JP4178958B2

JP4178958B2 - リブ状物の形成工具

Info

Publication number: JP4178958B2
Application number: JP2003004441A
Authority: JP
Inventors: 努福田
Original assignee: Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 2003-01-10
Filing date: 2003-01-10
Publication date: 2008-11-12
Anticipated expiration: 2023-01-10
Also published as: JP2004220847A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、ＰＤＰ（ｐｌａｓｍａｄｉｓｐｌａｙｐａｎｅｌ）に使用される基板の表面にリブ状物を形成するためのリブ状物の形成工具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、ＰＤＰにおけるリブの形成方法として、サンドブラスト法が知られている。
この方法では、はじめに、図９に示すように、基板５１の表面全体に、ガラス粉末、若しくはガラス・セラミック混合粉末を含むセラミックペーストを厚膜法により塗布し、乾燥することにより、または、ガラス粉末、若しくはガラス・セラミック混合粉末を含むセラミックグリーンテープを積層することにより、パターン形成層５２を形成する。その後、このパターン形成層５２を感光性フィルム５３により被覆し、この感光性フィルム５３をマスク５４を通して露光し、次いで現像を行うことにより、所定のパターンのレジスト層５５が形成される。次いで、レジスト層５５の上方からサンドブラスト処理を施して、パターン形成層５２のうち、セル５８となる部分を取り除くことにより、リブ状物５６が形成され、剥離剤等を用いてレジスト層５５を除去した後に、リブ状物５６を焼成することによりリブ５７が得られる。（例えば、特許文献１参照。）
【０００３】
しかしながら、サンドブラスト法においては、レジスト層５５を形成するために、感光性フィルム５３を被覆し、露光、現像等の複雑な工程が必要であると共に、サンドブラスト処理により、パターン形成層５２の大部分を取り除くため、パターン形成層５２の材料が多く必要となり、ＰＤＰの製品コストが高くなるという問題があり、本発明者等は、基板の表面に形成されたペースト膜に、図８に示すようなリブ状物の形成ブレード（以下単にブレードと称す）を用いてリブ状物を形成する方法を提案している。
【０００４】
図８に示すブレード１は、長尺状に形成された板状の部材で、研磨加工によって先端部に複数の凹溝２が形成され、各凹溝２の間に複数のくし歯３が設けられている。そして、基板４の表面４ａに形成されたペースト膜５にブレード１の先端部を突き刺した状態で、ブレード１をペースト膜５に対して相対的に一方向（矢印Ａ方向）に移動することにより、ペースト膜５を変形させて基板４の表面４ａに複数のリブ状物６を形成する。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１１−１２０９０４号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記ブレード１を使用したリブ状物６の形成方法においては、形成されるリブ状物６の高さ寸法は凹溝２の溝深さ寸法によって決められるので、各凹溝２の溝深さ寸法にばらつきがある場合、形成される各リブ状物６の高さ寸法がばらついてしまい、均一な高さ寸法でリブ状物６を形成することができないという問題があった。また、研磨加工により加工された凹溝２の角部分に丸みを有さない形状とすることは困難であり、丸みを有する角部分によって、形成されるリブ状物６の先端角部も丸みを有する形状となってしまうという問題があった。また、形成されるリブ状物６の高さ寸法の設定を変更する場合には、高さ寸法の設定ごとの溝深さ寸法に形成された凹溝２を有するブレード１を用意しなければならないという問題があった。
【０００７】
本発明は、このような背景の下になされたものであって、均一な高さ寸法で、先端角部に丸みを有さない複数のリブ状物を形成することができ、リブ状物の高さ寸法の設定変更に対応することのできるリブ状物の形成工具を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明に係るリブ状物の形成工具は、複数のヘッド部構成体を備え、前記ヘッド部構成体の対向する内面が成すスロットの先端方向へペーストを供給させながら、基板の表面に沿って相対的に一方向に移動することにより、該基板の表面に複数のリブ状物を形成するリブ状物の形成工具において、前記複数のヘッド部構成体のうちの少なくとも一つのヘッド部構成体は、ブレード支持体の先端部にリブ状物の形成ブレードが固定されて構成されており、前記リブ状物の形成ブレードは、ブレード本体の先端面に開口する複数の凹溝が設けられているとともに、前記ブレード本体の前方側面に板状部材が装着されて構成されており、該板状部材の先端側の端面が前記ブレード本体の先端面に平行で前記凹溝の溝底よりも先端側に位置しており、前記板状部材を装着する装着手段によって、該板状部材の装着位置が前記ブレード本体の先端方向へ変更可能とされていることを特徴とする。
【０００９】
この発明のリブ状物の形成工具における前記形成ブレードにおいて、ブレード本体の前方側面に板状部材が装着されており、板状部材の端面がブレード本体の先端面に平行で凹溝の溝底よりも先端側に位置しているので、凹溝の溝深さ寸法に関係なく板状部材の端面の位置によって形成されるリブ状物の高さ寸法が決まり、凹溝を形成する加工によって溝深さ寸法にばらつきが生じたとしても、板状部材によりリブ状物の高さ寸法が均一となる。また、凹溝の角部分が丸みを有する形状であっても、この角部分がリブ状物の形成に影響を与えることがなく、板状部材の端面と凹溝の溝側面とが成す角部によって丸みのない、シャープな先端角部を有するリブ状物が形成される。これにより、均一な高さ寸法で、先端角部に丸みを有さない複数のリブ状物を形成することができる。さらに、ペースト膜を形成する工程とリブ状物を形成する工程とを同時に行うことができ、工数を削減することができる。さらにまた、板状部材の装着位置がブレード本体の先端方向へ変更可能とされているので、形成されるリブ状物の高さ寸法の設定を変更する場合には、板状部材の装着位置を変更することで対応することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照し、この発明の実施の形態について説明する。
図１および図２に、本実施形態のリブ状物の形成工具に係わるリブ状物の形成ブレード（ブレード）の斜視図を示す。ブレード１０は、超硬合金製の長尺状に形成された板状のブレード本体１１と、ブレード本体１１の前方側面１１ａに装着されている板状部材１２とを備えて構成されており、長手方向に直交する方向（矢印Ａ方向）が後述するヘッド部２０の移動方向とされている。ブレード本体１１は、移動方向後方を向く側面の先端側がテーパ状に面取りされた略長方形の断面形状を有しており、ブレード本体１１の先端部１１ｂには、長手方向に直交する方向に沿って先端面１１ｃに開口する複数の凹溝１３が設けられている。図３に示すように凹溝１３は、平坦な底面１３ａと溝側面１３ｂとによって矩形状を成しており、ほぼ同一の溝深さ寸法で等間隔となるように研磨加工によって加工されている。なお、凹溝１３の溝深さ寸法は、底面１３ａからブレード本体１１の先端面１１ｃまでの寸法とされる。
【００１２】
また、板状部材１２は、ブレード本体１１と同じ長さの板状の部材で、先端側の端面１２ａの真直度が板状部材１２の全長に渡って±０．０１ｍｍ以下（±０．００５ｍｍ以下が望ましい）となるような真直線状に形成されており、上下方向に長穴形状のボルト穴１４が形成されている。そして、端面１２ａが先端面１１ｃに平行となるように、かつ底面１３ａよりも先端側となるように、固定ボルト１５によってブレード本体１１に装着されている。
【００１３】
このように構成されているブレード１０は、図８で示したような複数のリブ状物６を形成する形成工程に用いることもできる。リブ状物６の形成工程において、ブレード本体１１の先端面１１ｃが基板４の表面４ａに当接するようにペースト膜５に突き刺し、ブレード１０を基板４の表面４ａに沿う方向（矢印Ａ方向）に移動させることで、凹溝１３の間隔に倣ってペースト膜５が変形し、表面４ａに複数のリブ状物６が形成される。ペースト膜５は、樹脂および溶剤にガラス粉末、若しくはガラス・セラミック混合粉末を混練したものである。
【００１４】
このような形成工程において、複数のリブ状物６の高さ寸法は、板状部材１２の端面１２ａと基板４の表面４ａとの間隔に依存した寸法に形成されることになるので、均一な高さ寸法で形成することができる。つまり、端面１２ａが、ブレード本体１１の先端面１１ｃに平行で凹溝１３の底面１３ａよりも先端側となるように、板状部材１２がブレード本体１１に装着され、先端面１１ｃを表面４ａに当接させた状態で形成工程が行われるので、真直線状の端面１２ａによってリブ状物６を均一な高さ寸法で形成することができるのである。また、板状部材１２の端面１２ａと凹溝１３の溝側面１３ｂとが成す角部によって丸みのない、シャープな先端角部を有するリブ状物６を形成することができる。これにより、凹溝１３の深さ寸法にばらつきが生じることによる問題を回避することができるとともに、凹溝１３の角部分が丸みを有する形状であることによる問題を回避することができ、形成されるリブ状物６の特性を向上させることができる。
【００１５】
また、長穴形状のボルト穴１４と固定ボルト１５とによる装着手段によって、板状部材１２がブレード本体１１に装着されており、板状部材１２の装着位置がブレード本体１１の先端方向へ変更可能とされているので、板状部材１２の装着位置を変更することによって、形成されるリブ状物６の高さ寸法の設定を変更することができる。また、従来より用いられているブレード本体に固定ボルト１５を締結する雌ネジを形成しするだけで容易に本発明を実施することができ、上述したようなリブ状物６の特性を向上させる効果を低コストで得ることができる。
【００１６】
また、図４に、ブレード１０Ａの変形例の斜視図を示す。ブレード１０Ａは、ブレード本体１１Ａに板状部材１２Ａの収容可能な座ぐり部１６が形成されており、板状部材１２Ａをブレード本体１１Ａに装着することで、板状部材１２Ａの取付位置を変更する際に座ぐり部１６をガイドとして、板状部材１２Ａを水平に移動させることができる。
【００１７】
そして、図５に、前記ブレード１０を備えた本発明のリブ状物の形成工具の実施の形態であるヘッド部２０の側面図を示す。ヘッド部２０は、一対のヘッド部構成体２１，２２が対向するように配置されて構成されており、ヘッド部構成体２１は、ステンレス鋼製のブレード支持体２３の先端部に超硬合金製のブレード１０が固定されて構成され、ヘッド部構成体２２は、ステンレス鋼製のブレード支持体２４に超硬合金製のブレード２５が固定されて構成されている。ブレード支持体２３，２４の内面２３ａ，２４ａに対向するように形成された溝部２６，２７によってポケット２８が画成され、ブレード１０，２５の内面１０ａ，２５ａとブレード支持体２３，２４の内面２３ａ，２４ａとによってスロット２９が画成されている。また、ポケット２８より上方には内面２３ａ，２４ａに密着するようにスペーサ３０が挟まれている。また、ブレード２５の内面２５ａには、固定ボルト１５のボルトヘッド１５ａを収容可能な収容部３１が形成されている。
【００１８】
上述したようなヘッド部２０は、形成装置（図示せず）に装着されてＰＤＰの基板４にリブ状物６を形成する形成工程に用いられ、形成工程におけるヘッド部２０の移動方向は、ブレード１０，２５の長手方向に直交する方向で、ブレード２５が前方側となるように配置される。リブ状物６の形成工程において、まず、ヘッド部２０をブレード１０，２５の先端面１０ｃ，２５ｃを基板４の表面４ａに当接させた状態で、形成装置からポケット２８にペースト３２を供給する。そして、ポケット２８に供給されたペースト３２は、ポケット２８の内部に充填された後にスロット２９を通過して、ブレード１０，２５の長手方向に均一な流量となるように先端方向へ供給される。これと同時に、ヘッド部２０を基板４の表面４ａに沿う方向（矢印Ａ方向）に移動させることで、凹溝１３の間隔に倣ってペースト３２が表面４ａに付着し、複数のリブ状物６が形成される。
【００１９】
このような、ブレード１０を備えたヘッド部２０は、均一な高さ寸法で、先端角部に丸みを有さない複数のリブ状物６を形成することができ、容易にリブ状物６の高さ寸法の設定変更に対応することができる。このように、ＰＤＰの基板４に形成されるリブ状物６の特性を向上させることにより、ＰＤＰの製品の品質を向上させることができ、ＰＤＰの製品の歩留まりが向上することでコスト削減を図ることができる。また、ペースト膜５を形成する工程とリブ状物６を形成する工程とを同時に行うことができるので、工数を削減することができ、コスト削減を図ることができる。
【００２０】
また、図６，７に、他の装着手段を備えたブレード１０Ｂの変形例を示す。ブレード１０Ｂは、クランプ駒１７を使用した装着手段を備えており、クランプ駒１７は固定ボルト１８によってブレード本体１１Ｂに固定され、クランプ駒１７のネジ穴に螺合する六角穴付止めネジ１９によって板状部材１２Ｂが固定される構成となっている。つまり、装着時において、板状部材１２Ｂはクランプ駒１７とブレード本体１１Ｂとの間を上下に移動可能とされ、任意の高さ位置に板状部材１２Ｂを調節した後に六角穴付止めネジ１９を締め込み、板状部材１２Ｂが装着されるのである。なお、上述したような変形例以外の装着手段を用いて、板状部材１２の装着位置を変更可能として板状部材１２をブレード本体１１に装着してもよい。
【００２１】
なお、板状部材１２の装着手段として、板状部材１２の装着位置を変更せずにリブ状物６の高さ寸法が一定の場合には、接着やロウ付けなどの装着手段を用いることもできる。
【００２２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るリブ状物の形成工具によれば、板状部材の装着位置がブレード本体の先端方向へ変更可能となるように装着手段により装着することにより、形成されるリブ状物の高さ寸法の設定を変更する場合に、板状部材の装着位置を変更することで容易に対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係わるリブ状物の形成ブレードの斜視図である。
【図２】リブ状物の形成ブレードの斜視図である。
【図３】リブ状物の形成ブレードの正面図である。
【図４】ブレードの変形例の斜視図である。
【図５】本発明の一実施形態であるリブ状物の形成工具の側面図である。
【図６】ブレードの他の変形例の正面図である。
【図７】図６に示すブレードの斜視図である。
【図８】従来のリブ状物の形成ブレードにおけるリブ状物の形成方法を示す斜視図である。
【図９】サンドブラスト法によるリブの形成方法の工程図である。
【符号の説明】
４基板
５ペースト膜
６リブ状物
１０ブレード
１０ａ，２５ａ内面
１１ブレード本体
１１ａ前方側面
１１ｂ先端部
１１ｃ先端面
１２板状部材
１２ａ板状部材の端面
１３凹溝
１３ａ凹溝の溝底
１４ボルト穴（装着手段）
１５固定ボルト（装着手段）
２０ヘッド部（リブ状物の形成工具）
２１，２２ヘッド部構成体
２３，２４ブレード支持体
２９スロット
３２ペースト

Claims

複数のヘッド部構成体を備え、前記ヘッド部構成体の対向する内面が成すスロットの先端方向へペーストを供給させながら、基板の表面に沿って相対的に一方向に移動することにより、該基板の表面に複数のリブ状物を形成するリブ状物の形成工具において、
前記複数のヘッド部構成体のうちの少なくとも一つのヘッド部構成体は、ブレード支持体の先端部にリブ状物の形成ブレードが固定されて構成されており、前記リブ状物の形成ブレードは、ブレード本体の先端面に開口する複数の凹溝が設けられているとともに、前記ブレード本体の前方側面に板状部材が装着されて構成されており、該板状部材の先端側の端面が前記ブレード本体の先端面に平行で前記凹溝の溝底よりも先端側に位置しており、
前記板状部材を装着する装着手段によって、該板状部材の装着位置が前記ブレード本体の先端方向へ変更可能とされていることを特徴とするリブ状物の形成工具。
請求項１に記載のリブ状物の形成工具であって、
前記板状部材は、前記先端側の端面の真直度が該板状部材の全長に渡って±０．０１ｍｍ以下となるような真直線状に形成されていることを特徴とするリブ状物の形成工具。