JP4205139B2 - 外観検査装置における外観検査方法 - Google Patents
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Description
次に、第二の実施の形態において、レジスト23の上にシルク24が印刷されている場合における配線パターン21の検査方法について説明する。
11・・・ステージ
12・・・ピックアップ
13・・・画像取得部
14・・・発光部
14a・・・受光部
14b・・・回収部
2・・・プリント基板
21・・・配線パターン
21a・・・ネック
22・・・パッド
23・・・レジスト
23a・・・開口部
23b・・・縁部
24・・・シルク
25・・・突起
26・・・欠け
27・・・太り
28・・・細り
30・・・画像メモリ
31・・・画像取得手段
32・・・第一の画像抽出手段
33・・・記憶手段
34・・・膨張処理手段
35・・・位置合わせ手段
36・・・重複領域抽出手段
37・・・判定手段
41・・・外側境界領域
42・・・内側領域
43・・・重複領域
Claims (4)
- 配線パターン及びパッド及びレジスト及びシルクを形成するための複数の設計データを用いて製造された検査対象物の各形成状態を判定する外観検査方法において、
前記各設計データをそれぞれ異なる膨張率で膨張処理させることによって膨張領域を生成するステップと、
当該生成された一の膨張領域と他の設計データの膨張領域とを重ね合わせることによってそれぞれの膨張領域の重複領域を抽出するステップと、
前記検査対象物から取得された画像における当該重複領域について、他の領域で用いられる判定方法と異なる判定方法で判定を行うステップとを備えたことを特徴とする外観検査方法。 - 配線パターン及びパッド及びレジスト及びシルクを形成するための複数の設計データを用いて製造された検査対象物の各形成状態を判定する外観検査方法において、
前記各設計データをそれぞれ異なる膨張率で膨張処理させることによって膨張領域を生成するステップと、
当該生成された一の膨張領域と他の設計データの膨張領域とを重ね合わせることによってそれぞれの膨張領域の重複領域を抽出するステップと、
前記検査対象物から取得された画像のうち、当該重複領域を除く他の領域について判定を行うステップとを備えたことを特徴とする外観検査方法。 - 配線パターン及びパッド及びレジスト及びシルクを形成するための複数の設計データを用いて製造された検査対象物の各形成状態を判定する外観検査方法において、
前記複数の設計データのうち、いずれか一の設計データを膨張処理して第一膨張領域を生成するステップと、
前記複数の設計データのうち、他の一の設計データを前記膨張処理させた膨張率と異なる膨張率で膨張処理して第二膨張領域を生成するステップと、
前記生成された第一膨張領域と第二膨張領域を重ね合わせることによって重複領域を抽出するステップと、
前記検査対象物から取得された画像のうち、前記第一膨張領域の中から前記重複領域を除外した領域について第一の判定方法で判定するステップと、
前記検査対象物から取得された画像のうち、前記重複領域について前記第一の判定方法と異なる第二の判定方法で判定を行うステップと、
を備えたことを特徴とする外観検査方法。 - 配線パターン及びパッド及びレジスト及びシルクを形成するための複数の設計データを用いて製造された検査対象物の各形成状態を判定する外観検査方法において、
前記複数の設計データのうち、いずれか一の設計データを膨張処理して第一膨張領域を生成するステップと、
前記複数の設計データのうち、他の一の設計データを前記膨張処理させた膨張率と異なる膨張率で膨張処理して第二膨張領域を生成するステップと、
前記生成された第一膨張領域と第二膨張領域を重ね合わせることによって重複領域を抽出するステップと、
前記検査対象物から取得された画像のうち、前記第一膨張領域の中から前記重複領域を除外した領域について第一の判定方法で判定するステップと、
を備えたことを特徴とする外観検査方法。
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