JP4153942B2 - Waste gas treatment equipment - Google Patents

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Description

本発明は乾湿式廃ガス処理装置に関し、具体的には当該装置において、廃ガスの処理時に発生するパウダーがバーニングチャンバを閉塞する問題を改善して、水溶性ガスの処理効率を向上させるための改良技術に関する。   The present invention relates to a dry and wet waste gas treatment apparatus, and more specifically, in this apparatus, the problem of powder generated during waste gas treatment blocking the burning chamber is improved and the treatment efficiency of water-soluble gas is improved. It relates to improved technology.

半導体デバイスは、酸化、食刻、蒸着及びフォトリソグラフィー工程など様々な製造工程を経って製造されるが、これらの工程には有毒性化工薬品及び化学ガス等が利用される。このうち化学ガスとしては、例えばシラン、アンモニア、酸化窒素、アルシン、ホスフィン、ジボラン、ホウ素トリクロライド等を挙げることができる。
これらの化学ガスは、毒性が比較的強いとされているため、工程に利用された後にそのまま廃ガスとして大気中に放出されると、人体に致命的な影響を及ぼしたり、自然発火による火事が発生したり、又は環境問題を発生させる等の可能性がある。 Semiconductor devices are manufactured through various manufacturing processes such as oxidation, etching, vapor deposition, and photolithography processes. Toxic chemicals and chemical gases are used for these processes. Among these, examples of the chemical gas include silane, ammonia, nitric oxide, arsine, phosphine, diborane, and boron trichloride.
These chemical gases are considered to be relatively toxic, so if they are used in the process and then released into the atmosphere as waste gases, they can have a fatal effect on the human body or cause a fire due to spontaneous ignition. It may occur or cause environmental problems.

そこで、このような問題を解決するために特許文献１及び２に示す如く、不要になった化学ガスの毒性を予め低下させてから排出する目的で、様々な形態の廃ガス処理装置が提案されている。
大韓民国公開特許２００３−８４４３０号公報 大韓民国公開特許２００３−８４４３２号公報 In order to solve such problems, as shown in Patent Documents 1 and 2, various types of waste gas treatment apparatuses have been proposed for the purpose of discharging after reducing the toxicity of unnecessary chemical gas in advance. ing.
Republic of Korea Published Patent No. 2003-84430 Republic of Korea Publication No. 2003-84432

しかしながら、従来の廃ガス処理装置においては以下の問題が存在する。
すなわち、乾湿式廃ガス処理装置における乾式ユニットでは、廃ガスによる装置内の腐食と、廃ガスの燃焼によって生じるパウダーが装置内に蒸着するという問題がある。これらの問題は装置の構成劣化を招くので、効率良く廃ガスを処理することの妨げとなり、優先的に解決すべき課題である。 However, the following problems exist in the conventional waste gas treatment apparatus.
That is, the dry unit in the dry and wet waste gas treatment apparatus has a problem that the powder generated by the corrosion of the waste gas and the combustion of the waste gas is deposited in the apparatus. Since these problems cause deterioration of the configuration of the apparatus, they hinder efficient processing of waste gas and are problems that should be preferentially solved.

また、当該装置に用いられる湿式ユニットについても、前記パウダーの蒸着防止の問題の他、廃ガスの水処理効率の向上も併せて要望されている。
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであって、効率的に廃ガスを処理し、廃ガスによる装置内ユニットの腐食とパウダーの蒸着を最小化した廃ガス処理装置を提供することを目的とする。 Further, regarding the wet unit used in the apparatus, in addition to the problem of preventing the deposition of the powder, improvement of water treatment efficiency of waste gas is also demanded.
The present invention has been made in view of such problems, and provides a waste gas treatment apparatus that efficiently treats waste gas and minimizes corrosion of the unit in the apparatus and waste gas deposition due to waste gas. With the goal.

上記課題を解決するために、本発明の乾湿式廃ガス処理装置は、廃ガスをバーニングチャンバに流入させるマニホールドと、前記マニホールド内部に設けられ、燃焼ガスと空気を流入させて点火させるバーナーと、前記バーナーの火炎を利用して、前記マニホールドから流入される廃ガスを燃焼処理又は熱分解するバーニングチャンバと、当該バーニングチャンバ内において、当該バーニングチャンバの外部より導入される不活性ガスの流通経路となる微細多孔が側壁に形成され、前記廃ガスの燃焼に伴い発生するパウダーの蒸着を防止する目的で、前記火炎の高熱を断熱するように設けられたブリーシング壁と、ダウンストリームに沿って、前記バーニングチャンバからの廃ガスに水を噴射して、精製及び冷却する精製/冷却ユニットと、前記精製された廃ガスを凝縮する凝縮ユニットと、前記廃ガスの進行通路となるパッキングスタックと、前記パッキングスタックに水を噴射するスプレーノズルを有する水処理モジュールが少なくとも一つ以上設けられ、アップストリームに沿って前記凝縮ユニットから流入される廃ガスを処理する水処理塔と、前記凝縮ユニットで凝縮された廃水及び前記水処理塔で処理された廃水を貯蔵する廃水処理槽とを含み、前記凝縮ユニットの上方向は、前記精製/冷却ユニット及び前記水処理塔の各々と連通し、凝縮ユニットを挟んで前記精製/冷却ユニット及び前記水処理塔の各々と対向する下方位置には、前記廃水処理槽と連通するドレーン管がそれぞれ配設され、前記精製/冷却ユニット及び前記水処理塔の間の凝縮ユニット部分は二重管構造に形成され、内側管に廃ガスが流通されて外側管に冷却水が流通される構成とした。 In order to solve the above problems, a dry / wet waste gas treatment apparatus of the present invention includes a manifold that allows waste gas to flow into a burning chamber, a burner that is provided inside the manifold and that allows combustion gas and air to flow and ignite. A burning chamber for burning or pyrolyzing waste gas flowing from the manifold using the flame of the burner; and a flow path of an inert gas introduced from the outside of the burning chamber in the burning chamber. A fine pore is formed on the side wall, and for the purpose of preventing the deposition of powder generated by the combustion of the waste gas, a breathing wall provided to insulate the high heat of the flame, and along the downstream, A purification / cooling unit for injecting water into the waste gas from the burning chamber for purification and cooling; At least one water treatment module having a condensing unit for condensing the purified waste gas, a packing stack serving as a passage for the waste gas, and a spray nozzle for injecting water into the packing stack, the look-containing and water treatment towers for processing waste gas flowing from the condensing unit, and a waste water treatment tank for storing the treated wastewater and the water treatment tower which has been condensed in the condensing unit wastewater along the The upper direction of the condensing unit communicates with each of the purification / cooling unit and the water treatment tower, and the waste water is disposed at a lower position facing the purification / cooling unit and the water treatment tower with the condensation unit interposed therebetween. A drain pipe communicating with the treatment tank is provided, and the condensing unit part between the purification / cooling unit and the water treatment tower has a double pipe structure. Made that was configured to cooling water to the outer tube waste gas is circulated to the inner tube is distributed.

ここで、前記バーナーを一定間隔を置いて取り囲むシールドを有し、前記間隙にダウンストリームに沿って不活性ガスが供給される構成とすることができる。
また、前記ブリーシング壁は多孔性セラミックスを含む材料からなる構成とすることもできる。
さらに前記精製/冷却ユニットは、前記バーニングチャンバと連通され、廃ガスと面する側壁に水膜が形成されるものであって、前記側壁において、微細な水粒子を噴霧する複数のノズルの少なくともいずれかが互いに異なる高さに設けられた構成とすることもできる。 Here, a shield surrounding the burner at a predetermined interval may be provided, and an inert gas may be supplied to the gap along the downstream.
Further, the breathing wall can be made of a material containing porous ceramics.
Further, the purification / cooling unit communicates with the burning chamber, and a water film is formed on a side wall facing the waste gas, and at least one of a plurality of nozzles spraying fine water particles on the side wall. It is also possible to adopt a configuration in which the heights are provided at different heights.

また、前記精製/冷却ユニットと水処理塔の間の凝縮ユニット部分は同心上の二重管で構成され、前記二重管の内側管を通じて前記処理されたガスを前記水処理塔に移動させ、前記二重管の外側管を通じて冷却水を通過させる構成とすることもできる。
さらに、前記廃水処理槽の内部には熱交換器を設けることも可能である。
また、前記水処理モジュールを通過させた廃ガスに乾燥外気を供給し、これにより乾燥させた当該ガスを排気ダクトから排出させる構成とすることもできる。 Further, the condensing unit part between the purification / cooling unit and the water treatment tower is composed of a concentric double pipe, and moves the treated gas to the water treatment tower through the inner pipe of the double pipe, It can also be set as the structure which allows a cooling water to pass through the outer side pipe | tube of the said double pipe.
Furthermore, a heat exchanger can be provided inside the wastewater treatment tank.
Moreover, it can also be set as the structure which supplies dry external air to the waste gas which passed the said water treatment module, and discharges the gas concerned dried by this from an exhaust duct.

以上の構成を持つ本発明によれば、前記バーニングチャンバを設けることによって、当該チャンバの外側では、バーナーからマニホールドの内部空間に伝達される熱が遮断される。その結果、廃ガスの処理に伴い発生するパウダーが、装置内部に蒸着する現象の発生を最小化することができる。また、このようにパウダーの蒸着を防止することができるため、バーナーが廃ガスによって腐食するのを防止する効果も奏されることとなる。   According to the present invention having the above configuration, by providing the burning chamber, heat transferred from the burner to the internal space of the manifold is blocked outside the chamber. As a result, it is possible to minimize the occurrence of a phenomenon in which the powder generated with the treatment of the waste gas is deposited inside the apparatus. Moreover, since powder deposition can be prevented in this way, the effect of preventing the burner from being corroded by waste gas is also exhibited.

さらに、精製/冷却ユニットの側壁に異なる高さでノズルを配設し、当該ノズルから水粒子を噴霧することで水膜を形成すれば、一次的に燃焼又は熱分解を行い、二次的に水処理を行うことを通じて、効率的に廃ガスが処理されることに加え、前記水膜によって前記パウダーが当該ユニットの内壁に蒸着されなくなる。そのため、腐食性の廃ガスから当該精製/冷却ユニットの側壁を保護することが可能となる。   Furthermore, if a water film is formed by disposing nozzles at different heights on the side wall of the purification / cooling unit and spraying water particles from the nozzles, primary combustion or thermal decomposition is performed, and secondarily By performing water treatment, waste gas is efficiently treated, and the water film prevents the powder from being deposited on the inner wall of the unit. Therefore, it becomes possible to protect the side wall of the purification / cooling unit from corrosive waste gas.

また、前記凝集ユニット部分を二重管構造とし、廃ガスを冷却水で冷却したのち、当該冷却水を熱交換する構成とすれば、当該冷却水を再利用することが可能になるので効率的である。
また、廃ガスを予め水分除去してから排気ダクトより排出する構成とすれば、当該排気ダクトにガスが付着しにくくなり、その腐食を防止することができるようになるため望ましい。 In addition, if the agglomeration unit portion has a double-pipe structure and the waste gas is cooled with cooling water and then the cooling water is heat-exchanged, the cooling water can be reused. It is.
In addition, it is preferable to remove the waste gas from the exhaust duct before exhausting the waste gas from the exhaust duct, because it is difficult for the gas to adhere to the exhaust duct and the corrosion can be prevented.

以下、添付図面を参照して本発明の実施例を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
図１は本発明による廃ガス処理装置を示す構成図である。
当図に示されるように、本廃ガス処理装置は乾湿式のものであって、大別してバーナー１１０、マニホールド１２０及びバーニングチャンバ１３０で構成される乾式ユニット１００と、精製/冷却ユニット２１０、凝縮ユニット２２０及び水処理塔２３０で構成される湿式ユニット２００で構成される。 Examples of the present invention will be specifically described below with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited to these examples.
FIG. 1 is a block diagram showing a waste gas treatment apparatus according to the present invention.
As shown in the figure, this waste gas treatment apparatus is of a dry and wet type, and is roughly divided into a dry unit 100 comprising a burner 110, a manifold 120 and a burning chamber 130, a purification / cooling unit 210, and a condensation unit. The wet unit 200 includes the 220 and the water treatment tower 230.

当該装置で処理可能な化学ガスの一例は以下の通りである。
熱分解可能なガスとしては、Ｈ２、ＳｉＨ４、Ｏ３、ＴＥＯＳ[(Ｃ２Ｈ５Ｏ)４Ｓｉ]、ＴＥＢ[Ｂ(Ｃ２Ｈ５)３]、ＴＥＰＯ[Ｐ(ＯＣ２Ｈ５)３]、ＴｉＣｌ４、ＴＤＭＡＴ(Ｔｉ[Ｎ(ＣＨ３)２]４)、ＴＣＥ(Ｃ２ＨＣｌ３)、ＤＣＳ(ＳｉＨ２Ｃｌ２)、ＮＨ３、ＮＦ３、ＮＯ、Ｎ２Ｏ、ＰＨ３、ＷＦ６、ＡｓＨ３、Ａｓ、ＶＯＣｓ等が挙げられる。 An example of a chemical gas that can be processed by the apparatus is as follows.
Examples of the thermally decomposable gas include H 2 , SiH 4 , O 3 , TEOS [(C 2 H 5 O) 4 Si], TEB [B (C 2 H 5 ) 3 ], TEPO [P (OC 2 H 5 3 ), TiCl 4 , TDMAT (Ti [N (CH 3 ) 2 ] 4 ), TCE (C 2 HCl 3 ), DCS (SiH 2 Cl 2 ), NH 3 , NF 3 , NO, N 2 O, PH 3 , WF 6 , AsH 3 , As, VOCs and the like.

又、燃焼可能なガスとしては、ＮＦ３、ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、Ｃ３Ｆ８、ＣＨＦ３、ＳＦ６、ＶＯＣｓ等が挙げられる。
さらに水溶性ガスとしては、ＨＣｌ、ＤＣＳ(ＳｉＨ２Ｃｌ２)、ＮＨ３、ＣｌＦ３、ＳｉＦ４、Ｆ２、ＨＦ、ＳｉＣｌ４、ＷＦ６、ＴｉＣｌ４、ＮＨ４Ｃｌ、ＴＤＭＡＴ(Ｔｉ[Ｎ(ＣＨ３)２]４)、ＡｌＣｌ３、Ｃｌ２、ＴＣＡ(Ｃ１０Ｈ４Ｃｌ６Ｏ４)、ＢＣｌ３、ＨＢｒ、ＳＯ２、Ｂ、ＢＦ３、ＴＥＯＳ((Ｃ２Ｈ５Ｏ)４Ｓｉ)、ＴｉＦ４ 等が挙げられる。 Examples of combustible gases include NF 3 , CF 4 , C 2 F 6 , C 3 F 8 , CHF 3 , SF 6 , and VOCs.
Further, water-soluble gases include HCl, DCS (SiH 2 Cl 2 ), NH 3 , ClF 3 , SiF 4 , F 2 , HF, SiCl 4 , WF 6 , TiCl 4 , NH 4 Cl, TDMAT (Ti [N ( CH 3 ) 2 ] 4 ), AlCl 3 , Cl 2 , TCA (C 10 H 4 Cl 6 O 4 ), BCl 3 , HBr, SO 2 , B, BF 3 , TEOS ((C 2 H 5 O) 4 Si ), TiF 4 and the like.

次に、乾式ユニット１００に対して具体的に説明する。乾式ユニット１００は、外部より導入された廃ガスを加熱して一次的に処理するものである。
マニホールド１２０は、外部より供給される廃ガスをバーニングチャンバ１３０に流通させるための流入口１２２を備えている。ここで図１のように、流入口１２２をマニホールド１２０の上部側面に配設すると、供給される廃ガスがサイクロン運動し、バーナー１２０から放出される火炎に集中させることができるので望ましい。 Next, the dry unit 100 will be specifically described. The dry unit 100 heats waste gas introduced from the outside and primarily processes the waste gas.
The manifold 120 includes an inflow port 122 for allowing waste gas supplied from the outside to flow into the burning chamber 130. Here, as shown in FIG. 1, if the inlet 122 is disposed on the upper side surface of the manifold 120, it is desirable that the supplied waste gas can perform a cyclonic motion and can be concentrated on the flame emitted from the burner 120.

マニホールド１２０は、バーニングチャンバ１３０に対して所謂トップ-ダウン(top-down)構造をなすように結合されている。これによって廃ガス処理時に発生するパウダーがバーニングチャンバ１３０に円滑に誘導され、当該パウダーがマニホールド１２０に溜まることを最小化することができる。
図２は本発明に適用されるバーナーの構成を詳細に示す断面図である。 The manifold 120 is coupled to the burning chamber 130 so as to form a so-called top-down structure. As a result, powder generated during waste gas treatment is smoothly guided to the burning chamber 130, and accumulation of the powder in the manifold 120 can be minimized.
FIG. 2 is a sectional view showing in detail the structure of the burner applied to the present invention.

マニホールド１２０の上部において、バーナー１１０が中央部に配設され、さらに当該バーナー１１０を取り囲むように、燃焼ガスと空気とをそれぞれマニホールド内１２０に供給するための供給口１１１、１１２が設けられている。さらに、供給口１１１、１１２の外側には、前記供給された燃焼ガス及び空気に点火するための点火器１１３と、当該着火の有無をチェックする着火センサー１１４が設けられている。   In the upper part of the manifold 120, a burner 110 is disposed at the center, and supply ports 111 and 112 for supplying combustion gas and air to the manifold 120 are provided so as to surround the burner 110, respectively. . Further, an igniter 113 for igniting the supplied combustion gas and air and an ignition sensor 114 for checking the presence or absence of the ignition are provided outside the supply ports 111 and 112.

このマニホールド１２０の望ましい構成としては、図２に示すように、バーナー１１０の外側から一定間隙を置いて、前記バーナーを取り囲むシールド１１６を設けることができる。そしてバーナー１１０とシールド１１６との間の間隙にはダウンストリームで不活性ガス、例えば、窒素を供給するようにする。
このようにシールド１１６を設けることで、バーナー１１０内部からマニホールド１２０の内部空間に伝達される高熱を断熱でき、廃ガスに含まれるパウダーが装置内部に蒸着するのを最小化することができる。これにより、廃ガスの化学的影響によるバーナー１１０の腐食を防止することができるようになる。 As a desirable configuration of the manifold 120, as shown in FIG. 2, a shield 116 surrounding the burner can be provided with a certain gap from the outside of the burner 110. An inert gas such as nitrogen is supplied downstream to the gap between the burner 110 and the shield 116.
By providing the shield 116 in this manner, high heat transmitted from the burner 110 to the internal space of the manifold 120 can be insulated, and the powder contained in the waste gas can be minimized from being deposited inside the apparatus. Thereby, corrosion of the burner 110 due to the chemical influence of the waste gas can be prevented.

バーニングチャンバ１３０は、バーナー１１０の火炎を利用して、マニホールド１２０から導入される廃ガスを一次的に燃焼処理又は熱分解するものである。
バーニングチャンバ１３０の内部には、微細多孔が側壁に形成された円筒状のブリーシング壁１３２が配設されている。このブリーシング壁１３２を設けることで、バーナー１１０の火炎による１３００℃程度の高熱がバーニングチャンバ１３０の側壁まで伝達されるのを断熱することができる。 The burning chamber 130 primarily uses a flame of the burner 110 to primarily burn or pyrolyze the waste gas introduced from the manifold 120.
Inside the burning chamber 130, a cylindrical breathing wall 132 having a microporous formed on the side wall is disposed. By providing this breathing wall 132, it is possible to insulate that high heat of about 1300 ° C. due to the flame of the burner 110 is transmitted to the side wall of the burning chamber 130.

又、バーニングチャンバ１３０の側壁に設けられた空気流入口１３４によって、外部より空気や窒素がバーニングチャンバ１３０内に取り込まれ、さらに前記微細多孔を通じてブリーシング壁１３２内部に流通する。この流通の動きにより、燃焼処理又は熱分解された廃ガスに伴うパウダーが、装置内部に蒸着するのを防止することができ、バーニングチャンバ１３０の側壁を良好に腐食防止することが可能となる。   Further, air and nitrogen are taken into the burning chamber 130 from the outside by an air inlet 134 provided on the side wall of the burning chamber 130 and further circulate inside the breathing wall 132 through the fine pores. By this movement of distribution, powder accompanying the combustion process or pyrolyzed waste gas can be prevented from being deposited inside the apparatus, and the side wall of the burning chamber 130 can be satisfactorily prevented from corrosion.

又、微細多孔を通じて空気や窒素がブリーシング壁１３２内に流通されることで、燃焼又は熱分解処理される廃ガスが当該ブリーシング壁１３２の中心部に集中され、当該ガスの流れが円滑化される効果も奏される。廃ガスはバーニングチャンバ１３０を通じて加熱処理され、熱分解若しくは燃焼された後、高温状態で下流の湿式ユニット２００へと流通される。   In addition, air and nitrogen are circulated in the breathing wall 132 through the fine pores, so that the waste gas to be combusted or pyrolyzed is concentrated at the center of the breathing wall 132 and the flow of the gas is smoothed Effect is also produced. The waste gas is heated through the burning chamber 130, pyrolyzed or burned, and then circulated to the downstream wet unit 200 at a high temperature.

尚、ブリーシング壁１３２の材料としては、多孔性セラミックスを利用することが望ましい。
以下、湿式ユニット２００に対して詳細に説明する。湿式ユニット２００は、前記加熱処理したガスを水溶性ガスとして処理するものである。
図３は図１のＡにおける精製/冷却ユニット２１０の構成を示す拡大断面図である。 As a material for the breathing wall 132, it is desirable to use porous ceramics.
Hereinafter, the wet unit 200 will be described in detail. The wet unit 200 treats the heat-treated gas as a water-soluble gas.
FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing the configuration of the purification / cooling unit 210 in FIG.

精製/冷却ユニット２１０は、バーニングチャンバ１３０の後端に結合され、バーニングチャンバ１３０から排出される高温の廃ガスに水を噴射して冷却すると共に、廃ガスに含まれた粉塵を集めて精製し、水溶性ガスを溶解させるものである。
この動作をなすため、精製/冷却ユニット２１０の側壁には複数の微細ノズル２１３が設けられ、流入口２１２に窒素と水とを同時に供給受けてこれを噴射することで、水が霧粒子の如く微細粒子として噴射される。これにより廃ガス処理時に発生するパウダーが装置内壁に蒸着する前に水とともに落下するので、廃ガスにより精製/冷却ユニット２１０の側壁が化学的に腐食してしまうのを回避できるようになっている。 The refining / cooling unit 210 is coupled to the rear end of the burning chamber 130 to cool the hot waste gas discharged from the burning chamber 130 by injecting water, and collects and purifies dust contained in the waste gas. It dissolves water-soluble gas.
In order to perform this operation, a plurality of fine nozzles 213 are provided on the side wall of the refining / cooling unit 210. Nitrogen and water are simultaneously supplied to the inlet 212 and injected, so that the water is like mist particles. Injected as fine particles. As a result, the powder generated during the waste gas treatment falls with water before being deposited on the inner wall of the apparatus, so that the side walls of the purification / cooling unit 210 can be prevented from being chemically corroded by the waste gas. .

ここで、前記複数の微細ノズル２１３は、前記水噴射による水膜２１４形成を前記側壁の全体領域にわたり確保するため、少なくとも一部以上が互いに異なる高さに配設されている。
さらに、精製/冷却ユニット２１０の側壁では図３に示すように水膜２１４を形成することで、前記パウダーの付着をより一層防止されるようになっている。具体的に水膜２１４を形成するためには、例えば、バーニングチャンバ１３０と精製/冷却ユニット２１０の結合部分に間隙を形成し、当該間隙から水を供給する方法が採れる。 Here, at least a part of the plurality of fine nozzles 213 are arranged at different heights in order to secure the formation of the water film 214 by the water jet over the entire region of the side wall.
Further, by forming a water film 214 on the side wall of the purification / cooling unit 210 as shown in FIG. 3, the adhesion of the powder is further prevented. In order to form the water film 214 specifically, for example, a method can be used in which a gap is formed at the coupling portion between the burning chamber 130 and the purification / cooling unit 210 and water is supplied from the gap.

続いて、精製/冷却ユニット２１０の下に配設される凝縮ユニット２２０は、図１に示すように水処理塔２３０と連結される長い円筒状として形成される。その両端側壁には、それぞれ噴射ノズル２２２、２２４が設けられ、噴射ノズル２２２、２２４から噴射される水粒子によって廃ガスに伴うパウダーを取り込ませる。そして当該パウダーを含んだ水粒子を互いに凝縮させ、これをドレーン管３２０、３３０を通じて廃水処理槽３００にドレーンさせる構成となっている。   Subsequently, the condensing unit 220 disposed under the purification / cooling unit 210 is formed as a long cylinder connected to the water treatment tower 230 as shown in FIG. Injecting nozzles 222 and 224 are provided on both side walls, respectively, and powder accompanying the waste gas is taken in by water particles injected from the injection nozzles 222 and 224. Then, the water particles containing the powder are condensed to each other and drained into the wastewater treatment tank 300 through the drain pipes 320 and 330.

ところで精製/冷却ユニット２１０から排出される廃ガスは、この段階では約２００℃の温度を持つので、安全に排出するにあたり予め冷却することが必要である。このため本実施例では、精製/冷却ユニット２１０と水処理塔２３０との間の凝縮ユニット部分を同心上の二重管の構造とする。
これにより駆動時には、前記二重管の内側管を通じて高温の前記廃ガスを水処理塔２３０に移動させるとともに、前記二重管の外側管を通じて冷却水を水処理塔２３０へと流通させることで、前記内側管を通る廃ガスが効果的に冷却される構成となっている。 By the way, since the waste gas discharged from the purification / cooling unit 210 has a temperature of about 200 ° C. at this stage, it is necessary to cool it in advance for safe discharge. For this reason, in this embodiment, the condensing unit portion between the purification / cooling unit 210 and the water treatment tower 230 has a concentric double tube structure.
By this, at the time of driving, the waste gas at a high temperature is moved to the water treatment tower 230 through the inner pipe of the double pipe, and the cooling water is circulated to the water treatment tower 230 through the outer pipe of the double pipe. The waste gas passing through the inner pipe is effectively cooled.

水処理塔２３０は、アップストリームに沿って導入させた廃ガスを、水処理モジュールを利用して２次処理するものである。
水処理モジュールは、図１に示すように、廃ガスの流通通路であるパッキングスタック２３２、２３２ａと、当該パッキングスタック２３２、２３２ａに対して水を噴射するスプレーノズル２３４、２３４ａで構成される。パッキングスタック２３２、２３２ａは、数百個のパッキングが堆積された構成を有し、各パッキングの間に形成されるガスの流通経路が長く、且つ、ガスとの接触面積が大きくなるよう構成されている。これにより、廃ガスが前記パッキングスタック２３２、２３２ａ中の流通経路を流通する間において、パッキングスタック２３２、２３２ａの表面上でスプレーノズル２３４、２３４ａによって噴射された水と良好な接触面積及び接触時間で接触され、短時間で急速に冷却されることとなり、優れた冷却効率が確保される。 The water treatment tower 230 performs secondary treatment of waste gas introduced along the upstream using a water treatment module.
As shown in FIG. 1, the water treatment module includes packing stacks 232 and 232a that are waste gas circulation passages, and spray nozzles 234 and 234a that inject water into the packing stacks 232 and 232a. The packing stacks 232 and 232a have a configuration in which several hundreds of packings are deposited, and are configured such that a gas flow path formed between the packings is long and a contact area with the gas is large. Yes. As a result, while the waste gas flows through the flow path in the packing stacks 232 and 232a, the water sprayed by the spray nozzles 234 and 234a on the surface of the packing stacks 232 and 232a can have a good contact area and contact time. It is contacted and rapidly cooled in a short time, and excellent cooling efficiency is ensured.

なお、本実施例では、図１において二つの水処理モジュールが上下に設けられた水処理塔２３０の構成について例示したが、本発明はこの構成に限定するものではない。すなわち、水処理モジュールを通過した後において、処理されたガスが外気供給口２３６から供給される外気と触れ、充分に乾燥された状態で排気される構成であればよい。これにより、水分を未だ含んだ廃ガスが排気ダクト２３８に触れることで、当該排気ダクト２３８が腐食するのを回避できる。   In addition, although the present Example illustrated about the structure of the water treatment tower 230 in which the two water treatment modules were provided up and down in FIG. 1, this invention is not limited to this structure. In other words, after passing through the water treatment module, the treated gas may contact the outside air supplied from the outside air supply port 236 and be exhausted in a sufficiently dried state. Accordingly, it is possible to avoid corrosion of the exhaust duct 238 due to the waste gas still containing moisture touching the exhaust duct 238.

また、水処理塔２３０は、前記腐食による影響を最小化するために、内側壁をテフロン（登録商標）でコーティングしたステンレススチールで製作することができる。
一方、廃水処理槽３００には、凝縮ユニット２２０から凝縮された廃水や粉塵と結合された廃水、水処理塔２３０から処理された廃水を流入して貯蔵し、望ましくは、リサイクリングのために適正な温度を維持するように内部に熱交換器を設けることができる。 The water treatment tower 230 can be made of stainless steel whose inner wall is coated with Teflon (registered trademark) in order to minimize the influence of the corrosion.
On the other hand, the wastewater treatment tank 300 stores wastewater condensed from the condensation unit 220, wastewater combined with dust, and wastewater treated from the water treatment tower 230, and is preferably suitable for recycling. A heat exchanger can be provided inside so as to maintain a proper temperature.

次に、本発明の効果について説明する。図４は本発明の廃ガス処理装置によるＮＦ３ガスの処理効率を説明するグラフである。
スクラバーインレット側のＮＦ３の濃度とスクラバーアウトレット側のＮＦ３の濃度を見ると、ＮＦ３がほとんど検出されないことが分かる。即ち、ＮＦ３ガスは熱分解が可能であり水溶性ガスとして水処理によって除去されて、微量のＨＦガスのみが検出され、処理効率はほとんど９９.９%に至ることが分かる。 Next, the effect of the present invention will be described. FIG. 4 is a graph for explaining the processing efficiency of NF 3 gas by the waste gas processing apparatus of the present invention.
Looking at the concentration of NF 3 concentration and scrubber outlet side of NF 3 in the scrubber inlet side, it is seen that NF 3 is hardly detected. That is, it can be seen that NF 3 gas can be thermally decomposed and removed as a water-soluble gas by water treatment, so that only a trace amount of HF gas is detected, and the treatment efficiency reaches almost 99.9%.

この実験例で流量比はそれぞれＮＦ３が２１ｐｍ、窒素が１５０１ｐｍ、そして燃焼ガス(ＬＮＧ)が１５１ｐｍである。
続いて、図５は本発明の廃ガス処理装置によるＮＨ３の水処理効率を示すグラフである。
当図から、それぞれの流量比に対して除去効率はほとんど９９．９５％以上であることが分かる。これにより、本発明の有効な効果が確認できる。 Experimental Example In flow ratio, respectively NF 3 21 pM, nitrogen 1501Pm, and combustion gas (LNG) is 151Pm.
Next, FIG. 5 is a graph showing the water treatment efficiency of NH 3 by the waste gas treatment apparatus of the present invention.
From this figure, it can be seen that the removal efficiency is almost 99.95% or more for each flow rate ratio. Thereby, the effective effect of this invention can be confirmed.

本発明の実施例の廃ガス処理装置を示す構成図である。It is a block diagram which shows the waste gas processing apparatus of the Example of this invention. 本発明の実施例のバーナーを詳細に示す断面図である。It is sectional drawing which shows the burner of the Example of this invention in detail. 本発明の実施例の精製/冷却ユニットを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the refinement | purification / cooling unit of the Example of this invention. 本発明の実施例の廃ガス処理装置によるＮＦ３ガスの処理効率を説明するグラフである。Is a graph illustrating the performance of the NF 3 gas by the waste gas treatment apparatus of the embodiment of the present invention. 本発明の実施例の廃ガス処理装置によるＮＨ３の水処理効率を示すグラフである。Is a graph showing the water treatment efficiency of NH 3 by the waste gas treatment apparatus of the embodiment of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

１００ 乾式ユニット
１１０ バーナー
１１６ シールド
１２０ マニホールド
１３０ バーニングチャンバ（burning chamber）
１３２ ブリーシング壁（breathing wall）
２００ 湿式ユニット
２１０ 精製/冷却ユニット
２１３ 微細ノズル
２１４ 水膜
２２０ 凝縮ユニット
２３０ 水処理塔
２３２、２３２ａ パッキングスタック 100 Dry unit 110 Burner 116 Shield 120 Manifold 130 Burning chamber
132 breathing wall
200 Wet unit 210 Purification / cooling unit 213 Fine nozzle 214 Water film 220 Condensing unit 230 Water treatment tower 232, 232a Packing stack

Claims (6)

廃ガスをバーニングチャンバに流入させるマニホールドと、
前記マニホールド内部に設けられ、燃焼ガスと空気を流入させて点火させるバーナーと、
前記バーナーの火炎を利用して、前記マニホールドから流入される廃ガスを燃焼処理又は熱分解するバーニングチャンバと、
当該バーニングチャンバ内において、当該バーニングチャンバの外部より導入される不活性ガスの流通経路となる微細多孔が側壁に形成され、前記廃ガスの燃焼に伴い発生するパウダーの蒸着を防止する目的で、前記火炎の高熱を断熱するように設けられたブリーシング壁と、
ダウンストリームに沿って、前記バーニングチャンバからの廃ガスに水を噴射して、精製及び冷却する精製/冷却ユニットと、
前記精製された廃ガスを凝縮する凝縮ユニットと、
前記廃ガスの進行通路となるパッキングスタックと、前記パッキングスタックに水を噴射するスプレーノズルを有する水処理モジュールが少なくとも一つ以上設けられ、アップストリームに沿って前記凝縮ユニットから流入される廃ガスを処理する水処理塔と、
前記凝縮ユニットで凝縮された廃水及び前記水処理塔で処理された廃水を貯蔵する廃水処理槽とを含み、
前記凝縮ユニットの上方向は、前記精製/冷却ユニット及び前記水処理塔の各々と連通し、
凝縮ユニットを挟んで前記精製/冷却ユニット及び前記水処理塔の各々と対向する下方位置には、前記廃水処理槽と連通するドレーン管がそれぞれ配設され、
前記精製/冷却ユニット及び前記水処理塔の間の凝縮ユニット部分は二重管構造に形成され、内側管に廃ガスが流通されて外側管に冷却水が流通される
構成であることを特徴とする乾湿式廃ガス処理装置。 A manifold for introducing waste gas into the burning chamber;
A burner provided inside the manifold and ignited by injecting combustion gas and air;
A burning chamber that uses the flame of the burner to burn or pyrolyze waste gas flowing from the manifold;
In the burning chamber, fine pores that serve as a flow path for the inert gas introduced from the outside of the burning chamber are formed on the side wall, and for the purpose of preventing the deposition of powder generated due to combustion of the waste gas, A breathing wall provided to insulate the high heat of the flame;
A purification / cooling unit for purifying and cooling water downstream by jetting water into the waste gas from the burning chamber;
A condensing unit for condensing the purified waste gas;
At least one water treatment module having a packing stack serving as a passage for the waste gas and a spray nozzle for injecting water into the packing stack is provided, and waste gas flowing from the condensation unit along the upstream is disposed. A water treatment tower to be treated;
Look including a waste water treatment tank for storing the treated wastewater has been condensed in the condenser unit and the water treatment column effluent,
The upward direction of the condensation unit communicates with each of the purification / cooling unit and the water treatment tower,
Drain pipes communicating with the wastewater treatment tank are respectively disposed at lower positions facing the purification / cooling unit and the water treatment tower across the condensation unit, respectively.
The condensing unit part between the purification / cooling unit and the water treatment tower is formed in a double pipe structure, and waste gas is circulated through the inner pipe and cooling water is circulated through the outer pipe. Dry and wet waste gas treatment equipment. さらに、前記バーナーを一定間隔を置いて取り囲むシールドを有し、前記間隙にダウンストリームに沿って不活性ガスが供給される構成である
ことを特徴とする請求項１に記載の乾湿式廃ガス処理装置。 The wet and dry waste gas treatment according to claim 1, further comprising a shield surrounding the burner at a predetermined interval, and an inert gas is supplied to the gap along the downstream. apparatus. 前記ブリーシング壁は多孔性セラミックスを含む材料からなる構成である
こと特徴とする請求項１に記載の乾湿式廃ガス処理装置。 The dry and wet waste gas treatment apparatus according to claim 1, wherein the breathing wall is made of a material containing porous ceramics. 前記精製/冷却ユニットは、前記バーニングチャンバと連通され、廃ガスと面する側壁に水膜が形成されるものであって、
前記側壁において、微細な水粒子を噴霧する複数のノズルの少なくともいずれかが互いに異なる高さに設けられた構成である
ことを特徴とする請求項１に記載の乾湿式廃ガス処理装置。 The purification / cooling unit communicates with the burning chamber and forms a water film on a side wall facing waste gas,
The dry / wet waste gas treatment apparatus according to claim 1, wherein at least one of a plurality of nozzles for spraying fine water particles is provided at different heights on the side wall. 前記廃水処理槽の内部に熱交換器が設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載の乾湿式廃ガス処理装置。 The dry / wet waste gas treatment apparatus according to claim 1, wherein a heat exchanger is provided inside the wastewater treatment tank . 前記水処理モジュールを通過させた廃ガスに乾燥外気を供給し、これにより乾燥させた当該ガスを排気ダクトから排出させる構成である
ことを特徴とする請求項１に記載の乾湿式廃ガス処理装置。 The dry / wet waste gas treatment apparatus according to claim 1, wherein dry waste air is supplied to the waste gas that has passed through the water treatment module, and the gas thus dried is discharged from an exhaust duct. .
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