JP4187952B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置に関し、特に、回路要素の形成された半導体基板の表面に設けられたパッシベーション膜を有する半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
トランジスタ、アルミ配線、パッドなど、多数の回路要素を一つの半導体基板に形成したICチップが知られている。図11は、従来のICチップの一部分を示す断面図である。トランジスタ(図示せず)等が形成された素子形成層2の上に絶縁膜4が形成され、絶縁膜4の上にアルミ配線6、8や、パッド10、12等が形成されている。ICチップの表面には、パッシベーション膜14が形成されている。
【0003】
パッシベーション膜14を設けることにより、トランジスタやアルミ配線6、8等を物理的に保護したり、ICチップに水分等が侵入するのを防止することができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来のICチップには、次のような問題があった。ICチップ内にあるトランジスタ等を動作させると、当該トランジスタ等は熱を発する。この熱の一部はパッシベーション膜14を介して、外部に放出される。ところが、パッシベーション膜14の上面は、アルミ配線6、8や、パッド10、12の周辺部の上を除いて、ほとんど平坦である。
【0005】
したがって、パッシベーション膜14を介しての放熱効率が、あまりよくないという問題があった。このため、チップの温度上昇がネックとなり、トランジスタ等の特性向上を阻害していた。特に、パワートランジスタを備えたICチップやCPUを備えたチップのように発熱量の大きいチップ、あるいは、高集積化等の目的から、CMP(化学的機械的研磨)法等を用いて下地となる絶縁膜4等が平坦化されたチップ等においては、このような問題は、さらに深刻であった。
【0006】
本発明は、このような問題点を解決し、放熱効率の高いパッシベーション膜(保護膜)を備えた半導体装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
請求項1の半導体装置は、パッシベーション膜の少なくとも一部が、導電体パターン上に形成されており、前記導電体パターン間に、当該パッシベーション膜の下面の形状に依存することなく上面に複数の凹凸部を有することを特徴とする。
すなわち、この半導体装置は、パッシベーション膜の少なくとも一部が、導電体パターン上に形成されており、前記導電体パターン間に、当該パッシベーション膜の下面の形状に依存することなく上面に複数の凹凸部を形成することにより、このパッシベーション膜の膜厚コントロールのみで、パッシベーション効果の低下を抑制しつつ放熱効果の増大を図るものである。
I.パッシベーション膜の下地となる層が平坦であるような場合であっても、パッシベーション膜の上面を複数の凹凸部を有する凹凸状膜とすることができる。このため、回路回路要素形成領域であって発熱の大きい部分で、単位投影面積あたりのパッシベーション膜の表面積を大きくすることができる。したがって、パッシベーション膜の放熱面積が大きくなるので、パッシベーション膜を介して、より多くの熱量が外部に放出される。すなわち、パッシベーション膜を介した放熱の効率向上をはかることができる。この結果、半導体装置の特性を向上することができる。
II.また、導電体パターン間に複数の凹凸部を有しているため、全体としての膜厚を維持することができ、パッシベーション効果を低下させることなく、有効に発揮することができる。
−という顕著な効果を奏する。
また、導電体部間であってパッシベーション膜の直下に他の導電体部等の回路要素が存在しない部分においては、パッシベーション膜の膜厚をある程度薄くしてもさしつかえがない。このため、薄い薄肉部を有する凹凸状膜を形成することが可能となり、平均膜厚が薄く放熱効率の高い凹凸状膜を形成することが可能となる。
さらにまた、薄い薄肉部を有する凹凸状膜によって、電流経路が長くなり、電位差のある導電体部間のリーク電流の経路にあたるパッシベーション膜の電気抵抗を大きくすることが可能となる。このため、導電体部間の絶縁性を高めることができる。また、パッシベーション膜中にたまる電荷を逃すことを目的として微導電性を持たせたパッシベーション膜を使用するような場合、導電体部間の絶縁性が低くなりがちであるが、このような場合にも、凹凸状膜を導電体部間に設けることで、導電体部間の絶縁性を高めることができ、特に好都合である。
【0008】
請求項2の半導体装置は、パッシベーション膜を、回路要素形成領域内に膜厚の大きい肉厚部と膜厚の小さい肉薄部とを有する凹凸状膜であることを特徴とする。
請求項3の半導体装置は、前記パッシベーション膜の下地層が平坦化された絶縁層であることを特徴とする。
【0009】
請求項4の半導体装置は、前記下地層はCMP法により平坦化された絶縁膜であることを特徴とする。
請求項5の半導体装置は、前記下地層はCMP法により平坦化された絶縁膜と、前記絶縁膜上の一部に形成された配線層であることを特徴とする。
近年、半導体装置の微細化および高集積化に伴い、半導体装置表面の平坦化が進められているが、かかる構成によれば、下地が平坦化された半導体装置においても、放熱面積を大きくし、パッシベーション膜を介しての放熱効率を高めることが可能となる。さらにまた、厚いパッシベーション膜を必要とするところには厚く、それ以外は薄くなるように、膜厚を変化させることにより、下地層内に形成されている素子の状態に応じて形成し、信頼性を維持しつつ最大限に放熱効率を高めるようにすることが可能となる。
【0010】
請求項6の半導体装置は、最近接位置にある凹部または凸部の中心が正三角形をなし、実質的に細密配置となるように、規則的に配置されていることを特徴とする。
したがって、凹凸状膜の表面積を、加工技術の制約内で最大とすることができる。このため、パッシベーション膜を介しての放熱効率を、より向上することができる。
【0011】
望ましくは、凹凸状膜の薄肉部の膜厚を、実質的に回路要素を保護し得る最小膜厚としたことを特徴とする。
したがって、表面積が同じであっても、平均膜厚のより薄い凹凸状膜を得ることができる。このため、パッシベーション膜を介しての放熱効率を、いっそう向上することができる。
【0012】
請求項7の半導体装置は、凹凸部を、実質的に平坦なパッシベーション膜の上面に複数の独立した厚肉部を設けた形状としたことを特徴とする。
したがって、平坦なパッシベーション膜の上面に複数の独立した薄肉部を設けた形状の凹凸状膜と比較した場合、表面積、薄肉部の膜厚、厚肉部の膜厚がそれぞれ同じであっても、平均膜厚のより薄い凹凸状膜を得ることができる。このため、パッシベーション膜を介しての放熱効率を、さらに向上することができる。
【0013】
請求項8の半導体装置は、凹凸状膜の薄肉部の隅を残すかまたは厚肉部の角を削除し、滑らかな断面形状としたことを特徴とする。
したがって、薄肉部の隅を角(エッジ)のない滑らかな断面形状とすることによって、薄肉部の隅に生ずる応力集中を緩和することができる。このため、パッシベーション膜に変形が生じた場合であっても、凹凸状膜の薄肉部から破損する可能性を低減することができる。
【0014】
また、厚肉部の角を滑らかな断面形状とすることで、半導体装置の上面を封止部材等で覆ったような場合であっても、当該封止部材等のうち厚肉部の角に対向する部分に生ずる応力集中を緩和することができる。このため、封止部材等に変形が生じた場合であっても、封止部材が破損する可能性を低減することができる。この結果、半導体装置自体の破損の可能性も低減することができる。
【0015】
すなわち、回路要素を物理的に保護する機能をある程度維持しつつ、パッシベーション膜を介しての放熱効率を向上することができる。
請求項9の半導体装置は、凹凸状膜を、発熱量の大きい回路要素の直上面の少なくとも一部を含む周辺近傍に設けたことを特徴とする。
したがって、より効率的に、回路要素の熱を放出することができる。すなわち、凹凸状膜を設ける部分を最小限度に抑えつつ、パッシベーション膜を介しての放熱効率を上げることができる。このため、必要以上に凹凸状膜を設けたくない場合に有効である。
【0016】
請求項10の半導体装置は、前記凹凸部は、前記導電体パターンに平行なライン状構造をもつことを特徴とする。
したがって、導電体パターン間であってパッシベーション膜の直下に他の導電体パターン等の回路要素が存在しない部分においては、パッシベーション膜の膜厚をある程度薄くしてもさしつかえがない。このため、薄い薄肉部を有するライン状構造をもつ凹凸状膜を形成することが可能となる。すなわち、平均膜厚が薄く放熱効率の高い凹凸状膜を形成することが可能となる。
【0017】
請求項11の半導体装置は、導電体パターン間に電位差があることを特徴とする。
したがって、薄い薄肉部を有する凹凸状膜によって、電位差のある導電体パターン間のリーク電流の経路にあたるパッシベーション膜の電気抵抗を大きくすることが可能となる。
このため、導電体パターン間の絶縁性を高めることができる。また、パッシベーション膜中にたまる電荷を逃すことを目的として微導電性を持たせたパッシベーション膜を使用するような場合には、導電体パターン間の絶縁性が低くなりがちであるが、このような場合に、凹凸状膜を導電体パターン間に設けることで、導電体パターン間の絶縁性を高めることができ、特に好都合である。
【0018】
請求項12の半導体装置は、前記パッシベーション膜から露呈する導電体パターンを含み、凹凸状膜を、電位差のある露出導電体パターン間に設けたことを特徴とする。
したがって、露出導体パターン間のリーク電流の経路のうち、最もリーク電流の流れやすいパッシベーション膜表面の導電経路を長くすることが可能となる。このため、露出導電体パターン間の絶縁性を高めることができる。
【0019】
請求項13の半導体装置は、前記パッシベーション膜の下地層は絶縁膜と、前記絶縁膜上の一部に形成された少なくとも2本の配線パターンであり、前記配線パターン間にこれらと平行して配置された少なくとも1本の溝状の凹部を有することを特徴とする。
かかる構成によれば、配線層の間に溝状の凹部が形成されており、肉薄領域を形成することにより、リーク電流の経路に当たるパッシベーション膜の電気抵抗を大きくすることが可能となる。また、配線パターン間の絶縁性を高めることができる。
【0020】
請求項14の半導体装置は、前記パッシベーション膜から露呈する少なくとも2つの電極パッドを有し、前記電極パッド間の前記パッシベーション膜が凹凸面を有することを特徴とする。
パッド間には電位差があり、リーク電流が流れ易いという問題があるが、かかる構成によれば、パッド間に凹凸が形成されており、電流経路が長くなり、電気抵抗を大きくすることが可能となるため、リーク電流を低減することが可能となる。
【0021】
請求項15の半導体装置は、前記パッシベーション膜がSiリッチの酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸窒化シリコン膜のいずれかを含むことを特徴とする。
特にパッシベーション膜がSiリッチの酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸窒化シリコン膜などわずかに導電性を有するものである場合には、上記構造はリーク電流の低減に極めて有効である。
【0022】
請求項16の半導体装置は、前記パッシベーション膜が第1の絶縁層と、第2の絶縁層とが順次積層された2層構造をなし、第2の絶縁層は第1の絶縁層に対してエッチング選択性を有する膜であり、前記凹部は前記第2の絶縁層が選択的に除去せしめられ、前記第1の絶縁層のみが残留するように構成されていることを特徴とする。
【0023】
係る構成によれば、エッチング量を高精度にコントロールすることができ、肉薄部は、下層の膜のみで構成され、肉厚部は2層膜で構成されるため、放熱性が高く、信頼性の高いパッシベーション膜を得ることが可能となる。
請求項17の半導体装置は、前記パッシベーション膜が、第1の酸化シリコン膜と、窒化シリコン膜と、第2の酸化シリコン膜とが順次積層された3層構造膜であり、第1の酸化シリコン膜と窒化シリコン膜とからなる2層構造の肉薄部と、第1の酸化シリコン膜と、窒化シリコン膜と、第2の酸化シリコン膜とからなる3層構造の肉厚部とから構成されていることを特徴とする。
【0024】
係る構成によれば、肉薄部も酸化シリコン膜と窒化シリコン膜との2層構造とすることができるため、パッシベーション効果がより高いものとなる。
請求項18の半導体装置は、回路要素を覆うように形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上の一部に形成された導電体パターンと、前記導電体パターンの上層に形成されたパッシベーション膜とを有し、前記パッシベーション膜は、前記導電体パターン間に、膜厚の大きい肉厚部と、膜厚の小さい肉薄部とを有することを特徴とする。
【0025】
係る構成によれば、回路要素形成領域の表面は凹凸を有することなく平坦であっても、導電体パターン間に、パッシベーション膜の膜厚が大きい肉厚部と、小さい肉薄部とから構成されており、表面の平坦性を維持しつつ、放熱効果を高めることができる。
ここでパッシベーション膜とは、表面の不安定さを抑えて、初期特性的にも経時変化に対しても信頼性の高い表面を形成する膜であり、表面の化学処理、保護膜の形成、表面形状などの処理、あるいはこれらの組み合わせを示すものとする。
【0026】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施形態によるICチップ(半導体装置)20の断面構成の一
部を図1Aに示す。図1Bは、ICチップ20の平面図である。このICチップ20は、トランジスタ等のような発熱を伴う回路要素22を備えている。
回路要素22は、素子形成層24に形成されている。半導体基板自体が素子形成層24である場合もあれば、そうでない場合もある。たとえば、半導体基板の上に形成されたエピタキシャル成長層が素子形成層24である場合もある。
【0027】
素子形成層24の上に絶縁膜26が形成され、絶縁膜26の上にアルミ配線やパッド(図示せず)等が形成されている。ICチップ20の表面には、パッシベーション膜28(保護膜)が形成されている。
パッシベーション膜28の下地である絶縁膜26の上面は平坦化されている。したがって、パッシベーション膜28の下面も、平坦である。一方、パッシベーション膜28の上面には、多数の独立した薄肉部30が形成されている。すなわち、パッシベーション膜28の上面は、当該パッシベーション膜28の下面の形状に依存することなく上面を凹凸形状とした凹凸状膜となっている。なお、この実施形態においては、パッシベーション膜28全体が凹凸状膜となっている。ここでパッシベーション膜の膜厚は1〜1.5μm、薄肉部の膜厚は200〜500nmであった。
【0028】
したがって、このように、パッシベーション膜28の下地となる絶縁膜26が平坦であるような場合であっても、単位投影面積あたりのパッシベーション膜28の表面積を大きくすることができる。したがって、パッシベーション膜28の放熱面積が大きくなるので、回路要素22から発せられた熱が、パッシベーション膜28を介して、効率良く外部に放出される。すなわち、パッシベーション膜28を介しての放熱効率を向上することができる。
【0029】
なお、パッシベーション膜28の上面に設ける薄肉部30の形状および配置パターンは、図1Bに示すものに限定されるものではない。ただし、薄肉部の膜厚は十分にパッシベーション機能を奏功するものでなければならず、200〜500nmのぞましくは300〜400nmである。また、肉厚部の膜厚の3分の1乃至5分の1が望ましい。当該薄肉部30の形状および配置パターンの他の例(平面図)を、図2A〜図2Fに示す。
【0030】
図2Aにおいては、薄肉部30の形状は、図1Bの場合と同様に円形であるが、配置パターンが異なる。すなわち、図1Bの場合は、薄肉部30が「ちどり状」に配置されているが、図2Aの場合には、格子状に配置されている。
図2Bは、四角形の薄肉部30を格子状に配置した場合の例である。図2Cは、四角形の薄肉部30をちどり状に配置した場合の例である。図2Dは、六角形の薄肉部30をちどり状に配置した場合の例である。図2Eは、三角形の薄肉部30を設けた場合の例である。また、図2Fは、帯状の薄肉部30をストライプ状に配置した場合の例である。
【0031】
つぎに、円形の薄肉部30を例に、薄肉部30を最密配置した場合について説明する。エッチング等の加工条件によって決定される最小穴径をdとし、最小肉残り寸法をsとした場合、多数の円形の薄肉部30を、最密配置すると図3Aのようにになる。図3Aから、円形の薄肉部30を最密配置すると、最近接位置にある薄肉部30の中心は正三角形をなし、ちどり状に並ぶことがわかる。
【0032】
このように、薄肉部30を最密配置することによって、パッシベーション膜28の表面積を、エッチング等の加工技術の制約内で最大とすることができる。このため、パッシベーション膜28を介しての放熱効率を、より向上することができる。
なお、図3Bは、最密配置ではないが、最小穴径d、最小肉残り寸法sを適用して、円形の薄肉部30を格子状に配置した状態を示す図面である。図3Aおよび図3Bから、図3Bにおける薄肉部30の数を6.25とすると、最密配置を示す図3Aにおける薄肉部30の数は、7以上であることがわかる。
【0033】
つぎに、図1A、Bに示すパッシベーション膜28の形成方法の一例を、図4に基づいて説明する。まず、回路要素22(図1A参照)の形成された素子形成層24の上に絶縁膜26を配置した半導体基板を用意し、絶縁膜26の上に、アルミ配線やパッド(図示せず)等を順次、形成する。つぎに、この上に、パッシベーション膜28を形成する。
【0034】
パッシベーション膜28は、たとえば、CVD(Chemical Vapor Deposition)法などを用いて、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、シリコン酸化窒化膜、またはPSG(リン・ケイ酸ガラス)等を堆積させることにより形成する。
つぎに、パッシベーション膜28の上にレジスト32を塗布し、前焼き(プリベーク)、露光、現像、焼きしめ(ポストベーク)を行なうことにより、レジ
スト32を所定の形状にパタニングする。パタニングにより、パッシベーション膜28の薄肉部30が形成されるべき位置の直上にあるレジスト32に、貫通穴34が形成される。
【0035】
貫通穴34の形成されたレジスト32をマスクとして、たとえば、RIE(反応性イオンエッチング)によりエッチングを行なう。エッチングは、パッシベーション膜28に所定深さの薄肉部30が形成されるように行なう。この後、レジスト32をはく離することにより、図1Aのようになる。
なお、上述の実施形態においては、凹凸状膜として、平坦なパッシベーション膜28の上面に複数の独立した薄肉部30を設けた構造の膜を例に説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。たとえば、凹凸状膜を、平坦なパッシベーション膜の上面に複数の独立した厚肉部を設けた形状の膜とすることもできる。
【0036】
図5Aに、このような構成の凹凸状膜を備えたICチップ40の断面構成の一部を示す。前述の実施形態と同様に、素子形成層24の上に絶縁膜26が形成され、絶縁膜26の上にアルミ配線やパッド(図示せず)等が形成されている。ICチップ40の表面には、パッシベーション膜42(保護膜、凹凸状膜)が形成されている。
【0037】
前述のICチップ20(図1A参照)と異なり、このICチップ40においては、凹凸状膜を、平坦なパッシベーション膜42の上面に複数の独立した厚肉部44を設けた形状としている。
したがって、ICチップ20のパッシベーション膜28と比較した場合、表面積、薄肉部(すなわちパッシベーション膜28の薄肉部30およびパッシベーション膜42の薄肉部46)の膜厚、ならびに、厚肉部(すなわちパッシベーション膜28の厚肉部36およびパッシベーション膜42の厚肉部44)の膜厚がそれぞれ同じであっても、平均膜厚のより薄いパッシベーション膜42を得ることができる。このため、パッシベーション膜を介しての放熱効率を、さらに向上することができる。
【0038】
厚肉部44の形状および配置パターンは、ICチップ20の場合と同様に、種々のものが考えられる。たとえば、図1B、図2A〜図2Fにおいて、薄肉部30の部分を厚肉部44としたようなパターンが考えられる。
図5Bは、本発明のさらに他の実施形態による半導体装置であるICチップ
50の断面構成の一部を示した図面である。ICチップ50においては、パッシベーション膜52の薄肉部56の膜厚tを、ICチップ50に形成された回路要素を保護し得る最小膜厚としている。この膜厚はパッシベーション膜の膜質にも依存するが、酸化シリコン膜や窒化シリコン膜を用いる場合は、200〜500nmである。
【0039】
したがって、表面積が同じであっても、平均膜厚のより薄いパッシベーション膜52を得ることができる。このため、パッシベーション膜52を介しての放熱効率を、いっそう向上することができる。
図6Aは、本発明のさらに他の実施形態による半導体装置であるICチップ
60の断面構成の一部を示した図面である。このICチップ60においては、パッシベーション膜62の薄肉部64の隅部66を、滑らかな円弧状の断面としている。
【0040】
したがって、薄肉部64の隅部66に生ずる応力集中を緩和することができる。このため、パッシベーション膜62に変形が生じた場合であっても、パッシベーション膜62の薄肉部64から破損する可能性を低減することができる。すなわち、ICチップ60に形成された配線やトランジスタ等の回路要素(図示せず)を物理的に保護する機能を維持しつつ、パッシベーション膜62を介しての放熱効率を向上することができる。
【0041】
図6Aにおいては、パッシベーション膜62の薄肉部64の隅部66を、滑らかな円弧状の断面としたが、図7Aのように、パッシベーション膜62の厚肉部65の角部67を、滑らかな円弧状とすることもできる。このようにすれば、ICチップ60上面をエポキシ樹脂等の封止部材68など、パッケージ(図示せず)で覆った場合であっても、封止部材68の隅部69等に生ずる応力集中を緩和することができる。このため、封止部材68等に変形が生じた場合であっても、封止部材68の隅部69等から破損する可能性を低減することができる。この結果、ICチップ60自体の破損の可能性も低減することができる。
【0042】
また、図7Bのように、パッシベーション膜62の薄肉部64の隅部66および厚肉部65の角部67を、ともに滑らかな円弧状とすることもできる。このようにすれば、ICチップ60の破損の可能性をさらに低減することができる。
なお、上述の各場合における隅部66や角部67の断面形状は、円弧状に限定されるものではない。要は、隅部66や角部67に起因する応力集中を緩和することができる形状であればよい。
【0043】
図6Bは、本発明のさらに他の実施形態による半導体装置であるICチップ
70の断面構成の一部を示した図面である。上述の各実施形態においては、パッシベーション膜全体を凹凸状膜としたが、ICチップ70においては、凹凸状膜を、発熱量の大きい回路要素76の近傍にのみ設けるようにしている。すなわち、パッシベーション膜72の薄肉部74は、当該回路要素76の近傍にのみ形成されている。
【0044】
したがって、より効率的に、回路要素76の熱を放出することができる。すなわち、凹凸状膜を設ける部分を最小限度に抑えつつ、パッシベーション膜72を介しての放熱効率を向上することができる。したがって、必要以上に凹凸状膜を設けたくない場合等に有効である。
図8は、本発明のさらに他の実施形態による半導体装置であるICチップ8
0の断面斜視図である。素子形成層24の上に絶縁膜26が形成され、絶縁膜26の上にアルミ配線82、84(導電体部)が形成されている。これらを覆うように、パッシベーション膜86(保護膜)が形成されている。
【0045】
パッシベーション膜86のうち、アルミ配線82、84間にある部分は、帯状の薄肉部88および厚肉部89を交互に配置した凹凸状膜により構成されている。アルミ配線82、84間にあるパッシベーション膜86の直下部分には、他のアルミ配線等の回路要素が存在しない。したがって、この部分においては、パッシベーション膜86の膜厚を小さくしてもさしつかえがない。このため、薄い薄肉部88を有する凹凸状膜を形成することが可能となる。すなわち、平均膜厚が薄くて放熱効率の高い凹凸状膜を形成することが可能となる。
【0046】
また、アルミ配線82、84間に所定の電位差があるような場合には、薄肉部88におけるパッシベーション膜86の膜厚が薄いので、結果として、アルミ配線82、84間のリーク電流の経路にあたるパッシベーション膜86の電気抵抗が大きくなる。このため、アルミ配線82、84間の絶縁性を高めることができる。
【0047】
なお、パワートランジスタ等のパワー素子を有するICチップ等では、パッシベーション膜86中にたまる電荷を逃すことを目的として、シリコンリッチにして微導電性を持たせた酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸窒化シリコン膜(SiON)などのパッシベーション膜を使用することがあるが、このために、アルミ配線82、84間の絶縁性が低くなりがちである。そこで、このような場合、図8に示すような構成のパッシベーション膜86を用いれば、アルミ配線82、84間の絶縁性を高めることができるので、特に好都合である。
【0048】
図9は、本発明のさらに他の実施形態による半導体装置であるICチップ9
0の断面斜視図である。素子形成層24の上に絶縁膜26が形成され、絶縁膜26の上に、ワイヤボンディングや検査等のためのパッド92、94(露出導電体部)が形成されている。ICチップ90の上面はパッシベーション膜96により覆われているが、その一部に開口102、104が形成され、開口102、104から、パッド92、94の表面92a、94aが露出している。パッド92、94間には、所定の電位差があるものとする。
【0049】
パッシベーション膜96のうち、パッド92、94間にある部分は、帯状の薄肉部98および厚肉部100を交互に配置した凹凸状膜により構成されている。このため、パッド92の表面92aとパッド94の表面94aとの間に発生するリーク電流の経路のうち、最もリーク電流の流れやすいパッシベーション膜96の表面に沿った導電経路が、長くなっている。このように構成することで、パッド92の表面92aとパッド94の表面94aとの間の絶縁性を高めることができる。
【0050】
なお、上述の各実施形態において、平坦なパッシベーション膜の上面に複数の独立した薄肉部を設けた形状の凹凸状膜を例に説明した実施形態については、平坦なパッシベーション膜の上面に複数の独立した厚肉部を設けた形状の凹凸状膜にも適用することができる。
逆に、平坦なパッシベーション膜の上面に複数の独立した厚肉部を設けた形状の凹凸状膜を例に説明した実施形態については、平坦なパッシベーション膜の上面に複数の独立した薄肉部を設けた形状の凹凸状膜にも適用することができる。
【0051】
前記パッシベーション膜は、放熱性の面からも、小型化の面からも、薄い方が望ましいが、十分に保護効果を有する程度に薄くすることが重要である。通常1〜1.5ミクロンの膜厚のパッシベーション膜が用いられるが、肉薄部は200〜500nm程度とするのが望ましい。
また、上述の各実施形態においては、回路要素の形成された半導体基板の最上層表面に形成された1層構造のパッシベーション膜を例に説明したが、パッシベーション膜はこれに限定されるものではなく、回路要素の形成された半導体基板の表面に設けられ、半導体基板を保護するための保護膜であればよい。そしてこのパッシベーション膜は1層構造に限定されることなく、酸化シリコン膜と窒化シリコン膜との2層構造あるいは、3層以上の多層構造であってもよい。
【0052】
また、この肉薄部の膜厚については、最小限の範囲を超えて薄くなると、パッシベーション効果を失ってしまうという問題がある。このため、エッチングによって肉薄部を形成する場合は、エッチング量を高精度にコントロールする必要がある。
このエッチング量のコントロールのためには、上層の膜が下層の膜に対してエッチング選択性を持つ2層構造の膜を選択するのが望ましい。係る構成をとることにより、肉薄部は、下層の膜のみで構成され、肉厚部は2層膜で構成されるため、放熱性が高く、信頼性の高いパッシベーション膜を得ることが可能となる。たとえば図10に他の半導体チップ100の一例を示すように、下層の膜を窒化シリコン膜102Aとし、上層の膜を酸化シリコン膜102Bとすることにより、酸化シリコン膜のエッチングに際し、窒化シリコン膜がエッチングストッパとなり、高精度に肉厚の制御された肉薄部104と肉厚部108とからなるパッシベーション膜102を得ることが可能となる。ここで106は半導体基板101内に形成されたパワー素子であり、基板表面を覆う層間絶縁膜105を介してパッシベーション膜が形成されているものとする。なお、図示しないが、アルミ配線が層間絶縁膜105とパッシベーション膜102との間に形成されている。
【0053】
また、このパッシベーション膜を、第1の酸化シリコン膜と、窒化シリコン膜と、第2の酸化シリコン膜とが順次積層された3層構造膜で構成し、肉薄部を第1の酸化シリコン膜と窒化シリコン膜とからなる2層構造の膜で構成し、肉厚部を酸化シリコン膜と、窒化シリコン膜と、第2の酸化シリコン膜とからなる3層構造の膜で構成するようにするのが望ましい。係る構成によれば、肉薄部も酸化シリコン膜と窒化シリコン膜の2層構造であり、十分なパッシベーション効果を奏功する一方で、酸化シリコン膜と窒化シリコン膜とのエッチング選択性によってオーバーエッチングによる膜厚の低下を防ぎ、高精度の膜厚制御を達成することができる。
【0054】
また、パッシベーション膜としては窒化シリコン膜、酸化シリコン膜およびこれらの積層膜、PSG膜、BPSG膜、ガラスなどの無機膜、ポリイミド、シリコンワニス、シリコンゴムなどの有機膜、あるいは無機膜と有機膜との積層構造の適用も可能である。パッシベーション膜の成膜方法としても、スパッタリング法やCVD法の他、プラズマCVD法、スピンコート法など適宜選択可能である。
【0055】
さらにまた、回路要素形成領域の表面は凹凸を有することなく平坦であり、パッシベーション膜の膜厚が大きい肉厚部と、小さい肉薄部とからなるような構造も有効である。
加えて、本発明の構造は、パッシベーション膜の上層を封止樹脂などで被覆する樹脂封止型半導体装置あるいは、そのまま実装基板上に搭載するいわゆるベアチップのいずれにも適用可能であることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1Aは、本発明の一実施形態による半導体装置であるICチップ20の断面構成の一部を示す図面である。図1Bは、ICチップ20の平面構成の一部を示す図面である。
【図2】図2Aないし図2Fは、薄肉部30の形状および配置パターンの他の例(平面図)を示す図面である。
【図3】図3Aは、円形の薄肉部30を最密配置した状態を示す図面である。図3Bは、円形の薄肉部30を格子状に配置した状態を示す図面である。
【図4】パッシベーション膜28の形成方法の一例を説明するための断面斜視図である。
【図5】図5Aは、本発明の他の実施形態によるICチップ40の断面構成の一部を示した図面である。図5Bは、本発明のさらに他の実施形態によるICチップ50の断面構成の一部を示した図面である。
【図6】図6Aは、本発明のさらに他の実施形態によるICチップ60の断面構成の一部を示した図面である。図6Bは、本発明のさらに他の実施形態によるICチップ70の断面構成の一部を示した図面である。
【図7】図7Aは、ICチップ60におけるパッシベーション膜62の断面形状の他の例を示す図面である。図7Bは、ICチップ60におけるパッシベーション膜62の断面形状のさらに他の例を示す図面である。
【図8】本発明のさらに他の実施形態によるICチップ80の断面斜視図である。
【図9】本発明のさらに他の実施形態によるICチップ90の断面斜視図である。
【図10】本発明のさらに他の実施形態によるICチップ100の断面斜視図である。
【図11】従来のICチップの断面構成の一部を示す図面である。
【符号の説明】
22・・・・・・回路要素
24・・・・・・素子形成層
26・・・・・・絶縁膜
28・・・・・・パッシベーション膜(保護膜)
Claims (16)
- 回路要素の形成された半導体基板と、
前記回路要素を覆うように形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜上の一部に形成された導電体パターンと、
前記導電体パターンの上層に形成されたパッシベーション膜とを有し、
前記パッシベーション膜は、前記導電体パターン間に、当該パッシベーション膜の下面の形状に依存することなく上面に複数の凹凸部を有することを特徴とする半導体装置。 - 前記パッシベーション膜は、上表面を平坦な状態に維持しつつ膜厚の大きい肉厚部と膜厚の小さい肉薄部とを複数個有する、凹凸状膜であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記パッシベーション膜の下地層が平坦化された絶縁層であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記下地層はCMP法により平坦化された絶縁膜であることを特徴とする請求項3記載の半導体装置。
- 前記下地層はCMP法により平坦化された絶縁膜と、前記絶縁膜上の一部に形成された配線パターンであることを特徴とする請求項3記載の半導体装置。
- 前記凹凸部は、最近接位置にある前記凹部または凸部の中心が正三角形をなし、実質的に最密配置となるように、規則的に配置されていることを特徴とする請求項2記載の半導体装置。
- 前記凹凸部を、実質的に平坦なパッシベーション膜の上面に複数の独立した厚肉部を設けた形状としたことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記凹凸部の薄肉部の隅を残すかあるいは厚肉部の角を削除し、滑らかな断面形状としたことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記凹凸部は、発熱量の大きい回路要素の直上面の少なくとも一部を含む周辺近傍に形成されていることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記凹凸部は前記導体パターンに平行なライン状構造をもつことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記導電体パターン間に電位差があることを特徴とする請求項10記載の半導体装置。
- 前記パッシベーション膜から露呈する導電体層を含み、前記凹凸部が、電位差のある前記導電体パターン間に設けられたことを特徴とする請求項11記載の半導体装置。
- 前記パッシベーション膜から露呈する少なくとも2つの電極パッドを有し、前記電極パッド間の前記パッシベーション膜表面が凹凸を有することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記パッシベーション膜はSiリッチの酸化シリコン膜、窒化シリコン膜のいずれかを含むことを特徴とする請求項13記載の半導体装置。
- 前記パッシベーション膜は第1の絶縁層と、第2の絶縁層とが順次積層された2層構造をなし、第2の絶縁層は第1の絶縁層に対してエッチング選択性を有する膜であり、
前記凹部は前記第2の絶縁層が選択的に除去せしめられ、前記第1の絶縁層のみが残留するように構成されていることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記パッシベーション膜は、第1の酸化シリコン膜と、窒化シリコン膜と、第2の酸化シリコン膜とが順次積層された3層構造膜であり、
第1の酸化シリコン膜と窒化シリコン膜とからなる2層構造の凹部と、
第1の酸化シリコン膜と、窒化シリコン膜と、第2の酸化シリコン膜とからなる3層構造の凸部とから構成されていることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
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