JP4161763B2 - X-ray spectrometer for microanalysis and position adjustment method for X-ray spectrometer for microanalysis - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、蛍光X線分析装置、走査電子顕微鏡(SEM)、透過電子顕微鏡、電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)等に用いられるX線分光器等、微小部の分析に適した微小部分析用X線分光器に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、蛍光X線分析装置、走査電子顕微鏡(SEM)、透過電子顕微鏡、電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)等では、試料上の微小部から放出された二次X線を分析するために微小部分析用X線分光器を備えている。
【0003】
このような微小部分析用X線分光器として、従来、例えばソーラーユニットを備えた分光器や湾曲結晶を用いた分光器が用いられている。
【0004】
図6はソーラーユニットを備えた分光器の一構成例である。この構成例では、X線や電子線を照射することにより試料100から放出された二次X線をソーラーユニット102aに通して得られる平行ビームを分光素子103に入射し、分光素子103で分光した二次X線をソーラーユニット10bに通し、検出器104で検出する。
【0005】
また、図7は湾曲結晶を備えた分光器の一構成例である。この構成例では、X線や電子線を照射することにより試料100から放出された二次X線を湾曲結晶112に入射させ、湾曲結晶112で分光した二次X線を検出器114で検出する。
【0006】
また、近年、上記したソーラーユニットを備えた分光器や湾曲結晶を用いた分光器に加えて、点焦点から出た二次X線を平行ビームに変換するレンズ作用を持つポリキャピラリX線レンズを備えた分光器も用いられようとしている。ポリキャピラリX線レンズは、複数のキャピラリを束ね、一方の端部の径を絞ることによりレンズを構成するものである。ポリキャピラリX線レンズは、入射したX線を焦点位置に集光する他、入射と出射の関係を逆にすることにより、焦点位置から入射したX線を平行ビームとして出射することができる。
【0007】
図8はポリキャピラリX線レンズを備えた分光器の一構成例であり、図9はこの構成例の焦点位置調整を説明するための概略図である。この構成例では、X線や電子線を照射することにより試料100から放出された二次X線をポリキャピラリX線レンズ122に通すことにより平行ビームとして分光素子123に入射させ、分光素子123で分光した二次X線を検出器124で検出する。
【0008】
このポリキャピラリX線レンズを用いた分光器では、ポリキャピラリX線レンズの入射側の焦点位置Bを、X線や電子線が照射されて励起される分析位置Aに位置を合わせる必要がある。従来、このポリキャピラリX線レンズの焦点位置Aの分析位置Bへの位置合わせは、ポリキャピラリX線レンズの傾きを調整したり、ポリキャピラリX線レンズを移動させることにより行っている。
【0009】
図9はこの位置合わせを説明する図であり、ポリキャピラリX線レンズ122を傾斜調整や(図中の矢印C)、直線移動による調整(図中の矢印D)により、ポリキャピラリX線レンズの焦点位置Bを分析位置Aに位置合わせを行う。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
図9で説明したように、ポリキャピラリX線レンズの傾きや直線移動によって焦点位置の調整を行うと、ポリキャピラリX線レンズで変換された二次X線の分光素子に対する入射角も変化する。これにより光学条件が変わるため、分光素子の角度も調整する必要がある。
【0011】
図9において、調整前の状態を実線で示し、調整後の状態を破線で示している。ポリキャピラリX線レンズ122を傾斜させたり直線移動させると、分光素子123に対する二次X線の入射角度はθBからθAに変化する。二次X線の分光素子に対する入射角度が変化すると、分光素子123で分光される波長が変化するため、所定の分光波長を得るには、分光素子123の角度も調整しなければならない(図中の矢印E)。そのため、ポリキャピラリX線レンズを備える構成の分光器では、ポリキャピラリX線レンズの調整による焦点位置の位置調整と共に、分光素子の光学条件調整も行う必要があり、調整の操作が複雑になり、また、調整時間も長くなるという問題がある。
【0012】
そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、ポリキャピラリX線レンズを備える分光器において、光学条件を変えることなく焦点位置の位置調整を行うことを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ポリキャピラリX線レンズを備える分光器において、分光器の光学系においてポリキャピラリX線レンズの位置を固定し、このポリキャピラリX線レンズを含む光学系全体を試料に対して位置合わせすることにより、光学系の光学条件を変えることなく、ポリキャピラリX線レンズの焦点位置を分析位置に対して位置調整するものである。
【0014】
本発明の微小部分析用X線分光器は、試料の分析点から放出された二次X線を分光する微小部分析用X線分光器であって、分光素子、及び分析点から放出された二次X線を分光素子に入射させるポリキャピラリX線レンズを含む光学系を備え、ポリキャピラリX線レンズ及び分光素子は、ポリキャピラリX線レンズの出射光の分光素子に対する入射角が所定角度となるように相互の位置関係を固定し、分析点の位置に対して一体で直線又は傾斜移動可能とする構成とする。
【0015】
この構成によれば、ポリキャピラリX線レンズと分光素子との位置関係は常に一定に保持されるため、ポリキャピラリX線レンズと分光素子とを一体で直線又は傾斜移動させするだけで、ポリキャピラリX線レンズの焦点位置を分析点位置に位置合わせることができ、ポリキャピラリX線レンズの傾き調整や、分光素子の角度調整を不要とすることができる。
【0016】
ポリキャピラリX線レンズの出射光の分光素子に対する入射角が所定角度となるように相互の位置関係を固定し、分析点の位置に対して一体で直線又は傾斜移動可能とするための構成の態様として、本発明はポリキャピラリX線レンズ及び分光素子の相互の位置関係を固定して保持するベース部と、試料を配置する測定部と、測定部に対してベース部を直線又は傾斜移動する微調整部を備える。
【0017】
ベース部に対してポリキャピラリX線レンズ及び分光素子の相互の位置関係を固定して保持させることで、ポリキャピラリX線レンズの出射光の分光素子に対する入射角を常に所定角度に保持すると共に、一体で移動させることができる。微調整部は、ベース部を測定部に対して直線又は傾斜移動する。これにより、ポリキャピラリX線レンズ及び分光素子は位置関係を保持した状態のまま、測定部内に配置される試料に対して位置を調整することができ、ポリキャピラリX線レンズの焦点位置を試料の分析点位置に位置合わせすることができる。
【0018】
微調整部の第1の形態は、ベース部を分光器本体に固定し、このベース部及び分光器本体を測定部に対して直線又は傾斜移動可能に連結する構成であり、測定部に対して分光器本体と共にベース部の位置調整を行うことにより、ポリキャピラリX線レンズの焦点位置を試料上の分析点位置に位置合わせする。
【0019】
また、微調整部の第2の形態は、測定部を分光器本体に固定し、ベース部を分光器本体及び測定部に対して直線又は傾斜移動可能に連結する構成であり、分光器本体及び測定部に対してベース部の位置調整を行うことにより、ポリキャピラリX線レンズの焦点位置を試料上の分析点位置に位置合わせする。
【0020】
本発明の構成によれば、ポリキャピラリX線レンズの直線又は傾斜移動のみにより、ポリキャピラリX線レンズの焦点位置を分析点位置に位置合わせすることができる。また、ポリキャピラリX線レンズの位置の調整において、ポリキャピラリX線レンズと分光素子との位置関係は固定しているため、分光素子に対する二次X線の入射角度は不変であり、位置調整の度に分光素子の角度調整を行う必要がない。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。図1は本発明の微小部分析用X線分光器の第1の構成例を説明するための概略図であり、図2,3は第1の構成例の微調整部による調整動作を説明するための概略図である。
【0022】
分光器1は、X線や電子線を試料10の分析点に照射することにより、分析点で励起されて放出された二次X線を平行ビームに変換するポリキャピラリX線レンズ2と、ポリキャピラリX線レンズ2から入射された二次X線を分光する分光素子3と、この分光素子3で分光された波長成分を検出する検出器4とを含む光学系をベース部5上に備える。
【0023】
図1に示す第1の構成例では、このベース部5を分光器本体6に設置し、試料10を内部に配置する。この分光器本体6は、X線や電子線を照射して二次X線を放出させる測定部11に対し、微調整部7により直線又は傾斜移動可能に連結される。
【0024】
測定部11において、図示しない線源からX線あるいは電子線を試料10上の分析点に照射すると、分析点ではこの照射による励起により二次X線が放出される。ポリキャピラリX線レンズ2は、放出された二次X線を平行ビームに変換し分光素子3に入射する。分光素子3は入射された二次X線を分光し、検出器4は分光された波長を検出する。
【0025】
微調整部7は、測定部11に対して分光器本体6を直線又は傾斜移動させることにより、ポリキャピラリX線レンズ2の焦点位置を分析点の位置に位置合わせする。
【0026】
図2は微調整部7による位置合わせの一動作例を示している。図2において、微調整部7は、測定室11に対して分光器本体6の位置を直線又は傾斜移動して調整する機構であり、測定室11と分光器本体6との間を可変形部材8で連結し、図示しない駆動機構により直線又は傾斜移動を行う。
【0027】
図2,3において、当初、ポリキャピラリX線レンズ2及び分光素子3は測定部11に対して図中の実線で示す位置にあるとする。実線で示す位置では、ポリキャピラリX線レンズ2の焦点位置Bは、測定部11内に配置した試料10の分析点の位置Aからずれている。このとき、ポリキャピラリX線レンズ2により平行ビームに変換された二次X線は、分光素子3の入射位置bに、入射角度θで入射する。
【0028】
上記の状態から、この試料10上の分析点の位置Aに対してポリキャピラリX線レンズ2の焦点位置Bを位置合わせするには、微調整部7により分光器本体6を直線移動(図中の矢印)させる。微調整部7により分光器本体6を直線移動(図中の矢印)させると、ポリキャピラリX線レンズ2を含む光学系を載せたベース部5は測定部11の試料1に対して直線移動し、これにより、ポリキャピラリX線レンズ2の焦点位置Bは分析点位置Aに位置合わせされる。図中の破線は、位置合わせした状態を示している。
【0029】
ポリキャピラリX線レンズ2と分光素子3との位置関係はベース部5上で固定されているため、位置合わせ後において、ポリキャピラリX線レンズ2で変換された平行ビームが分光素子3に入射する入射位置aは、移動前の入射位置bと分光素子3上において同じ位置となり、入射角度も同じ角度θである。したがって、位置合わせにより光学系が変化することはない。
【0030】
上記のように、この構成例によれば、微調整部7により分光器本体6を測定部11に対して直線移動するだけで、ポリキャピラリX線レンズ2の焦点位置を試料上の分析点の位置に位置合わせすることができる。
【0031】
なお、図2は微調整部7により分光器本体6を測定部11に対して水平方向(図2中の矢印方向)に直線移動する例を示し、図3は微調整部7により分光器本体6をポリキャピラリX線レンズ2に長さ方向と直交する方向に直線移動する例を示している。微調整部7による直線移動の移動方向は、上記の例に限らず任意の方向とすることができる。又、直線移動に限らず傾斜移動させることによる調整も可能である。
【0032】
図4は本発明の微小部分析用X線分光器の第2の構成例を説明するための概略図であり、図5は第2の構成例の微調整部による調整動作を説明するための概略図である。
【0033】
図4に示す第2の構成例では、分光器本体6を測定部11に結合すると共に、ベース部5を分光器本体6及び測定部11に対して微調整部7により直線又は傾斜移動可能とする。
【0034】
微調整部7は、測定部11及び分光器本体6に対してベース部5を直線又は傾斜移動させることにより、ポリキャピラリX線レンズ2の焦点位置を分析点の位置に位置合わせする。
【0035】
図5は微調整部7による位置合わせの一動作例を示している。図5において、微調整部7は、測定室11及び分光器本体5に対してベース部5の位置を直線又は傾斜移動して調整する機構であり、測定室11又は分光器本体6とのベース部5との間を可変形部材8で連結し、図示しない駆動機構により直線又は傾斜移動を可能としている。
【0036】
図5において、当初、ポリキャピラリX線レンズ2及び分光素子3は測定部11に対して図中の実線で示す位置にあるとする。実線で示す位置では、ポリキャピラリX線レンズ2の焦点位置Bは、測定部11内に配置した試料10の分析点の位置Aからずれている。このとき、ポリキャピラリX線レンズ2により平行ビームに変換された二次X線は分光素子3の入射位置bにあり、入射角度θで入射する。
【0037】
上記の状態から、この試料10上の分析点の位置Aに対してポリキャピラリX線レンズ2の焦点位置Bを位置合わせするには、微調整部7によりベース部5を直線移動(図中の矢印)させる。微調整部7によりベース部5を直線移動(図中の矢印)させると、ポリキャピラリX線レンズ2を含む光学系は測定部11の試料1に対して直線移動し、これにより、ポリキャピラリX線レンズ2の焦点位置Bは分析点位置Aに位置合わせされる。図中の破線は、位置合わせした状態を示している。
【0038】
ポリキャピラリX線レンズ2と分光素子3との位置関係はベース部5上で固定されているため、位置合わせ後において、ポリキャピラリX線レンズ2で変換された平行ビームが分光素子3に入射する入射位置aは、移動前の入射位置bと分光素子3上において同じ位置となり、入射角度も同じ角度θである。したがって、位置合わせにより光学系が変化することはない。
【0039】
上記のように、この構成例によれば、微調整部7によりベース部5を分光器本体6及び測定部11に対して直線移動するだけで、ポリキャピラリX線レンズ2の焦点位置を試料上の分析点の位置に位置合わせすることができる。
【0040】
なお、図5は微調整部7によりベース部5をポリキャピラリX線レンズ2の長さ方向と直交する方向に直線移動する例を示しているが、微調整部7による直線移動の移動方向は、この例に限らず任意の方向とすることができる。又、直線移動でなく傾斜移動することによる調整も可能である。
【0041】
上記各構成例において、ポリキャピラリX線レンズと分光素子との位置関係などの光学系の位置関係はベース部上で固定しており、微調整部による焦点位置の位置合わせによっても変化しないため、分光器の光学条件を調整することなく焦点位置の位置合わせを行うことができる。
【0042】
また、本発明の微小部分析用X線分光器を用いることにより、例えば、試料に対してX線や電子線を広径で照射して広い面積で励起させ、多少の位置ずれに関わらず、試料から放出される二次X線が必ずポリキャピラリX線レンズ2に入射する光学条件に調整しておき、その後に、照射するX線や電子線の径を小径に絞って目的とする分析点の微小部を励起させ、本発明の微調整部で調整して光学系と分析位置との位置関係を微調整することにより、従来よりも簡易で短時間で光学条件調整と位置調整とを行うことができる。
【0043】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ポリキャピラリX線レンズを備える分光器において、光学条件を変えることなく焦点位置の位置調整を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の微小部分析用X線分光器の第1の構成例を説明するための概略図である。
【図2】本発明の第1の構成例の微調整部による調整動作を説明するための概略図である。
【図3】本発明の第1の構成例の微調整部による他の調整動作を説明するための概略図である。
【図4】本発明の第2の構成例の微調整部による調整動作を説明するための概略図である。
【図5】本発明の微調整部による位置合わせの一動作例を示す図である。
【図6】従来のソーラーユニットを備えた分光器の一構成例である。
【図7】従来の湾曲結晶を備えた分光器の一構成例である。
【図8】従来のポリキャピラリX線レンズを備えた分光器の一構成例である。
【図9】従来のポリキャピラリX線レンズを備える分光器の位置合わせを説明する図である。
【符号の説明】
1…分光器、2…ポリキャピラリX線レンズ、3…分光素子、4…検出器、5…ベース部、6…分光器本体、7…微調整部、8…可変形部材、9…微調整部、10…試料、11…測定部、100…試料、101…分光器、102…ソーラーユニット、103…分光素子、104…検出器、111…分光器、113…湾曲結晶、114…検出器、121…分光器、122…ポリキャピラリX線レンズ、123…分光素子、124…検出器、A…分析位置、B…焦点位置。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention is an X-ray spectrometer for X-ray analysis suitable for analysis of micro-parts such as X-ray spectrometers used in fluorescent X-ray analyzers, scanning electron microscopes (SEM), transmission electron microscopes, electron probe microanalyzers (EPMA), etc. It relates to a line spectrometer.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, in a fluorescent X-ray analyzer, a scanning electron microscope (SEM), a transmission electron microscope, an electron probe microanalyzer (EPMA), etc., a micro part analysis is performed to analyze secondary X-rays emitted from a micro part on a sample. An X-ray spectrometer is provided.
[0003]
Conventionally, for example, a spectroscope equipped with a solar unit or a spectroscope using a curved crystal has been used as such an X-ray spectrometer for analyzing a microscopic part.
[0004]
FIG. 6 shows an example of the configuration of a spectrometer equipped with a solar unit. In this configuration example, a parallel beam obtained by passing secondary X-rays emitted from the
[0005]
FIG. 7 shows a configuration example of a spectroscope provided with a curved crystal. In this configuration example, secondary X-rays emitted from the
[0006]
In recent years, in addition to the spectroscope equipped with the solar unit and the spectroscope using the curved crystal, a polycapillary X-ray lens having a lens function for converting secondary X-rays emitted from the point focus into a parallel beam has been developed. The spectroscope provided is also being used. A polycapillary X-ray lens constitutes a lens by bundling a plurality of capillaries and reducing the diameter of one end. The polycapillary X-ray lens collects the incident X-rays at the focal position, and can also emit the X-rays incident from the focal position as a parallel beam by reversing the relationship between incidence and emission.
[0007]
FIG. 8 is a structural example of a spectroscope provided with a polycapillary X-ray lens, and FIG. 9 is a schematic diagram for explaining the focal position adjustment of this structural example. In this configuration example, secondary X-rays emitted from the
[0008]
In the spectrometer using the polycapillary X-ray lens, it is necessary to align the focal position B on the incident side of the polycapillary X-ray lens with the analysis position A that is excited by irradiation with X-rays or electron beams. Conventionally, the focal position A of the polycapillary X-ray lens is aligned with the analysis position B by adjusting the inclination of the polycapillary X-ray lens or moving the polycapillary X-ray lens.
[0009]
FIG. 9 is a diagram for explaining this alignment. By adjusting the inclination of the polycapillary X-ray lens 122 (arrow C in the figure) or by linear movement (arrow D in the figure), the polycapillary X-ray lens is adjusted. The focal position B is aligned with the analysis position A.
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
As described with reference to FIG. 9, when the focal position is adjusted by tilting or linearly moving the polycapillary X-ray lens, the incident angle of the secondary X-ray converted by the polycapillary X-ray lens with respect to the spectroscopic element also changes. Since this changes the optical conditions, it is necessary to adjust the angle of the spectroscopic element.
[0011]
In FIG. 9, the state before adjustment is indicated by a solid line, and the state after adjustment is indicated by a broken line. When the
[0012]
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to solve the above-described conventional problems and to adjust the position of a focal position without changing optical conditions in a spectroscope equipped with a polycapillary X-ray lens.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
According to the present invention, in a spectroscope equipped with a polycapillary X-ray lens, the position of the polycapillary X-ray lens is fixed in the optical system of the spectroscope, and the entire optical system including the polycapillary X-ray lens is aligned with the sample. Thus, the focal position of the polycapillary X-ray lens is adjusted with respect to the analysis position without changing the optical conditions of the optical system.
[0014]
The X-ray spectrometer for microanalysis of the present invention is an X-ray spectrometer for microanalysis that analyzes secondary X-rays emitted from a sample analysis point, and is emitted from a spectroscopic element and an analysis point. An optical system including a polycapillary X-ray lens that causes secondary X-rays to enter the spectroscopic element. The polycapillary X-ray lens and the spectroscopic element have an incident angle of the output light of the polycapillary X-ray lens with respect to the spectroscopic element being a predetermined angle. Thus, the mutual positional relationship is fixed so that the linear or inclined movement can be integrally performed with respect to the position of the analysis point.
[0015]
According to this configuration, since the positional relationship between the polycapillary X-ray lens and the spectroscopic element is always kept constant, the polycapillary X-ray lens and the spectroscopic element can be simply moved linearly or obliquely by moving the polycapillary X-ray lens and the spectroscopic element together. The focal position of the X-ray lens can be aligned with the analysis point position, and the tilt adjustment of the polycapillary X-ray lens and the angle adjustment of the spectroscopic element can be made unnecessary.
[0016]
An aspect of a configuration for fixing the mutual positional relationship so that the incident angle of the emitted light of the polycapillary X-ray lens with respect to the spectroscopic element becomes a predetermined angle, and allowing the linear or inclined movement integrally with the position of the analysis point As described above, the present invention relates to a base part that fixes and holds the positional relationship between the polycapillary X-ray lens and the spectroscopic element, a measurement part that arranges the sample, and a micro part that moves the base part linearly or obliquely with respect to the measurement part. An adjustment unit is provided.
[0017]
By fixing and maintaining the positional relationship between the polycapillary X-ray lens and the spectroscopic element with respect to the base portion, the incident angle of the output light of the polycapillary X-ray lens with respect to the spectroscopic element is always maintained at a predetermined angle. Can be moved together. The fine adjustment unit moves the base unit linearly or obliquely with respect to the measurement unit. As a result, the position of the polycapillary X-ray lens and the spectroscopic element can be adjusted with respect to the sample placed in the measurement unit while maintaining the positional relationship, and the focal position of the polycapillary X-ray lens can be adjusted to the position of the sample. It can be aligned with the analysis point position.
[0018]
The first form of the fine adjustment unit is a configuration in which the base unit is fixed to the spectrometer main body, and the base unit and the spectrometer main body are connected to the measurement unit so as to be linearly or tiltably movable. By adjusting the position of the base portion together with the spectroscope body, the focal position of the polycapillary X-ray lens is aligned with the analysis point position on the sample.
[0019]
The second form of the fine adjustment unit is a configuration in which the measurement unit is fixed to the spectrometer main body, and the base unit is connected to the spectrometer main body and the measurement unit so as to be linearly or tiltably movable. By adjusting the position of the base part with respect to the measurement part, the focal position of the polycapillary X-ray lens is aligned with the analysis point position on the sample.
[0020]
According to the configuration of the present invention, the focal position of the polycapillary X-ray lens can be aligned with the analysis point position only by the linear or inclined movement of the polycapillary X-ray lens. In addition, since the positional relationship between the polycapillary X-ray lens and the spectroscopic element is fixed in the adjustment of the position of the polycapillary X-ray lens, the incident angle of the secondary X-ray with respect to the spectroscopic element is unchanged, and the position adjustment It is not necessary to adjust the angle of the spectroscopic element every time.
[0021]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic diagram for explaining a first configuration example of an X-ray spectrometer for microanalysis according to the present invention. FIGS. 2 and 3 illustrate an adjustment operation by a fine adjustment unit of the first configuration example. FIG.
[0022]
The
[0023]
In the first configuration example shown in FIG. 1, the
[0024]
When the
[0025]
The
[0026]
FIG. 2 shows an operation example of alignment by the
[0027]
2 and 3, initially, it is assumed that the
[0028]
In order to align the focal position B of the
[0029]
Since the positional relationship between the
[0030]
As described above, according to this configuration example, the
[0031]
2 shows an example in which the
[0032]
FIG. 4 is a schematic diagram for explaining a second configuration example of the X-ray spectrometer for microscopic analysis of the present invention, and FIG. 5 is a diagram for explaining the adjustment operation by the fine adjustment unit of the second configuration example. FIG.
[0033]
In the second configuration example shown in FIG. 4, the
[0034]
The
[0035]
FIG. 5 shows an operation example of alignment by the
[0036]
In FIG. 5, initially, the
[0037]
In order to align the focal position B of the
[0038]
Since the positional relationship between the
[0039]
As described above, according to this configuration example, the focal position of the
[0040]
FIG. 5 shows an example in which the
[0041]
In each of the above configuration examples, the positional relationship of the optical system such as the positional relationship between the polycapillary X-ray lens and the spectroscopic element is fixed on the base portion, and does not change even when the focus position is adjusted by the fine adjustment portion. The focal position can be aligned without adjusting the optical conditions of the spectrometer.
[0042]
In addition, by using the X-ray spectrometer for microanalysis of the present invention, for example, a sample is irradiated with X-rays or electron beams with a wide diameter to excite a wide area, Adjust the optical conditions so that the secondary X-rays emitted from the sample are incident on the
[0043]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the position of the focal position can be adjusted without changing the optical conditions in a spectroscope including a polycapillary X-ray lens.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic diagram for explaining a first configuration example of an X-ray spectrometer for microanalysis according to the present invention.
FIG. 2 is a schematic diagram for explaining an adjustment operation by a fine adjustment unit of the first configuration example of the present invention.
FIG. 3 is a schematic diagram for explaining another adjustment operation by the fine adjustment unit of the first configuration example of the present invention.
FIG. 4 is a schematic diagram for explaining an adjustment operation by a fine adjustment unit of a second configuration example of the present invention.
FIG. 5 is a diagram showing an operation example of alignment by a fine adjustment unit of the present invention.
FIG. 6 is a configuration example of a spectroscope including a conventional solar unit.
FIG. 7 is a configuration example of a spectrometer equipped with a conventional curved crystal.
FIG. 8 is a structural example of a spectroscope equipped with a conventional polycapillary X-ray lens.
FIG. 9 is a diagram for explaining alignment of a spectroscope including a conventional polycapillary X-ray lens.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (1)
前記微小部分析用X線分光器は、分光素子、及び分析点から放出された二次X線を前記分光素子に入射させるポリキャピラリX線レンズを含む光学系を備え、
前記ポリキャピラリX線レンズ及び分光素子を、ポリキャピラリX線レンズの出射光の分光素子に対する入射角が所定角度となるように相互の位置関係を固定し、
前記ポリキャピラリX線レンズ及び分光素子を、二次X線を放出する分析点位置に対して一体で直線又は傾斜移動させることにより、
前記ポリキャピラリX線レンズの焦点位置を分析点位置に位置合わせすることを特徴とする、微小部分析用X線分光器の位置調整方法。A method for adjusting a microanalytical X-ray spectrometer for spectrally analyzing secondary X-rays emitted from an analysis point of a sample,
The X-ray spectrometer for microanalysis includes an optical system including a spectroscopic element and a polycapillary X-ray lens that causes secondary X-rays emitted from an analysis point to enter the spectroscopic element,
The positional relationship between the polycapillary X-ray lens and the spectroscopic element is fixed so that the incident angle of the emitted light of the polycapillary X-ray lens with respect to the spectroscopic element becomes a predetermined angle,
By moving the polycapillary X-ray lens and the spectroscopic element integrally or linearly with respect to the analysis point position for emitting secondary X-rays,
Characterized in that said aligning the analysis point position the focal position of the polycapillary X-ray lens, the position adjustment method of the X-ray spectrometer for microanalysis.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003084587A JP4161763B2 (en) | 2003-03-26 | 2003-03-26 | X-ray spectrometer for microanalysis and position adjustment method for X-ray spectrometer for microanalysis |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003084587A JP4161763B2 (en) | 2003-03-26 | 2003-03-26 | X-ray spectrometer for microanalysis and position adjustment method for X-ray spectrometer for microanalysis |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004294168A JP2004294168A (en) | 2004-10-21 |
JP4161763B2 true JP4161763B2 (en) | 2008-10-08 |
Family
ID=33399728
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003084587A Expired - Lifetime JP4161763B2 (en) | 2003-03-26 | 2003-03-26 | X-ray spectrometer for microanalysis and position adjustment method for X-ray spectrometer for microanalysis |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4161763B2 (en) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4785402B2 (en) * | 2005-04-12 | 2011-10-05 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | X-ray lens optical axis adjustment mechanism, X-ray lens optical axis adjustment method, and X-ray analyzer |
JP2006337122A (en) * | 2005-06-01 | 2006-12-14 | Shimadzu Corp | X-ray spectroscope |
JP2006337290A (en) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Shimadzu Corp | X-ray spectral instrument |
JP4639971B2 (en) * | 2005-06-06 | 2011-02-23 | 株式会社島津製作所 | X-ray analyzer |
JP4715345B2 (en) * | 2005-07-08 | 2011-07-06 | 株式会社島津製作所 | X-ray analyzer |
JP5751665B2 (en) * | 2011-03-01 | 2015-07-22 | 国立研究開発法人理化学研究所 | X-ray distribution device and X-ray distribution system |
JP5684032B2 (en) | 2011-04-08 | 2015-03-11 | 株式会社日立製作所 | Charged particle beam analyzer and analysis method |
WO2014068689A1 (en) | 2012-10-31 | 2014-05-08 | 株式会社日立製作所 | Spectroscopic element and charged particle beam device using same |
WO2015181961A1 (en) | 2014-05-30 | 2015-12-03 | 株式会社日立製作所 | Charged-particle-beam analysis device and analysis method |
-
2003
- 2003-03-26 JP JP2003084587A patent/JP4161763B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004294168A (en) | 2004-10-21 |
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Legal Events
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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