JP4200087B2 - 露光方法及び露光装置 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 30
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
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Description
補正値計算器5cは、図2に示すように、図示を省略する起動ボタンがオンされると、サンプリング回数のカウンタiを0にすると共に、校正値αの初期値α0を0として(手順S10)、サンプリング周期tが経過するのを待つ(手順S20)。そして、サンプリング周期tが経過すると、カウンタiに1を加え(手順S30)、その位置における校正値αiを読み込み(手順S40)、今回の校正値αiと前回の校正値αi−1との差Aを求める(手順S50)。
(手順S390)、手順S210の処理を行う。
t サンプリング周期
αi 誤差
αi−1 誤差
Claims (2)
- 被測定物が一定距離移動する毎に信号を出力する測定手段と、分周器と、を備え、露光対象物の光照射装置に対する位置を前記測定手段により測定しながら前記露光対象物と前記光照射装置とを相対的に移動させ、前記分周器により予め定める数の前記信号毎に前記光照射装置を開閉して前記露光対象物に所望のパターンを露光させる露光方法において、
測定値を修正するための校正値として前記測定手段の検出誤差を予め求めておき、
予め定めるサンプリング周期毎に今回の位置における前記校正値と前回の位置における前記校正値との差を求め、
この差が0でない場合は、今回または次回の前記予め定める数に限り、前記予め定める数に前記差に相当する数の前記信号の数を加えた数とすることを特徴とする露光方法。 - 被測定物が一定距離移動する毎に信号を出力する測定手段と、分周器と、を備え、露光対象物の光照射装置に対する位置を前記測定手段により測定しながら前記露光対象物と前記光照射装置とを相対的に移動させ、前記分周器により予め定める数の前記信号毎に前記光照射装置を開閉して前記露光対象物に所望のパターンを露光させる露光装置において、
測定値を修正するための校正値として前記測定手段の検出誤差を予め求める校正値検出手段と、
予め定めるサンプリング周期毎に前記校正値検出手段によって求められた今回の位置における前記校正値と前回の位置における前記校正値との差を求める校正値差分演算手段と、
この校正値差分演算手段によって演算された校正値の差が0でない場合は、今回または次回の前記予め定める数に限り、前記予め定める数に前記差に相当する数の前記信号の数を加えた数として前記光照射装置を開閉して所望のパターンを露光させる制御手段と、
を備えていることを特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003415236A JP4200087B2 (ja) | 2003-12-12 | 2003-12-12 | 露光方法及び露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003415236A JP4200087B2 (ja) | 2003-12-12 | 2003-12-12 | 露光方法及び露光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005173374A JP2005173374A (ja) | 2005-06-30 |
JP4200087B2 true JP4200087B2 (ja) | 2008-12-24 |
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ID=34734803
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2003415236A Expired - Lifetime JP4200087B2 (ja) | 2003-12-12 | 2003-12-12 | 露光方法及び露光装置 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4200087B2 (ja) |
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Publication number | Publication date |
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JP2005173374A (ja) | 2005-06-30 |
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