JP4176241B2 - 流量制御弁 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえばガスの流量を制御するマスフローコントローラなどに用いられるノーマリィクローズ型(常時閉路型)の流量制御弁に関する。
【0002】
【従来の技術】
図3は、従来のノーマリィクローズ型の流量制御弁の構成を概略的に示す縦断面図である。
従来のノーマリィクローズ型の流量制御弁は、以下のように構成されている。すなわち、ブロック本体Bに設けられ、ガス導入路4およびガス導出路5が底部あるいは側部に接続される開口部1に、下から順に、前記ガス導入路4と連通する貫通孔11を中央に有する下部12およびこの下部12の上面に連設される筒状に形成された上部13からなるガイドブロック6と、前記上部13の内側底部に配置される弾性部材7と、この弾性部材7の上側に配置され、弾性部材7によって上方に付勢されるとともに、上下に貫通し、かつ前記貫通孔11の真上に位置しないガス流路17を有するノズルブロック8と、前記ガイドブロック8の上側に位置し、上下に貫通し、かつ前記貫通孔11の真上に位置するオリフィス19を中央に有するオリフィスブロック9が設けられており、さらに、このオリフィスブロック9の上側に位置し、中央にプランジャ部25を有するダイヤフラム構造の押圧部材31が設けられており、また、前記オリフィス19を貫通し、前記押圧部材31により下方へ押圧される押圧ピン10が設けられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上記の構成からなるノーマリィクローズ型の流量制御弁において、押圧ピン部10の側壁とオリフィス19の内壁との間には、0.05mm程度の幅しかなく、また、前記押圧ピン部10は、ノズルブロック8の上面に載置されているだけで固定されていなかったので、ノズルブロック8の上面に対してズレることがあった。これは、ノズルブロック8とガイドブロック6の上部13との関係についても同様である。このようなことに加えて、前記ノズルブロック8の押し下げが、押圧部材31と押圧ピン部10、押圧ピン部10とノズルブロック8の二点接触によって行われていたため、安定性が悪いものとなっていた。
【0004】
そのため、前記押圧部材3の押圧によって、押圧ピン10およびノズルブロック8が上下に移動すると、前記オリフィスブロック9の内壁、前記上部13の内壁に対して、それぞれ押圧ピン10の側壁、ノズルブロック8の側壁が接触し、摩擦が生じることにより、パーティクル(微粒子状のかす)が発生し、このパーティクルがガスに混入して、下流側に設けられた半導体素子の上に載ったりするとショートとなり好ましいものではなかった。
【0005】
また、前記摩擦の発生を防止するために、押圧ピン10やノズルブロック8の径を小さく構成すると、それぞれをオリフィス19内および上部13内において、前後左右に傾かせずに保持および上下移動させることがさらに難しくなり、このことから、押圧部材3によるノズルブロック8および押圧ピン10の押圧に関する制御を精度良く行えなくなる。従って、ガス導出口5から導出するガスの流量制御は、前記ノズルブロック8を上下移動させることで行うが、この上下移動の制御の精度が低下することは、ガスの流量制御の精度が低下することにもなる。
【0006】
この発明は上述の事柄に留意してなされたもので、その目的は、ノーマリィクローズ型の流量制御弁において、パーティクルの発生を防止するとともに、精度の良いガスの流量制御を行うことが可能な流量制御弁を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記目的を達成するために、この発明の流量制御弁は、ブロック本体に設けられ、ガス導入路およびガス導出路が底部に接続された開口部に、下から順に、前記ガス導入路と連通する貫通孔を中央に有する下部およびこの下部の上面に連設される筒状に形成された上部からなるガイドブロックと、前記上部の内側底部に配置される弾性部材と、この弾性部材の上側に配置され、弾性部材によって上方に付勢されるとともに、上下に貫通し、かつ前記貫通孔の真上に位置しないガス流路を有するノズルブロックと、前記ガイドブロックの上側に位置し、上下に貫通し、かつ前記貫通孔の真上に位置するオリフィスを中央に有するオリフィスブロックが設けられており、さらに、このオリフィスブロックの上側に位置し、中央にプランジャ部を有するダイヤフラム構造の押圧部材とが設けられており、また、前記オリフィスを貫通する押圧ピンが設けられている流量制御弁であって、前記ノズルブロックの側壁を前記上部の内壁に接触させないようにするために、前記弾性部材の中央に設けた差し込み口にノズルブロックの下面中央に形成した小径部を上方から挿入した状態で弾性部材にノズルブロックを保持させることにより、ノズルブロックの中心と前記貫通孔の中心とが同一直線上に位置するように位置決めし、かつ、押圧部材に前記押圧ピンを一体成形して、ノズルブロックの上端に押圧ピンの下端を接触させるようにし、前記ノズルブロックの側壁と前記ガイドブロックの上部の内壁とが接触して摩擦が生じることなく、押圧ピンの側壁とオリフィスの内壁とが接触して摩擦が生じることがないようにした(請求項1)。
【0009】
上記の構成により、ノーマリィクローズ型の流量制御弁において、パーティクルの発生を防止するとともに、精度の良いガスの流量制御を行うことが可能な流量制御弁を提供することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施例を、図を参照しながら説明する。
図1は、本発明の参考例に係る流量制御弁Dの構成を概略的に示す縦断面図である。
流量制御弁Dは、外形が円柱状に形成された開口部1内に設けられるとともに、上端が前記開口部1の上面よりも上方に突出している弁ブロック2と、この弁ブロック2の上面を覆うように設けられた押圧部材3とから構成されている。
【0011】
前記開口部1は、ブロック本体Bに設けられたものであり、底部には、ガス導入路4と、ガス導出路5とが接続されている。そして、前記ガス導入路4は、開口部1の底部のほぼ中心に接続されている。尚、前記ガス導入路4,ガス導出路5は、開口部1の側部に接続されてもよい。
【0012】
前記弁ブロック2は、ガイドブロック6と、弾性部材7と、ノズルブロック8と、オリフィスブロック9と、押圧ピン部10とから構成されている。
【0013】
前記ガイドブロック6は、前記ガス導入路4と連通し、上下方向に設けられた貫通孔11を中央に有するほぼ円柱状の下部12と、この下部12の上面に連設され、かつ外径が前記下部12の上端と同一である筒状に形成された上部13とからなる。そして、前記上部13の内側底部には、環状突起部14が形成されている。このような構成からなるガイドブロック6の外径は、前記開口部1の径よりも幾分小さく形成されている。また、前記下部12の底には、外径が、前記上部13の外径よりも小さい小径部15が形成されている。なお、前記ガス導出路5は、この小径部15および前記貫通孔11の真下以外の位置に接続されている。
【0014】
前記弾性部材7は、たとえば平面視が円形状の板バネであり、上下方向に形成された複数の流路(図示せず)を有するとともに、中央に平面視が円形状の差し込み口16が形成されている。そして、弾性部材7の周縁部は、前記環状突起部14の上面に当接しており、この当接によって、弾性部材7は、前記下部12の上面から離れた状態で保持されることになる。
【0015】
前記ノズルブロック8は、上下に貫通し、前記貫通孔11の真上に位置しない複数のガス流路17、17…を有するほぼ円柱状の部材であり、下面の中央に小径部18が形成されている。また、外面下部には、下方に向かって径が小さくなるテーパ面Tが形成されている。
【0016】
上記の構成からなるノズルブロック8は、前記ガイドブロック6の筒状の上部13内側で、かつ前記弾性部材7の上側に配置され、この弾性部材7によって、常に上方へ付勢されることになる。また、前記小径部18が、前記弾性部材7の差し込み口16に挿入された状態で保持されることにより、ノズルブロック8の中心と前記貫通孔11の中心とが同一直線上に位置するように位置決め(以下、センタリングという)されることになる。なお、ノズルブロック8の外径は、前記ガイドブロック6の上部13の内径よりも十分に小さく形成されており、ノズルブロック8の側壁と、上部13の内壁とは接触することがない。
【0017】
前記オリフィスブロック9は、上下に貫通するオリフィス19を中央に有するほぼ円柱状の部材であり、外径が前記開口部1の内径とほぼ等しい大径部20と、この大径部20の下端に連設される中径部21とからなっている。なお、この中径部21の外径は、前記大径部20の外径よりも小さく、前記ガイドブロック6の外径よりも大きく形成されている。また、オリフィスブロック9の上面には、平面視が円形状の凹入部22が設けられ、さらに、オリフィスブロック9の内部に、一端がこの凹入部22の周縁部に連通し、他端が前記中径部21の側面に連通する流路23が形成されている。また、前記オリフィスブロック9の上部は、前記開口部1の上端よりも、上方へ突出している。
【0018】
前記押圧ピン部10は、前記オリフィス19を挿通するように形成されたほぼ円柱状の部材であり、下端が前記ノズルブロック8の上面の中心に位置するようノズルブロック8に一体成形されている。
【0019】
また、前記押圧ピン部10の外径は、前記オリフィス19の径よりも十分小さく形成されており、押圧ピン部10の側壁と、オリフィス19の内壁とは接触することがない。
【0020】
前記押圧部材3は、弁ブロック押さえ部24と、プランジャ部25とから構成されている。
【0021】
前記弁ブロック押さえ部24は、内部が中空に形成されたほぼ円筒状の部材であり、プランジャ部25を覆うための図示しないケースによって、下方へ付勢されている。また、前記弁ブロック押さえ部24は、ダイヤフラム26を備えており、このダイヤフラム26は、前記凹入部22の上端に形成される開口を常時閉塞する弁体として機能するもので、スレンレス鋼など耐腐食性およびばね性に富む素材よりなる。なお、27はシール部材である。
【0022】
前記弁ブロック押さえ部24が下方に付勢されていることにより、上端がこの弁ブロック押さえ部24の下面に当接している前記オリフィスブロック9も、下方へ付勢されることになり、また、上端がこのオリフィスブロック9の下面に当接しているガイドブロック6も、下方に付勢されることになる。このため、弁ブロック2は、前記開口部1内に安定した状態で保持されることになる。さらに、前記オリフィスブロック9の下方に位置するノズルブロック8は、前記弾性部材7によって上方に付勢されているため、ノズルブロック8の上面が前記オリフィス19の下端に当接することになり、通常時は、オリフィス19の下端が閉塞されることになる。
【0023】
前記プランジャ部25は、ほぼ円柱状の部材であり、下端が前記ダイヤフラム26の上面に接続されるとともに、上方には、アクチュエータとしてのピエゾスタック(図示せず)が設けられており、このピエゾスタックに所定の電圧を印加することにより、プランジャ部25を下方へ押し下げる力が発生する。
【0024】
以下に、上記の構成からなる流量制御弁Dの動作について、流量制御弁D内を流れるガスの動きとともに説明する。
流量制御弁Dによるガスの流量制御は、前記ピエゾスタックに電圧を印加して、プランジャ部25を上下に移動させることで行う。すなわち、ピエゾスタックに電圧が印加されていない初期状態では、前記プランジャ部25は、前記押圧ピン部10を下方へ押し下げないように保持される。従って、前記弾性部材7により上方に付勢されているノズルブロック8の上面が、前記オリフィス19の下端を閉塞している状態が保たれることになる。
【0025】
上記のような初期状態では、前記ガス導入路4から開口部1内に導入されたガスは、ガイドブロック6の下部12内に設けられた貫通孔11を通り、ガイドブロック6の上部13内に進入するが、この上部13の下流側にあるオリフィス19の下端は閉塞されているため、ガスが上部13からオリフィス19内へ流れることはない。
【0026】
そして、ピエゾスタックに電圧を印加した印加状態にすると、印加した電圧の大きさに応じて、前記プランジャ部25が押し下げられ、この押し下げに伴って、前記押圧ピン部10とノズルブロック8とに、下方向への付勢が働くことになる。この下向きの付勢と、ノズルブロック8に加わる弾性部材7による上向きの付勢との均衡によって、ノズルブロック8と押圧ピン部10の上下方向における位置決めがなされる。
【0027】
上記のような印加状態では、ノズルブロック8の上面が、前記オリフィス19の下端を閉塞している状態が解除されることになり、初期状態では、オリフィス19内に進入できなかったガスが、進入可能となる。オリフィス19内に進入したガスは、その後、凹入部22、流路23を通って、中径部21の外側に至り、さらに、開口部1の内壁と弁ブロック2の外壁の間を通って、開口部1の底部に接続されたガス導出路5から、開口部1の下流側へ導出されることになる。なお、ガス導出路5から導出するガスの流量は、ノズルブロック8の上面と、オリフィス19の下端との離間距離を調節することで行うことができ、この調節は、ノズルブロック8と一体的に形成されている押圧ピン部10を押し下げる前記プランジャ部25のアクチュエータであるピエゾスタックに印加する電圧の大きさを調整することで行うことができる。
【0028】
なお、上記したように、前記ノズルブロック8の外面下部には、下方に向かって径が小さくなるテーパ面Tが形成されており、従って、弾性部材7に接する面積は、このようなテーパ面Tを形成しない場合に比べて、小さくなることになる。
【0029】
また、上記の構成からなる流量制御弁Dの部材は、全てステンレスによって形成されている。
【0030】
上記の構成からなる流量制御弁Dにおいて、上述のように、ノズルブロック8は弾性部材7によってセンタリングされているが、このノズルブロック8に一体的に形成されている押圧ピン部10も同様にセンタリングされることになる。従って、ノズルブロック8の側壁とガイドブロック6の上部13の内壁とが接触して摩擦が生じることはなく、また、押圧ピン部10の側壁とオリフィス19の内壁とが接触して摩擦が生じることがないため、前記二つの摩擦を原因として生じるパーティクルが発生することを防止することができる。そして、さらには、この流量制御弁Dの耐久性をも向上させることが可能となる。
【0031】
また、前記センタリングによって、ノズルブロック8および押圧ピン部10が、静止時はもちろん上下移動時にも、前後左右に傾くことがなく、さらに、ノズルブロック8の上下移動が、押圧ピン部10の上端とプランジャ部25の下端との一点接触のみによって行われるため、前記上下移動を精度良く制御することができ、ひいてはガスの流量制御を精度良く行うことができる。
【0032】
さらに、前記センタリングによって、前記押圧ピン部10およびノズルブロック8の外径を、それぞれオリフィス19およびガイドブロック6の上部13の内壁に対して、十分に小さく形成しても、安定性を失わないことから、前記押圧ピン部10およびノズルブロック8の寸法誤差の許容範囲が大きくすることができ、コストを下げることが可能となる。
【0033】
上記の構成からなる流量制御弁Dを、たとえば、流体が流れる流路に対して流路センサ部と、この流路センサ部の下流側または上流側に設けられる制御バルブと、前記流量センサ部からの流量測定信号と流量設定信号とを比較し、この比較結果に基づいて前記制御バルブの開度を制御するバルブ制御部とを備えたマスフローコントローラにおける前記制御バルブとして用いてもよい。
【0034】
図2は、本発明の一実施例に係る流量制御弁D2 の構成を概略的に示す縦断面図である。なお、上記参考例で示したものと同一構造の部材には、同じ符号を付し、その説明を省略する。
流量制御弁D2 は、上記参考例と構成および効果がほとんど同じであるが、相違点は、押圧ピン部10が、ノズルブロック8と一体的に形成されているのではなく、プランジャ部25と一体的に形成されており、また、ノズルブロック8の外面下部に形成されていたテーパ面Tが小さくなるとともに、ノズルブロック8の外径が、ガイドブロック6の上部13の内壁に接触しない程度に大きくなっており、さらに、環状突起部14がなくなるとともに、弾性部材7が、中央に平面視円形状の差し込み口16を有する板ばねではなく、中央に平面視が円形状の嵌め込み口16’を有する皿バネになっていて、前記嵌め込み口16’に前記ノズルブロック8の底部に設けられた小径部18が嵌め込まれる点である。
【0035】
また、上記の構成において、ノズルブロック8の押し下げは、プランジャ部25と一体的に形成された押圧ピン部10の下端が、ノズルブロック8の上端と当接し、さらに、下方へ付勢することで行われる。
【0036】
【発明の効果】
上記の構成からなる本発明の流量制御弁によれば、ノーマリィクローズ型の流量制御弁において、パーティクルの発生を防止するとともに、精度の良いガスの流量制御を行うことが可能な流量制御弁を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の参考例に係る流量制御弁の構成を概略的に示す縦断面図である。
【図2】 本発明の一実施例に係る流量制御弁の構成を概略的に示す縦断面図である。
【図3】 従来のノーマリィクローズ型の流量制御弁の構成を概略的に示す縦断面図である。
【符号の説明】
1…開口部、3…押圧部材、4…ガス導入路、5…ガス導出路、6…ガイドブロック、7…弾性部材、8…ノズルブロック、9…オリフィスブロック、10…押圧ピン、11…貫通孔、12…下部、13…上部、17…流路、19…オリフィス、25…プランジャ部、26…ダイヤフラム、B…ブロック本体、D…流量制御弁。
Claims (1)
- ブロック本体に設けられ、ガス導入路およびガス導出路が底部に接続された開口部に、下から順に、前記ガス導入路と連通する貫通孔を中央に有する下部およびこの下部の上面に連設される筒状に形成された上部からなるガイドブロックと、前記上部の内側底部に配置される弾性部材と、この弾性部材の上側に配置され、弾性部材によって上方に付勢されるとともに、上下に貫通し、かつ前記貫通孔の真上に位置しないガス流路を有するノズルブロックと、前記ガイドブロックの上側に位置し、上下に貫通し、かつ前記貫通孔の真上に位置するオリフィスを中央に有するオリフィスブロックが設けられており、さらに、このオリフィスブロックの上側に位置し、中央にプランジャ部を有するダイヤフラム構造の押圧部材とが設けられており、また、前記オリフィスを貫通する押圧ピンが設けられている流量制御弁であって、前記ノズルブロックの側壁を前記上部の内壁に接触させないようにするために、前記弾性部材の中央に設けた差し込み口にノズルブロックの下面中央に形成した小径部を上方から挿入した状態で弾性部材にノズルブロックを保持させることにより、ノズルブロックの中心と前記貫通孔の中心とが同一直線上に位置するように位置決めし、かつ、押圧部材に前記押圧ピンを一体成形して、ノズルブロックの上端に押圧ピンの下端を接触させるようにし、前記ノズルブロックの側壁と前記ガイドブロックの上部の内壁とが接触して摩擦が生じることなく、押圧ピンの側壁とオリフィスの内壁とが接触して摩擦が生じることがないようにしたことを特徴とする流量制御弁。
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