JP4152439B2 - 互い違いに配列される配線を製造するため窪んだローカル導体を使用する集積回路 - Google Patents
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Description
1.発明の分野
この発明は、半導体の作製に関し、特に隣接する導体に関して中間にある導体を互い違いに配列することによって密度の高い回路区域内の隣接する導体間の層内容量結合を減じるための方法および構造に関する。
2.背景技術の説明
集積回路は、モノリシック基板のトポグラフィ全体に広がる多数の導体を含む。システム内の2つまたは3つ以上の構成要素を電気的に接続するための役割を果たす配線(または導体)の組は、通常、「バス」と呼ばれる。構成要素が適切に動作できるよう、電圧レベルの組合せが、導体を通じて送られる。たとえば、マイクロプロセッサは、所定のバス構造によって、メモリおよび入出力装置に接続される。動作によって分類される多くの種類のバスがある。よく知られているバスの種類の例としては、アドレスバス、データバスおよび制御バスが含まれる。
バス内の導体は、通常、半導体のトポグラフィにわたって互いに並行に延びる。導体は、誘電体により、互いからおよび下地となる導電素子から分離される。適当な誘電体は、たとえば二酸化シリコン(酸化物)である。導体は、半導体トポグラフィにわたってリソグラフィによりパターニングされ、このトポグラフィは上に誘電体が位置付けられる基板を含む。このトポグラフィはまた、誘電体材料の上層により密封される導体の1つまたは2つ以上の層を含んでもよい。したがって、誘電体が上に載った導体の層は、その上に続いて導体の層をパターニングすることができるトポグラフィを提供する。
導体は、電気的に導伝性の材料から作られ、適当な材料は、Cu、Al、Ti、Ta、W、Mo、ポリシリコンまたはそれらの組合せを含む。基板は、ドーパントのイオンおよびこれらのイオンによりもたらされる分離された導電型領域を保持することができる任意の種類の材料を含む。基板は、p型イオンまたはn型イオンを受取るシリコンベースの材料であることが典型的である。
一般に、配線(または導体)は、トポグラフィの上に形成され、かつ、下地となる導体または基板の上に、厚さTd1の誘電体で間隔をおいて位置付けられる。各導体は、同じ層の導体の間で、他の導体から、距離Td2の誘電体で間隔をおいて位置付けられる。したがって、層間キャパシタンスCLS(すなわち異なった層の導体の間のキャパシタンス)は、
と定義される。さらに、層内キャパシタンスCLL(すなわち同一層内の導体間のキャパシタンス)は、
と定義される。ここで、εは誘電体材料(導体と基板との間の誘電体材料または導体の間の誘電体材料)の誘電率であり、WLは導体の幅であり、Tcは導体の厚さであり、Lは導体の長さである。導体の抵抗は、
で計算される。ここで、ρは導電性材料の抵抗率を表わし、Tcは配線の厚さである。式1および3ならびに/または式2および3を組合せると、導体の伝搬遅延は、
と表わされる。
伝搬遅延は、回路またはいくつかの回路が動作することのできる速度(周波数)を限定するので、集積回路の重要な特性である。伝搬遅延が短いほど、回路またはいくつかの回路の速度は速くなる。したがって、半導体トポグラフィの幾何学的制約の中で可能な限り伝搬遅延を最小限にすることが重要である。
式4は、回路の伝搬遅延が、横方向に間隔をおいて位置付けられる導体の間の寄生キャパシタンス値(CLL)および縦方向に間隔をおいて位置付けられる導体の間のまたは導体と下地となる基板との間の寄生キャパシタンス値(CLS)により決定されることを示す。回路の密度が上がるに伴い、導体の間の横方向間隔および縦方向間隔は減少し、キャパシタンスCLLが増加する。一方、平坦化のためには縦方向の間隔をある程度減じることが要求される。浅型トレンチプロセス(shallow trench processing)、凹型LOCOSプロセス(recessed LOCOS processing)および多層層間誘電体により、縦方向間隔が全体として減じられ、それによって、CLSが増加する。したがって、狭い配線間隔を用いる集積回路ではCLLが支配的なキャパシタンスであると定義され、薄い層間誘電体を用いる集積回路では、CLSが支配的なキャパシタンスと定義される。
寄生キャパシタンスCLLまたはCLSが増加することで、2つの主要な問題が生じる。第1に、寄生キャパシタンスが増加すると、一般に、導体の一方端での遷移がその他方端で生じるまでの時間が増加する。遷移にかかる時間が増加すると、導体全体が定常値に達することができるまでに必要とされる駆動期間が長くなるので、回路の動作が遅くなる。もし、導体がクリティカル速度パスに沿って延びているのであれば、ラインの速度劣化で回路全体の機能が大きく損なわれるであろう。第2に、寄生キャパシタンスが大きくなると、クロストークノイズが増加する。遷移しない導体も、遷移する隣接するラインからのクロストークノイズを受ける。
したがって、特にクリティカル速度パスの伝搬遅延を最小限にすることが重要である。図1および図2は、それぞれ従来のデュアルレベル配線構造の部分上面図および部分断面図である。複数の第1の導体10が、半導体基板8にわたり配置され、第1の配線層を形成する。基板8は、誘電体を含むよう規定され、その上に配線がパターニングされ、できれば誘電体内の開口部を通じて選択的に連結される。配線の形成に続いて、第1の配線層10の上に誘電体層11が形成される。複数の第2の導体12が次に第1の誘電体層11の上に配置され、第2の配線層13を形成する。複数の第2の導体12が互いに近接するところでは、第2の配線層13内に密度の高い回路領域14が生じる。図2からより明確にわかるように、隣接する第2の導体12の間のdh1として図示される横方向のずれは、第1の配線層10と第2の配線層13との間の縦方向のずれdv1よりもはるかに大きなものでもあり得る。dh1がdv1よりも大幅に小さいときは、層内キャパシタンスCLLが回路の性能を支配する傾向がある。同様に、隣接する導体間の横方向のずれが減少するに従い、層内キャパシタンスCLLの制御および最小化がますます重要なものになるといえる。化学組成の制約を考えると、CVD(化学的気相成長)酸化物などの従来の層間誘電体の誘電率εまたは導体材料の抵抗率ρを減じることは容易にはできない。プロセス制約のため、導体の厚さTcまたは誘電体の厚さTd1もしくはTd2を増加させることは難しい。さらに、多くの現在の集積回路は、導体の長さLを減じる代わりに、長い配線を用いており、これが伝搬遅延の問題を悪化させている。したがって、既存の作製プロセスの制約内で、伝搬遅延およびクロストークノイズを減じる必要が生じている。
文献IBM TDB 34(12)、1992年5月1日、283頁から285頁は、深いトレンチ凹部を形成することによって、サブ表面ローカル配線を形成するためのプロセスを開示する。
上に概説した問題は、その大部分が、改良された多層配線構造により解決される。配線構造は、配線が高い密度で間隔をおいて位置付けられている区域内に形成される互い違いに配列される配線を含む。互い違いに配列される配線は、中間導体(すなわち、密度の高い空間領域内の2つの隣接する導体の間に横方向に配列される導体)を、隣接する導体の平面から下へ縦方向にずれた平面内に形成されるローカル導体層に経路付けることにより形成される。例示的一実施例によれば、多層配線構造は、典型的には銅またはアルミニウムを含む2層のグローバル配線と、好ましくはタングステンまたは他の高融点金属を含むローカル配線層とを含む。第1のグローバル配線層は、半導体基板上に配置される実質的に同一平面にある複数の第1の導体を含む。第1の誘電体層が第1の配線層上に形成された後、好ましくは異方性ドライエッチングプロセスによって第1の誘電体層内にトレンチが形成される。トレンチは、第1の誘電体層の上表面から第1の誘電体層を部分的に通って下方向に延びる。
ローカル導体層は、トレンチを埋込むよう、ウェハ上にタングステンなどの導電性材料をブランケット堆積することにより形成されることが好ましい。次に、好ましくは、導電性材料の上表面が第1の誘電体層の上表面と実質的に同一平面となったときに終了するよう設計される化学機械研磨プロセスにより、ウェハから余分な導電性材料が除去される。次に、第1の誘電体層の上表面近くの導電性材料の部分をエッチングで取除くため、導電性材料に対する選択比の高いエッチングプロセスが実行される。エッチングプロセスの後に残る導電性材料は、第1の誘電体層の上表面から下へ縦方向にずれる上表面を有する窪んだ導体を形成する。次に、第2の誘電体層が、トレンチを埋込みかつローカル導体を密封するよう形成される。第2の誘電体は、第1の誘電体の上表面まで平坦化することができる。次に第2の配線層が第1の誘電体層の上に形成されかつパターニングされる。第2の配線層は、誘電体により間隔をおいて位置付けられ、実質的に同一平面にある複数の第2の導体を含む。
ローカル導体は、第2の層の導体に対し、互い違いになった構成で配置される。異なった高さに導体を互い違いに配列することは、高い密度でパターニングされる第2の導体とローカル導体との間の間隔を増加させるのに役立つ。より特定的には、動作する第2の導体とローカル導体との間の直接電界が最小限にされる。導体内の電流は、典型的には、導体の断面区域を通じて分配される。第2の層の1対の導体の間にローカル導体を埋込むことにより、その間の直接電界が最小限となる。これによってローカル導体と1対の第2の導体との間の交差結合が減じられる。改良された多層配線構造は、こうして、1つではなく2つの別個の平面内に高密度の配線構造を形成することを可能にする。別個の平面に配線を位置付けることで、ラインを通じて送られる信号の伝搬遅延が減少する。一般に、この発明は、窪んだ配線構造を形成する方法を企図する。第1の配線層は、半導体基板上に形成され、第1の誘電体層は、第1の配線層上に形成される。第1の配線層は、好ましくは、銅またはアルミニウムを含み、一方、第1の誘電体層は好ましくは、TEOS源でCVDチャンバ内で形成される酸化物である。次に好ましくは異方性ドライエッチングを使用して、第1の誘電体層内にトレンチが形成される。高融点金属などの導電性材料がトレンチ内に堆積される。次に材料の上表面が第1の誘電体の上表面と実質的に同一平面になるまで、導電性材料が平坦化される。次に第1の誘電体層の上表面から縦方向にずれる上表面を有する窪んだローカル導体を製造するよう、導電性材料に対する選択比の高いプロセスで、導電性材料がエッチングされる。ローカル配線が形成された後に、好ましくはCVDチャンバ内で、導電性材料の上表面上に第2の誘電体層が形成される。この発明の一実施例においては、第2の誘電体の上表面から導電性材料へ延びるコンタクトトンネルが形成される。この発明の他実施例においては、第2の誘電体の上表面から第1の配線層に延びるコンタクト開口部が形成される。一実施例においては、この発明はさらに、第2の配線層を第1の誘電体の上表面上に形成することを企図する。
この発明はまたさらに、半導体基板上に配置される第1の配線層を有する多層配線構造を企図する。第1の誘電体層は、第1の配線層上に配置される。第1の誘電体層は、第1の誘電体の上表面から下方向に延びるトレンチを有する。トレンチは、第1の誘電体層の上表面から下へ縦方向にずれる上表面を有する導電性材料を含むローカルコネクタを含む。第2の誘電体層は、ローカルコネクタ上に配置される。第2の配線層の第1の導体および第2の導体は第1の誘電体層の上に形成される。第1および第2の導体は、ローカル導体の上表面から上へ縦方向にずれる下表面を有する。第1および第2の導体は、ローカル導体の両側からある横方向の距離、横方向にずれる。一実施例においては、配線構造は、第2の配線の対の1つまたは2つ以上から第1の誘電体層を通って第1の配線層へ延びる1つまたは2つ以上のコンタクトトンネルを有する。他実施例においては、第1の誘電体層は、第2の配線層の第3の導体から第1の誘電体層を通ってローカル配線材料へ延びる1つまたは2つ以上のコンタクトトンネルを有する。
この発明はさらに、第1の配線層、第1の配線層の上に形成される第1の誘電体層および第1の誘電体層上に配置される第2の配線層を含む半導体装置の改良を企図する。この改良案は、回路の密度の高い領域内で、ローカル導体の上表面が、第1および第2の導体の下表面から下へ縦方向にずらされるよう、第2の配線層の中間導体を、第1の誘電体層内に配置されるローカル導体に置きかえることを含む。
【図面の簡単な説明】
この発明の他の目的および利点は、添付の図面を参照し以下の詳細な説明を読むことでより明らかになるであろう。
図1は、従来のデュアルレベル配線構造の部分上面図である。
図2は、図1に示す図に沿った部分断面図である。
図3は、改良された多層配線構造の部分上面図である。
図4は、図3のAに沿った部分断面図である。
図5Aおよび図5Bは、それぞれ図3のAおよび図3のBに沿った、半導体基板上に形成される第1の配線層の部分断面図である。
図6Aおよび図6Bは、第1の配線層がパターニングされエッチングされる次のプロセスステップの図である。
図7Aおよび図7Bは、誘電体層が、第1の配線層上に形成される、次のプロセスステップの図である。
図8Aおよび図8Bは、トレンチが第1の誘電体層内に形成される、次のプロセスステップの図である。
図9Aおよび図9Bは、トレンチが導電性材料で埋込まれる、次のプロセスステップの図である。
図10Aおよび図10Bは、導電性材料が、第1の誘電体層の上表面まで平坦化される、次のプロセスステップの図である。
図11Aおよび図11Bは、導電性材料が部分的にエッチングされる、次のプロセスステップの図である。
図12Aおよび図12Bは、トレンチを埋込むよう、第2の誘電体層が形成される、次のプロセスステップの図である。
図13Aおよび図13Bは、第2の誘電体層が、第1の誘電体層の上表面まで平坦化される、次のプロセスステップの図である。
図14Aおよび図14Bは、第1の配線層へのコンタクトおよび導電性材料へのコンタクトが、それぞれ第1の誘電体層および第2の誘電体層内に形成される、次のプロセスステップの図である。
図15Aおよび図15Bは、第1の配線層へのコンタクトおよびローカル配線へのコンタクトが、タングステンなどの導電性材料で埋込まれ、平坦化される、次のプロセスステップの図である。
図16Aおよび図16Bは、第2の層の配線が形成されパターニングされる、次のプロセスステップの図である。
この発明にはさまざまな修正および代替的形態が考えられるが、この発明の特定の実施例を例として図面に示し、詳細に説明する。しかし、図面およびその詳細な説明は、この発明を開示される特定の形態に限定することを意図するのではなく、逆に、添付の請求の範囲により規定されるこの発明の範囲および精神の範囲内にあるすべての変更例、均等物および代替案をカバーすることが意図されることが理解されねばならない。
発明の詳細な説明
次に図3を参照し、多層配線構造100の上面図が示される。配線構造100は、異なった高さにリソグラフィで形成される複数の配線導体を含む。同一の高さに形成される配線導体は、製造業者のプロセスに関連するレイアウトルールにより規定される最小距離で互いから間隔をおいて位置付けられる。図3に示す実施例においては、配線の3つの層が図示される。第1の配線層は、実質的に同一平面にある間隔をおいて位置付けられる複数の第1の導体102の組を含む。ローカル配線層は、実質的に同一平面にある複数のローカル導体104の組(図では1つだけを図示する)を含む。第3の層は、実質的に同一平面にある複数の第2の導体106の組を含む。簡潔にするため、図3は、複数の第1の導体102の3つ、複数のローカル導体104を1つ、および複数の第2の導体106を2つだけ図示する。第1の導体102は点線で図示され、ローカル導体104は破線で図示され、第2の導体106は実線で図示される。図4は、図3のAに沿った断面図である。より特定的には、図4は、配線構造100の多くの考えられる構成に属する一例示的レイアウトを図示する。図4は、第1の導体102、ローカル導体104および第2の導体106のさまざまな高さをそれぞれ図示する。図示される例示的実施例により、ローカル導体104は、第1の導体102と第2の導体106との間のある高さに位置付けられる。しかし、代替的実施例によれば、第2の導体106をローカル導体104の下の高さに位置付けることができることがわかる。
図4は半導体基板101上に形成される層間誘電体構造120を図示する。誘電体構造120は、一実施例により、半導体基板101上に配置される第1の配線層102を含む。第1の誘電体層103が第1の配線層102上に形成される。第1の誘電体103は、導電性材料104で部分的に埋込まれるトレンチ105を含む。第2の誘電体層112が導電性材料104上に形成される。第2の配線106が第1の誘電体103上に形成される。第2の配線層106の第1および第2の導体106aおよび106cは、ローカル導体104の上表面から縦方向距離dv2縦方向にずらされる。第1および第2の導体106aおよび106cは、導電性材料の両側から横方向距離dh2横方向にずらされる。ピタゴラスの定理を適用すると、ローカル導体104が、第1および第2の導体106aおよび106cからおよそ(dh2 2+dv2 2)1/2に等しい距離dtずらされていることがわかる。図2と図4とを比較すると、1対の第2の配線導体106からローカル導体104を縦方向にずらすことの利点が明らかとなる。図2に図示する電界E1と図4に図示するE2とは、隣接する導体12bと12aとの間の電位差のために生じる。図1の高密度領域14における電界フラックスφ1は、図3の領域107内のフラックスφ2よりも大きいと信じられる。もし導体106bが導体106cと同じ高さの平面に形成されるのであれば、図2のE1に等しい電界が、図4の第2の配線導体106cと導体106bとの間に存在するであろう。しかし、この発明により、導体106bは、高密度回路領域107内にある第2の導体106aおよび106cの高さの平面からずらされたローカル導体104に置きかえられる。第2の導体106aおよび106cに対し、ローカル導体104を高くするかまたは引っ込ませることによって、ローカル導体104と第2の導体106aおよび106cとの間の電界フラックスおよび容量結合が減じられるであろう。
次に、図5から図16を参照し、この発明による多層配線構造を形成するためのプロセスシーケンスを図示する。各図は「A」側と「B」側とを含む。各図のA側は図3のAに沿った断面図である。B側の図は、図3のBに沿った断面図である。したがって、図5Aから図16Aは、プロセスシーケンスの間に図3の平面Aに沿って見たものであり、一方、図5Bから図16Bは、同様のプロセスシーケンスの間に図3の平面Bに沿って見たものである。次に図5Aおよび図5Bを参照し、第1の配線層102が半導体基板101上に形成される。第1の配線層102は、アルミニウム源を使用して物理蒸着プロセスの間に形成されることが好ましい。基板101は、配線層102に対する物理的な支えとなる。基板101は、配線層102の形成前に行なわれる半導体プロセスを含み、かつ、ポリシリコンゲートトランジスタ構造、フィールド酸化物もしくはトレンチ分離構造または基板101の活性領域から第1の配線102を分離するための下地となる誘電体を含んでもよい。図6Aおよび図6B中、第1の配線層102がパターニングされている。第1の配線層102のパターニングは、エッチングプロセスの前のフォトリソグラフィ工程により達成される。図6Bからわかるように、第1の配線102および半導体基板101が合わさってトポグラフィを規定する。次に図7Aおよび図7Bを参照すると、図6Aおよび図6Bのトポグラフィの上に第1の誘電体層103が形成され、実質的に平坦な上表面を作るよう平坦化される。平坦化により除去される誘電体103の部分は、図面中破線で表わされる。第1の誘電体層103の平坦化は、化学機械研磨、レジストエッチバックプロセスまたはそれらの組合せを含むいくつかの方策により達成できる。一実施例においては、第1の誘電体層103は、TEOS源を使用してCVDチャンバ内で形成される酸化物を含む。
第1の誘電体103の形成および平坦化の後、図8Aおよび図8Bに図示するように第1の誘電体層103内にトレンチ105が形成される。トレンチ105は、フォトリソグラフィ工程およびそれに続く異方性エッチングであるドライエッチングプロセスにより形成される。誘電体103の異方性エッチングは、フルオロカーボン化合物を使用したプラズマエッチングプロセスにより達成できる。トレンチ105は、第1の誘電体103の上表面から下方向に延び、完全にではないが部分的に誘電体103を通って延びる。トレンチ105の形成後、図9Aおよび図9Bに図示するようにトレンチ105を埋込むよう、導電性材料104が堆積される。一実施例においては、導電性材料104は、CVDプロセスにおいて堆積されるタングステンを含む。この実施例においては、タングステン膜の弱い付着性を克服するため、タングステンの堆積の前に、窒化チタン(TiN)を含む付着層が堆積される。
次に図10Aおよび図10Bを参照し、平坦化プロセスにより、トレンチ105の外の領域から余分な導電性材料104が除去される。好ましくは、導電性材料104の上表面が第1の誘電体層103の上表面と実質的に同一平面となったとき終了するよう設計される化学機械研磨により、導電性材料104の平坦化が達成される。図10Aおよび図10Bは、導電性材料104の平坦化の後の配線構造の断面図を図示する。
導電性材料104の平坦化の後、誘電体103の上表面近くの導電性材料104の部分は、導電性材料104に対する選択比の高いエッチングプロセスでエッチングされる。導電性材料104がタングステンを含みかつ第1の誘電体層103がCVD酸化物を含む一実施例においては、導電性材料104に対する選択比の高いエッチングプロセスは塩素またはフッ素のプラズマを利用する。図11Aおよび図11Bは導電性材料104のエッチング後の配線構造の断面図である。図に示されるように、導電性材料104の上表面は、第1の誘電体103の上表面から縦方向にずれている。図11Aおよび図11Bに図示するエッチング後に残る導電性材料104の部分は、ローカル導体104を形成する。次に、トレンチ105の残りの部分を埋込むよう、第2の誘電体112が堆積される。図12Aおよび図12Bは、誘電体112の堆積後の配線構造の断面図である。第1の誘電体層103と同様、第2の誘電体112もCVD酸化物であり得る。次に実質的に平坦な上表面を得るよう、図13Aおよび図13Bに図示するように第2の誘電体112を平坦化できる。
図14Aおよび図14Bに図示するプロセスステップにおいて、コンタクトトンネル114および116がそれぞれ、第1の誘電体層103および第2の誘電体層112にエッチングされる。コンタクト114は、第1の誘電体層103の上表面から第1の配線層102へ延びる。コンタクト116は第2の誘電体112の上表面からローカル導体104へ延びる。図示する実施例においては、コンタクトトンネル114および116は、同一のエッチングプロセスにおいて形成される。コンタクトトンネル114および116の形成のために使用されるエッチングプロセスは、ローカル導体104用に使用される導電性材料に比し、誘電体103に対する選択比が高くなければならない。誘電体103がCVD酸化物を含みかつローカル導体104がタングステンを含む実施例においては、エッチングプロセスは、酸化物のエッチング速度がタングステンのエッチング速度よりもはるかに速い(すなわち10倍またはそれより速い)よう設計されねばならない。フルオロカーボンベースのプラズマエッチングプロセスで所望の選択比が達成できると信じられる。
次に図15Aおよび図15Bを参照し、コンタクトトンネル114および116が導電性材料で埋込まれ、その後、コンタクトトンネルの外の余分な導電性材料が、化学機械研磨または代替的な平坦化プロセスにより除去される。この発明の例示的一実施例においては、コンタクトトンネルを埋込むため、タングステンのブランケット堆積が行なわれる。先述したように、ブランケットとなるタングステン層の堆積の前に薄い付着層を堆積してもよい。典型的な付着層は、チタン、チタンタングステン、窒化チタンまたはそれらの組合せを含んでよい。続く平坦化プロセスの間に除去される余分な導電性材料は、図15Aおよび図15B中点線で表わされる。次に図16Aおよび図16Bを参照し、第2の配線層106の形成を図示する。第2の配線層106は、アルミニウムのターゲットを使用する物理蒸着プロセスステップにおいて形成される、好ましくはアルミニウムを含む。第2の配線層106は、第1の誘電体層103の上表面、第2の誘電体112ならびにコンタクト118および120の上にブランケット堆積される。第2の配線層106は、次に、フォトリソグラフィ工程を使用してパターニングされ、好ましくは塩素化プラズマによりドライエッチングプロセスでエッチングされる。
図5で始まり図16で終わるプロセスシーケンスは、図16の後に続けて繰返すことができ、その場合第2の配線層106が、第1の配線層102として役立ち、第1の誘電体層103を第2の配線層106上に堆積することができる。したがって、図5から図16に示すプロセスステップは、形成することができる配線の考えられる多数の層のうちの3層を示すにすぎない。
さらに、ここに説明したプロセスステップは、図3に示す例示的な配線構造100の例である。しかし、第1の配線102、ローカル配線104および第2の配線106の配置は多くの形態を取ることができ、それらの間のコンタクトは多くの態様で配置することができることが理解される。たとえば、第1および第2の層の導体の数に依存して、図3に示すコンタクトの数よりもコンタクトの数が少ないまたは多いことがあり得る。したがって、図示する例示的実施例は、この開示により利益を受ける当業者には明白であろう多くの形態すべてのうちの1つの形態の単なる例にすぎない。この開示から利益を受ける当業者には明らかであろうように、各プロセスステップ各々にさまざまな修正および変更を加えることができよう。添付の請求の範囲はこのような修正および変更をすべて包括するものと解釈されることが意図され、したがって、本明細書および図面は限定的な意味でではなく例示的な意味で解釈されねばならない。
Claims (10)
- 窪んだ配線構造を形成する方法であって、
半導体基板上に同一平面にある第1の導体の組を形成するステップと、
前記第1の導体の上に第1の誘電体層を堆積するステップと、
前記第1の誘電体層内にトレンチを形成するステップと、
前記トレンチ内に導電性材料を堆積するステップと、
前記トレンチ内の前記導電性材料の上表面が前記第1の誘電体の上表面と同一平面となるまで、前記導電性材料を平坦化するステップと、
前記導電性材料の前記上表面が前記第1の誘電体の上表面から下にずれるまで、前記導電性材料をエッチングするステップと、
前記導電性材料および前記第1の誘電体層の上に第2の誘電体層を形成するステップと、
前記第1の誘電体の上表面上に同一平面にある第2の導体の組を前記第1の導体に対して互い違いに配列して形成するステップとを含む、窪んだ配線構造を形成する方法。 - 前記第1の誘電体層を堆積するステップは、TEOS源でCVD反応チャンバ内で酸化物を堆積することを含む、請求項1に記載の窪んだ配線構造を形成する方法。
- 前記第1の誘電体層を堆積するステップは、シラン源でCVD反応チャンバ内で酸化物を堆積することを含む、請求項1に記載の窪んだ配線構造を形成する方法。
- 前記導電性材料はタングステンを含む、請求項1に記載の窪んだ配線構造を形成する方法。
- 前記導電性材料は金属または金属シリサイドを含む、請求項1に記載の窪んだ配線構造を形成する方法。
- 平坦な上表面を作るため前記第2の誘電体を平坦化するステップをさらに含む、請求項1に記載の窪んだ配線構造を形成する方法。
- 前記第2の誘電体の前記上表面は、前記第1の誘電体の上表面と同一平面にある、請求項6に記載の窪んだ配線構造を形成する方法。
- 前記第2の誘電体の上表面から前記導電性材料へ延びるコンタクト開口部を形成するステップをさらに含む、請求項1に記載の窪んだ配線構造を形成する方法。
- 前記第2の誘電体の前記上表面から前記エッチングされた導電性材料に延びるコンタクト開口部を形成するステップをさらに含む、請求項1に記載の窪んだ配線構造を形成する方法。
- 前記第1の誘電体の上表面上に同一平面にある第2の導体の組を形成するステップをさらに含む、請求項1に記載の窪んだ配線構造を形成する方法。
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