JP2009031282A - 水晶により測定精度を向上させる光音響分光ガス検出方法及び検出器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明によるガス検出では、光音響の測定のために、水晶製の音叉3を備え、音叉上に入射したレーザ光線2によりウォールノイズ(ガス測定セルにおける吸収に起因するノイズ)が生成される。測定すべきガスに応じて、1つの音叉3又は2つの音叉3、6を用いることにより、ウォールノイズ信号がガス濃度信号SGCから分離される。この構成により、通常のセンサにおいてレーザ強度の測定に用いるホトダイオードをウォールノイズに置き換えることができ、ホトダイオードが不要となるので検出器のコストが下げられる。
【選択図】図2
Description
この構成では、擬似的に閉鎖されたガス吸収セルを用い、ガス測定に中波長の赤外域の熱光源を用いることが多い。この熱光源では断続周波数は100−150Hzより大きくはない。測定は、ガスの吸収セルの大きさには依存しないので小型化できるが、マイクロフォン中のデッドスペースにより限定される。
この構成では、光源はガス吸収セルの共鳴周波数の周期で断続される。cmオーダーのセルでは、キロHzの共鳴周波数とするには光源としてレーザが必要となり、ガス吸収セルは共鳴の節において開放される(マイクロフォンは波腹に設置される)。この構成の利点は、断続周波数が高いので、周囲の雑音を大幅に排除できる(周囲の雑音の影響は1/fにより減少する)。この構成では拡散時間(典型的には10−30秒)が限界となる。
米国特許出願公開第2005/0117155A1号明細書に開示されているように、この構成は共鳴ガス吸収セルを、広帯域の共鳴マイクロフォンに置き換える。ガスによる光吸収空間は完全に囲まれてはいないので、ガス吸収により生成される音波は極めて微弱である。この点は、高性能の共鳴マイクロフォンにより補われる。典型的には、共鳴マイクロフォン(共鳴周波数32,768Hz)として水晶時計の水晶の音叉を用い、音叉の又の間の空間が吸収域となる。このような構成においては、レーザ光線は、水晶の音叉の又の間に焦点を結び、音叉がマイクロフォンとして作用する。水晶製の音叉は、水晶時計の基本的な部品であり大量に生産されているので、拡散速度が極めて高い場合及び寸法が小さい場合(音叉は長さが約10mm、幅が3mm)を除いては、装置を極めて安価に構成できる。
2 レーザ光線
3 第1の(水晶製)音叉
4 光吸収空間
5 ガス検出域
6 第2の(水晶製)音叉
7 温度調節器
8 (音叉の)又
9 周波数生成器
10 同期切換手段
12 ロックイン増幅器
13 増幅器
14 制御部
15 処理装置
16 球状レンズ
18 温度制御手段
SA 吸収信号
SI 強度信号
SRef 基準信号
ST 温度制御信号
SGC ガス濃度信号
Claims (7)
- 光源(1)から少なくとも1つの波長を有するレーザ光線(2)がガス中に導入される工程、
レーザ光線(2)によりガス分子が励起されて音響信号が生成される工程、
共鳴音響検出器(3)において生成された前記音響信号が集積される工程、
共鳴音響検出器として用いられる少なくとも1つの音叉(3)によりガス濃度に比例した吸収共鳴信号(SA)が生成される工程、
ガスを通過するレーザ光線(2)の強度に比例する共鳴強度信号(SI)が生成される工程、及び
共鳴吸収信号(SA)及び共鳴強度信号(SI)から光強度には依存しないがガス濃度に比例するガス濃度信号(SGC)が得られる工程、
を含む水晶により測定精度を向上させる光音響分光ガス検出方法であって、
共鳴吸収信号(SA)は、レーザ光線(2)が少なくとも1つの音叉(3)の又(8)の間を通過することにより生成され、
共鳴強度信号(SI)は少なくとも1つの音叉(3)の主としてその又に入射するレーザ光線の波長を変更することによりが生成されるか、又は
第1の音叉として供される前記少なくとも1つの音叉(3)の後方に直列に配置した第2の音叉として供される少なくとも1つの音叉(6)を用い、レーザ光線が第2の音叉(6)の又(8)に主に入射するように配置することにより生成されることを特徴とする光音響分光ガス検出方法。 - ガス濃度を測定するために、光源(1)を第1の音叉(3)の共鳴周波数に同調させ、
次いでレーザ強度を測定するために光源(1)を第2の音叉(6)の共鳴周波数に同調させることを特徴とする請求項1に記載の光音響分光ガス検出方法。 - 第1の音叉(3)と第2の音叉(6)の間に光学窓(11)を設置したことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の光音響分光ガス検出方法。
- 第1の音叉(3)の又(8)の間にレーザ光線(2)の焦点を結ばせ、
第2の音叉(6)の又(8)の間の光強度が又(8)の面上の光強度よりも弱くなるような第1の音叉(3)の後方の位置に第2の音叉(6)が配置されることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の光音響分光ガス検出方法。 - レーザ光線(2)を放出する光源(1)、
少なくとも1つの試料ガスを受容する検出域(5)、
共鳴音響検出器として使用され共鳴吸収信号(SA)を与える少なくとも1つの第1の音叉(3)、
前記検出域(5)中のガスの濃度に比例するガス濃度信号(SGC)を与える処理装置(15)を備えた光音響分光ガス検出器であって、
前記第1の音叉(3)の後方に直列に配置した少なくとも1つの第2の音叉(6)を備え、第2の音叉(6)はガス試料中を通過したレーザ光線(2)の強度に比例する共鳴信号を与える共鳴音響検出器として供されることを特徴とする光音響分光ガス検出器。 - 少なくとも1つの第2の音叉(6)とレーザ光線(2)との相対的配置により、第2の音叉(6)の又(8)に入射したレーザ光線(2)のウォールノイズにより共鳴強度信号(SI)が生成されることを特徴とする請求項5に記載の光音響分光ガス検出器。
- レーザ光線(2)が少なくとも1つの音叉(3)の又(8)の間に焦点を結ぶように、光学手段(16)を含んで構成されていることを特徴とする請求項6に記載の光音響分光ガス検出器。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020526692A (ja) * | 2017-07-11 | 2020-08-31 | サウジ アラビアン オイル カンパニー | ガスの光音響検出 |
Families Citing this family (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2092323A1 (en) * | 2006-11-10 | 2009-08-26 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Oscillator element for photo acoustic detector |
US8194246B2 (en) * | 2008-08-11 | 2012-06-05 | UT-Battellle, LLC | Photoacoustic microcantilevers |
US7961313B2 (en) * | 2008-08-11 | 2011-06-14 | Ut-Battelle, Llc | Photoacoustic point spectroscopy |
US7924423B2 (en) * | 2008-08-11 | 2011-04-12 | Ut-Battelle, Llc | Reverse photoacoustic standoff spectroscopy |
CN101551351B (zh) * | 2009-05-07 | 2012-06-20 | 郑俊褒 | 基于光催化技术的VOCs检测系统和检测方法及自洁净方法 |
US20110016962A1 (en) * | 2009-07-21 | 2011-01-27 | Baker Hughes Incorporated | Detector for Characterizing a Fluid |
DE102009028994B3 (de) * | 2009-08-28 | 2011-02-24 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung und Verfahren zum spektroskopischen Nachweis von Molekülen |
US20110072886A1 (en) * | 2009-09-30 | 2011-03-31 | Catherine Genevieve Caneau | Gas Sensor Based On Photoacoustic Detection |
US20110231966A1 (en) * | 2010-03-17 | 2011-09-22 | Ali Passian | Scanning probe microscopy with spectroscopic molecular recognition |
US8448261B2 (en) * | 2010-03-17 | 2013-05-21 | University Of Tennessee Research Foundation | Mode synthesizing atomic force microscopy and mode-synthesizing sensing |
US8080796B1 (en) | 2010-06-30 | 2011-12-20 | Ut-Battelle, Llc | Standoff spectroscopy using a conditioned target |
CN103180698B (zh) * | 2010-10-28 | 2015-07-29 | 英派尔科技开发有限公司 | 光声传感器 |
US8434366B2 (en) | 2010-12-15 | 2013-05-07 | Texas Instruments Incorporated | Active detection techniques for photoacoustic sensors |
CN102954948B (zh) * | 2011-08-26 | 2014-11-12 | 中国科学院安徽光学精密机械研究所 | 光声光谱气体传感器 |
CN102519904A (zh) * | 2011-12-13 | 2012-06-27 | 重庆大学 | 六氟化硫分解组分的自动恒温型光声检测装置及实验方法 |
CN103163080B (zh) * | 2011-12-14 | 2015-07-15 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种用于农田多种气体实时在线监测装置 |
US8848191B2 (en) | 2012-03-14 | 2014-09-30 | Honeywell International Inc. | Photoacoustic sensor with mirror |
CN103389270A (zh) * | 2012-05-11 | 2013-11-13 | 张妍 | 一种测量痕量气体浓度的装置及方法 |
US9535749B2 (en) | 2012-05-11 | 2017-01-03 | Infosys Limited | Methods for managing work load bursts and devices thereof |
CN103105365A (zh) * | 2013-01-16 | 2013-05-15 | 西安交通大学 | 一种基于石英微音叉光声效应的光声光谱遥测方法及装置 |
CN103175791B (zh) * | 2013-02-04 | 2015-03-04 | 山西大学 | 多石英晶振光谱测声器及采用该测声器的气体探测装置 |
CN103175790B (zh) * | 2013-02-04 | 2015-05-13 | 山西大学 | 双石英晶振光谱测声器及采用该测声器的气体探测装置 |
US9677907B2 (en) * | 2013-03-14 | 2017-06-13 | Itron Inc | Intelligent receptacle |
US20140373599A1 (en) * | 2013-06-25 | 2014-12-25 | Texas Instruments Incorporated | Detection and locking to the absorption spectra of gasses using quartz enhanced photoacoustic sprectroscopy |
CN103293107A (zh) * | 2013-06-28 | 2013-09-11 | 中国科学院半导体研究所 | 基于石英音叉增强气体光声光谱的空气湿度动态检测装置 |
CN103472002B (zh) * | 2013-09-27 | 2016-03-02 | 山东大学 | 一种光纤激光器腔内光声光谱气体检测系统 |
US20150201005A1 (en) * | 2014-01-10 | 2015-07-16 | Data Accelerator Ltd. | Data deployment and statistics tracking |
CN103837226B (zh) * | 2014-03-17 | 2016-01-20 | 山西大学 | 双谐振腔光声光谱测声器及采用该测声器的气体探测装置 |
CN104280340B (zh) * | 2014-10-28 | 2016-08-03 | 山西大学 | 基于led光源并采用电学调制相消法的气体探测装置及方法 |
CN104697934A (zh) * | 2015-03-20 | 2015-06-10 | 山东大学 | 一种石英音叉双光束系统测量气体浓度的方法 |
US10444199B2 (en) | 2016-04-08 | 2019-10-15 | The Chinese University Of Hong Kong | Evanescent-wave quartz-enhanced photoacoustic sensor with resonator elements |
CN106124411B (zh) * | 2016-06-29 | 2018-10-19 | 内江师范学院 | 一种宽光谱型光声光谱痕量物质远距离探测装置及方法 |
US10228322B2 (en) * | 2017-07-13 | 2019-03-12 | Cymer LLC | Apparatus for and method of sensing fluorine concentration |
CN108593763B (zh) * | 2018-03-26 | 2021-03-30 | 山东大学 | 一种基于石英音叉频分解调的多组分气体实时检测装置 |
EP3791157A1 (en) * | 2018-05-11 | 2021-03-17 | Carrier Corporation | Photoacoustic detection system |
EP3761006A1 (en) | 2019-07-03 | 2021-01-06 | Nokia Technologies Oy | Photoacoustic apparatus and methods |
CN111735797B (zh) * | 2020-07-08 | 2023-04-07 | 安徽大学 | 一种基于超薄二维半导体材料涂敷石英音叉的气体传感器 |
KR102426648B1 (ko) | 2020-10-20 | 2022-07-29 | 한국과학기술연구원 | 집적형 광음향 가스 센서 및 이의 제조방법 |
CN113552212B (zh) * | 2021-06-23 | 2023-03-28 | 暨南大学 | 径向腔石英增强光声光谱测声器及其气体探测装置 |
CN113567377B (zh) * | 2021-07-29 | 2024-03-26 | 安徽大学 | 一种基于石英音叉的免校准波长调制气体检测装置及方法 |
CN114018829B (zh) * | 2021-10-27 | 2024-05-10 | 国网四川省电力公司电力科学研究院 | 一种音叉共振增强的双光梳多组分气体检测系统 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3911276A (en) * | 1974-10-18 | 1975-10-07 | Diax Corp | Laser spectroscopy |
US4058725A (en) * | 1975-04-04 | 1977-11-15 | Aine Harry E | Infrared absorption spectrometer employing a dual optoacoustic detector |
DK160590C (da) * | 1988-09-12 | 1991-09-16 | Fls Airloq As | Fremgangsmaade til detektering af en gasart ved hjaelp af fotoakustisk spektroskopi |
EP1669738A3 (en) * | 1996-10-09 | 2007-12-12 | Symyx Technologies, Inc. | Infrared spectroscopy and imaging of libraries |
WO2003104767A2 (en) * | 2002-06-10 | 2003-12-18 | William Marsh Rice University | Quartz-enhanced photoacoustic spectroscopy |
EP1896690B1 (en) * | 2005-05-24 | 2011-12-14 | Baker Hughes Incorporated | A method and apparatus for reservoir characterization using photoacoustic spectroscopy |
US7387021B2 (en) * | 2005-05-24 | 2008-06-17 | Baker Hughes Incorporated | Method and apparatus for reservoir characterization using photoacoustic spectroscopy |
EP1750116B1 (en) * | 2005-08-04 | 2013-04-17 | Axetris AG | Gas concentration detection method and device |
-
2007
- 2007-07-24 EP EP07014498.5A patent/EP2019307B1/en active Active
-
2008
- 2008-01-08 US US11/970,570 patent/US7605922B2/en active Active
- 2008-07-17 CA CA002638053A patent/CA2638053A1/en not_active Abandoned
- 2008-07-17 KR KR1020080069452A patent/KR20090010895A/ko not_active Application Discontinuation
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- 2008-07-24 CN CN2008102147823A patent/CN101358918B/zh active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020526692A (ja) * | 2017-07-11 | 2020-08-31 | サウジ アラビアン オイル カンパニー | ガスの光音響検出 |
JP7208216B2 (ja) | 2017-07-11 | 2023-01-18 | サウジ アラビアン オイル カンパニー | ガスの光音響検出 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2638053A1 (en) | 2009-01-24 |
CN101358918A (zh) | 2009-02-04 |
US20090027677A1 (en) | 2009-01-29 |
JP4431622B2 (ja) | 2010-03-17 |
EP2019307A1 (en) | 2009-01-28 |
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