JP4193513B2

JP4193513B2 - ラッピング加工装置

Info

Publication number: JP4193513B2
Application number: JP2003036702A
Authority: JP
Inventors: 義之千田; 雅彦飯泉; 清長谷川; 正博小又; 崇荻野; 智浩近藤; 和夫武田; 孝文渡辺; 靖志松下
Original assignee: Nissan Motor Co Ltd
Current assignee: Nissan Motor Co Ltd
Priority date: 2003-02-14
Filing date: 2003-02-14
Publication date: 2008-12-10
Anticipated expiration: 2023-02-14
Also published as: JP2004243481A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークの加工面を砥粒付きのラッピングフィルム（以下単にフィルムと称することもある）によりフィルムラッピング加工（以下単にラッピング加工）するラッピング加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、カムシャフトのカムロブ部やジャーナル部あるいはクランクシャフトのジャーナル部やピン部等のような断面円弧状加工面を有するワークを仕上げ加工する場合は、最近、一面に砥粒が設けられたラッピングフィルムによりラッピング加工している。
【０００３】
このラッピング加工は、ワークの加工面をラッピングフィルムで覆い、このフィルムを背面からシューで加圧し、フィルムをワークに押付けた状態でワークを回転しながらフィルムの砥粒面でワークを加工する（下記特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平７−２３７１１６号公報（図１，２及び［特許請求の範囲］参照）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このようなラッピング加工装置に使用されるシューは、一部のシューを除き、スチールあるいは合成樹脂により構成された比較的剛性を有するものである。シューは、その先端部の形状から凸シューと凹シューに分類される。
【０００６】
ラッピング加工装置では、一対のシューがワークを挟持するように設けられているが、前記凸シューは、位置固定的に保持され、その先端部が凸状円弧となっているので、各凸シューは、ワークの円弧状加工面とはフィルムを介してではあるが、いわば１点での線接触となる。
【０００７】
なお、本明細書では、シューがフィルムを介してワークの加工面と間接的に当接することを「接触」、シューがフィルムを介してワークの加工面と間接的に当接する面積のことを「接触面積」と略称する。
【０００８】
一方、前記凹シューは、位置可動的に保持され、その先端部が凸状円弧の連続した「３」の字状となっているので、各凹シューは、ワークの円弧状加工面とはフィルムを介してではあるが、いわば２点での線接触となる。
【０００９】
このようにシューの先端部の形状を凹凸にしてワークに対し線接触させる理由は、シューの背面側から加えられた押付け力をフィルムに確実に伝達し、ラッピング加工するためであり、凹シューの場合、２つの凸部が生じ、この２点（一対設けられているので全部で４点）でワーク外周面と接触するので、これらの点が種々の大きさのワーク外周面に当接することになり、確実なラッピング加工が可能となるからである。
【００１０】
しかし、ラッピング加工は、本来的にはシューとワークとは、接触面積が大きく、その面圧やワークの回転速度も一定で、シューがワークから離れず安定的に加工でき、加工品質の良いものが得られることが好ましいが、前記シューでは、いずれも線接触となっているために、接触面積は小さく、加工品質が向上しない虞がある。最近では、シューの押付け力を制御することにより所定の加工品質を確保することもあるが、機能的にもコスト的にも好ましい対策とはなっていない。特に、カムシャフトのカムロブ部のように、曲率半径が比較的大きな円弧状のベース部と、ほぼ直線的なイベント部と、曲率半径が比較的小さな円弧状のトップ部を有するワークをラッピングで仕上げ加工する場合は、ワークを一定の回転速度にすると、ベース部とイベント部とでは加工速度が異なり、カムロブ部全体が良好な加工品質とならない虞もある。
【００１１】
本発明は、上述の問題点に鑑み、接触面積が大きく、安定的に加工でき、加工品質の向上を図ることができるシューを備えたラッピング加工装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の目的は、下記する手段により達成される。
【００１３】
（１）薄肉基材の一面に砥粒が設けられたラッピングフィルムと、このラッピングフィルムの砥粒面を、曲率半径が大きい部分と小さい部分のある断面円弧状をしたワークの加工面に押圧する押圧手段と、を有し、前記ラッピングフィルムを前記ワークの加工面に押圧した状態で前記ワークを回転させながら加工するラッピング加工装置において、前記押圧手段は、内部空間が仕切壁により仕切られ、流体の注入により膨張し得る袋状部材により構成された弾性変形可能なシューと、当該シューを所定の加圧力でワークの加工面に沿った形状に変形させる押付け手段と、を有するラッピング加工装置。
【００１７】
（２）前記袋状部材は、シューケース内に設けられ、流体の注入により膨張し当該シューケースより一部が突出される前記（１）のラッピング加工装置。
【００１８】
（３）前記袋状部材は、高密度繊維により構成したことを特徴とする前記（１）又は（２）のラッピング加工装置。
【００１９】
（４）前記袋状部材は、内部に流体が密封された弾性体により構成したことを特徴とする前記（１）〜（３）のラッピング加工装置。
【００２０】
（５）前記袋状部材は、内部流体の圧力を調節する圧力調節手段と連結したことを特徴とする前記（１）〜（４）のラッピング加工装置。
【００２１】
（６）前記ラッピングフィルムは、非伸縮性でかつ変形可能な薄肉基材により構成したことを特徴とする前記（１）のラッピング加工装置。
【００２２】
【発明の効果】
請求項１の発明は、ラッピングフィルムを押圧する押圧手段を、内部が仕切壁により仕切られ、流体の注入により膨張し得る袋状部材により構成された弾性変形可能なシューと、このシューを所定の加圧力でワークの加工面に沿って加圧変形させる押付け手段とから構成したので、シューはワークの加工面形状如何に拘わらずワークの加工面に沿うように弾性変形し、大きな接触面積とすることができ、これにより作用砥粒数が増大し、加工時間の短縮を図ることができ、安定的な加工を可能にする。しかも、ラッピングフィルムを押圧する押付け力も均一になり、加工品質の向上と均質化を図ることができる。特に、前記シューは、内部が仕切壁により仕切られ、流体の注入により膨張し得る袋状部材により構成したので、シューを、シューケース内で流体の注入により膨張し、一部をシューケースより突出させると、シューをワークの加工面に沿わせやすく、作業性が良く、また、シュー全体がワークの加工面に沿う形状となるので、大きな接触面積、安定的な加工、押付け力の一定を達成でき、さらなる加工品質の向上を図ることができる。しかも、シュー内が仕切壁により仕切られているので、強度的に優れたものとなり、ハードシューとして使用する場合に好ましいものとなる。
【００２３】
また、シューをワークに対し対向する位置に設けると、ワークとの接触面積がより大きくなり、さらに安定した、加工品質のよい、均質化された加工を迅速に行なうことができる。
【００２６】
請求項２の発明は、シューを、シューケース内で流体の注入により膨張し得る袋状部材とし、一部がシューケースより突出するようにしたので、シューをワークの加工面に沿わせやすく、作業性が良く、また、シュー全体がワークの加工面に沿う形状となるので、大きな接触面積、安定的な加工、押付け力の一定を達成でき、さらなる加工品質の向上を図ることができる。
【００２７】
請求項３の発明は、前記袋状部材を高密度繊維により構成したため、前項の効果に加えて、ワークの加工面に沿って変形しても強度や耐久性のあるシューとすることができる。
【００２８】
請求項４の発明は、前記袋状部材を、内部に流体が封止された弾性体により構成したので、より変形容易となり、種々のワークに対応してラッピング加工を行なうことができる。
【００２９】
請求項５の発明は、袋状部材の密閉空間内に封止された流体圧を圧力調節手段により調整するので、いわゆるハードシューとソフトシューを１つのシューで構成することができ、ワークに応じたラッピング加工を行なうことができ、しかも、面倒なシューの交換作業が低減し、極めて作業能率が向上し、装置構成も簡素化する。
【００３０】
請求項６の発明は、ラッピングフィルムを非伸縮性でかつ変形可能な薄肉基材により構成したので、シューに対応してラッピングフィルムをワークの加工面に沿うように変形でき、押付け力の均一化、安定的な加工を可能にし、加工品質の向上と均質化を図ることができる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００３２】
＜第1実施形態＞
図１，２は本発明の実施形態に係るラッピング加工装置を示す概略断面図であり、図１が押圧アームの閉状態、図２が押圧アームの開状態を示している。
【００３３】
本実施形態のラッピング加工装置について概説すれば、非伸縮性でかつ変形可能な薄肉基材の一面に砥粒が設けられたラッピングフィルム１と、このラッピングフィルム１の砥粒面２をワークＷに押圧する押圧手段１０とを有している。
【００３４】
ラッピングフィルム１は、種々のタイプがあるが、本実施形態では、基材３が非伸縮性の高い材料、例えば、板厚ｔが２５μｍ〜１３０μｍ程度のポリエステルなどから構成され、この基材３の一面には、数μｍ〜２００μｍ程度の粒径を有する多数の砥粒（具体的には、酸化アルミニウム、シリコンカーバイト、ダイアモンド等からなる）が接着剤により取り付けられている。砥粒は、基材３の一面に全面にわたって接着してもよく、また、所定幅の無砥粒領域を間欠的に形成したものであっても良い。基材３の他面には、ゴムあるいは合成樹脂等からなる抵抗材料（図示せず）が取り付けられているが、場合によっては滑り止め加工を施しても良い。
【００３５】
このラッピングフィルム１は、供給リール５から引き出され、一方の押圧アーム６の先端に設けられた一対の第１ガイドローラＲ₁と、他方の押圧アーム７の内方位置に取り付けられている第２ガイドローラＲ₂と、他方の押圧アーム７の先端に設けられた一対の第３ガイドローラＲ₃等にガイドされ、巻取りリール８に巻き取られるが、供給リール５と巻取りリール８の近傍にはロック装置（図示せず）が設けられ、このロック装置の作動により全体に所定のテンションが付与される。
【００３６】
押圧手段１０は、弾性変形可能な一対のシュー１１と、各シュー１１をワークＷの加工面に対し押付けると共にこの押付け力を調節可能な押付け手段１２と、これらを保持する押圧アーム６，７とを有している。
【００３７】
各シュー１１が先端部に設けられた前記押圧アーム６，７は、後端に流体圧シリンダ１３が設けられ、この流体圧シリンダ１３の作動により、支持ピン１４を中心として両押圧アーム６，７が、図１に示す閉状態と、図２に示す開状態となる。この両押圧アーム６，７の回動は、ラッピングフィルム１と共に行なわれ、閉じ回動によりシュー１１がラッピングフィルム１を介してワークＷを加圧し、開き回動によりワークＷとシュー１１の当接を解除する。
【００３８】
押付け手段１２は、シューケース１５を押圧するばね力をカム１２ａにより調節し、シュー２のワークＷの加工面に対する押付け力を調節する。
【００３９】
本発明に係るシュー１１は、基本的にはワークＷの加工面に沿って弾性変形可能なものであるが、全体が変形するもののみでなく、先端部分がワークＷの加工面に当接し弾性変形するものであっても良い。
【００４０】
図３はシュー部分を示すの要部拡大断面図である。具体的に述べれば、第１実施形態のシュー１１は、図３に示すように、両押圧アーム６，７の先端部に取り付けられた箱状のシューケース１５と、このシューケース１５内に設けられ、内部に空気、油あるいは水等の流体が注入されると膨張し、シューケース１５の開放端部より外部に一部が突出する袋状部材１６とから構成され、ワークＷに対し対向する位置に設けられている。シュー１１をワークＷに対し対向する位置に設けると、ワークＷとの接触面積がより大きくなり、さらに安定した、加工品質のよい、均質化された加工を迅速に行なうことができる。
【００４１】
袋状部材１６は、膨張収縮可能であって強度的に優れたもの、例えば、高密度繊維あるいはゴム（エラストマを含む）、合成樹脂などから構成されている。例えば、熱可塑性のエラストマとしてはポリスチレン系、ポリオレフィン系、ポリブタ、ジエン系、ポリエステル系、シリコンゴム、二トリルゴム、ポリクロロプレン、等を用いることが可能であり、また、ポリウレタンゴムとしては、ポリウレタン樹脂の主要部分がポリエーテル系、ポリカーボネイト系、またはエーテルとカーボネイトの共重合系ポリウレタン樹脂を用いることが可能である。合成樹脂としては、ポリエチレン、ナイロン、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリアミド等を用いることが可能である。
【００４２】
ただし、高密度繊維により構成した袋状部材１６は、ワークＷを加圧すると外形が変形し、内部の流体が外部に漏れることもあるので、袋状部材１６と流体供給手段１７を連結し、流体供給手段１７を常時作動して流体を供給し続けるか、あるいは内部の圧力を圧力検知手段（図示せず）により検知し、所定圧以下になると、流体供給手段１７から流体を供給するようにしても良い。流体供給手段１７としては、シリンダあるいはポンプ等が利用できる。
【００４３】
特に、圧力検知手段により内部の圧力を検知する場合、検知した圧力に対して袋状部材１６の内部圧力を高めたり低下させたりする圧力調節手段１８を、流体供給手段１７と袋状部材１６との間に設けると、袋状部材１６の固さを流体圧により調節でき、いわゆるハードシューとソフトシューを１つのシューで構成することができる。
【００４４】
油溝等が形成されたジャーナル部をラッピング加工する場合には、シューは一般にソフトシューが使用される。ハードシューを使用すると、油溝等が不必要に削られるからである。したがって、例えば、カムシャフトのカムロブ部を加工した後、ジャーナル部をラッピング加工する場合には、ハードシューからソフトシューに変更しなければならないことがあるが、このような場合でも、袋状部材１６の密閉空間内に封止された流体圧を圧力調節手段１８により昇降させると簡単にハードシューからソフトシューあるいはソフトシューからハードシューに変更できる。
【００４５】
次に、作用を説明する。
【００４６】
まず、ヘッドストックとテールストックとの間にワークＷをセットする。このセット後、流体圧シリンダ１３により両押圧アーム６，７を閉じ回動させる。この閉じ回動によりラッピングフィルム１は、ワークＷの加工面上にセットされる。この時点では、シュー１１は膨張していないので、フィルム１は固定状態あるいは不動状態ではない。
【００４７】
したがって、供給リール５近傍に設けられたロック装置をロックし、モータＭを作動し巻取りリール８を回転すると、ラッピングフィルム１は所定量移動し、新規な砥粒面２がワークＷの加工面上にセットされると共にラッピングフィルム１に所定のテンションが付与され、ぴんと張った状態になる。そして、巻取りリール８近傍のロック装置をロックすると、テンションが付与され弛みのない状態のラッピングフィルム１となる。
【００４８】
そして、流体圧シリンダ１３を作動すると、押圧アーム６，７が、両シュー１１やラッピングフィルム１と共にワークＷの加工面に向かって閉じ回動する。
【００４９】
この時点で、押付け手段１２が両シュー１１をラッピングフィルム１を介してワークＷの加工面に押付けるが、流体供給手段１７を作動して流体を袋状部材１６に供給すると、ワークＷに対し対向する位置に設けられた一対の袋状部材１６が膨張し、両シュー１１が、ラッピングフィルム１をワークＷの加工面に押付ける。ただし、この場合の押付け力は、押付け手段１２のカム１２ａによっても調節できる。
【００５０】
袋状部材１６は、いわば風船状に膨張するが、シューケース１５内に設けられているので、基部側の膨張は規制され、先端部分がシューケース１５の開放端部より外部に突出する。このシューケース１５より突出した袋状部材１６は、ワークＷの加工面に沿うように変形し、大きな接触面積となる。特に、一対の袋状部材１６がワークＷの加工面に沿うように変形するので、ワークＷの大きさにもよるが、ワークＷの外周面のほぼ半分の領域と接触することになり、大きな接触面積となる。
【００５１】
ワークＷを軸方向にオシレーションを加えつつ、ワークＷを軸中心で回転すると、膨張した袋状部材１６がラッピングフィルム１を押付けつつ広い範囲でワークＷをラッピング加工することになる。袋状部材１６は、高密度繊維等の材料が使用されているので、ワークの加工面に沿って変形しても強度的、耐久的にも問題はない。
【００５２】
広範囲でラッピング加工するということは、ワークＷに対する単位時間あたりの作用砥粒数は増大し、加工時間が短縮することを意味する。
【００５３】
また、広範囲でフィルム１を支持することになるので、ワークＷの回転に伴ってシュー１１が飛び上がって離れる等という不安定な加工が生じることはなく、常時接触の安定的な加工となり、ラッピングフィルム１を押圧する押付け力も広い範囲で一定となり、ワークＷは、品質よく加工され、全体的な加工品質も均質化する。
【００５４】
そして、例えば、カムシャフトのカムロブ部を加工した後、油溝等が形成されたジャーナル部をラッピング加工する場合には、一般に、シューはソフトシューが使用されるが、本実施形態では、袋状部材１６の密閉空間内に封止された流体圧を圧力調節手段１８により調整し、低下させると、袋状部材１６を、いわばソフトシュー的に使用できる。ただし、ラッピングフィルム１の砥粒によっては、良好なラッピング加工を行なうことができないこともあるので、場合によっては、ラッピングフィルム１自体を交換しなければならないこともある。
【００５５】
この結果、ラッピングフィルム１を押圧するシューは、柔軟に変形し、油溝等を不必要に加工することなく、ジャーナル部に対し所望のラッピング加工を施すことができる。つまり、内部の流体圧を調節するのみで、いわゆるハードシューとソフトシューを１つのシューで形成でき、ワークに応じた良好なラッピング加工が可能となる。しかも、面倒なシューの交換作業を行なう必要がなくなり、極めて作業能率が向上し、装置構成も簡素化する。
【００５６】
さらに、ラッピングフィルム１は、裏面をシューの滑り止めのためバックコーティングしているので、袋状部材１６は、広い範囲でバックコーティングを押圧してフィルム１を押圧支持し、加工中のフィルム１のズレが防止される。なお、場合によっては、このバックコーティングを不要にすることもできる。
【００５７】
カムシャフトは、多数のカムロブ部を有しているが、前記ラッピング加工は、これらカムロブ部に対し一斉に行なわれる。ラッピング加工が完了すると、流体供給手段１７を作動して流体を袋状部材１６から排出する。これにより袋状部材１６が収縮し、ワークＷの加工面に対する押圧が解かれる。この状態で流体圧シリンダ１３を作動すると、両押圧アーム６，７を開き回動し、ラッピングフィルム１は、元のテンション状態に戻り、ワークＷも取り出し可能な状態となる。ワークＷを取り出した後、他のワークＷをセットすれば、同様のラッピング加工を開始することができる。
【００５８】
＜第２実施形態＞
本発明に係るシューは、基本的にはワークＷの加工面に沿って変形可能であれば良いので、第１実施形態のように袋状部材１６でなく、図４〜６に示すような剛性のある複数のシュー片を用いても良い。ここに、図４は本発明に係るシューの第２実施形態を示す概略断面図、図５は同シューの通常時の側面図、図６図５の側面図、図７は第２実施形態の変形例を示す断面図である。
【００５９】
第２実施形態に係るシュー２０は、例えば、図４〜６に示すように、スチール製あるいは合成樹脂製のような剛性のある比較的薄肉の材料により構成された複数のシュー片２０ａをシューケース１５内に整列乃至重積状態に設け、ワークＷの円弧状加工面に押付けたとき各シュー片２０ａが相互に変位し、シュー全体としてワークＷの円弧状加工面に沿って弾性変形するようにしている。
【００６０】
各シュー片２０ａは、先端部がシューケース１５から外部に突出され、後端部が弾性支持手段２１に支持されているが、シューケース１５から抜け出さないように、各シュー片２０ａ及びシューケース１５に開設された長孔２２に貫通ボルトからなるストッパ部材２３が挿通されている。
【００６１】
なお、弾性支持手段２１としては、板ばね２１ａが使用されているが、これのみでなく、図７に示すような弾性支持手段２１ｂでも良い。この弾性支持手段２１ｂは、内部に空気等の圧縮可能な気体が注入されたゴムあるいは合成樹脂などのような気密性を有する中空体であるが、ゴムあるいは合成樹脂などの中実体であっても良い。
【００６２】
このシュー２０は、ワークＷの加工面上にセットされた状態で、シューケース１５が加圧部材１２により加圧されると、各シュー片２０ａが相互にズレてワークＷの円弧状加工面に沿って変位し、シュー全体としてワークＷの円弧状加工面に沿って弾性変形した状態で、ラッピングフィルム１をワークＷの加工面に押圧する。
【００６３】
このシュー２０も、ワークＷの加工面に沿って変形するので、大きな接触面積となり、ワークＷを軸中心で回転すると、各シュー片２０ａがラッピングフィルム１を広い範囲で押圧しつつワークＷを加工することになる。
【００６４】
したがって、本実施形態も、先の実施形態と同様に、加工は広い範囲で行なわれ、ワークＷに対する作用砥粒数が増大し、加工時間の短縮を図ることができる。また、フィルム１のズレが防止され、常時接触の安定的な加工となり、押付け力も広い範囲で一定なり、加工品質が向上し、全体的な加工品質も均質化する。
【００６５】
＜第３実施形態＞
図８は本発明に係るシューの第３実施形態を示す要部概略断面図である。本実施形態のシュー３０は、図８に示すように、第１実施形態に係るシュー１１のような袋状部材３１の内部空間を仕切壁３２により仕切り、複数のシュー部材３３を形成したものである。
【００６６】
このシュー３０も、シューケース１５内に設けられ、先端部がシューケース１５から外部に突出されているが、シューケース１５とは接着剤あるいは凹凸嵌合等の固定手段（図示せず）により固定されている。
【００６７】
このシュー３０も、先の実施形態と同様に、シューケース１５が押付け手段１２により加圧され、ワークＷの加工面上にセットされると、ワークＷの円弧状加工面に沿って変位し、ラッピングフィルム１をワークＷの加工面に押圧するが、このシュー３０は、仕切壁３１により仕切られているので、仕切壁３１のない前記実施形態ほどワークに沿って変形はしないものの、強度的に優れたものとなり、ハードシューとして使用する場合に好ましいものとなる。
【００６８】
このシュー３０も、広い範囲での加工を可能とし、ワークＷに対する作用砥粒数が増大し、加工時間の短縮を図ることができ、また、フィルム１のズレ防止効果も高く、加工も安定し、加工品質の向上、全体的な加工品質の均質化を図ることができ、場合によっては、フィルム１のバックコーティングも不要にできる。
【００６９】
このように本発明では、ラッピング加工において、シュー１１，２０，３０を弾性変形させることにより、断面円弧状の加工面を有するワークＷに対し広い接触面積でラッピングフィルム１を押圧することができるので、作用砥粒数が増え、単位時間あたりの除去量が増大し、短時間での加工が可能となる。
【００７０】
加工品質に関しても、シュー１１，２０，３０がラッピングフィルム１を広範囲にわたって均一な押付け力でワークＷに押付けるので、均質なラッピング加工ができ、加工品質も均質化する。
【００７１】
本発明は、上述した実施形態のみに限定されるものではなく、種々変更できる。例えば、前述した実施形態では、主としてカムシャフトのカムロブ部を加工する場合について述べたが、これのみでなくワークはクランク等他のものに対しても適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係るラッピング加工装置を示す概略断面図である。
【図２】押圧アームの開状態を示す概略断面図である。
【図３】シュー部分を示す要部拡大断面図である。
【図４】本発明の第２実施形態を示す概略断面図である。
【図５】同シューの通常時の側面図である。
【図６】図５の側面図である。
【図７】第２実施形態の変形例を示す断面図である。
【図８】本発明の第３実施形態を示す要部概略断面図である。
【符号の説明】
１…ラッピングフィルム、
２…砥粒面、
３…基材、
１０…押圧手段、
１２…押付け手段、
１１，２０，３０…シュー、
１５…シューケース、
１６…袋状部材、
１８…圧力調節手段、
２０ａ…シュー片、
２１…弾性支持手段、
３１…仕切壁、
Ｗ…ワーク。

Claims

薄肉基材の一面に砥粒が設けられたラッピングフィルムと、このラッピングフィルムの砥粒面を、曲率半径が大きい部分と小さい部分のある断面円弧状をしたワークの加工面に押圧する押圧手段と、を有し、前記ラッピングフィルムを前記ワークの加工面に押圧した状態で前記ワークを回転させながら加工するラッピング加工装置において、
前記押圧手段は、内部空間が仕切壁により仕切られ、流体の注入により膨張し得る袋状部材により構成された弾性変形可能なシューと、当該シューを所定の加圧力でワークの加工面に沿った形状に変形させる押付け手段と、を有するラッピング加工装置。
前記袋状部材は、シューケース内に設けられ、流体の注入により膨張し当該シューケースより一部が突出される請求項１に記載のラッピング加工装置。
前記袋状部材は、高密度繊維により構成したことを特徴とする請求項１又は２に記載のラッピング加工装置。
前記袋状部材は、内部に流体が密封された弾性体により構成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のラッピング加工装置。
前記袋状部材は、内部流体の圧力を調節する圧力調節手段と連結したことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のラッピング加工装置。
前記ラッピングフィルムは、非伸縮性でかつ変形可能な薄肉基材により構成したことを特徴とする請求項１に記載のラッピング加工装置。