JP4170009B2

JP4170009B2 - 読取装置

Info

Publication number: JP4170009B2
Application number: JP2002098054A
Authority: JP
Inventors: 和博小沢
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2002-03-29
Filing date: 2002-03-29
Publication date: 2008-10-22
Anticipated expiration: 2022-03-29
Also published as: JP2003297708A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、読取装置に関し、更に詳しくは検査装置等の処理装置内で搬送機構によって搬送される被処理体の表面または裏面に付されたバーコード、英数字、２Ｄコード等の識別記号を読み取る装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体処理工程では半導体ウエハ等の被処理体にバーコード、英数字、２Ｄコード等の識別記号を付し、この識別記号に基づいて個々の被処理体を例えばロット単位で製造管理している。そのため、半導体処理工程の各処理装置にはバーコードリーダ等の読取装置が付設されている。
【０００３】
処理装置、例えば検査装置に適用された読取装置を例に挙げて説明する。検査装置（例えば、プローブ装置）は、通常、ローダ室とプローバ室とを備え、ローダ室内からプローバ室内へ被処理体（ウエハ）を搬送し、プローバ室内でウエハの電気的特性検査を行なった後、プローバ室からローダ室内にウエハを戻すようにしてある。そして、ローダ室内には搬送機構及び読取装置等が配設され、搬送機構を介してウエハをプローバ室内へ搬送するまでに読取装置の読取手段（例えば、ＯＣＲ）でウエハに付された識別記号を読み取る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ウエハによっては識別記号がウエハの表面に付されたものやウエハの裏面に付されたものが混在し、しかも読取装置がローダ室内に固定されているため、オペレータは検査前に識別記号の付された面が表面であるか裏面であるかを確認し、識別記号の付された面に応じてＯＣＲの設置状態を手作業で変更し、ＯＣＲで識別記号を読み取ることができるように調整しなくてはならない。しかもＯＣＲを変更する際にＯＣＲの光学系をも調整しなくてはならず、読取装置のセットアップ作業に多くの時間を割かなくてはならないという課題があった。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、半導体ウエハを処理する際に識別記号の付された半導体ウエハの表面または裏面に応じてＯＣＲ等の読取手段の読取位置を簡単に変更することができ、半導体ウエハを処理する際のセットアップの作業時間を格段に短縮することができる読取装置を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載の読取装置は、処理装置内で搬送機構によって搬送される半導体ウエハの表面または裏面に付された上記半導体ウエハの識別記号を読み取る装置において、上記識別記号を読み取る読取手段と、上記識別記号の付された上記半導体ウエハの表面または裏面に即して上記読取手段を反転させる反転手段と、を備えたことを特徴とするものである。
【０００７】
また、本発明の請求項２に記載の読取装置は、請求項１に記載の発明において、上記読取手段が反転したことを検出する検出手段を備えたことを特徴とするものである。
【０００８】
また、本発明の請求項３に記載の読取装置は、請求項２に記載の発明において、上記検出手段は、上記読取手段の側面に取り付けられたシャッタと、上記反転手段の左右両側に取り付けられた一対のフォトセンサと、を有し、上記反転手段が上記読取手段を反転させて上記シャッタが上記反転手段のいずれか一方のフォトセンサに達した時に、上記フォトセンサが上記シャッタを検出することを特徴とするものである。
【０００９】
また、本発明の請求項４に記載の読取装置は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明において、上記反転手段は上記半導体ウエハに関する外部情報に基づいて上記読取手段を反転させることを特徴とするものである。
【００１０】
また、本発明の請求項５に記載の読取装置は、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の発明において、上記反転手段は、上記読取手段で上記識別記号を読み取らない時には、上記読取手段を反転させることを特徴とするものである。
【００１１】
また、本発明の請求項６に記載の読取装置は、請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の発明において、上記反転手段は、上記読取手段と回転軸を介して連結された回転駆動機構を備えて構成されていることを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明の請求項７に記載の読取装置は、請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の発明において、上記読取手段として光学的文字読取装置を備えたことを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の請求項８に記載の読取装置は、請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の発明において、上記処理装置が検査装置であることを特徴とするものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図３に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
本実施形態の読取装置１０は例えば図１の（ａ）、（ｂ）に示すようにプローブ装置に適用されている。このプローブ装置は、図１の（ａ）、（ｂ）に示すように、カセットＣ内に収納されたウエハＷを一枚ずつ搬送するためのローダ室１と、このローダ室１に隣接し且つウエハＷの電気的特性検査を行うためのプローバ室２とを備えている。
【００１５】
ローダ室１は、図１の（ａ）、（ｂ）に示すように、ウエハＷを一枚ずつ搬送するウエハ搬送機構３と、ウエハ搬送機構３を介してウエハＷを搬送する間にウエハＷのオリフラまたはノッチを基準にしてウエハＷを所定の向きに揃える粗位置決め機構（以下、「サブチャック」と称す。）４と、本実施形態の読取装置１０とを備えている。ローダ室２は、ウエハＷを載置して三軸方向（Ｘ、Ｙ、Ｚ方向）に移動すると共にθ方向で正逆回転する載置台（以下、「メインチャック」と称す。）５と、メインチャック５の上方に配置されたプローブカード６と、プローブカード６のプローブ６Ａとメインチャック５上のウエハＷとの位置合わせを行う位置決め機構（以下、「アライメント機構」と称す。）７とを備えている。プローブカード６はプローバ室２のヘッドプレート８に固定され、このヘッドプレート８上にはテストヘッドＴがプローブカード６と電気的に接続可能に配置されている。また、ローダ室１の外側には操作パネルを兼ねる表示装置９が配置され、表示装置９の表示画面９Ａに表示されたコマンドによって制御装置（図示せず）を操作するようになっている。
【００１６】
而して、本実施形態の読取装置１０は、例えば図１の（ａ）に示すように、ローダ室１の最奥部に配置され、ウエハ搬送機構３を介してウエハＷをプローバ室２へ搬送するまでの間にウエハ搬送機構３を介して搬送されるウエハＷの表面または裏面に付された識別記号（例えば、バーコード）ＢＣ（図２、図３参照）を読み取る。
【００１７】
即ち、本実施形態の読取装置１０は、図２に示すように、バーコードＢＣを読み取る従来公知の読取部（例えば、光学的文字読取装置（以下、「ＯＣＲ」と称す。））１１と、このＯＣＲ１１に連結された回転軸１２とこの回転軸１１を回転可能に軸支する軸受け１３と、この軸受け１３を介して回転軸１２に連結された反転手段（モータ）１４とを備え、ＯＣＲ１１がモータ１４を介して１８０°正逆回転するようになっている。また、同図に示すように例えば軸受け１３の左右両側面には例えばフォトマイクロセンサ１５が取り付けられていると共にＯＣＲ１１の一側面にはシャッタ１６が取り付けられている。尚、図２、図３では片方のフォトマイクロセンサのみを図示してある。
【００１８】
そして、図２に示すようにフォトマイクロセンサ１５がシャッタ１６を検出した時にはＯＣＲ１１がウエハＷの表面に付されたバーコードＢＣを読み取る状態になっていることを示し、図３に示すようにＯＣＲ１１が反転し軸受け１３の反対側側面のフォトマイクロセンサ（図示せず）がシャッタ１６を検出した時にはＯＣＲ１１がウエハＷの裏面に付されたバーコードＢＣを読み取る状態になっていることを示す。これらの状態を表示装置９の表示画面９Ａ上に表示する。
【００１９】
従って、オペレータはＯＣＲ１１がウエハＷの表面、裏面のいずれのバーコードＢＣを読み取る状態になっているかを表示画面９Ａ上で確認することができる。また、バーコードＢＣがウエハＷの表面、裏面のいずれに付されているかはオペレータがウエハＷをローダ室１内に設置する際にウエハＷに付されたバーコードＢＣを見て判断し、この判断に基づいて表示画面９Ａ上で読取装置１０を操作することにより、ＯＣＲ１１をウエハＷの表面または裏面に付されたバーコードＢＣを読み取る状態に設定することができる。
【００２０】
また、モータ１４は、制御装置に入力されたウエハＷに関する情報（外部情報）に基づいてＯＣＲ１１を自動的に反転させるように制御することもできる。更に、モータ１４は、ＯＣＲ１１でバーコードＢＣを読み取らなかった時には、ＯＣＲ１１を自動的に反転させてＯＣＲ１１でバーコードＢＣを読み取れるように制御することもできる。
【００２１】
次に動作について説明する。まず、ウエハの検査を行なうに当たってオペレータがウエハの表面にバーコードＢＣが付されていることを確認する。次いで、表示画面９Ａ上で読取装置１０のＯＣＲ１１をウエハの表面に付されたバーコードＢＣを読み取る図２に示す状態に設定する。次いで、プローブ装置が駆動すると、図１の（ｂ）に示すようにウエハ搬送機構３がカセットＣ内から一枚のウエハＷを取り出してサブチャック４上にウエハＷを載置する。サブチャック４がウエハＷを受け取って回転し、図示しないセンサを介してウエハＷのオリフラまたはノッチを検出してウエハＷを所定の向きに合わせた後、図１の（ｂ）、図２に示すようにウエハ搬送機構３がサブチャック４からウエハＷを受け取ってウエハＷを読取装置１０のＯＣＲ１１の読取位置（真下）まで搬送する。読取装置１０ではＯＣＲ１１がバーコードＢＣを読み取り、その情報を制御装置（図示せず）へ送り、ウエハＷに関する情報を記憶する。
【００２２】
次いで、ウエハ搬送機構３はウエハＷをプローバ室２内のメインチャック５へウエハＷを引き渡すと、メインチャック５がアライメント機構７と協働してウエハＷとプローブカード６のプローブ６Ａとの位置合わせを行なった後、ウエハＷをインデックス送りしながらウエハＷの電気的特性検査を行なう。ウエハＷの検査終了後、ウエハ搬送機構３がメインチャック５上のウエハＷを受け取った後、カセットＣ内の元の位置に戻す。そして、上述と同様にカセットＣ内の全てのウエハＷの電気的特性検査を行った後、ローダ室１からカセットＣを搬出し、次のカセットＣをローダ室１内に設置する。
【００２３】
オペレータは次のカセットＣをローダ室１内に設置する際に、バーコードＢＣがウエハＷの裏面に付されていることを確認した場合には、オペレータは表示画面９Ａ上で読取装置１０を表示画面９Ａ上で操作し、ＯＣＲ１１が図２に示す状態から図３に示す状態まで反転し、軸受け１３の反対側側面のフォトマイクロセンサがシャッタを検出して停止する。これでＯＣＲ１１がウエハＷ裏面のバーコードＢＣを読み取れる状態になる。次いで、ウエハ搬送機構３が駆動し、ウエハ搬送機構３がカセットＣ内からウエハＷを取り出し、上述したようにサブチャック４を介してウエハＷを所定の向きに合わせた後、ウエハＷをＯＣＲ１１のウエハＷの裏面に付されたバーコードＢＣを読み取る位置（真上）まで搬送する。読取装置１０ではＯＣＲ１１でバーコードＢＣを読み取り、その情報を制御装置へ送り、ウエハＷに関する情報を記憶する。後は上述したようにウエハＷの電気的特性検査を行い、同様の手順でカセットＣ内の全てのウエハＷについて電気的特性検査を行なう。
【００２４】
以上説明したように本実施形態によれば、バーコードＢＣを読み取るＯＣＲ１１と、ＯＣＲ１１をバーコードＢＣの付されたウエハＷの表面または裏面に即して反転させるモータ１４とを備えているため、オペレータがプローブ装置のローダ室１内にカセットＣを搭載する際にバーコードＢＣがウエハＷの裏面に付されていることを確認すると共に読取装置１０のＯＣＲ１１がウエハＷの表面を読み取る状態にあることを確認した場合、オペレータは表示画面９Ａ上で読取装置１０を操作するだけでＯＣＲ１１を反転させてウエハＷの裏面に付されたバーコードＢＣを読み取る状態に設定することができる。従って、従来のようにＯＣＲの設置状態を手作業で変更したり、光学系を調整したりする必要がなく、バーコードＢＣの付された面に応じてＯＣＲ１１の設置状態を簡単に変更することができ、読取装置１０のセットアップに要する作業時間を格段に短縮することができる。
【００２５】
また、本実施形態によれば、軸受け１３の左右両側面にはフォトマイクロセンサ１５が取り付けられていると共にＯＣＲ１１の一側面にはシャッタ１６が取り付けられているため、フォトマイクロセンサ１５でシャッタ１６を検出すれば、ＯＣＲ１１がウエハＷのバーコードＢＣを読み取れる位置で確実に停止させることができ、ウエハＷに付されたバーコードＢＣを確実に読み取ることができる。
【００２６】
尚、本発明は上記各実施形態に何等制限されるものではなく、必要に応じて各構成要素を設計変更することができる。例えば、上記実施形態ではＯＣＲ１１が反転したか否かをフォトマイクロセンサ１５及びシャッタ１６を用いて検出しているが、モータ１４の回転量を検出しても良い。また、ＯＣＲ１１の反転手段としてモータを用いたが、ＯＣＲ１１を反転させる機構であればモータに制限されない。また、上記実施形態では読取装置をプローブ装置に適用した場合について説明したが、プローブ装置以外の検査装置及びウエハの処理装置についても本発明の読取装置を適用することができる。自動搬送装置を用いてウエハを一枚ずつプローブ装置等の検査装置に受け渡す枚葉処理の場合には、ウエハに関する情報が予め検査装置に伝達されるため、このウエハ情報に基づいて読取手段を自動的に反転させるように設定することもできる。
【００２７】
【発明の効果】
本発明によれば、半導体ウエハを処理する際に識別記号の付された半導体ウエハの表面または裏面に応じてＯＣＲ等の読取手段の読取位置を簡単に変更することができ、半導体ウエハを処理する際のセットアップの作業時間を格段に短縮することができる読取装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の読取装置を適用したプローブ装置を示す図で、（ａ）はプローバ室の正面を破断して示す正面図、（ｂ）はプローブ装置全体を模式的に示す平面図である。
【図２】読取装置でウエハ表面に付されたバーコードを読み取る状態を模式的に示す斜視図である。
【図３】読取装置でウエハ裏面に付されたバーコードを読み取る状態を模式的に示す斜視図である。
【符号の説明】
１ローダ室（プローブ装置内）
３ウエハ搬送機構（搬送機構）
１０読取装置
１１ＯＣＲ（読取手段）
１４モータ（反転手段）
１５フォトマイクロセンサ（検出手段）
１６シャッタ（検出手段）
Ｗウエハ（被処理体）
ＢＣバーコード（識別記号）

Claims

処理装置内で搬送機構によって搬送される半導体ウエハの表面または裏面に付された上記半導体ウエハの識別記号を読み取る装置において、上記識別記号を読み取る読取手段と、上記識別記号の付された上記半導体ウエハの表面または裏面に即して上記読取手段を反転させる反転手段と、を備えたことを特徴とする読取装置。
上記読取手段が反転したことを検出する検出手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の読取装置。
上記検出手段は、上記読取手段の側面に取り付けられたシャッタと、上記反転手段の左右両側に取り付けられた一対のフォトセンサと、を有し、上記反転手段が上記読取手段を反転させて上記シャッタが上記反転手段のいずれか一方のフォトセンサに達した時に、上記フォトセンサが上記シャッタを検出することを特徴とする請求項２に記載の読取装置。
上記反転手段は上記半導体ウエハに関する外部情報に基づいて上記読取手段を反転させることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の読取装置。
上記反転手段は、上記読取手段で上記識別記号を読み取らない時には、上記読取手段を反転させることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の読取装置。
上記反転手段は、上記読取手段と回転軸を介して連結された回転駆動機構を備えて構成されていることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の読取装置。
上記読取手段として光学的文字読取装置を備えたことを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の読取装置。
上記処理装置が検査装置であることを特徴とする請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の読取装置。