JP4222646B2 - 真空成膜方法および装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空中で薄膜を形成する真空成膜装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
ターゲットと対向して配置された基板の上に薄膜を形成する真空成膜装置は図3と図4に示すように構成されている。
【0003】
この真空成膜装置は光ディスクとなる材質がポリカーボネートの樹脂基板1に成膜する装置で、チャンバー2にはターゲット3と前記の樹脂基板1とを対向して配置し、ターゲット3の背面側にマグネットユニット4を配置している。マグネットユニット4はモータ5によって支持軸6の軸芯7の回りに回転駆動されている。8はチャンバーの壁面などを覆う防着板である。
【0004】
このチャンバー2には、希ガス導入バルブ9を介してアルゴンガス10が導入され、またチャンバー2の雰囲気は真空排気バルブ11を介して高真空ポンプユニット12に接続されて排気されている。
【0005】
この装置では、ターゲット3の裏面側に配置したマグネットユニット4により構成される磁界の影響により、電力印加時にターゲット3の表面上に高密度プラズマ領域13が形成され、樹脂基板1の表面に成膜される。
【0006】
従来の防着板8は、材質がステンレスなどの複数枚の金属板をチャンバー2の内部に配置してチャンバー2への膜の堆積を防止している。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
防着板8は、図4に示すように1枚の底板8aと4枚の側板8b〜8eとで構成されており、ターゲット3の交換時などに行う防着板8の着脱作業が煩わしく、成膜の作業効率の低下の原因となっている。
【0008】
本発明はチャンバーへの膜の堆積を簡単に防止しながら成膜できる真空成膜方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の真空成膜方法は、一体に樹脂成形された防着体をセットし、この状態で成膜を開始して成膜することを特徴とする。
【0010】
この本発明によると、チャンバーの壁面への薄膜の堆積を防止する防着体の着脱が容易で、成膜の作業効率の改善を実現できる。
【0011】
【発明の実施の形態】
請求項1記載の真空成膜方法は、チャンバー中でポリカーボネートの樹脂基板の上に成膜するに際し、前記チャンバーにはチャンバーの壁面と前記樹脂基板の非成膜部のうちの少なくともチャンバーの壁面を覆うように一体に成形された絶縁性で前記樹脂基板と同一のポリカーボネートの防着体をセットし、かつ、前記樹脂基板に対向してターゲットが配置されたターゲットの背面側に設けられたマグネットユニットを支持軸の軸心の回りに回転駆動した状態で成膜を開始して成膜することを特徴とする。
【0012】
請求項2記載の真空成膜装置は、チャンバー中でポリカーボネートの樹脂基板の上に成膜する真空成膜装置であって、チャンバーの壁面と前記樹脂基板の非成膜部のうちの少なくともチャンバーの壁面を覆うように一体に成形された絶縁性で前記樹脂基板と同一のポリカーボネートの防着体を設け、かつ前記樹脂基板に対向してターゲットが配置されると共に、前記ターゲットの背面側には支持軸の軸心の回りに回転駆動するマグネットユニットを設けたことを特徴とする。
【0013】
以下、本発明の真空成膜方法を図1と図2に示す具体的な実施の形態に基づいて説明する。
【0014】
なお、従来例を示す図3と図4と同様の作用を成すものには同一の符号を付けて説明する。
(実施の形態)
図1と図2は本発明の真空成膜方法を実現する真空成膜装置を示す。
【0015】
この真空成膜装置は光ディスクとなる材質がポリカーボネートの樹脂基板1に成膜する装置で、チャンバー2にはターゲット3と前記の樹脂基板1とを対向して配置し、ターゲット3の背面側にマグネットユニット4を配置している。マグネットユニット4はモータ5によって支持軸6の軸芯7の回りに回転駆動されている。14はチャンバーの壁面などを覆う防着体である。
【0016】
このチャンバー2には、希ガス導入バルブ9を介してアルゴンガス10が導入され、またチャンバー2の雰囲気は真空排気バルブ11を介して高真空ポンプユニット12に接続されて排気されている。
【0017】
防着体14は、材質が樹脂で、より具体的には材質が樹脂基板1と同一のポリカーボネートを使用し、図2に示すように底板の部分と側板の部分とが箱形に一体に成形されている。
【0018】
このように構成したため、チャンバー2に樹脂基板1をセットし、さらにチャンバー2の中に、一体に成形された前記の防着体14をセットし、チャンバー2を閉塞し、希ガス導入バルブ9を介してアルゴンガス10をチャンバーに導入し、またチャンバー2の雰囲気をは真空排気バルブ11を介して高真空ポンプユニット12によって排気することによって、樹脂基板1の表面に成膜される。
【0019】
したがって、一体に成形された防着体14をチャンバー2にセットすることによって、従来のように複数枚の平板をチャンバー2の内部でその都度に組み立てて成膜する場合に比べて、作業性が良好である。
【0020】
また、防着体14が樹脂製であるため絶縁性があり、異常放電を抑えることで高品質の薄膜が得られる。
さらに、防着体14の材質が成膜を受ける樹脂基板1と同じ材質のポリカーボネートであるため、樹脂基板1の上に成膜された薄膜の品質が、防着体をチャンバー2に設けたことによって低下するような事態を防止でき、高品質の薄膜を樹脂基板1の表面に形成することができる。
【0022】
上記の実施の形態では、チャンバーの壁面および樹脂基板1の非成膜部を覆うように一体に樹脂成形された防着体14を使用したが、防着体14が樹脂基板1の非成膜部を覆わない場合も同様である。
【0023】
【発明の効果】
以上のように本発明の真空成膜方法によれば、チャンバー中でポリカーボネートの樹脂基板の上に成膜するに際し、前記チャンバーにはチャンバーの壁面と前記樹脂基板の非成膜部のうちの少なくともチャンバーの壁面を覆うように一体に成形された絶縁性で前記樹脂基板と同一のポリカーボネートの防着体をセットし、かつ、前記樹脂基板に対向してターゲットが配置されたターゲットの背面側に設けられたマグネットユニットを支持軸の軸心の回りに回転駆動した状態で成膜を開始して成膜するので、従来のように複数枚の平板をチャンバーの内部でその都度に組み立てて成膜する場合に比べて、作業性が良好である。
【0024】
さらに、防着体の材質が成膜を受ける樹脂基板と同じ材質にした場合には、樹脂基板の上に特に高品質の薄膜を形成できる。
また、本発明の真空成膜装置は、チャンバー中でポリカーボネートの樹脂基板の上に成膜する真空成膜装置であって、チャンバーの壁面と前記樹脂基板の非成膜部のうちの少なくともチャンバーの壁面を覆うように一体に成形された絶縁性で前記樹脂基板と同一のポリカーボネートの防着体を設け、かつ前記樹脂基板に対向してターゲットが配置されると共に、前記ターゲットの背面側には支持軸の軸心の回りに回転駆動するマグネットユニットを設けたことを特徴とし、上記の真空成膜方法を実現できる。
【0025】
さらに、防着体の材質を成膜を受ける樹脂基板と同一材質にすることによって、この真空成膜装置を使用すると、樹脂基板の上に特に高品質の薄膜を形成できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の(実施の形態)の真空成膜装置の断面図
【図2】同実施の形態のチャンバーと防着体の分解斜視図
【図3】従来の真空成膜装置の断面図
【図4】同従来例のチャンバーと防着板の分解斜視図
【符号の説明】
1 樹脂基板
2 チャンバー
3 ターゲット
4 マグネットユニット
5 モータ
6 支持軸
7 支持軸の軸芯
9 希ガス導入バルブ
10 アルゴンガス
11 真空排気バルブ
12 高真空ポンプユニット
14 防着体
Claims (2)
- チャンバー中でポリカーボネートの樹脂基板の上に成膜するに際し、前記チャンバーにはチャンバーの壁面と前記樹脂基板の非成膜部のうちの少なくともチャンバーの壁面を覆うように一体に成形された絶縁性で前記樹脂基板と同一のポリカーボネートの防着体をセットし、かつ、前記樹脂基板に対向してターゲットが配置されたターゲットの背面側に設けられたマグネットユニットを支持軸の軸心の回りに回転駆動した状態で成膜を開始して成膜する
真空成膜方法。 - チャンバー中でポリカーボネートの樹脂基板の上に成膜する真空成膜装置であって、チャンバーの壁面と前記樹脂基板の非成膜部のうちの少なくともチャンバーの壁面を覆うように一体に成形された絶縁性で前記樹脂基板と同一のポリカーボネートの防着体を設け、かつ前記樹脂基板に対向してターゲットが配置されると共に、前記ターゲットの背面側には支持軸の軸心の回りに回転駆動するマグネットユニットを設けた
真空成膜装置。
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