JP2008070314A - ガス検出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】測定光の妨げになる多重反射光の干渉を低減して正確なガス検出を行う。
【解決手段】ガス検出装置1は、測定雰囲気中に所定測定光路長を隔てて投受光ユニット2と反射ユニット3とが対向配置される。投受光ユニット2は、レーザ光を出射する光源ユニット13と、レーザ光の出射に伴う測定光を集光する集光レンズ15と、測定光を受光検出する受光器17と、集光レンズ15を微弱振動する投受光側微動手段19とを備える。反射ユニット3は、投受光ユニット2からのレーザ光を再び測定雰囲気に向けて反射する反射板21を備える。検出対象ガスの検出動作中には、投受光側微動手段19を動作させ、測定に不要な多重反射による干渉光を低減する。
【選択図】図1
【解決手段】ガス検出装置1は、測定雰囲気中に所定測定光路長を隔てて投受光ユニット2と反射ユニット3とが対向配置される。投受光ユニット2は、レーザ光を出射する光源ユニット13と、レーザ光の出射に伴う測定光を集光する集光レンズ15と、測定光を受光検出する受光器17と、集光レンズ15を微弱振動する投受光側微動手段19とを備える。反射ユニット3は、投受光ユニット2からのレーザ光を再び測定雰囲気に向けて反射する反射板21を備える。検出対象ガスの検出動作中には、投受光側微動手段19を動作させ、測定に不要な多重反射による干渉光を低減する。
【選択図】図1
Description
本発明は、光の吸収を利用して所定雰囲気中のガス濃度を光学的に測定するガス検出装置に関し、特に測定光路長が短い(例えば2m以下)測定雰囲気中での低濃度のガス検出に最適なガス検出装置に関する。
例えばメタン、二酸化炭素、アセチレン、アンモニア等の個々の気体が持つ吸収帯を利用して測定雰囲気中の所望のガスを検出するガス検出装置は既に知られており、下記特許文献1を含めて様々な提案がなされている。
この種のガス検出装置は、検出対象ガスを含む測定雰囲気中に所定距離(この距離によって測定光路長が確定する)隔てて光源部と受光部とを配置し、光源部の半導体レーザから周波数変調されたレーザ光を測定雰囲気に出射し、この測定雰囲気を通過した透過光を測定光として受光部のフォト検出器で受光検出し、この受光検出した測定光の電気信号に基づいて測定雰囲気中の検出対象ガスのガス濃度を測定している。尚、光源部と受光部とが同じ位置に配置されていても、雰囲気を通ってくる測定光を反射光として受光できれば測定光路長が確保される。
特開平10−267839号公報
ところで、近年、この種のガス検出分野では、各種環境測定の要求に伴い、特に測定光路長が例えば2m以下と短い測定雰囲気中での低濃度のガス検出が要望されている。
そして、上記のような測定光路長が短い測定雰囲気中の所望ガスの濃度検出を行う場合には、光源部と受光部とを測定光路長だけ隔てて測定雰囲気中に対向配置し、測定雰囲気中の高さが異なる平面上で順次ガス検出を行い、測定雰囲気中における所望ガスの濃度分布を測定することになる。
ところが、上述したガス濃度検出中では、測定雰囲気を挟む光源部と受光部との間の経路上の各種光学部品、例えば光源部の出射窓のガラス面と受光部の集光レンズ表面との間、受光部の集光レンズ表面とフォト検出器の受光面との間でレーザ光の一部が多重反射し、この多重反射光が干渉光となって測定光に干渉を引き起こしてしまう。そして、特に測定光路長が短い測定雰囲気中での低濃度のガス検出を行う場合には、この多重反射による干渉光が測定結果に大きく影響して誤差を招き、正確なガス濃度検出を行うことができないという課題があった。
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであって、測定光の妨げになる多重反射光の干渉を低減して正確なガス検出が行えるガス検出装置を提供することを目的としている。
上記目的を達成するため、本発明の請求項1に記載されたガス検出装置は、検出対象ガスを含む測定雰囲気A中にレーザ光を出射し、このレーザ光の出射に伴って前記測定雰囲気を通過するレーザ光を測定光として受光検出し、この受光検出した測定光に基づいて前記測定雰囲気中の検出対象ガスの濃度を測定するガス検出装置1において、
前記検出対象ガスを含む前記測定雰囲気中に所定の測定光路長を隔てて投受光ユニット2と反射ユニット3とが対向して配置され、
前記投受光ユニットは、前記測定雰囲気に向けてレーザ光を出射する光源ユニット13と、該光源ユニットからのレーザ光の出射に伴い、前記測定雰囲気を通過し前記反射ユニットで反射して再度前記測定雰囲気を通過して戻ってくるレーザ光を測定光として集光する集光レンズ15と、該集光レンズによって集光される前記測定光を受光検出する受光器17とを含み、
前記反射ユニットは、前記光源ユニットから前記測定雰囲気を通過してくるレーザ光を再び前記測定雰囲気に向けて反射する反射部材21を含んでおり、
前記投受光ユニットに設けられて前記集光レンズを微弱振動する投受光側微動手段19を備えたことを特徴とする。
前記検出対象ガスを含む前記測定雰囲気中に所定の測定光路長を隔てて投受光ユニット2と反射ユニット3とが対向して配置され、
前記投受光ユニットは、前記測定雰囲気に向けてレーザ光を出射する光源ユニット13と、該光源ユニットからのレーザ光の出射に伴い、前記測定雰囲気を通過し前記反射ユニットで反射して再度前記測定雰囲気を通過して戻ってくるレーザ光を測定光として集光する集光レンズ15と、該集光レンズによって集光される前記測定光を受光検出する受光器17とを含み、
前記反射ユニットは、前記光源ユニットから前記測定雰囲気を通過してくるレーザ光を再び前記測定雰囲気に向けて反射する反射部材21を含んでおり、
前記投受光ユニットに設けられて前記集光レンズを微弱振動する投受光側微動手段19を備えたことを特徴とする。
本発明に係るガス検出装置によれば、集光レンズを微弱振動することにより、集光レンズと反射部材との間の干渉光及び集光レンズと受光器との間の干渉光を十分に取り除いて測定に不要な多重反射による干渉光を低減でき、測定光路長が例えば2m以下と短い測定雰囲気中における低濃度ガスでも正確に検出することができる。
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら具体的に説明する。図1は本発明に係るガス検出装置の概略構成図、図2および図3は同ガス検出装置において微弱振動無し時および微弱振動有り時の測定結果の一例を示す図である。
図1に示すように、本例のガス検出装置1は、特に短い測定光路長(例えば2m以下)での測定雰囲気中の検出対象ガスの濃度を測定する場合に最適であり、投受光ユニット2と反射ユニット3とが測定雰囲気A中に所定の測定光路長の距離を隔てて対向配置される。
まず、投受光ユニット2の構成について説明する。図1に示すように、投受光ユニット2は、光学部11に計測部12を一体に組み込んだ構成である。光学部11は、一面が開口され、内部に光源ユニット13が搭載された有底筒状の本体14を有している。
尚、図1での本体14は、口径を一定としているが、例えば底部から先端部に向けて口径を広げたホーン形状とすれば、測定光を受ける有効面積が大きくなり、測定光を効率的に受光することができる。
本体14の開口には、集光手段としての集光レンズ15が設けられている。この集光レンズ15の中心部(中心軸線L−L上又はその近傍)には、レーザ光を出射するための窓部16が設けられている。窓部16は、例えばガラスなどの出射窓で構成され、集光レンズ15に対して所定角度傾斜して固定される。
また、本体14内の集光レンズ15寄りには、光源ユニット13が設けられている。さらに、本体14内の中心軸線L−L上の奥部(底部)には、集光レンズ15で集光された測定光を受光する受光器17が設けられている。
光源ユニット13は、測定雰囲気A中の検出対象となる測定ガス特有の吸収線に合致した波長のレーザ光を発生し、この発生したレーザ光を反射ミラー18(18A,18B)を介して窓部16に出射している。
集光レンズ15は、例えばフレネルレンズで構成され、光源ユニット13から測定雰囲気Aへのレーザ光の出射に伴い、反射ユニット3で反射して再び測定雰囲気Aを通って戻ってくる測定光を受光器17の受光面に集光させている。
受光器17は、光源ユニット13からのレーザ光の出射に伴い、反射ユニット3で反射し測定雰囲気Aを通って集光レンズ15により集光された測定光を受光検出している。この受光器17によって受光検出された測定光は、電気信号に変換された後、計測部12に送られて信号処理される。
尚、ここでの測定光とは、光源ユニット13からのレーザ光の出射に伴い、反射ミラー18(18A,18B)→窓部16→測定雰囲気A→後述する反射板21→測定雰囲気A→集光レンズ15の経路を通って受光器17に受光検出される光であり、これら経路上の光学部品(反射ミラー18、窓部16、後述する反射板21、集光レンズ15)の表面での多重反射の無い光を意味している。
また、集光レンズ15の外周端部には、集光レンズ15に微弱振動を与えて集光レンズ15や窓部16を微動させるための投受光側微動手段19が設けられている。この投受光側微動手段19は、例えば振動モータなどの各種モータや圧電素子などの駆動手段で構成され、集光レンズ15に直接微弱振動を与える。投受光側微動手段19は、例えば数Hz〜数kHzの周波数で駆動手段を駆動し、集光レンズ15や窓部16を数μm〜数10μm程度の移動量(光軸方向の移動量)でランダムに微動している。
尚、ここでの干渉光とは、光源ユニット13からのレーザ光の出射に伴って発生する測定に不要な多重反射光であり、上述した経路上の光源ユニット13(反射ミラー18B)と窓部16との間、窓部16と後述する反射板21との間、後述する反射板21と集光レンズ15との間、集光レンズ15と受光器17との間の光学部品の表面でそれぞれ往復反射する光を意味している。
計測部12は、本体14の内部のレーザ光の出射及び測定光の受光の邪魔にならない位置、例えば本体14内の底部で受光器17の背後に組み込まれている。図1に示すように、計測部12は、測定光増幅部12a、受光信号検出部12b、演算部12c、波長安定化回路12dを備えて構成される。
測定光増幅部12aは、例えばプリアンプで構成され、受光信号検出部12bで検出する1f信号(変調周波数の基本波敏感検波信号)、2f信号(変調周波数の2倍波位相敏感検波信号)が測定対象ガス濃度範囲で略同等の検出レベルになるように、1f信号、2f信号のそれぞれにおいて最適な増幅度に設定されている。この測定光増幅部12aでは、受光器16から検出出力される測定光信号の受光電流を受光電圧に変換し、さらに設定された増幅度で増幅して出力している。
受光信号検出部12bは、測定光増幅部12aで増幅された測定光信号を信号処理し、1f信号と2f信号とを位相敏感検波している。
演算部12cは、受光信号検出部12bからの1f信号、2f信号を入力とし、その比(2f/1f)に基づいて測定雰囲気A中の測定対象ガスの濃度を所定時間毎に演算して測定値を算出している。そして、現時点から過去に遡った所定ポイント数の測定値を平均化した値を現時点の測定データとし、不図示の表示手段に表示している。
波長安定化回路12dは、設定温度の検索、初期設定、2倍波ピーク安定化、信号同期検出、2倍波歪抑圧動作に関する処理を行っている。尚、この処理内容は特許文献1に開示されるものと同様なので説明を省略する。
次に、反射ユニット3の構成について説明する。図1に示すように、反射ユニット3は、所定の測定光路長を形成する測定雰囲気Aを挟むように投受光ユニット2と対向して配置される。
図1に示すように、反射ユニット3は、反射板21を備えている。反射部材としての反射板21は、投受光ユニット2から測定雰囲気Aを通過してくるレーザ光を再び測定雰囲気A側に反射している。尚、反射部材としては、板状のものに限定されない。
上記のように構成されるガス検出装置1によって測定雰囲気A中の検出対象ガスの濃度を測定する場合には、投受光ユニット2と反射ユニット3とを測定光路長だけ隔てて測定雰囲気A中に対向配置する。この状態で投受光ユニット2の光源ユニット13からレーザ光を出射する。このレーザ光は、光源ユニット13の窓部16から測定雰囲気Aを通って反射ユニット3の反射板21で反射され、再び測定雰囲気Aを通って投受光ユニット2に戻ってくる。そして、投受光ユニット2に戻ってきたレーザ光は、測定光として集光レンズ15により集光され、受光器17に受光検出される。受光器17が受光検出した電気信号は、測定光増幅器12aにより所定の増幅度で増幅された後、受光信号検出部12bに入力される。測定光増幅部12aでは、1f信号と2f信号が検出対象ガス濃度光路長積範囲内で同等の検出レベルになるように、入力される信号を増幅する。受光信号検出部12bでは、入力される信号から1f信号、2f信号を検波して演算部12cに入力する。演算部12cは、受光信号検出部から入力される1f信号と2f信号の比(2f/1f)に基づいて検出対象ガスのガス濃度光路長積を演算し、この演算値を所定時間毎に平均化して測定雰囲気A中の検出対象ガスのガス濃度光路長積測定値を得る。
尚、ガス濃度光路長積とは、測定ガス濃度と測定レーザ光が測定ガス中を通過した距離との積をいう。
尚、ガス濃度光路長積とは、測定ガス濃度と測定レーザ光が測定ガス中を通過した距離との積をいう。
そして、本例のガス検出装置1では、上述した測定雰囲気A中での検出対象ガスの検出動作中において、投受光側微動手段19を動作させている。
投受光側微動手段19を動作させると、投受光ユニット2における集光レンズ15や窓部16がランダムに微動し、反射ミラー18Bと窓部16との間の距離L1、窓部16と反射板21との間の距離L2、反射板21と集光レンズ15との間の距離L3、集光レンズ15と受光器17との間の距離L4がそれぞれランダムに変化する。
これにより、窓部16の表面、後述する反射板21の表面、集光レンズ15の表面での干渉光の反射位置(中心軸線L−Lと直交する平面上の反射位置)が変わって位相ずれが生じる。その結果、上記距離L1,L2,L3,L4で発生する干渉光が多重反射する間に平均化され、測定に不要な干渉光を低減することができる。
ここで、図2および図3は本例のガス検出装置1において反射ユニット3を投受光ユニット2から2m離して地表から1mの高さに設置したときの大気中(測定雰囲気A中)のメタン濃度光路長積の測定結果の一例を示している。尚、図2は微弱振動無し時の測定結果、図3は微弱振動有り(振動の周波数:10〜20Hz、振動の振れ幅:0.1〜0.3mm)時の測定結果をそれぞれ示している。また、図2及び図3におけるMEAS(measurements)は測定値であり、100区間移動平均(MEAS)は過去100ポイントの測定値を平均化した現時点の測定データを示している。
微弱振動無し時には、図2に示すように、干渉光が大きく影響してメタン濃度光路長積が1〜8ppm−mの範囲で時間の経過とともに大きな変動を示しているのが判る。これに対し、微弱振動有り時には、図3に示すように、干渉光の影響が小さくメタン濃度光路長積が3〜5ppm−mの範囲に安定して収まっており、微弱振動無し時に比べてメタン濃度光路長積の変動が大幅に小さくなっていることが判る。
このように、本例のガス検出装置1では、投受光側微動手段19を動作させることにより、投受光ユニット2の集光レンズ15や窓部16を微弱振動するので、集光レンズ15と反射板21との間の干渉光だけでなく、反射板21と受光器17との間の干渉光も十分に取り除くことができ、測定の妨げになる干渉光のみを低減することができる。その結果、干渉光に起因する測定ノイズが低減し、ガス濃度光路長積検出の分解能が向上し、測定値変動を抑えて常に安定したガス濃度光路長積の測定を行うことができる。
1 ガス検出装置
2 投受光ユニット
3 反射ユニット
15 集光レンズ(集光手段)
16 窓部(出射窓)
17 受光器
19 投受光側微動手段
21 反射板(反射部材)
A 測定雰囲気
2 投受光ユニット
3 反射ユニット
15 集光レンズ(集光手段)
16 窓部(出射窓)
17 受光器
19 投受光側微動手段
21 反射板(反射部材)
A 測定雰囲気
Claims (1)
- 検出対象ガスを含む測定雰囲気(A)中にレーザ光を出射し、このレーザ光の出射に伴って前記測定雰囲気を通過するレーザ光を測定光として受光検出し、この受光検出した測定光に基づいて前記測定雰囲気中の検出対象ガスの濃度を測定するガス検出装置(1)において、
前記検出対象ガスを含む前記測定雰囲気中に所定の測定光路長を隔てて投受光ユニット(2)と反射ユニット(3)とが対向して配置され、
前記投受光ユニットは、前記測定雰囲気に向けてレーザ光を出射する光源ユニット(13)と、該光源ユニットからのレーザ光の出射に伴い、前記測定雰囲気を通過し前記反射ユニットで反射して再度前記測定雰囲気を通過して戻ってくるレーザ光を測定光として集光する集光レンズ(15)と、該集光レンズによって集光される前記測定光を受光検出する受光器(17)とを含み、
前記反射ユニットは、前記光源ユニットから前記測定雰囲気を通過してくるレーザ光を再び前記測定雰囲気に向けて反射する反射部材(21)を含んでおり、
前記投受光ユニットに設けられて前記集光レンズを微弱振動する投受光側微動手段(19)を備えたことを特徴とするガス検出装置。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010091558A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-22 | Goodrich Corp | 周波数ディザによってノイズを抑制するためのシステムおよび方法 |
JP2011181920A (ja) * | 2010-03-03 | 2011-09-15 | Leister Process Technologies | 干渉を抑えたレーザダイオード装置 |
CN104034700A (zh) * | 2014-06-21 | 2014-09-10 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种大气传输激光透过率的测量方法 |
JP2017510812A (ja) * | 2014-04-10 | 2017-04-13 | エヌイーシー ラボラトリーズ アメリカ インクNEC Laboratories America, Inc. | レーザ分光法におけるフリンジ低減 |
DE102018218684A1 (de) | 2017-12-27 | 2019-06-27 | Fuji Electric Co., Ltd. | Gasanalysegerät |
JP2019534457A (ja) * | 2016-11-04 | 2019-11-28 | ヴィルコ・アーゲー | ガスの濃度を測定するための方法および装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1038794A (ja) * | 1996-07-29 | 1998-02-13 | Japan Radio Co Ltd | 光学吸収セル |
JPH10267839A (ja) * | 1997-03-28 | 1998-10-09 | Anritsu Corp | ガス濃度測定装置 |
JP2002039942A (ja) * | 2000-07-25 | 2002-02-06 | Japan Radio Co Ltd | 同位体分析装置 |
JP2002048711A (ja) * | 2000-08-03 | 2002-02-15 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | レーザー計測装置 |
JP2003254856A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-09-10 | Tokyo Gas Co Ltd | 光学式ガス漏洩検知器及びガス漏洩検知車両 |
JP2005106521A (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Anritsu Corp | 半導体レーザユニット及びガス濃度測定装置 |
-
2006
- 2006-09-15 JP JP2006251114A patent/JP2008070314A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1038794A (ja) * | 1996-07-29 | 1998-02-13 | Japan Radio Co Ltd | 光学吸収セル |
JPH10267839A (ja) * | 1997-03-28 | 1998-10-09 | Anritsu Corp | ガス濃度測定装置 |
JP2002039942A (ja) * | 2000-07-25 | 2002-02-06 | Japan Radio Co Ltd | 同位体分析装置 |
JP2002048711A (ja) * | 2000-08-03 | 2002-02-15 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | レーザー計測装置 |
JP2003254856A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-09-10 | Tokyo Gas Co Ltd | 光学式ガス漏洩検知器及びガス漏洩検知車両 |
JP2005106521A (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Anritsu Corp | 半導体レーザユニット及びガス濃度測定装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010091558A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-22 | Goodrich Corp | 周波数ディザによってノイズを抑制するためのシステムおよび方法 |
JP2011181920A (ja) * | 2010-03-03 | 2011-09-15 | Leister Process Technologies | 干渉を抑えたレーザダイオード装置 |
JP2017510812A (ja) * | 2014-04-10 | 2017-04-13 | エヌイーシー ラボラトリーズ アメリカ インクNEC Laboratories America, Inc. | レーザ分光法におけるフリンジ低減 |
CN104034700A (zh) * | 2014-06-21 | 2014-09-10 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种大气传输激光透过率的测量方法 |
JP2019534457A (ja) * | 2016-11-04 | 2019-11-28 | ヴィルコ・アーゲー | ガスの濃度を測定するための方法および装置 |
JP7210442B2 (ja) | 2016-11-04 | 2023-01-23 | ヴィルコ・アーゲー | ガスの濃度を測定するための方法および装置 |
DE102018218684A1 (de) | 2017-12-27 | 2019-06-27 | Fuji Electric Co., Ltd. | Gasanalysegerät |
FR3075961A1 (fr) | 2017-12-27 | 2019-06-28 | Fuji Electric Co., Ltd. | Installation d'analyse des gaz |
JP2019117147A (ja) * | 2017-12-27 | 2019-07-18 | 富士電機株式会社 | ガス分析装置 |
US10677719B2 (en) | 2017-12-27 | 2020-06-09 | Fuji Electric Co., Ltd. | Gas analyzing apparatus |
JP7081146B2 (ja) | 2017-12-27 | 2022-06-07 | 富士電機株式会社 | ガス分析装置 |
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