JP4135670B2 - 光式ガスセンサ - Google Patents
光式ガスセンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4135670B2 JP4135670B2 JP2004116692A JP2004116692A JP4135670B2 JP 4135670 B2 JP4135670 B2 JP 4135670B2 JP 2004116692 A JP2004116692 A JP 2004116692A JP 2004116692 A JP2004116692 A JP 2004116692A JP 4135670 B2 JP4135670 B2 JP 4135670B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- light
- laser light
- gas sensor
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By The Use Of Chemical Reactions (AREA)
Description
と同様に位相敏感検波が行われて、ガスの有無の検知判定、ガス濃度の算出が行われ、光式ガスセンサ1と同様の効果が得られる。
に示す測定素子60、70を用いてもよい。
2 モニタ受光器
3 位相検波器
4 バイアス電流源
5 発振器
6 信号処理部
7a〜7d 光ファイバ
8 センサヘッド
8v 空間
9 レンズ
10 測定素子
11 計測部
21a レーザダイオード(レーザ光源)
21s レーザダイオード(レーザ光源)
21m レーザモジュール
C キャパシタ
L インダクタンス
Claims (4)
- 駆動電流に応じた波長及び強度のレーザ光を発振するレーザ光源を用い、所定電流を中心とした駆動電流を変調することにより波長及び強度が変調されたレーザ光を前記レーザ光源から発振させ、そのレーザ光を測定対象とするガス雰囲気に通して得られる光の強度を検出し、この検出した信号中の特定周波数成分を位相敏感検波して得られる信号からガスの濃度などを検出する光式ガスセンサにおいて、
前記ガス雰囲気中に設置されガス検出を行うためのセンサヘッドに、
少なくとも、合金からなる弾性を有する合金板と、該合金板に隣接して設けられ測定対象のガスと反応する触媒金属からなる触媒金属板と、から構成される測定素子を設け、
該測定素子は、測定対象のガスと反応する状態では前記触媒金属の反応により変形する一方、測定対象のガスと反応しない状態では前記合金板が有する弾性により元の形に戻りやすい素子であり、
その測定素子からの光をモニタ受光器にて受光し、該モニタ受光器から出力される電気信号のうち光の特定周波数成分を位相敏感検波する計測部を備えたことを特徴とする光式ガスセンサ。 - 上記合金は、りん青銅である請求項1記載の光式ガスセンサ。
- 上記触媒金属はPdとPtの少なくともいずれか一方を含むことを特徴とする請求項1記載の光式ガスセンサ。
- 上記測定素子が、上記触媒金属板に隣接して形成されるフッ素樹脂膜を備えていることを特徴とする請求項1記載の光式ガスセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004116692A JP4135670B2 (ja) | 2004-04-12 | 2004-04-12 | 光式ガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004116692A JP4135670B2 (ja) | 2004-04-12 | 2004-04-12 | 光式ガスセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005300339A JP2005300339A (ja) | 2005-10-27 |
JP4135670B2 true JP4135670B2 (ja) | 2008-08-20 |
Family
ID=35332037
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004116692A Expired - Fee Related JP4135670B2 (ja) | 2004-04-12 | 2004-04-12 | 光式ガスセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4135670B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010145320A (ja) * | 2008-12-22 | 2010-07-01 | General Packer Co Ltd | ガス測定装置 |
KR101642473B1 (ko) * | 2015-01-08 | 2016-07-25 | 한국표준과학연구원 | 원격검출용 주파수 및 강도 변조 레이저 흡수 분광장치 및 방법 |
KR101820798B1 (ko) | 2016-05-24 | 2018-01-22 | 주식회사 인핏앤컴퍼니 | 호모다인 기반 확산 광 분광방법 및 시스템 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2653090B2 (ja) * | 1988-03-25 | 1997-09-10 | 富士ゼロックス株式会社 | ガス検知素子、光学式ガスセンサおよびガス検知方法 |
US5175016A (en) * | 1990-03-20 | 1992-12-29 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method for making gas sensing element |
JPH0476442A (ja) * | 1990-07-17 | 1992-03-11 | Tdk Corp | 化学物質センサ |
JP2540670B2 (ja) * | 1991-04-26 | 1996-10-09 | 東京瓦斯株式会社 | 光ファイバを用いた多種ガス検出装置 |
JPH055702A (ja) * | 1991-06-28 | 1993-01-14 | Tokyo Gas Co Ltd | ガス検知装置 |
JPH0772080A (ja) * | 1991-09-25 | 1995-03-17 | Kentaro Ito | ガス検出装置 |
JP3001357B2 (ja) * | 1992-11-17 | 2000-01-24 | アヴェンティス・リサーチ・ウント・テクノロジーズ・ゲーエムベーハー・ウント・コー・カーゲー | 化学物質検知用光学センサ |
JP3450938B2 (ja) * | 1995-06-12 | 2003-09-29 | 東京電力株式会社 | ガス濃度測定方法及びその装置 |
JPH09113445A (ja) * | 1995-10-16 | 1997-05-02 | Hitachi Cable Ltd | ガス濃度検出装置 |
JPH1010048A (ja) * | 1996-06-25 | 1998-01-16 | Tokyo Gas Co Ltd | 新型水素検出子、その製造方法およびガスセンサ |
JP2000146944A (ja) * | 1998-11-16 | 2000-05-26 | Sakura Color Prod Corp | ガス検知装置及びガス検知方法 |
JP3769614B2 (ja) * | 2002-07-24 | 2006-04-26 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | マグネシウム・ニッケル合金薄膜を用いた水素センサ及び水素濃度測定方法 |
-
2004
- 2004-04-12 JP JP2004116692A patent/JP4135670B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005300339A (ja) | 2005-10-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP3343202B1 (en) | Substance detecting device, substance detecting system, and substance detecting method | |
US20170299508A1 (en) | Photothermal spectroscopy with hollow-core optical fiber | |
JP2008129020A (ja) | 化学的かつ生物学的感知のための装置および方法 | |
JP4682169B2 (ja) | ガス検出方法及びガス検出装置 | |
JP2009031282A (ja) | 水晶により測定精度を向上させる光音響分光ガス検出方法及び検出器 | |
EP1444758A1 (en) | System and method for measuring stimuli using vcsel | |
CN108426837B (zh) | 光声气体分析仪 | |
WO2015104885A1 (ja) | 光強度検出装置および検出方法 | |
US20120224167A1 (en) | Apparatus and method for chemical, biological and radiological agent sensing | |
US20080117951A1 (en) | Thermally Compensated Dual-Probe Fluorescence Decay Rate Temperature Sensor and Method of Use | |
JP2009104135A (ja) | 作用物質の存在を検出する装置及び方法 | |
US7050172B2 (en) | Optical sensing apparatus | |
JPH0830680B2 (ja) | ガス検出装置 | |
JP4135670B2 (ja) | 光式ガスセンサ | |
JP2013156113A (ja) | レーザ式ガス分析装置 | |
JP2007120971A (ja) | 光式水素ガス及び炭化水素ガスセンサ | |
JP2006047018A (ja) | 光ファイバセンサを用いた液位計、水準器、圧力計および温度計 | |
JP6456695B2 (ja) | 透明容器内部のガス成分を特定するための方法およびデバイス | |
JP2004521500A (ja) | 波長安定化レーザー光源 | |
KR102517180B1 (ko) | 좁은 주파수 선폭을 갖는 레이저 발진기 및 이 레이저 발진기를 갖는 광파이버 센서 시스템 | |
JPH1151861A (ja) | 液体濃度測定装置 | |
KR102582489B1 (ko) | 압력과 온도에 독립적인 광학식 수소 센서 및 이를 포함한 수소 가스 검출 시스템 | |
EP3726199A1 (en) | Particle sensor | |
JP3641076B2 (ja) | 温度計及び温度測定方法 | |
JP2006058246A (ja) | 温度センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060714 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070927 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071204 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080201 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080311 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080411 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080513 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080526 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110613 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |