JP4205137B2 - 外観検査装置、および、検査対象物の検査領域抽出方法 - Google Patents
外観検査装置、および、検査対象物の検査領域抽出方法 Download PDFInfo
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Description
次に、レジストの塗布された配線パターン21の形成状態を検査する場合について説明する。図8は、プリント基板2上に形成された配線パターン21であり、23はレジストである。この図において、配線パターン21の上にレジスト23が塗布されているものとする。また、図8において、26は配線パターン21上の欠けであり、25は配線パターン上の突起であり、23dはレジストの塗布状態にムラを生じている部分である。このようにレジスト23の塗布状態にムラ23dを生じていると、レジスト23の表面に凹凸を生じ、その凹凸部分で光の照射角度によって明るくなってしまうことがある。そして、そのムラ23dの輝度と配線パターン21の輝度がほぼ同じになれば、第三の輝度幅で取得された画像にレジスト23のムラ23dがノイズとして被検査画像に含まれてしまう(図8(b))。
次に、第二の実施の形態において、さらに、レジスト23の上にシルク24が印刷されている場合における配線パターン21の検査方法について説明する。
11・・・ステージ
12・・・ピックアップ機構
13・・・画像取得部
14・・・発光部
14a・・・受光部
14b・・・回収部
2・・・プリント基板
21・・・配線パターン
22・・・パッド
23・・・レジスト
23a・・・開口部
23b・・・縁部
24・・・シルク
25・・・突起
26・・・欠け
27・・・太り
28・・・細り
30・・・画像メモリ
31・・・画像取得手段
32・・・第一の画像抽出手段
33・・・記憶手段
34・・・膨張処理手段
35・・・位置合わせ手段
36・・・重複領域抽出手段
37・・・判定手段
Claims (4)
- プリント基板や液晶パネルである検査対象物の形成状態を検査する外観検査装置において、
検査対象物の表面画像を取得する画像取得手段と、
検査対象物を形成する際に使用されたの配線パターン及びパッド及びレジスト及びシルクの各設計データをそれぞれ異なる膨張率で膨張させ、当該異なる膨張率で膨張させた領域を組み合わせることによって得られた領域の内側領域と前記画像取得手段によって取得された画像領域の重複領域を抽出する重複領域抽出手段と、
当該重複領域抽出手段によって抽出された重複領域について良否判定する判定手段とを備えたことを特徴とする外観検査装置。 - 前記膨張させた領域を組み合わせることによって得られた領域が、一の設計データの膨張領域から他の一の設計データの膨張領域を除外して得られた領域である請求項1に記載の外観検査装置。
- プリント基板や液晶パネルである検査対象物の表面に形成された検査領域を抽出する検査領域抽出方法において、
検査対象物の表面画像を取得するステップと、
検査対象物を形成する際に使用された配線パターン及びパッド及びレジスト及びシルクの各設計データをそれぞれ異なる膨張率で膨張させ、当該異なる膨張率で膨張させた領域を組み合わせることによって得られた領域の内側領域と前記取得された画像領域の重複領域を抽出するステップとを備え、当該重複領域について良否を判定するようにしたことを特徴とする検査領域抽出方法。 - 前記膨張させた領域を組み合わせることによって得られた領域が、一の設計データの膨張領域から他の一の設計データの膨張領域を除外して得られた領域である請求項3に記載の検査領域抽出方法。
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JP2011163804A (ja) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Seiko Epson Corp | 異物検出装置および異物検出方法 |
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