とを備えている。ハウジング3には、作動流体を吸入する吸入口6と、スクロール型圧縮機構5で圧縮された冷媒が吐出される吐出口7とが設けられている。また、ハウジング3には、冷媒に混入した潤滑油を冷媒から遠心分離させる油分離機構8と、油分離機構8から分離された潤滑油が貯留する油溜室9とが設けられている。さらに、油溜室9からスクロール型圧縮機構5へ潤滑油(流体)を流通させる油戻し通路(貫通孔)10が形成されている。多段オリフィス1は、この油戻し通路10内に配設され、油溜室9からスクロール型圧縮機構5へ供給する油量を調節する。なお、油量を調整された油は、流量制御機構の流出部として機能する排出孔10aから流出する。
【0019】
ここで、図1に示したように、多段オリフィス1は、オリフィス孔12を有する複数のオリフィス部材14A,14B,14Cと、複数のパッキン(中央部パッキン18A、端部パッキン18B,18C)とから構成される。オリフィス部材14A,14B,14Cとパッキン18A,18B,18Cは、油戻し通路10内に交互に連設され、止め輪24によって固定されている。なお、止め輪24には流入孔24aが形成されており、この流入孔24aが流量制御機構の流入部として機能するとともに、広義には最初のオリフィス機構を形成するオリフィス部材としても機能する。
【0020】
多段オリフィス1の内部において連設される要素となり複数のオリフィス機構を形成する、オリフィス部材14A,14B,14Cには、図3に示すように3個のオリフィス孔12a,12b,12cが形成されている。さらに、同じく連設される要素なる中央部パッキン18Aには、図4に示すように、連設方向に互いに対向するオリフィス部材14A,14B,14Cの各オリフィス孔12a,12b,12cをそれぞれ連通させて連設方向流路30a,30b,30c(図1参照)を形成する中央部パッキン孔18a,18b,18cが設けられている。また、端部パッキン18B,18Cには、図5に示すように、端部パッキン孔18dと、一つの連設方向流路30aの下流端(オリフィス部材14Cのオリフィス孔12a)と隣接する他の連設方向流路30bの上流端(オリフィス部材14Cのオリフィス孔12b)とを連通させる折返し用パッキン孔18eとが設けられている。
【0021】
この折返し用パッキン孔18eによって、連設方向流路30a,30b,30cは一つの流路として連通し、これにより、多段オリフィス1内部において、流量制御対象媒体となる油が流れる内部流路が連設方向に対して2回折り返される構成が提供される。より詳細には、オリフィス部材14A,14Cとパッキン孔18eとが流路折り返し部を形成する。
【0022】
以下、多段オリフィス1における流量制御の一例として、必要とされる油量に応じたオリフィス部材のオリフィス孔の流路面積及び枚数の決め方について説明する。ここで、必要とされる油量は、スクロール型圧縮機構5側における潤滑油の供給条件(圧力、流量等)から決定されることになるが、流量制御後の油量は、下記数式(1)で導かれる。
なお、この数式(1)において、Qは制御後油量、αは流量係数、Aはオリフィス孔の流路面積、△Pはオリフィス孔を通過する際に生じる圧力損失、ρは潤滑油の密度、Nはオリフィス部材の枚数である。
【0023】
【数1】
Figure 0004241033
【0024】
上記数式(1)において、油量Qを得るには、流路面積Aを小さくするか、または、オリフィス部材の枚数Nを多くするかの方法がある。流路面積Aを小さくすることは、加工上の限界があるので、オリフィス部材の枚数Nが油量Qから決定される。このため、内部流路を折り返す構造とすることにより、一のオリフィス部材が複数のオリフィスを形成することができるので、高圧側からの油供給であっても確実かつ細密に油の戻し量を設定することが可能となる。
【0025】
次に、上記の構成からなる本参考例の多段オリフィス1による流体制御方法について説明する。
油戻し通路10に導入された潤滑油は、流入孔24aから流入し、端部パッキン18Bの端部パッキン孔18dを通って、この孔と孔軸を同一とするオリフィス孔12aと中央部パッキン孔18aとから形成される連設方向流路30aを通過して、端部パッキン18Cの端部パッキン孔18dに至る。この間、潤滑油量は、3個のオリフィス孔12aを通過するときに数式(1)に従って調整される。
【0026】
続いて、潤滑油の流れが折返し用パッキン孔18eで折返されて、オリフィス孔12bとこの孔軸を同一とする中央部パッキン孔18bとからなる連設方向流路30bを逆方向に通過して、再び端部パッキン18Bに至る。この間も同様に、潤滑油量は、3個のオリフィス孔12bを通過することになって、数式(1)に従って潤滑油量が調整される。
【0027】
さらに、潤滑油の流れが折返し用パッキン孔18eで折返されて、オリフィス孔12cとこの孔軸を同一とする中央部パッキン孔18cとからなる連設方向流路30cを逆方向に通過して、再び端部パッキン18Cに至る。この間も同様に、潤滑油量は、3個のオリフィス孔12cを通過することになって、数式(1)に従って潤滑油量が調整される。
【0028】
このようにして、潤滑油量は、オリフィス孔を一つだけ有するオリフィス部材が連設された多段オリフィスに比べて、連設方向流路30a,30b,30cからなる長さを有する流路によってΔPの値が相対的に大きくなるので、大きな絞り量が得られる。
【0029】
上記の多段オリフィス1によれば、スクロール型圧縮機を小型化したことに起因してスクロール部分の幅が小さくなり、油戻し通路がその長さを十分に確保できない場合であっても、油戻し通路10を流通する潤滑油量の絞り機能を向上させることができる。
【0030】
なお、オリフィス部材14A,14B,14C、中央部パッキン18A及び端部パッキン18B,18Cの形状は上述に示す場合に限定されるものではなく、図6に示すオリフィス部材14D、図7に示す中央部パッキン18D、図8に示す端部パッキン18E,18Fの形状のものを使用しても、多段オリフィス1内部において折り返し流路を形成することができ、油量制御においては同等の作用・効果が得られる。
【0031】
なお、図3、図4、図5に示したように縦長小判型のオリフィス14A,14B,14Cおよびパッキン18A,18B,18Cを用いた場合には、内部流路の折り返し部を形成する端部パッキン18B,18Cの上下方向のみ注意して取り付けるだけで、多段オリフィス1を簡易に形成できるという利点がある。
【0032】
一方、図6、図7、図8に示したように円形のオリフィス14Dおよびパッキン18D,18E,18Fを用いた場合には、取付対象物の設置方向による影響をより少なくすることができるので、多段オリフィス1を容易に形成できるという利点がある。
【0033】
次に、本発明に係る第の実施形態について、図9を参照して説明する。
なお、以下の説明において、上記参考例において説明した同一の構成要素には同一符号を付し、その説明は省略する。
【0034】
の実施形態と上記参考例との異なる点は、多段オリフィス1内部での折り返し流路を第1の実施形態では連設方向、すなわち流入部から流出部へ向かう方向に沿って形成したのに対し、本実施形態では、連設方向に対して交差する方向に流路を形成した点である。
【0035】
より具体的には、参考例では1つのオリフィス部材に複数のオリフィス孔が設けられ、連接された複数のオリフィス部材の連設方向に孔軸を同じとするオリフィス孔を連設させて連設方向流路が形成されているのに対し、第の実施形態では、多段オリフィス35のオリフィス部材40A,40B,40C,40Dに一つのオリフィス孔12を設け、中央部パッキン42に、4つの中央部パッキン孔44a,44b,44c,44dと、これらを連通させるパッキン内微細孔46a,46b,46cとを設け、パッキン内にもオリフィス機能を備えた点である。
【0036】
すなわち、図9に示すように、本実施形態は、中央部パッキン42が、上流側に対向して配設されたオリフィス孔12に連通する一つの中央部パッキン孔44aから、下流側に隣接して配設された他のオリフィス孔12に連通する他の中央部パッキン孔44dまでを、中央部パッキン孔44b,44cを介して連通させるパッキン内微細孔46a,46b,46cとを備える。これらのオリフィス部材40A,40B,40C,40Dと中央部パッキン42とは、油戻し通路10内に連設されている。
【0037】
次に、上記の構成からなる本実施形態の多段オリフィス35による流体制御方法について説明する。
図9(a)に示すオリフィス部材40Aを通過した潤滑油が、図9(b)に示す一つ目の中央部パッキン42の中央部パッキン孔44aに導入されると、パッキン内微細孔46aを介して隣接する中央部パッキン孔44bに至る。続いてパッキン内微細孔46b,46cを介して、それぞれ中央部パッキン孔44c,44dに潤滑油が至って排出され、図9(c)に示す下流側のオリフィス部材40Bに至り、オリフィス孔12を貫通する。続いて図9(d)に示す中央部パッキン42内でも上述のように潤滑油がパッキン内を循環し、中央部パッキン孔44dから排出される。
【0038】
上述の潤滑油が、図9(e)に示すオリフィス部材40Cに至ると同様の流れによって、図9(f)に示す中央部パッキン42内を循環し、図9(g)に示すオリフィス部材40Dのオリフィス孔12を貫通して排出される。
【0039】
上記の多段オリフィス35によれば、オリフィス部材40A,40B,40C,40Dが備えるオリフィス孔12と当該オリフィス孔12が開口する空間となる中央部パッキン42が備えるパッキン孔44aとによりオリフィス機構が形成される。また、オリフィス部材40A,40B,40C,40Dの壁面(表面)が中央部パッキン42を挟持することにより形成されるパッキン内微細孔46a,46b,46cと当該微細孔46a,46b,46cが開口する空間となるパッキン孔44b,44c,44dとによってもオリフィス機構が形成され、両者をあわせたオリフィス機構を備える構成が実現される。
【0040】
そして、本実施形態では略直交するようになるが、連設方向に交差するように多段オリフィス35内部に折り返し流路を形成するべく、パッキン内微細孔46a,46b,46cもオリフィスとしての機能を有することになるので、油戻し通路10の長さを変えなくても流通する流量の絞り機能を向上させることができる。具体的には、オリフィス部材40A,40B,40C,40Dに中央部パッキン42が挟持されて形成されるパッキン孔44b,44cとパッキン内微細孔46bが流路折り返し部として機能する。
【0041】
次に、本発明に係る第の実施形態について、図10、図11を参照して説明する。
なお、以下の説明において、上記実施形態において説明した同一の構成要素には同一符号を付し、その説明は省略する。
【0042】
の実施形態と第の実施形態との異なる点は、第の実施形態では、中央部パッキンにパッキン内微細孔を設けてパッキンにオリフィス機能を付加しているのに対して、第2の実施形態の多段オリフィス48では、図10に示すように油戻し通路10内に配設された中央部パッキン50A,50Bが、図11に示すように中央部パッキン孔52a,52bを直接連通させるパッキン内毛細管54を備え、流路折り返し部を形成するとともにパッキンにキャピラリ機能を付加している点である。
【0043】
ここで、中央部パッキン孔52aは、上流側に隣接して配設されているオリフィス孔12に連通するように配設され、中央部パッキン孔52bは、下流側に隣接して配設されている他のオリフィス孔12に連通するように配設されている。これらオリフィス部材40A,40B,40Cと、中央部パッキン50A,50Bとともに、1つの端部パッキン孔58aを有する端部パッキン58A,58Bが多段オリフィス48の両端部に配設されている。
【0044】
上記の構成からなる多段オリフィス48において、潤滑油が図11(a)に示すオリフィス部材40Aのオリフィス孔12から図11(b)に示す中央部パッキン50Aの中央部パッキン孔52aに流れると、パッキン内毛細管路54を流通して他の中央部パッキン孔52bに至って排出される。その後、図11(c)に示す下流側の他のオリフィス部材40Bに至りオリフィス孔12を貫通する。同様に図11(d)に示す中央部パッキン50B、図11(e)に示すオリフィス部材40Cを流通する。
【0045】
この多段オリフィス48によれば、パッキン内毛細管54がキャピラリとしての機能を有することになるので、油戻し通路10の長さを変えなくても流通する流量の絞り機能を向上させることができる。
【0046】
次に、本発明に係る第の実施形態について、図12を参照して説明する。
なお、以下の説明において、上記実施形態において説明した同一の構成要素には同一符号を付し、その説明は省略する。
【0047】
の実施形態と上記第の実施形態との異なる点は、第の実施形態における多段オリフィス60は、図12(a)及び(b)に示すように、外周部に位置決め用の凸部(部材側凸部)62a,64aがそれぞれ形成されたオリフィス部材62と、パッキン64とを備えている点である。
また、油戻し通路66の内周部には、凸部62a,64aとそれぞれ係合する位置決め用の凹部(孔側凹部)66aが形成されている。
【0048】
上記の構成からなる多段オリフィス60は、油戻し通路66内での組立て時に、オリフィス部材62とパッキン64の凸部62a,64aを、油戻し通路66の凹部66に係合させることによって組み立てられる。
【0049】
この多段オリフィス60によれば、オリフィス部材やパッキンの組立時に特別な道具を使用することなく、容易に油戻し通路内に位置決めして配設することができるので、組立作業性が向上する。
【0050】
なお、上記実施の形態では、オリフィス部材やパッキン側に位置決め用の凸部が設けられているが、オリフィス部材やパッキン側が凹部であって、油戻し通路側が凸部であっても、上記と同様の作用・効果を得ることができる。
また、上記第1または実施形態の何れかに、上述の凹部及び凸部形状を適用しても構わない。
【0051】
次に、本発明に係る第の実施形態について、図13を参照して説明する。
なお、以下の説明において、上記実施形態において説明した同一の構成要素には同一符号を付し、その説明は省略する。
【0052】
の実施形態と第の実施形態との異なる点は、多段オリフィス70が、オリフィス部材40A,40B,40Cの上流側の流路内に配設されオリフィス孔12の径よりも小さい網目から構成されているフィルタ(メッシュ部材)72を備えていることである。
【0053】
上記の構成からなる多段オリフィス70においては、潤滑油内に異物等が混入していてもフィルタ74の網目でせき止められるので、下流側に異物が流がれず、オリフィス孔12が異物によって塞がれることを抑制することができる。
【0054】
したがって、この多段オリフィス70によれば、潤滑油が必要とされる部分に、安定した潤滑油量とともに異物が抑えられた潤滑油を提供することができる。
【0055】
次に、本発明に係る第の実施形態について、図14を参照して説明する。
なお、以下の説明において、上記実施形態において説明した同一の構成要素には同一符号を付し、その説明は省略する。
【0056】
の実施形態と第の実施形態との異なる点は、第の実施形態では単に油戻し通路10内にオリフィス部材40A,40B,40Cと中央部パッキン50A,50B及び端部パッキン58A,58Bが挿入されているのに対し、第の実施形態の多段オリフィス75が、内部が貫通されたプラグ部材80内に、オリフィス部材40A,40B,40Cと中央部パッキン50A,50B及び端部パッキン58A,58Bとが交互に連設されて構成され、油戻し通路82内にねじ止めされている点である。
すなわち、本実施形態のプラグ部材80には、外周面に雄ねじ部(着脱機構)84が形成され、油戻し通路82内面には、雄ねじ部84と螺合される雌ねじ部(着脱機構)86が形成されている。
【0057】
上記の構成からなる多段オリフィス75は、あらかじめプラグ部材80内に複数個のオリフィス部材40A,40B,40Cと中央部パッキン50A,50B,及び端部パッキン58A,58Bとが配設された後、油戻し通路82内の雌ねじ部86に雄ねじ部84とを螺着させて組み立てられる。すなわち、プラグ部材80の雄ねじ部84と油戻し通路82の雌ねじ部86とは、着脱機構として機能する。
【0058】
この多段オリフィス75によれば、取付対象物とは別に組み立てられるので、取扱性や組立性が向上するとともに、取外し可能となるためメンテナンス性も向上する。なお、取付対象物としては、スクロール型圧縮機に限られず、ロータリ型、スクリュー型、遠心型などの圧縮機や、さらには、アクチュエータなど圧縮機以外の潤滑油量制御を行う機械などが挙げられる。また、水量調節を必要とする配管内部等で使用しても好適に機能するものである。
【0059】
【発明の効果】
以上説明した本発明の流量制御機構においては以下の効果を奏する。
本発明は、パッキンに折返し用パッキン孔を備え、複数の連設方向流路が折返されて一つの流路として連通されている。また、本発明は、パッキンにパッキン孔と、パッキン内微細孔又はパッキン孔毛細管路とが設けられているので、より長い流体の流路長を確保でき、圧力損失量を増加させることができる。
【0060】
したがって、これらの本発明によれば、流量制御機構を小型化でき、流路長さ寸法の制約を受ける部位にも取付できる。特に、冷凍空調用圧縮機の油戻し通路に好適である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の参考例における多段オリフィスを示す断面図である。
【図2】本発明の参考例のスクロール型圧縮機の主要部を示す断面図である。
【図3】本発明の参考例の多段オリフィスにおけるオリフィス部材を示す平面図である。
【図4】本発明の参考例の多段オリフィスにおける中央部パッキンを示す平面図である。
【図5】本発明の参考例の多段オリフィスにおける端部パッキンを示す平面図である。
【図6】本発明の参考例におけるオリフィス部材の他の例を示す平面図である。
【図7】本発明の参考例における中央部パッキンの他の例を示す平面図である。
【図8】本発明の参考例における端部パッキンの他の例を示す平面図である。
【図9】本発明の第の実施形態の多段オリフィスにおけるオリフィス部材とパッキンとを上流側から連設順に示す平面図である。
【図10】本発明の第2の実施形態の多段オリフィスを示す断面図である。
【図11】本発明の第の実施形態の多段オリフィスにおけるオリフィス部材とパッキンとを上流側から連設順に示す平面図である。
【図12】本発明の第の実施形態において取付状態の多段オリフィスにおけるオリフィス部材とパッキンを示す軸方向に直交した方向の断面図である。
【図13】本発明の第の実施形態の多段オリフィスを示す断面図である。
【図14】本発明の第の実施形態の多段オリフィスを示す断面図である。
【符号の説明】
1、35、48、60、70、75 多段オリフィス(流量制御機構)
2 スクロール型圧縮機(取付対象物)
10、66、82 油戻し通路(貫通孔)
12a、12b、12c オリフィス孔
14A、14B、14C、40A、40B、40C、40D、62 オリフィス部材
18A、50A、50B 中央部パッキン(パッキン)
18B、18C、18E、18F、58A、58B 端部パッキン(パッキン)
18a、18b、18c、44a、44b、44c、44d 中央部パッキン孔(パッキン孔)
18d、58a 端部パッキン孔(パッキン孔)
18e 折返し用パッキン孔(パッキン孔)
30a、30b、30c 連設方向流路
46a、46b、46c パッキン内微細孔
54 パッキン内毛細管路
62a、64a 凸部(部材側凸部)
64 パッキン
66a 凹部(孔側凹部)
72 フィルタ(メッシュ部材)
80 プラグ部材
84 雄ねじ部(着脱機構)
86 雌ねじ部(着脱機構)

Claims (5)

  1. オリフィス孔を有するオリフィス部材と、パッキン孔を有するパッキンとが取付対象物の貫通孔内に交互に連設され、前記オリフィス孔と前記パッキン孔とが連通されて流体の流路が形成される流量制御機構であって、
    前記パッキンには、複数の前記パッキン孔が形成され、
    上流側の前記オリフィス孔に連通する一つの前記パッキン孔と、下流側の前記オリフィス孔に連通する他の前記パッキン孔とを、直接又は異なる別のパッキン孔を介して連通させるパッキン内微細孔又はパッキン孔毛細管路を備えていることを特徴とする流量制御機構。
  2. 前記オリフィス部材及び前記パッキンは、それぞれ外周部に位置決め用の部材側凹部又は部材側凸部が形成され、
    前記取付対象物の貫通孔には、内周面に前記部材側凹部又は部材側凸部に係合する孔側凸部又は孔側凹部が形成されていることを特徴とする請求項記載の流量制御機構。
  3. 少なくとも一つの前記オリフィス部材の上流側に位置する前記流体の流路内に前記オリフィス孔の径よりも小さい網目のメッシュ部材が配設されていることを特徴とする請求項1または2記載の流量制御機構。
  4. 前記オリフィス部材と前記パッキンとが内部貫通孔に連設されて構成されるプラグ部材を備え、
    該プラグ部材を前記取付対象物の貫通孔に着脱させる着脱機構を備えていることを特徴とする請求項1から3の何れかに記載の流量制御機構。
  5. 前記着脱機構は、前記プラグ部材の外周面に形成された雄ねじ部と、前記取付対象物の貫通孔内面に形成され前記雄ねじ部と螺合される雌ねじ部とで構成されていることを特徴とする請求項記載の流量制御機構。
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