JP4189588B2 - 多層配線基板の製造方法 - Google Patents
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Description
本実施形態は、配線基板上に絶縁層や導体層を順次積層し、各導体層を所定の配線パターンにパターニングするとともに、各導体層間の層間接続を図り、多層化する場合において適用した例である。
本実施形態は、例えば多層配線基板のコアとなる両面基板の形成に適用した例である。本実施形態における製造プロセスを図2A及び図2Bに示す。
Claims (9)
- 銅箔とエッチングバリア層とを積層したクラッド材の前記銅箔をエッチングしてバンプを形成する工程と、
前記バンプの先端面が配線基板と接するように絶縁層を介して前記クラッド材を配線基板上に重ね合わせる工程と、
前記重ね合わせたクラッド材のエッチングバリア層上に所定のパターンを有するメッキレジスト層を形成する工程と、
前記メッキレジスト層が形成された面にパターンメッキを施す工程と、
前記メッキレジスト層を除去する工程と、
露呈したエッチングバリア層を除去する工程と、
を有することを特徴とする多層配線基板の製造方法。 - 前記クラッド材を支持体で支持した状態で前記バンプを形成し、クラッド材を配線基板上に重ね合わせた後に前記支持体を除去することを特徴とする請求項1記載の多層配線基板の製造方法。
- 前記支持体は銅箔であることを特徴とする請求項2記載の多層配線基板の製造方法。
- 前記エッチングバリア層は、Niを含む層であることを特徴とする請求項1記載の多層配線基板の製造方法。
- 銅箔と第1のエッチングバリア層とを積層したクラッド材の前記銅箔をエッチングしてバンプを形成する工程と、
前記バンプの先端面が第2のエッチングバリア層と接するように、前記クラッド材を絶縁層を介して第2のエッチングバリア層と重ね合わせる工程と、
前記重ね合わせたクラッド材の第1のエッチングバリア層上に所定のパターンを有するメッキレジスト層を形成する工程と、
前記メッキレジスト層が形成された面にパターンメッキを施す工程と、
前記メッキレジスト層を除去する工程と、
露呈した第1のエッチングバリア層を除去する工程と、
前記第2のエッチングバリア層上に所定のパターンを有するメッキレジスト層を形成する工程と、
前記メッキレジスト層が形成された面にパターンメッキを施す工程と、
前記メッキレジスト層を除去する工程と、
露呈した第2のエッチングバリア層を除去する工程と、
を有することを特徴とする多層配線基板の製造方法。 - 前記クラッド材を支持体で支持した状態で前記バンプを形成し、クラッド材を第2のエッチングバリア層上に重ね合わせた後に前記支持体を除去することを特徴とする請求項5記載の多層配線基板の製造方法。
- 前記第2のエッチングバリア層は支持体で支持され、当該支持体で支持される面とは反対側の面に前記バンプの先端面が接するように前記クラッド材を重ね合わせることを特徴とする請求項5記載の多層配線基板の製造方法。
- 前記クラッド材の支持体及び前記第2のエッチングバリア層の支持体は、銅箔であることを特徴とする請求項6又は7記載の多層配線基板の製造方法。
- 前記第1のエッチングバリア層及び第2のエッチングバリア層は、Niを含む層であることを特徴とする請求項5記載の多層配線基板の製造方法。
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