JP4222180B2 - 電子部品搭載装置および電子部品搭載方法 - Google Patents
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に装着され前記部品保持治具を把持して第1方向に移動させることにより前記電子部品供給部の部品保持治具を交換する治具交換機構とを備え、前記治具交換機構は、前記移動ビームに第1方向に移動自在に装着され前記部品保持治具を把持する治具把持部と、この治具把持部を前記移動ビームに対して第1方向に進退させる進退手段とを備えた電子部品搭載装置による電子部品搭載方法であって、前記作業ヘッドを前記電子部品供給部に進出させるために前記移動ビームを移動させる作業ヘッド進出ステップと、作業ヘッドによる作業完了後に作業ヘッドを電子部品供給部の上方から退避させるために移動ビームを移動させる作業ヘッド退避ステップとを含み、前記作業ヘッド進出ステップおよび作業ヘッド退避ステップを反復実行する過程において、前記治具交換機構に設けられた進退手段によって前記治具把持部を前記移動ビーム部材に対して第1方向に進退させる。
5を積層状態で収納したマガジンを保持して昇降させるマガジン保持部11およびマガジン保持部11内でマガジンを昇降させるリフタ機構12を備えている。このようなウェハ供給部10の配置を採用することにより、大型のウェハを多数収納したマガジンをマガジン保持部11に装着する場合においても、マガジンを搭載した台車などの専用ハンドリング装置を容易にマガジン保持部11にアクセスさせることができ、操作性を向上させることが可能となっている。
6の撮像のための電子部品供給部4の上方での移動と、電子部品供給部4上からの退避のための移動とを行うことができる。部品認識カメラ25は、部品供給部4の上方に進出した状態でウェハリング5に保持されたチップ6を撮像する。そしてこの撮像結果を部品認識処理手段(図示省略)によって認識処理することにより、取り出し対象のチップ6の位置が認識される。搭載ヘッド22によるチップ6の取り出し時には、この認識結果に基づいてノズル22aをチップ6に対して位置合わせする。
X軸テーブル24をウェハ供給部10に接近させ、治具把持部39のチャック爪によって新たなウェハリング5を把持する。ウェハリング5の把持が完了したならば、第2のX軸テーブル24は、部品供給部4へ向かってY方向へ移動する。
3 基板
4 電子部品供給部
5 ウェハリング
6 チップ
7 治具ホルダ
10 ウェハ供給部
20A 第1のY軸テーブル
20B 第2のY軸テーブル
21 第1のX軸テーブル
22 搭載ヘッド
23 基板認識カメラ
24 第2のX軸テーブル
25 部品認識カメラ
30 治具交換機構
31 水平移動部
33 シリンダ
36 ベルト
37 第1の連結部
38 第2の連結部
39 治具把持部
Claims (5)
- 部品保持治具に平面状に複数個並べて保持された電子部品を供給する電子部品供給部と、前記電子部品供給部から第1方向へ離れた位置に配置された基板保持部と、前記電子部品供給部からピックアップした電子部品を保持し、保持した電子部品を前記基板保持部に保持された基板に搭載する部品搭載手段と、作業ヘッドが装着され作業ヘッド移動機構によって第1方向に移動する移動ビームと、前記移動ビームに装着され前記部品保持治具を把持して第1方向に移動させることにより前記電子部品供給部の部品保持治具を交換する治具交換機構とを備え、
前記治具交換機構は、前記移動ビームに第1方向に移動自在に装着され前記部品保持治具を把持する治具把持部と、この治具把持部を前記移動ビーム部材に対して第1方向に進退させる進退手段とを備えたことを特徴とする電子部品搭載装置。 - 前記進退手段は、水平方向駆動手段によって前記移動ビームに対して前記第1方向に往復動する水平移動部と、相対向して逆方向に走行する1対の平行走行部を形成する形態で前記水平移動部に走行自在に装着された無端の屈曲材と、前記平行走行部の一方側および他方側を前記移動ビームおよび前記治具把持部にそれぞれ固定連結する第1の連結部および第2の連結部とを備えたことを特徴とする請求項1記載の電子部品搭載装置。
- 前記作業ヘッドは、前記電子部品供給部の電子部品を撮像する部品撮像カメラであることを特徴とする請求項1、2のいずれかに記載の電子部品搭載装置。
- 部品保持治具に平面状に複数個並べて保持された電子部品を供給する電子部品供給部と、前記電子部品供給部から第1方向へ離れた位置に配置された基板保持部と、前記電子部品供給部からピックアップした電子部品を保持し、保持した電子部品を前記基板保持部に保持された基板に搭載する部品搭載手段と、作業ヘッドが装着され作業ヘッド移動機構によって第1方向に移動する移動ビームと、前記移動ビームに装着され前記部品保持治具を把持して第1方向に移動させることにより前記電子部品供給部の部品保持治具を交換する治具交換機構とを備え、
前記治具交換機構は、前記移動ビームに第1方向に移動自在に装着され前記部品保持治具を把持する治具把持部と、この治具把持部を前記移動ビームに対して第1方向に進退させる進退手段とを備えた電子部品搭載装置による電子部品搭載方法であって、
前記作業ヘッドを前記電子部品供給部に進出させるために前記移動ビームを移動させる作業ヘッド進出ステップと、作業ヘッドによる作業完了後に作業ヘッドを電子部品供給部の上方から退避させるために移動ビームを移動させる作業ヘッド退避ステップとを含み、前記作業ヘッド進出ステップおよび作業ヘッド退避ステップを反復実行する過程において、前記治具交換機構に設けられた進退手段によって前記治具把持部を前記移動ビームに対して第1方向に進退させることを特徴とする電子部品搭載方法。 - 前記作業ヘッドは、前記電子部品供給部の電子部品を撮像する部品撮像カメラであり、作業ヘッド進出ステップに引き続いて部品撮像カメラによって前記電子部品供給部の電子部品を撮像することを特徴とする請求項4記載の電子部品搭載方法。
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