JP4219580B2 - 超音波洗浄装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、LCDガラス基板や半導体ウェハなど、薄板状をした被洗浄物の表面を超音波によって洗浄するための超音波洗浄装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一例として、図10および図11に、従来のLCDガラス基板用の超音波洗浄装置を示す。図10はLCDガラス基板用の超音波洗浄装置の略示平面図、図11は図10中のA−A線略示断面図である。
【0003】
図において、1および2は、SUS(ステンレス鋼)や石英、あるいはタンタル(Ta)などで作られた箱状の上側筐体と下側筐体である。この一対の筐体1,2は、お互いの下底面1aと天面2aが向き合うように上下に対向配置されており、この向き合わされた下底面1aと天面2aの間に、洗浄対象とするLCDガラス基板(以下、「基板」と略称)3が非接触状態で通過できる程度のすきま(例えば、3〜7mm程度)からなる洗浄用間隙部4が形成されている。また、上側筐体1または下側筐体2の少なくともいずれか一方、図示例では上側筐体1の内底部には、前記洗浄用間隙部4に向けて超音波を放射する超音波振動子5が接着などによって固着されている。
【0004】
また、上側筐体1と下側筐体2の前後の外壁面部には、前記洗浄用間隙部4に通じる僅かなすきま(例えば、1〜2mm程度)からなる洗浄液供給用通路6と洗浄液排出用通路7がそれぞれ形成されており、洗浄液供給用通路6に連通された洗浄液供給用パイプ8を通じて洗浄用間隙部4内に洗浄液(例えば、純水、電解イオン水、オゾン水、水素水など)を送給するとともに、洗浄液排出用通路7に連通された洗浄液排出用パイプ9を通じて洗浄液を外部へ吸引排出するように構成されている。10はローラコンベアなどの搬送手段であって、洗浄対象とする基板3を洗浄用間隙部4内に搬入・搬出するものである。
【0005】
上記超音波洗浄装置は、次のようにして基板3を超音波洗浄する。
まず最初に、洗浄液供給ポンプ(図示せず)、洗浄液供給用パイプ8、洗浄液供給用通路6を通じて、洗浄液を洗浄用間隙部4内に所定の圧力で送給する。これと同時に、洗浄用間隙部4内を流れてくる洗浄液を、洗浄液排出用通路7、洗浄液排出用パイプ9、洗浄液排出ポンプ(図示せず)を通じて外部へ吸引排出するように設定する。
【0006】
このとき、基板3の濡れ特性、洗浄液の粘性や表面張力などに応じて、洗浄用間隙部4のすきま間隔、送給する洗浄液の流速などを所定の条件を満たすように設定すると、洗浄液供給用通路6から洗浄用間隙部4内に送給された洗浄液は、洗浄用間隙部4の先端側開口11および後端側開口12からわずかに漏れ出すだけで、そのほとんどが洗浄液排出用通路7を通って洗浄液排出用パイプ9から外部へ排出されるようになる。
【0007】
次いで、上側筐体1内に設置した超音波振動子5に所定周波数(例えば、1MHz程度)の高周波電流を供給し、超音波振動子5を振動させる。これによって、超音波振動子5から超音波が発生し、上側筐体1の下底面1aを介して洗浄用間隙部4に向けて放射され、洗浄用間隙部4内を満たしながら流れていく洗浄液粒子を超高速で振動させる。
【0008】
上記の状態で、洗浄対象とする基板3をローラコンベア10に載せて先端側開口11から所定の移動速度で洗浄用間隙部4内に挿入していく。洗浄用間隙部4内に挿入された基板3は、超高速で振動する洗浄液粒子の作用によってその表面を超音波洗浄される。
【0009】
このようにして、基板3は洗浄用間隙部4内を通る間にその表面を超音波洗浄され、洗浄の終わった基板3は後端側開口12から外部へ送り出され、ローラコンベア10によって次の工程へと搬出される。
【0010】
上記した超音波洗浄装置は、間隔の狭い洗浄用間隙部4内に洗浄液を流しながら基板を超音波洗浄するようにしているため、他の超音波洗浄装置に比べて洗浄液の使用量が格段に少なくて済み、極めて高い節水効果を上げることができるものである。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記した従来の超音波洗浄装置の場合、洗浄用間隙部4に対する洗浄液の供給と排出は、上側筐体1と下側筐体2の前後の外壁面に形成した洗浄液供給用通路6および洗浄液排出用通路7を通じて行なっているが、この2つの通路6,7は図12および図13に示すような構造になるものであった。
【0012】
図12は上側筐体1部分の洗浄液供給用通路6と洗浄液排出用通路7の分解斜視図、図13はパッキン14の部分拡大図であって、図12に示すように、下縁部に複数個の三角形切り込み13を形成したフッ素系樹脂などからなる薄板状のパッキン14を用意し、このパッキン14の外側に洗浄液供給用パイプ8または洗浄液排出用パイプ9を取り付けられたL形の押さえ板15を重ね合わせ、上側筐体1の前後の外壁面部にネジ止めや接着などによって固着したものである。
【0013】
洗浄液供給用パイプ8および洗浄液排出用パイプ9は、図13に示すように、それぞれパッキン14の三角形切り込み13の頂角位置に臨むように配置されており、三角形切り込み13の頂角位置から洗浄液を流し込みあるいは吸い出すことにより、三角形切り込み13の三角形空隙部分を洗浄液供給用通路6、洗浄液排出用通路7としたものである。
【0014】
なお、下側筐体2は前記上側筐体1を上下逆さまに配置しただけであり、構造自体は上側筐体1とまったく同じものであるので、下側筐体2の洗浄液供給用通路6と洗浄液排出用通路7については図示を省略する。また、前記洗浄液供給用通路6と洗浄液排出用通路7は、常に上側筐体1と下側筐体2の両方に形成されるものではなく、洗浄目的によっては、上側筐体1の側だけ、あるいは下側筐体2の側だけに設けられる場合もある。
【0015】
従来の超音波洗浄装置では、上記構造になる洗浄液供給用通路6と洗浄液排出用通路7を採用していたが、次のような問題があった。すなわち、従来の超音波洗浄装置の場合、パッキン14は、その下縁部に三角形切り込み13を形成するだけで洗浄液供給用通路6または洗浄液排出用通路7を形成することができ、構造簡単で製作が容易であり、コスト的には有利であるが、各三角形切り込み13が独立しているため、洗浄液供給用パイプ8と洗浄液排出用パイプ9の数が三角切り込み13の数だけ必要となる。
【0016】
例えば、全幅700mmサイズのパッキンの場合を例にとると、パッキンの下縁部に沿って三角形切り込み13を8個程度形成しているが、これに合わせて洗浄液供給用パイプ8または洗浄液排出用パイプ9も8個必要であった。したがって、図10および図11に例示した超音波洗浄装置の場合、前側の上下の壁面部に洗浄液供給用パイプ8が8本ずつ計16本、後ろ側の上下の壁面部に洗浄液排出用パイプ9が8本ずつ計16本、合わせて32本の給排水用のパイプが必要となり、装置設計の大きな制約となっていた。
【0017】
また、それぞれの三角形切り込み13が独立しているため、洗浄液供給用通路6側においては、洗浄用間隙部4内に流れ込む洗浄液の流量分布特性が図14に示すようなものとなり、隣り合う三角形切り込み13の境界付近で流量差を生じて不均一な流れの給水となってしまい、場合によっては洗浄結果に影響を与えることがあった。
【0018】
また、三角形切り込み13は下側の方(図13において)がその開口面積が大きいため、洗浄液排出用通路7側においては、洗浄液と一緒に空気を吸い込みやすく、洗浄液の回収率を或る程度以上(例えば70%以上)に上げることが難しかった。
【0019】
本発明は、上記のような問題を解決するためになされたもので、被洗浄物の挿通される洗浄用間隙部の全幅にわたって均一な流量分布特性が得られるとともに、洗浄液を給排水するパイプの数も格段に低減可能な超音波洗浄装置を提供することを目的とするものである。
【0020】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の超音波洗浄装置は、洗浄液供給用通路および洗浄液排出用通路を、筐体外壁面に沿わされた薄板状のパッキンと、該パッキンを筐体外壁面に水密に固着する押さえ板とで構成し、前記パッキンには、洗浄用間隙部の幅方向に沿う1つまたは複数個の長穴を形成するとともに、該長穴の洗浄用間隙部と対向する側の内周壁部には、長穴内と前記洗浄用間隙部との間を連通する小径の整流孔を複数穿設したものである。
【0021】
なお、前記押さえ板には、給排水のためのパイプの数を可能な限り少なくするために、前記パッキンの1つの長穴毎に1本の洗浄液供給用パイプまたは洗浄液排出用パイプを取り付けることが望ましい。また、前記洗浄液供給用パイプまたは洗浄液排出用パイプは、洗浄液をムラなくスムーズに供給あるいは排出するために、前記パッキンの整流孔を穿たれた側の内周壁部と反対側の内周壁部の中央部付近に臨むように配置することが望ましい。また、前記パッキンは、被洗浄物が通過する洗浄用間隙部の先端側開口と後端側開口からの洗浄液の漏出をより少なくするために、親水性材料で構成するとともに、前記押さえ板を疎水性材料で構成することが望ましい。
【0022】
上記のような構成とした場合、パッキンの長穴内に送給された洗浄液は、一旦長穴内に溜められた後、長穴内周壁部に形成された多数の整流孔から洗浄用間隙部内へと送り出される。このため、洗浄用間隙部の全幅にわたって洗浄液がほぼ均等に供給され、洗浄用間隙部の全幅にわたって均一な流量分布特性を得ることができる。また、洗浄液供給用パイプまたは洗浄液排出用パイプは、各長穴毎に1本づつ配管するだけでよいので、洗浄液を給排水パイプの数も格段に低減することができる。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図1〜図3に、本発明の超音波洗浄装置で用いるパッキン24と押さえ板25の第1の例を示す。図1は上側筐体1のパッキン24と押さえ板25部分の分解斜視図、図2(a)はパッキン24の部分拡大図、図2(b)は図2(a)中のB−B線略示断面図である。なお、パッキン24と押さえ板25以外の他の部分の装置構成は、前述した従来装置(図10、図11)と同様であるので、これらの部分については図示を省略する。
【0024】
図示例のパッキン24は、フッ素系樹脂、SUS(ステンレス鋼)、セラミックなどで構成されており、これら素材からなる板状体(例えば、板厚3mm)の表裏面を貫いて、長方形状をした2つの長穴23がパッキン24の下縁に沿って形成されている。この長穴23の上辺側の内周壁部の中央位置には、洗浄液供給用パイプ8または洗浄液排液用パイプ9を長穴23内に臨ませるための三角形状をしたパイプ挿通溝26が形成されているとともに、下辺側の内周壁部には、長穴23内とパッキン下面部との間を貫いて、小径(例えば、1.2mmφ)の整流孔27が所定ピッチ(例えば、4mm間隔)で多数形成されている。
【0025】
一方、押さえ板25は、パッキン24と同じくフッ素系樹脂、SUS(ステンレス鋼)、セラミックなどで構成されており、パッキン24のパイプ挿通溝26と対応する位置に、洗浄液供給用パイプ8、洗浄液排出用パイプ9がそれぞれ取り付けられており、パッキン24と押さえ板25を重ね合わせて上側筐体1および下側筐体2に固着したとき、洗浄液供給用パイプ8と洗浄液排出用パイプ9がそれぞれパッキン24のパイプ挿通溝26の頂角位置に臨むように構成されている。
【0026】
前記構造になるパッキン24と押さえ板25を用いて超音波洗浄装置を製造した場合、洗浄液供給用パイプ8から送給された洗浄液は、パイプ挿通溝26部分からパッキン24の長穴23内に送り込まれ、一旦長穴23内に貯溜された後、整流孔27を通じて超音波洗浄装置の洗浄用間隙部4(図11参照)へと供給されるようになる。
【0027】
この結果、洗浄用間隙部4に供給される洗浄液の流量特性は、図3に示すようにその全幅にわたってほぼ均一な流量特性となり、場所的な流量の違いによる洗浄効果のばらつきを防止でき、より高精度の超音波洗浄を実現できる。
【0028】
また、洗浄用間隙部4の後端側まで達した洗浄液は、後端側のパッキン24の径の小さな整流孔27から長穴23内へと吸い込まれた後、パイプ挿通溝27部分に臨まされた洗浄液排出用パイプ9を通じて外部へ排出されるため、従来に比べて空気の吸い込みが少なくなり、最大でも70%程度であった洗浄液の回収率を80%程度まで上げることができる。
【0029】
また、この第1の例のパッキン24の場合、1個のパッキンに長穴23が2個形成されているので、1個のパッキンについて洗浄液供給用パイプ8または洗浄液排出用パイプ9の数が2本で済み、図11のごとき構造になる超音波洗浄装置全体で見ると、後ろ側の上下の壁面部に洗浄液供給用パイプ8が4本、前側の上下の壁面部に洗浄液排出用パイプ9が4本、計8本で済み、前述した従来装置の32本に比べてパイプの数を1/4に減らすことができる。
【0030】
なお、パッキン24と押さえ板25は、前述したようにフッ素系樹脂、SUS(ステンレス鋼)、セラミックなどで構成されるが、より好ましくは、パッキン24を親水性の材料、例えばSUS(ステンレス鋼)で構成するとともに、押さえ板25を疎水性の材料、例えばフッ素系樹脂で構成することが好ましい。このようにパッキン24を親水性材料で構成するとともに、押さえ板25を疎水性材料で構成した場合、図4の模式説明図に示すように、親水性材料からなるパッキン24の有する液体に濡れやすい性質と、疎水性材料からなる押さえ板25の有する液体を弾きやすい性質との相乗効果により、基板3の通過する洗浄用間隙部4の先端側開口11と後端側開口12からの洗浄液の漏出をより少なく抑えることができ、洗浄液の回収率をさらに高めることができる。
【0031】
図5に、本発明の超音波洗浄装置で用いるパッキン24の第2の例を示す。
この第2の例のパッキン24は、パッキン全幅にまたがって、1個の長方形状の長穴23を形成した場合の例である。この第2の例のパッキン24を用いた場合、1個のパッキンで洗浄液供給用パイプ8または洗浄液排出用パイプ9が1本で済むので、図11の装置全体で見ると、後ろ側の上下の壁面部に洗浄液供給用パイプ8が2本、前側の上下の壁面部に洗浄液排出用パイプ9が2本、計4本で済み、前述した従来装置の32本に比べてパイプの数を1/8に減らすことができる。
【0032】
図6に、本発明の超音波洗浄装置で用いるパッキン24の第3の例を示す。
この第3の例のパッキン24は、長穴23の上辺部を山形の傾斜面28としたものである。このように山形の傾斜面28を有する長穴23とした場合、洗浄液供給用パイプ8から供給された洗浄液は山形の傾斜面28に沿って長穴23の全体に速やかに広がり、また、洗浄液排出用パイプ9から排出される洗浄液は山形の傾斜面28に沿ってパイプ9内へスムーズに導かれるようになり、よりスムーズな洗浄液の給排水を実現できる。
【0033】
図7に、本発明の超音波洗浄装置で用いるパッキン24の第4の例を示す。
この第4の例のパッキン24は、長穴23の形状を横に長く広がった三角形とした場合の例であり、この場合も、山形の傾斜面28に沿って洗浄液が導かれていくので、図6の場合と同様の作用効果を奏することができる。
【0034】
なお、長穴23の形状は、前述した各例のものに限られるものではなく、パッキン24の下縁部に沿った細長い穴状であれば、他の穴形状であっても実施可能である。
【0035】
図8に、本発明のパッキンを用いた場合と、従来のパッキンを用いた場合の流量特性の実測比較図を示す。図8中の特性曲線aは、図9(a)に示した本発明のパッキン24を用いた場合の流量特性、また図8中の特性曲線bは、図9(b)に示した従来のパッキン14を用いた場合の流量特性をそれぞれ示すものである。
【0036】
この図8に示した流量特性曲線a,bから明らかなように、本発明のパッキン24を用いた場合には、従来のパッキンに比べて流量のばらつきが格段に少なくなり、パッキンの全幅、すなわち洗浄用間隙部4(図11参照)の全幅にわたってほぼ均一な流量特性を得ることができる。
【0037】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の超音波洗浄装置によれば、洗浄液供給用通路および洗浄液排出用通路を形成するパッキンとして、洗浄用間隙部の幅方向に沿う1つまたは複数個の長穴を形成するとともに、該長穴の洗浄用間隙部と対向する側の内周壁部には、長穴内と前記洗浄用間隙部との間を連通する小径の整流孔が複数穿設したパッキンを用いたので、被洗浄物が通過する洗浄用間隙部の全幅にわたって均一な流量特性を得ることができ、より優れた洗浄効果を挙げることができる。また、小さな径の整流孔を通じて洗浄液を吸い上げて外部へ排出するので、空気を吸い込む割合が少なくなり、洗浄液の回収率を向上することができる。
【0038】
また、1つの長穴に1本の洗浄液供給用パイプまたは洗浄液排出用パイプを取り付けるだけで済むので、洗浄液を給排水するためのパイプの数も従来の超音波洗浄装置に比べて格段に低減することができ、その分装置設計の自由度を上げることができる。
【0039】
また、洗浄液供給用パイプまたは洗浄液排出用パイプを、パッキンの整流孔を穿たれた側の内周壁部と反対側の内周壁部の中央部付近に臨むように配置した場合、流量特性がより平坦となり、よりスムーズな洗浄液の給排水を行なうことができる。
【0040】
さらに、パッキンを親水性材料で構成するとともに、押さえ板を疎水性材料で構成した場合には、被洗浄物が通過する洗浄用間隙部の先端側開口と後端側開口からの洗浄液の漏出をより少なくすることができ、洗浄液の回収率をさらに高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の超音波洗浄装置で用いるパッキンと押さえ板の第1の例を示すもので、上側筐体のパッキンと押さえ板部分の分解斜視図である。
【図2】(a)は図1中のパッキンの部分拡大図、(b)は(a)中のB−B線略示断面図である。
【図3】前記パッキンを用いた場合の流量特性の説明図である。
【図4】パッキンを親水性材料で構成し、押さえ板を疎水性材料で構成した場合の洗浄液の漏れ防止効果の模式説明図である。
【図5】パッキンの第2の例を示す正面図である。
【図6】パッキンの第3の例を示す正面図である。
【図7】パッキンの第4の例を示す正面図である。
【図8】本発明で用いるパッキンと従来のパッキンの流量特性の実測比較図である。
【図9】図8の流量特性の測定に用いたパッキンの形状を示すもので、(a)は本発明のパッキンの正面図、(b)は従来のパッキンの正面図である。
【図10】従来の超音波洗浄装置の略示平面図である。
【図11】図10中のA−A線略示断面図である。
【図12】図11中の上側筐体のパッキンと押さえ板部分の略示分解斜視図である
【図13】従来のパッキンの部分拡大図である。
【図14】従来のパッキンを用いた場合の流量特性図である。
【符号の簡単な説明】
1 上側筐体
2 下側筐体
3 LCDガラス基板(薄板状の被洗浄物)
4 洗浄用間隙部
5 超音波振動子(超音波発生手段)
6 洗浄液供給用通路
7 洗浄液排出用通路
8 洗浄液供給用パイプ
9 洗浄液排出用パイプ
10 ローラコンベア
11 先端側開口
12 後端側開口
23 長穴
24 パッキン
25 押さえ板
26 パイプ挿通溝
27 整流孔
28 傾斜面
Claims (4)
- 上下に対向配置した一対の筐体の間に薄板状の被洗浄物が通過可能な洗浄用間隙部を形成し、該洗浄用間隙部の一方の端部側から洗浄液を供給して他方の端部側から排出するとともに、少なくともいずれか一方の筐体内に超音波発生手段を設け、該超音波発生手段から洗浄用間隙部に向けて超音波を放射しながら洗浄液の流れる洗浄用間隙部内に被洗浄物を通していくことにより、被洗浄物の表面を超音波洗浄するようにした超音波洗浄装置であって、前記筐体の前後の外壁面に前記洗浄用間隙部につながる洗浄液供給用通路と洗浄液排出用通路を形成した超音波洗浄装置において、
前記洗浄液供給用通路および洗浄液排出用通路が、筐体外壁面に沿わされた薄板状のパッキンと、該パッキンを筐体外壁面に水密に固着する押さえ板とで構成され、
前記パッキンには、洗浄用間隙部の幅方向に沿う1つまたは複数個の長穴が形成されているとともに、該長穴の洗浄用間隙部と対向する側の内周壁部には、長穴内と前記洗浄用間隙部との間を連通する小径の整流孔が複数穿設されていることを特徴とする超音波洗浄装置。 - 前記押さえ板には、前記パッキンの1つの長穴毎に1本の洗浄液供給用パイプまたは洗浄液排出用パイプが取り付けられていることを特徴とする請求項1記載の超音波洗浄装置。
- 前記洗浄液供給用パイプまたは洗浄液排出用パイプが、前記パッキンの整流孔を穿たれた側の内周壁部と反対側の内周壁部の中央部付近に臨むように配置されていることを特徴とする請求項2記載の超音波洗浄装置。
- 前記パッキンが親水性材料で構成されているとともに、前記押さえ板が疎水性材料で構成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の超音波洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001245599A JP4219580B2 (ja) | 2001-08-13 | 2001-08-13 | 超音波洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2001245599A JP4219580B2 (ja) | 2001-08-13 | 2001-08-13 | 超音波洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003053283A JP2003053283A (ja) | 2003-02-25 |
JP4219580B2 true JP4219580B2 (ja) | 2009-02-04 |
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ID=19075316
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2001245599A Expired - Fee Related JP4219580B2 (ja) | 2001-08-13 | 2001-08-13 | 超音波洗浄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4219580B2 (ja) |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003053283A (ja) | 2003-02-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051026 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080618 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080805 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080918 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081014 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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