JP4230404B2 - 電界放出型表示装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
カソード基板上に電子放出層を形成する工程と、
前記カソード基板上に、前記電子放出層を覆う絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層を、一方向に長い第1の遮光パターンを有するマスクを介して露光する工程と、
前記絶縁層上に、制御電極を形成するための導電層を形成する工程と、
前記導電層を、前記第1の遮光パターンに対して交差する第2の遮光パターンを有するマスクを介して露光する工程と、
前記絶縁層及び前記導電層のそれぞれの未露光部分を除去する工程と、
電子通過孔を有する遮蔽電極を、その電子通過孔が、前記第1及び第2の遮光パターンの交差部分に対応する領域に重なり合うように取り付ける工程と
を含むことを特徴とする。
図1は、本発明の実施の形態1に係る電界放出型表示装置1の基本構成を層毎に示す斜視図である。図2(a)は、図1に示した電界放出型表示装置1のYZ断面図であり、図2(b)は、図1に示した電界放出型表示装置1のXZ断面図である。図1に示すように、この電界放出型表示装置1は、カソード基板3と、このカソード基板3に対して略平行に配置されたアノード基板15とを有している。カソード基板3とアノード基板15との間には、カソード基板3側から順に、絶縁層7、制御電極9及び遮蔽電極20が形成されている。
図9(a)は、実施の形態2に係る電界放出型表示装置を、アノード基板15を除いた状態で示す平面図である。図9(b)は、図9(a)の線分B−Bにおける断面図であり、図9(c)は、図9(a)の線分C−Cにおける断面図である。図10(a)は、実施の形態2に係る電界放出型表示装置を、アノード基板15及び遮蔽電極20を除いた状態で示す平面図である。図10(b)は、図10(a)の線分B−Bにおける断面図であり、図10(c)は、図10(a)の線分C−Cにおける断面図である。図9及び図10において、実施の形態1で説明した構成要素と同一の構成要素には、同一の符号を付す。
Claims (1)
- カソード基板上に電子放出層を形成する工程と、
前記カソード基板上に、前記電子放出層を覆う絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層を、一方向に長い第1の遮光パターンを有するマスクを介して露光する工程と、
前記絶縁層上に、制御電極を形成するための導電層を形成する工程と、
前記導電層を、前記第1の遮光パターンに対して交差する第2の遮光パターンを有するマスクを介して露光する工程と、
前記絶縁層及び前記導電層のそれぞれの未露光部分を除去する工程と、
電子通過孔を有する遮蔽電極を、その電子通過孔が、前記第1及び第2の遮光パターンの交差部分に対応する領域に重なり合うように取り付ける工程と
を含むことを特徴とする電界放出型表示装置の製造方法。
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