JP4185117B2 - プラズマ処理装置およびそのクリーニング方法 - Google Patents
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Description
(1)クリーニング工程において、クリーニングガスのプラズマ(リモートプラズマ)は、チャンバ102の側壁等に設けられた、専用のガス導入口111からチャンバ102内に導入される。クリーニングガスにより、チャンバ102の壁面、サセプタ103表面等に堆積した膜は、クリーニングガスと容易に接触し、比較的容易に除去される。
チャンバと、
前記チャンバの内部をクリーニングするためのクリーニングガスを前記チャンバ内に供給するためのクリーニングガスラインと、
前記クリーニングガスラインに配置され、前記クリーニングガスを活性化する活性化手段と、
前記チャンバの側壁を貫通するように設けられたクリーニングガス導入口と、
前記クリーニングガス導入口の一端に設けられた、前記チャンバの内部に向かって開く第1の開口、及び、前記第1の開口を包囲する段差と、
前記クリーニングガス導入口の他端に設けられた、前記チャンバの外部に向かって開く第2の開口と、
前記チャンバの側壁に平行に沿って前記チャンバの側壁内に埋設され、その一端が、前記クリーニングガス導入口と垂直に接続するとともに、その途中で垂直に曲がり、その他端が、前記チャンバの側壁から突出して前記クリーニングガスラインに接続されている、側管と、
前記第1の開口及びこれを包囲する段差に嵌合可能な凸型形状の蓋体と、前記蓋体を支持するステムと、前記ステムに接続された駆動機構と、前記第2の開口に嵌め込まれる固定具と、前記蓋体の進退動作の際にチャンバ内外の気密性を保つベローズと、前記蓋体の凸部を有する面の反対側の面に設けられる第1のOリングと、を有する弁体と、
活性化された前記クリーニングガスの導入時は、前記蓋体が前記固定具の前記チャンバ内部側の端部に接する状態にあって前記第1の開口を開放するとともに、前記蓋体と前記固定具の前記チャンバ内部側の端部とは前記第1のOリングを介して気密封止され、前記クリーニングガスラインから前記側管及び前記第1の開口を介して前記チャンバ内にクリーニングガスが導入される、
ことを特徴とする。
また、上記構成において、前記ベローズは、その一端が、前記固定具の前記第2の開口に嵌め込まれていない側の端部に取り付けられるとともに、その他端が、前記ステムに設けられるベローズ取付け部に取り付けられていてもよい。
チャンバと、前記チャンバの内部をクリーニングするためのクリーニングガスを前記チャンバ内に供給するためのクリーニングガスラインと、前記クリーニングガスラインに配置され、前記クリーニングガスを活性化する活性化手段と、前記チャンバの側壁を貫通するように設けられたクリーニングガス導入口と、前記クリーニングガス導入口の一端に設けられた、前記チャンバの内部に向かって開く第1の開口、及び、前記第1の開口を包囲する段差と、前記クリーニングガス導入口の他端に設けられた、前記チャンバの外部に向かって開く第2の開口と、前記チャンバの側壁に平行に沿って前記チャンバの側壁内に埋設され、その一端が、前記クリーニングガス導入口と垂直に接続するとともに、その途中で垂直に曲がり、その他端が、前記チャンバの側壁から突出して前記クリーニングガスラインに接続されている、側管と、前記第1の開口及びこれを包囲する段差に嵌合可能な凸型形状の蓋体と、前記蓋体を支持するステムと、前記ステムに接続された駆動機構と、前記第2の開口に嵌め込まれる固定具と、前記蓋体の進退動作の際にチャンバ内外の気密性を保つベローズと、前記蓋体の凸部を有する面の反対側の面に設けられる第1のOリングと、を有する弁体と、を備えたプラズマ処理装置のクリーニング方法であって、
活性化された前記クリーニングガスの導入時に、前記蓋体が前記固定具の前記チャンバ内部側の端部に接する状態にあって前記第1の開口を開放するとともに、前記蓋体と前記固定具の前記チャンバ内部側の端部とは前記第1のOリングを介して気密封止され、前記クリーニングガスラインから前記側管及び前記第1の開口を介して前記チャンバ内にクリーニングガスを導入することでクリーニングを行う、ことを特徴とする。
図1に示すように、プラズマ処理装置10は、チャンバ11と、プロセスガスラインL1と、クリーニングガスラインL2と、排気ラインL3と、システムコントローラ100と、を備える。
上記実施の形態では、異常放電を低減するためにリモートプラズマ導入口に蓋材35を設けた構造とした。しかし、上記のような蓋材35を用いずに、クリーニングガス導入口34およびその近傍を、例えば、図5および図6に示すような弁体を用いた構造としてもよい。なお、図5および図6は、クリーニングガス導入口34の閉鎖状態および開放状態をそれぞれ示す。
また、上記例では、側管40をチャンバ11の壁の内部に設ける構成としたが、側管40をチャンバ11外部に設け、側管40と弁体41とがチャンバ11の外部で接続された構造としてもよい。
上記実施の形態では、クリーニングガス導入口34は、図3に示すように、互いに対向するように2つ設け、それぞれ、図4に示すような多数のスリット35aを有する蓋材35を設けた。しかし、図7に示すように、クリーニングガス導入口34を全体で同等の開口面積を有するように複数に分け、各クリーニングガス導入口34’に設けた蓋材35’のスリット35a’を密に配置した構成としてもよい。
11 チャンバ
12 プラズマ発生装置
17 サセプタ
26 上部電極
28 電極板
29 電極支持体
29a 拡散部
34 クリーニングガス導入口
35 蓋材
37 排気管
100 システムコントローラ
L1 プロセスガスライン
L2 クリーニングガスライン
L3 排気ライン
L4 クリーニング用排気ライン
Claims (8)
- チャンバと、
前記チャンバの内部をクリーニングするためのクリーニングガスを前記チャンバ内に供給するためのクリーニングガスラインと、
前記クリーニングガスラインに配置され、前記クリーニングガスを活性化する活性化手段と、
前記チャンバの側壁を貫通するように設けられたクリーニングガス導入口と、
前記クリーニングガス導入口の一端に設けられた、前記チャンバの内部に向かって開く第1の開口、及び、前記第1の開口を包囲する段差と、
前記クリーニングガス導入口の他端に設けられた、前記チャンバの外部に向かって開く第2の開口と、
前記チャンバの側壁に平行に沿って前記チャンバの側壁内に埋設され、その一端が、前記クリーニングガス導入口と垂直に接続するとともに、その途中で垂直に曲がり、その他端が、前記チャンバの側壁から突出して前記クリーニングガスラインに接続されている、側管と、
前記第1の開口及びこれを包囲する段差に嵌合可能な凸型形状の蓋体と、前記蓋体を支持するステムと、前記ステムに接続された駆動機構と、前記第2の開口に嵌め込まれる固定具と、前記蓋体の進退動作の際にチャンバ内外の気密性を保つベローズと、前記蓋体の凸部を有する面の反対側の面に設けられる第1のOリングと、を有する弁体と、
活性化された前記クリーニングガスの導入時は、前記蓋体が前記固定具の前記チャンバ内部側の端部に接する状態にあって前記第1の開口を開放するとともに、前記蓋体と前記固定具の前記チャンバ内部側の端部とは前記第1のOリングを介して気密封止され、前記クリーニングガスラインから前記側管及び前記第1の開口を介して前記チャンバ内にクリーニングガスが導入される、
ことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記蓋体が前記第1の開口に嵌合した状態で、前記蓋体の前記チャンバ内部に露出する面は、前記チャンバの内部の壁面と同一の平面を形成する、ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置
- 前記蓋体は、前記チャンバと共通電位に設定されている、ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記蓋体の周縁部の、凸型の一面には、凸部を包囲するように第2のOリングが設けられ、前記第1の開口に嵌合した状態で、前記チャンバと前記蓋体との間は前記第2のOリングにより気密に封止される、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記活性化手段は、前記クリーニングガスのプラズマを発生させる、ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記ベローズは、その一端が、前記固定具の前記第2の開口に嵌め込まれていない側の端部に取り付けられるとともに、その他端が、前記ステムに設けられるベローズ取付け部に取り付けられている、ことを特徴とする請求項1記載のプラズマ処理装置。
- チャンバと、前記チャンバの内部をクリーニングするためのクリーニングガスを前記チャンバ内に供給するためのクリーニングガスラインと、前記クリーニングガスラインに配置され、前記クリーニングガスを活性化する活性化手段と、前記チャンバの側壁を貫通するように設けられたクリーニングガス導入口と、前記クリーニングガス導入口の一端に設けられた、前記チャンバの内部に向かって開く第1の開口、及び、前記第1の開口を包囲する段差と、前記クリーニングガス導入口の他端に設けられた、前記チャンバの外部に向かって開く第2の開口と、前記チャンバの側壁に平行に沿って前記チャンバの側壁内に埋設され、その一端が、前記クリーニングガス導入口と垂直に接続するとともに、その途中で垂直に曲がり、その他端が、前記チャンバの側壁から突出して前記クリーニングガスラインに接続されている、側管と、前記第1の開口及びこれを包囲する段差に嵌合可能な凸型形状の蓋体と、前記蓋体を支持するステムと、前記ステムに接続された駆動機構と、前記第2の開口に嵌め込まれる固定具と、前記蓋体の進退動作の際にチャンバ内外の気密性を保つベローズと、前記蓋体の凸部を有する面の反対側の面に設けられる第1のOリングと、を有する弁体と、を備えたプラズマ処理装置のクリーニング方法であって、
活性化された前記クリーニングガスの導入時に、前記蓋体が前記固定具の前記チャンバ内部側の端部に接する状態にあって前記第1の開口を開放するとともに、前記蓋体と前記固定具の前記チャンバ内部側の端部とは前記第1のOリングを介して気密封止され、前記クリーニングガスラインから前記側管及び前記第1の開口を介して前記チャンバ内にクリーニングガスを導入することでクリーニングを行う、ことを特徴とするプラズマ処理装置のクリーニング方法。 - 前記活性化手段は、前記クリーニングガスのプラズマを発生させる、請求項7に記載のプラズマ処理装置のクリーニング方法。
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