JP4149694B2 - 半導体製造装置及び半導体製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体の製造装置に関し、特に、枚葉式低圧熱CVD装置により、ウエハ上に膜を形成する半導体製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体集積回路の製造装置のひとつに、低圧に保持された装置内にガスを導入し、加熱したウエハ上に所望の膜を成膜する低圧熱CVD装置がある。
【0003】
図10は、一般的な低圧熱CVD装置の一例の概略構成図である。
図10において、真空に保持された処理室102内に、ゲートバルブ107を介してウエハ101が搬入される。
【0004】
処理室102内に搬入されたウエハ101は、その内部が成膜室より負圧に排気され、加熱された支持台131上に設置され、吸着されて加熱される。成膜は、ガス導入口141からシャワーヘッド143を介してウエハ101上へガスを供給して行われる。
【0005】
処理室102内に導入された反応性ガスは、排気口105から排気される。所望の膜厚がウエハ101に成膜されると、ガスの導入が止められた後、ゲートバルブ107からウエハ101が搬出される。
【0006】
アモルファスシリコンあるいはポリシリコンを成膜する場合は、ウエハ101を580℃から700℃程度に保持し、ガス導入口141からSiH4、H2あるいはN2などの成膜ガスが処理室102内に導入されてウエハ101上に成膜される。
【0007】
ここで、ウエハ支持台131内部は、ウエハ101を吸着するために、成膜室より負圧に排気されている。そのため、成膜ガスが、ウエハ101の裏面を通ってウエハ支持台131の内部にまで入り、ウエハ101の裏面及びウエハ支持台131内部に膜を形成してしまう可能性がある。
【0008】
ウエハ101の裏面に形成された膜は半導体製造装置内で剥がれてゴミとなり、それが、新たなウエハ101の表面上にのると、半導体デバイスの不良を引き起こす原因となる。
【0009】
また、ウエハ支持台131内部には、ヒータ132や温度制御のためのセンサなどが設置されており、そこに成膜ガスによる膜が形成されると、安定した温度制御ができなくなるという問題がある。
【0010】
そこで、このような半導体製造装置においては、ウエハ上に均一な厚さの膜を堆積すると共に、ウエハ裏面へ成膜ガスが入り込まないことが要求される。
【0011】
このため、特開平8−191051号公報には、ウエハの端部からウエハの中心部方向へ水平にパージガス(被着制限ガス)が供給され、ウエハの裏面に膜が形成されることを防止する方法が開示されている。
【0012】
また、特開2000−299315号公報には、ウエハの周縁部裏面にパージガスが供給され、ウエハ裏面からウエハ外周部を通って成膜室へパージガスが導入され、ウエハ裏面へ成膜ガスが入り込むことを防止する方法が開示されている。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来技術にあっては、次のような問題点がある。
つまり、特開平8−191051号公報に記載されている装置では、ウエハの端部からウエハの中心部方向へ向かってパージガスが吹き出すため、ウエハの端部で成膜ガスの濃度が低下し、その結果、膜厚が低下するという問題があることが明らかとなった。
【0014】
この特開平8−191051号公報の図9に示されるように、ウエハの端部以外にも吹き出し口(狭窄開口706)が形成されており、温度が高い部分であり、吹き出し口の開口部に膜が堆積しやすく、開口部が塞がってしまうという問題があった。
【0015】
また、特開2000−299315号公報に記載されている装置では、ウエハの裏面に供給されたパージガス(エッジパージガス)は、全てのウエハのエッジを通って成膜室に出るようになっている。そのため、ウエハエッジ部付近で成膜ガス(処理ガス)の濃度が低下し、膜厚が減少するするという問題があることが明らかとなった。
【0016】
本発明の目的は、ウエハ裏面及びウエハ支持台内部へ成膜ガスが入り込むことを防止して膜の堆積を防ぐと共に、ウエハ表面に膜厚均一性の良い膜を堆積させることができる半導体製造装置を実現することである。
【0017】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明は次のように構成される。
(1)処理室内で処理対象であるウエハの裏面を吸着するウエハ支持台と、上記ウエハ支持台に支持されたウエハ上へ反応性ガスを供給する反応性ガス供給手段と、上記ウエハ支持台に吸引されたウエハの外周側に配置され、裏面が上記ウエハの表面より下方に位置し、リング状をなし、その内周端部は、上記ウエハの直径より大の部分と小の部分とを有するカバーリングと、上記カバーリングの裏面に向けて不活性ガスを吹き付ける不活性ガス通路と、上記カバーリングの裏面に沿って形成され、上記ウエハの半径方向に延び、上記カバーリングの裏面に吹き付けられた不活性ガスを上記カバーリングの裏面に沿って上記ウエハ及びウエハ支持台に対して反対方向へ排気する排気通路とを備える。
【0023】
(2)好ましくは、上記(1)において、上記反応性ガスの流量又は圧力に基づいて、上記不活性ガスの供給流量を設定する。
【0024】
(3)半導体の製造方法において、真空吸着により処理対象であるウエハをウエハ支持台に吸着する工程と、反応性ガスを上記ウエハに供給する工程と、上記ウエハの外周側に配置され、裏面が上記ウエハの表面より下方に位置し、リング状をなし、その内周端部は、上記ウエハの直径より大の部分と小の部分とを有するカバーリングの裏面側へ不活性ガスを吹き出す工程と、上記カバーリングの裏面側に吹き出した不活性ガスを上記カバーリングの裏面に沿って上記ウエハ及び上記ウエハ支持台に対して反対方向へ排気する工程とを備える。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。
図1は、本発明の第1の参考形態による半導体製造装置の概略構成断面図である。なお、この第1の参考形態は、本発明をCVD装置に適用した場合の例であり、図1はこのCVDの処理室断面を示す。
【0026】
図1において、処理室2の上部には成膜ガス42を導入するためのガス供給部4があり、成膜ガスをウエハ1に均一に供給するためのシャワーヘッド41を介して成膜ガスが成膜室10へ供給される。また、処理室2の側面には排気口5が形成されており、バルブ(図示せず)を介して真空ポンプ6により排気している。
【0027】
また、ウエハ1はシャワーヘッド41と対向して設置されたウエハ支持台ユニット3上に設置される。このウエハ支持台ユニット3は、図1の上方から円板状サセプタ31と、円板状ヒータ32と、円筒状の側壁33と、円板状の底面34とを備えている。
【0028】
支持台ユニット3の底面34は、真空ポンプ7に繋がっていて、成膜室10より圧力が低く保持される。そのため、ウエハ1は、サセプタ31に形成された吸着穴311により吸着される。
【0029】
このように、ウエハ1は、真空吸着によってサセプタ31に吸着されるため、ウエハ1が変形せず、平坦な状態で処理でき、さらに、ウエハ1とサセプタ31との隙間が均一となるため、ウエハ1の温度均一性も向上し、膜厚均一性が向上する。
【0030】
処理室2の下部には、側壁パージガス導入口11とウエハ裏面パージガス導入口12があり、不要な部分への膜の堆積を防ぐためにパージガス(不活性ガス)9が導入される。ここでは、窒素ガスがパージガスとして用いられているが、不活性ガスあれば、アルゴンガス等の他のガスでもよい。
【0031】
パージガス9は、側壁パージガス導入口11から処理室2の側壁に沿って流れ、排気口5から排気される「側壁パージ流路」と、ウエハ裏面パージガス導入口12からウエハ支持台ユニット3の側壁と中間壁35との間を流れ、サセプタ31とアウターリング313との間に形成されたパージガス路312を通り、ウエハ1の下へ吹き出した後、主に、カバーリング8の裏面を通って排気口5から排気される「ウエハ裏面パージ流路」の2系統の流路を通って流れる。
【0032】
つまり、不活性ガスが、ウエハ1の裏面側から周縁部に向けて供給される第1の不活性ガス通路と、処理室の側壁に供給される第2の不活性ガス通路とを備えている。
【0033】
上述した2系統の流路のうち、「ウエハ裏面パージ流路」について、図1中のA部を拡大した図である図2を参照して説明する。
【0034】
流路312からウエハ1の下部へ流れてきたパージガスは、大部分がカバーリング8とアウターリング313との間を流れて排気口5から排気されるが、一部のパージガスは、ウエハ1の裏面とサセプタ31との間を通って吸着穴311から排気され、さらに、一部のパージガスは、ウエハ1のエッジとカバーリング8との間の隙間から成膜室10へ流れて成膜ガスと共に排気口5から排気される。
【0035】
これにより、反応性の成膜ガスがウエハ1のエッジからウエハ1の裏面に入り込むこと、さらには、吸着口311を通ってウエハ支持台ユニット3の中に入り込むことを防止している。
【0036】
次に、ウエハ1の処理手順について説明する。
まず、ウエハ1を処理室2内に導入する前に、ウエハ支持台ユニット3を、予めヒータ32を発熱させてサセプタ31が所定の温度になるように加熱しておく。これと同時に、処理室2内の圧力が成膜時とほぼ同一となるように、ガス導入口4からN2などの不活性ガスを導入し、シャワーヘッド41を介して処理室2内に供給する。また、パージガス9を、パージガス導入口11から導入する。なお、ウエハ支持台ユニット3は真空ポンプ7により排気しておく。
【0037】
次に、図示しない搬送治具に載せられたウエハ1を図示しない搬入出口から処理室2内へ搬入し、サセプタ31上にウエハ1を設置し、高温に保持したサセプタ31により加熱する。ウエハ1が所定の温度(ポリシリコン膜の場合は550℃から750 ℃)になるまで待機した後、不活性ガスに代わって、成膜ガス42(ポリシリコン膜の場合はSiH4、H2あるいはN2)を上部の導入口4から導入し、シャワーヘッド41を介してウエハ1に供給し、ウエハ1上へ膜を堆積させる。
シャワーヘッド41から供給された供給された成膜ガス42は、ウエハ1上に膜を膜を形成すると共に、ウエハ1とシャワーヘッド41との間を通って処理室2の側面に設けた排気口5から排気される。しかし、一部のガスは、ウエハ1とカバーリング8との間の隙間からウエハ1の裏面へ回り込み、吸着穴311を通って、成膜室10より圧力の低いウエハ支持台ユニット3の内部へ入る可能性がある。
【0038】
ウエハ1の裏面もウエハ支持台ユニット3の内部も、温度が高いため、成膜ガスが入ってくれば、膜が堆積してしまい、異物の原因となったり、ウエハ1の温度制御性に悪影響を及ぼす原因となる。
【0039】
そこで、これを防ぐため、上述したように、パージガスをパージガス路312からウエハ1の裏面に供給し、ウエハ1の裏面への成膜ガスの進入を防いでいる。
【0040】
ここで、ウエハ1とカバーリング8との隙間から成膜室10へ吹き出すパージガスの量が多いと、ウエハ1のエッジ付近の成膜ガスの濃度が低下し図8の(b)に示すように、ウエハ1の端部の膜厚が薄くなってしまう問題が生じる。なお、図8は、ウエハ1の表面上に堆積される膜厚を示すグラフであり、縦軸は膜厚を示し、横軸はウエハ1の表面上の中心からの距離を示す。
【0041】
ウエハ1の表面内での膜厚の均一性が悪いと、制作したデバイスの性能にばらつきができてしまい、大きな問題となる。
【0042】
そこで、パージガスのメイン排気経路として、カバーリング8とアウターリング313との間にパージガスの排気流路を設けている。これにより、ウエハ1の端部とカバーリング8との間の隙間を通って成膜室10へ出るパージガス量が減り、ウエハ1の端部における膜厚低下が防止される。
【0043】
ウエハ1のエッジ部から出るパージガス量が減少すると、成膜ガスが侵入し易くなるが、たとえウエハ1のエッジ部から成膜ガスが侵入してきたとしても、ウエハ1のエッジ部でのパージガスの流れは、ウエハ1の端部からカバーリング8の下部に向かっているため、ウエハ1の裏面や吸着口311には、侵入しにくくなっている。
【0044】
また、制御ユニット13は、パージガス導入口11と12から導入するパージガス量が適切となるように、成膜ガスの流量や成膜ガス圧力等から、それぞれの適切なパージガス流量を求め、コントロールしている。
【0045】
以上により、図8の(a)に示すように、ウエハ1の端部での膜厚低下がなく、膜厚均一性の良好な成膜が可能となる。
このようにして、所望の厚さの膜がウエハ1に堆積すると、原料ガスの導入をやめ、再びシャワーヘッド43から不活性ガスを供給する。処理室2内のガスが不活性ガスに置換された後、搬入する手順と反対の手順でウエハ1を搬入出口から運び出す。
【0046】
以上のように、本発明の第1の参考形態によれば、不活性ガスであるパージガスの通路312を形成するアウターリング313の上面にカバーリング8を配置し、アウターリング313とカバーリング8との間により、ウエハ1の周縁部からウエハ1の半径方向に延びる排気通路が形成される。
【0047】
そして、パージガスを通路312を通してウエハ1の周縁部に向かって供給し、ウエハ1の周縁部に供給されたパージガスを、アウターリング313とカバーリング8との間により形成された排気通路により、ウエハ1及びウエハ支持ユニット3の内部から遠ざかるようにして排気するように構成される。
【0048】
したがって、成膜ガスのウエハ1の裏面への侵入及びウエハ支持ユニット3の内部への侵入が防止され、ウエハ1の表面に膜厚均一性の良い膜を堆積させることができる半導体製造装置を実現することができる。
【0049】
なお、カバーリング8のウエハ1側の上面端部は、テーパー状となっている。これは、アウターリング313とカバーリング8との間により形成された排気通路により排気されなかったパージガスが存在する場合、ガスは、このテーパ形状に沿って、ウエハ1の表面からは遠ざかる方向に流れる。これにより、成膜ガスのウエハ1表面上への堆積をパージガスが阻害することがないように構成されている。
【0050】
また、カバーリング8に形成されたテーパー形状により、ウエハ1がカバーリング8上に搭載されてしまうことが回避可能となる。
【0051】
上述した本発明の第1の参考形態においては、サセプタ3に設けたパージガス路312の吹き出し角度は、図1及び図2に示すように、ウエハ1のエッジ(周縁部)側に向かって傾斜している。これは、パージガスがウエハ1の周縁部から遠ざかるように流れ、成膜ガスが、確実に、ウエハ1の裏面に導入されないようにするためである。
【0052】
しかし、上述したように、アウターリング313とカバーリング8との間の排気通路が形成されているため、必ずしも、パージガス路312の吹き出し角度は、図1及び図2に示すように、ウエハ1のエッジ側に向かって傾斜させる必要はない。
【0053】
図3は、本発明の第2の参考形態である半導体製造装置の要部概略断面図であり、図1のA部に対応する部分である。他の構成は第1の参考形態と同様となるため、図示及び詳細な説明は省略する。
【0054】
この第2の参考形態と第1の参考形態との異なるところは、パージガス路312の吹き出し角度が、ウエハ1にほぼ垂直となっているところである。
【0055】
この第2の参考形態にように構成しても、第1の参考形態と同様な効果を得ることができる。
【0056】
図4は、本発明の第1の実施形態である半導体製造装置の要部概略断面図であり、図1のA部に対応する部分である。他の構成は第1の参考形態と同様となるため、図示及び詳細な説明は省略する。
【0057】
この第1の実施形態と第1の参考形態との異なるところは、カバーリング8の端部がステップ形状となっており、第1段の内径は、ウエハ1の外径より小となっており、第2段の内径は、ウエハ1の外径より大となっている。
【0058】
この第1の実施形態のように構成すれば、第1の参考形態と同様な効果を得ることができる。
【0059】
なお、図示した例では、カバーリング8の第2段は、パージガス通路312の開口部には対向していないが、対向するように構成することも可能である。このように構成することにより、成膜ガスのウエハ1裏面への侵入を防止することができるるとともに、パージガスがウエハ1の周縁部を通過することが抑制されるため、ウエハ1の周縁部の成膜をより均一化することが可能となる。
【0060】
図5、図6、図7は、本発明の第3、第4、第5の参考形態である半導体製造装置の要部概略断面図であり、図1のA部に対応する部分である。他の構成は第1の参考形態と同様となるため、図示及び詳細な説明は省略する。
【0061】
これら第3、第4、第5の参考形態は、パージガス路312の吹き出し口がカバーリング8の裏面に面している例である。
【0062】
第3の参考形態においては、パージガス路312の吹き出し口がウエハ1の中心部方向から周縁部方向に向かって傾斜する例であり、第4の参考形態においては、カバーリング8にほぼ垂直となっている例である。
【0063】
また、第5の参考形態においては、パージガス路312の吹き出し口が、ウエハ1の周縁部方向から中心部方向に向かって傾斜する例である。
【0064】
上記第3、第4、第5の参考形態においても、第1の実施形態と同様な効果を得ることができる。
【0065】
また、パージガスをウエハ1の裏面に吹き出させるようにすると、ウエハ1の端部温度の低下を招くことが考えられるが、第3〜第5の参考形態のように、カバーリング8の裏面にパージガスを吹き付けるように構成すると、ウエハ1の端部に供給されるパージガスの量を低下することができ、ウエハ1の温度低下を招く可能性を抑制することができる。
【0066】
なお、以上説明した例は、サセプタ31とヒータ32とが分離されている例であるが、図9に示すように、サセプタ31内にヒータ32を埋め込んだ場合の例にも本発明は適用可能である。
【0067】
また、上述した例においては、図4に示した第1の実施形態を除いては、カバーリング8の内周縁部は、ウエハの直径より大の部分を有するもののみ示したが、カバーリング8の内周縁部の全てがウエハの直径より小となっている場合にも、本発明は適用可能である。
【0068】
また、排気口5も、カバーリング8より成膜室10側に形成してもよい。
【0069】
また、上述した例においては、パージガス導入口を2系統設けているが、導入口を1系統とし、内部で2系統に分割する構成とすることも可能である。
【0070】
また、アウターリング313を、中間壁35の一部あるいは全部と一体的に形成されていていもよい。
【0071】
また、上述した例においては、成膜する膜としてポリシリコンを例としたが、これに限る物ではない。
【0072】
また、カバーリングは、リング形状となっているものが好ましいが、リング形状でなくともこの発明は適用可能である。
【0073】
さらに、本発明は成膜装置に限らず、例えば、エッチング装置等の他の半導体製造装置にも適用することができる。
【0074】
【発明の効果】
本発明によれば、ウエハ裏面及びウエハ支持台内部へ成膜ガスが入り込むことを防止して膜の堆積を防ぐと共に、ウエハ表面に膜厚均一性の良い膜を堆積させることができる半導体製造装置を実現することができる。
【0075】
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の参考形態による半導体製造装置の概略構成断面図である。
【0076】
【図2】図1におけるA部の拡大図である。
【0077】
【図3】本発明の第2の参考形態による半導体製造装置の概略構成断面図である。
【0078】
【図4】本発明の第1の実施形態による半導体製造装置の概略構成断面図である。
【0079】
【図5】本発明の第3の参考形態による半導体製造装置の概略構成断面図である。
【0080】
【図6】本発明の第4の参考形態による半導体製造装置の概略構成断面図である。
【0081】
【図7】本発明の第5の参考形態による半導体製造装置の概略構成断面図である。
【0082】
【図8】ウエハ1の表面上に堆積される膜厚を示すグラフである。
【0083】
【図9】本発明が適用される半導体製造装置の他の構成例を示す概略断面図である。
【0084】
【図10】従来のCVD装置の一例を示す概略構成図である。
【符号の説明】
1 ウエハ
2 処理室
3 ウエハ支持台ユニット
4 ガス供給部
5 排気口
8 カバーリング
10 成膜室
11 パージガス導入口
31 サセプタ
32 ヒータ
33 側壁
35 中間壁
41 シャワーヘッド
311 吸着穴
312 パージガス路
Claims (3)
- 処理室内で処理対象であるウエハの裏面を吸着するウエハ支持台と、
上記ウエハ支持台に支持されたウエハ上へ反応性ガスを供給する反応性ガス供給手段と、
上記ウエハ支持台に吸引されたウエハの外周側に配置され、裏面が上記ウエハの表面より下方に位置し、リング状をなし、その内周端部は、上記ウエハの直径より大の部分と小の部分とを有するカバーリングと、
上記カバーリングの裏面に向けて不活性ガスを吹き付ける不活性ガス通路と、
上記カバーリングの裏面に沿って形成され、上記ウエハの半径方向に延び、上記カバーリングの裏面に吹き付けられた不活性ガスを上記カバーリングの裏面に沿って上記ウエハ及びウエハ支持台に対して反対方向へ排気する排気通路と、
を備えることを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項1記載の半導体製造装置において、上記反応性ガスの流量又は圧力に基づいて、上記不活性ガスの供給流量を設定することを特徴とする半導体製造装置。
- 半導体の製造方法において、
真空吸着により処理対象であるウエハをウエハ支持台に吸着する工程と、
反応性ガスを上記ウエハに供給する工程と、
上記ウエハの外周側に配置され、裏面が上記ウエハの表面より下方に位置し、リング状をなし、その内周端部は、上記ウエハの直径より大の部分と小の部分とを有するカバーリングの裏面側へ不活性ガスを吹き出す工程と、
上記カバーリングの裏面側に吹き出した不活性ガスを上記カバーリングの裏面に沿って上記ウエハ及び上記ウエハ支持台に対して反対方向へ排気する工程と、
を備えることを特徴とする半導体製造方法。
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