JP4118365B2 - 画像入力装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は画像入力装置に関し、特に最適なスペクトルを有する照明光で照明された対象物の光学像を入力する画像入力装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
プリント基板等の電子部品の傷、シミ、汚れ等の欠陥を検出する外観検査装置において、見落としの無い検出のために必要なことは、より良い光学画像を入力することである。この場合、より良い光学画像としては、コントラストの高いことが求められている。例えば特開平8−219716号公報は、任意の色での照明が可能な照明装置を有する入力画像コントラスト処理装置を開示している。この処理装置では、上述の照明装置で照明された電子部品等の対照物の画像を画像撮像手段で撮像し、得られた画像データを所定の基準値と比較して基準値以下の場合には、背景に対して注目部分(電子部品上の基準マークなど)のコントラストが高くなるように、照明制御装置によって照明装置からの照明光の色を変化させている。このようにして常に背景に対して注目部分のコントラストが高い画像を得るようにしている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した特開平8−219716号公報においては、画像撮像手段で取り込まれる画像毎に画像データと基準値とを比較して、その結果に基づいて照明手段を制御している。従って、画像を取込む毎にフィードバック制御を繰り返して行う必要があるので、高速な処理が実現できない問題点がある。
【0004】
また、プリント基板等の電子部品には金メッキされたボンディングパッド等の反射率の高い部分と、レジスト等の反射率の低い部分とが存在しており、これらを同時に検査するには輝度が違いすぎるという問題がある。上記した特開平8−219716号公報は注目部位のコントラストを高くする技術については開示しているが、複数の材質の異なる部位の光強度の差を小さくする技術については開示していない。
【0005】
従って、本発明の目的は、非注目部位に対する注目部位のコントラストを高く、または、種類の異なる複数の注目部位同士のコントラストを低くして光学像を短時間で入力することができる画像入力装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明の第1の態様に係る画像入力装置は、材質の異なる複数の部位からなる対象物の光学像を入力する画像入力装置において、前記対象物を照明する照明光を発生する照明光発生手段と、前記照明光を前記対象物へ導く照明光学系と、前記照明光学系を通して照明された前記対象物の注目部位および非注目部位の像を結像する第1の結像光学系と、前記第1の結像光学系によって結像された前記対象物の注目部位および非注目部位における各分光スペクトルを取得する分光スペクトル取得手段と、前記分光スペクトル取得手段によって取得された前記対象物の注目部位および非注目部位の各分光スペクトルに基づいて、前記非注目部位に対して前記注目部位が高いコントラストで観察され、しかも前記注目部位が高いS/Nで観察されるためのスペクトルを算出するスペクトル算出手段と、前記スペクトル算出手段によって算出された前記スペクトルに基づいて、前記照明光のスペクトルを変換するスペクトル変換手段と、前記第1の結像光学系と波長感度特性が同等で、前記スペクトル変換手段によってスペクトル変換された前記対象物の注目部位および非注目部位の像を結像する第2の結像光学系と、前記第2の結像光学系により結像された前記対象物の光学像を入力する画像入力手段と、を備える。
【0007】
また、本発明の第2の態様に係る画像入力装置は、材質の異なる複数の部位からなる対象物の光学像を入力する画像入力装置において、前記対象物を照明する照明光を発生する照明光発生手段と、前記照明光を前記対象物へ導く照明光学系と、前記照明光学系を通して照明された前記対象物の注目部位および非注目部位の像を結像する第1の結像光学系と、前記第1の結像光学系によって結像された前記材質の異なる複数の注目部位における各分光スペクトルを取得する分光スペクトル取得手段と、前記分光スペクトル取得手段によって取得された前記各分光スペクトルに基づいて、前記各注目部位同士が低いコントラストで観察され、しかも前記各注目部位が高いS/Nで観察されるためのスペクトルを算出するスペクトル算出手段と、前記スペクトル算出手段によって算出された前記スペクトルに基づいて、前記照明光のスペクトルを変換するスペクトル変換手段と、前記第1の結像光学系と波長感度特性が同等で、前記スペクトル変換手段によってスペクトル変換された前記対象物の注目部位および非注目部位の像を結像する第2の結像光学系と、前記第2の結像光学系により結像された前記対象物の光学像を入力する画像入力手段と、を備える。
【0008】
また、本発明の第3の態様に係る画像入力装置は、第1または第2の態様に係る画像入力装置において、前記スペクトル算出手段は、前記注目部位のS/Nが高く、かつ前記非注目部位の光強度との差が大きく観察されるスペクトルを決定する。
【0009】
また、本発明の第4の態様に係る画像入力装置は、第1または第2の態様に係る画像入力装置において、前記照明光発生手段は、白色光源からなり、前記スペクトル変換手段は、前記白色光源から出射された照明光を平行光にコリメートする第 1 の凹面鏡と、前記第 1 の凹面鏡で反射された前記平行光を回折する回折格子と、前記回折格子により特定方向に回折された回折光を結像させる第 2 の凹面鏡と、前記第 2 の凹面鏡の結像位置に配置され各波長の光の透過率を任意に設定する液晶フィルタと、を備えることを特徴とする請求項1または2記載の画像入力装置。
また、本発明の第5の態様に係る画像入力装置は、第1または第2の態様に係る画像入力装置において、前記照明光発生手段は、3つの白色光源からなり、前記スペクトル変換手段は、前記各白色から出射された各照明光を平行光にコリメートする第 1 のレンズと、前記各第1のレンズでコリメートされた前記平行光をそれぞれ青色成分、赤色成分、緑色成分のみ透過させるバンドパス色フィルタと、前記各バンドパス色フィルタを透過した平行光を重ね合わせるダイクロイックミラーと、前記ダイクロイックミラーで重ね合わされた平行光を結像させる第2のレンズと、を備える。
また、本発明の第6の態様に係る画像入力装置は、第1または第2の態様に係る画像入力装置において、前記照明光発生手段は、3つの白色光源からなり、前記スペクトル変換手段は、前記各白色光源から出射された各照明光を平行光にコリメートする第 1 のレンズと、前記各第1のレンズでコリメートされた前記平行光をそれぞれ青色成分、、赤色成分、緑色成分のみ透過させ所定のスペクトルに変換するバンドパス色フィルタと、前記各バンドパス色フィルタを透過した平行光を集光させる第2のレンズと、前記各第2のレンズにより集光されたそれぞれ所定のスペクトルに変換された各光を導くライトガイドと、前記各ライトガイドから導かれた各光を混ぜ合わせるコネクタと、を備える。
また、本発明の第7の態様に係る画像入力装置は、第1または第2の態様に係る画像入力装置において、前記スペクトル取得手段は、前記照明光発生手段から出力される照明光をそのまま前記対象物に照射した状態で、前記対象物の注目部位または非注目部位の各分光スペクトルを複数回取得する。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。まず、第1実施形態について説明する。第1実施形態は、白色光照明下で対象物の複数の部分の像における分光スペクトルをそれぞれ取得し、これら分光スペクトルを統計的手法で処理して、注目部位のコントラストが高くすなわち注目部位と非注目部位との光強度の差が大きく、かつ注目部位のS/Nが高く観察されるための最適なスペクトルを算出する最適スペクトル算出手段と、算出された最適なスペクトルに基づいて画像入力を行なう画像入力装置に関する。ここでは、最適なスペクトルを算出するまでの過程を学習モードと呼び、算出された最適なスペクトルに基づいて画像入力を行なう過程を検査モードと呼ぶ。
【0011】
まず、最適なスペクトルを決定する統計的な手法について説明する。対象物は材質の異なる複数種類の部材で構成されることを想定するが、説明を容易にするために、以降は2種類で構成されている場合を説明する。ここでは2種類の異なる材質からなる部位を、例えば全行程を経て最終的に作成された図13に示すようなプリント基板12上の金メッキされたボンディングパッド部10とレジスト部11とする。このときレジスト部11に対してボンディングパッド部10ではコントラストが高く、且つボンディングパッド部10のS/Nが高く観察されるように照明光のスペクトルを最適化することを考える。
【0012】
光源光により照明された対象物の反射光が画像入力装置に撮像されるまでのプロセスによる分光スペクトル特性の変遷をモデル化する。対象物中のボンディングパッド部10及びレジスト部11の反射スペクトルをそれぞれ複数回測定したときの集合を{f1 (λ)},{f2 (λ)}とし、さらに次のようなスペクトルを仮定する。
【0013】
e(λ):光源のスペクトル、
t(λ):光学伝達系の特性スペクトル、
k(λ):撮像装置の感度スペクトル、
s(λ):スペクトル変換手段の透過スペクトル。
このとき撮像される各材質の観測信号の平均強度gi (i=1,2)は次式で表わされる。
【0014】
【数3】
【0015】
ここで、hi は観測スペクトルであり、ni は信号に依存しない加法ノイズである。また、(S)はスペクトル変換手段により制限される波長領域としての積分範囲を示す。
次に、ボンディングパッド部10とレジスト部11の平均強度g1 とg2 の差として検出される画像強度bを考える。
【0016】
【数4】
加法ノイズni (i=1,2)が平均0、標準偏差σのガウシアンノイズであると考え、次のような表記をする。
【0017】
【数5】
この場合(2)式で定義した差分画像のノイズn12はガウシアン分布の再生性により次のように定義できる。
【0018】
【数6】
【0019】
(5)式の分母はノイズの平均振幅であるので、(4)式に定義されるノイズn12の性質から<|n12|>=1.41σとなる。
一方、h1 >h2 の関係が成立する場合には、|Δ|=Δとして(5)式の分子を定義すればよい。このような仮定によると、(5)式は次のように書き改めることができる。
【0020】
【数7】
(5)式の分子に定義した<|Δ|>は差分画像のコントラストを表すので、(6)式によれば、S/Nの向上はコントラストの向上と等価であると考えられる。
【0021】
(6)式に含まれる各スペクトルのうち、変更可能なのはスペクトル変換手段の透過スペクトルs(λ)だけであり、他のk(λ),t(λ)は変更できないものであると考えられる。そこで、(6)式を次のように再定義する。
【0022】
【数8】
ただし、以下のような定義を行う。
【0023】
【数9】
さらに(7)式の積分項だけをピックアップする。
【0024】
【数10】
次に解析しやすくするために、(9)式を離散系に変換する。
【0025】
【数11】
ここで、s及びΔはベクトルであり、添え字tは転置行列を表す。(10)式はスペクトル変換手段の透過スペクトルを表すベクトルsと各材質における観測スペクトルの平均の差
【0026】
【数12】
との内積を表す。
【0027】
ここで、コントラストを向上させるために、(9)または(10)式のqを最大にすることを考える。qを最大にすることは(7),(9)式よりS/Nを最大にすることにほかならない。ここで、統計的なパターン分類の指標として次式で定義されるFisher Ratioを考える。なおFisher Ratioについては、文献“An Optical Set of Discriminate Vectors”,IEEE Trans.Comp.C-24,(1975)pp.281-289 に詳述されている。
【0028】
【数13】
(11)式は2つのクラスに属するベクトル{x},{y}を分類するのに最適な空間を構成するベクトルdを求めるために定義される指標であり、各統計量は以下のように定義される。
【0029】
【数14】
(11)式の定義を考察するとFisher Ratio R(d)を最大にすることは、2つのクラスに属するベクトルの分散を考慮しながら平均差ベクトルωとの内積が最大になるようなベクトルdを求めることになる。そのような条件を満足するベクトルは次式のように導かれることがわかっている。
【0030】
d=αC2 -1Δ α:正規化係数 (12)
従って、ベクトルd,x,yをそれぞれベクトルs,p1 ,p2 で置き換えることにより、コントラストを向上させるのに最適なスペクトルsが求められる。
【0031】
【数15】
(13)式を(10)式に代入すると最大コントラストの期待値は次式で表される。
【0032】
qmax =st Δ=α(C2 -1Δ)t Δ=αΔt C2 -1Δ (14)
もし、ベクトルp1 ,p2 の分散が波長に依存せずに一定、つまり均質であればC2 は単位行列になるので、(14)式は次式のようになる。
【0033】
【数16】
【0034】
以上の解析により、C2 -1ΔまたはΔにより、コントラスト及びS/Nを向上させるのに最適なスペクトルsが定義できる。
図1は本発明の第1実施形態の構成を示す図であり、照明光を発生する照明光発生手段(スペクトル光源)100と、照明光のスペクトルを変換するスペクトル変換手段101と、このスペクトル変換手段101によってスペクトルが変換された照明光を対象物142に導く照明光学系140と、前記照明された対象物142からの光学像の光路の向きを切り替える可動式ミラー149と、前記照明された対象物142の画像を結像させる第1の結像光学系146と、この第1の結像光学系146によって結像された対象物142の複数の部分の像における分光スペクトルを得る分光スペクトル取得手段147と、この得られた複数の分光スペクトルに基づいて、前記対象物142中の注目部位のS/Nが高く、かつ注目部位において観測される光強度値と、非注目部位において観測される光強度値の差が大きく観測されるための最適なスペクトルを算出するスペクトル算出手段としてのプロセッサ148と、前記照明された対象物142の画像を結像させる第2の結像光学系144と、この第2の結像光学系144によって結像された前記対象物142の光学像を入力する画像入力手段145とからなる。対象物142としては上記した図13に示すボンディングパッド部10及びレジスト部11とを対象にする。
【0035】
以下に上記した構成の作用を説明する。
学習モードにおいて最適なスペクトルを求めるために、まず、照明光発生手段100から出力される白色光をそのまま(後述する図2の液晶フィルタ208が開放位置にある)対象物142に照射する。対象物142からの反射光の光路の向きを可動式ミラー149を用いて変更して分光スペクトル取得手段147に導き、まず対象物142中のレジスト部11におけるスペクトルを取得してプロセッサ148内のメモリに蓄える。ノイズ等の影響を低減する為に、これを数回繰り返しレジスト部11のスペクトルを複数取得する。同様にボンディングパッド部10からのスペクトルも複数取得し、プロセッサ148内のメモリに蓄える。次にこれら蓄えたレジスト部11及びボンディングパッド部10のそれぞれ複数のスペクトルの集合を{f1 (λ)},{f2 (λ)}とし、上記した(9)もしくは(10)式のqを最大にするようなスペクトル変換手段101の透過スペクトルsを(13)式により求める。
【0036】
最適なスペクトルsが求まったら次に検査モードに移行して、この最適なスペクトルsに基づいて画像入力を行なう。すなわち、可動式ミラー149を光路外に移動させ、プロセッサ148の制御により、スペクトル変換手段101の透過スペクトルが最適なスペクトルsと同じになるように変更する。そしてこのスペクトル変換手段101によりスペクトル変換された照明光を対象物142に照射する。対象物142からの光学像は第2の結像光学系144により結像されて、画像入力手段145によりプロセッサ148に入力される。
【0037】
任意のスペクトル分布を有する光を出射できるように照明光発生手段100及びスペクトル変換手段101を例えば図2のような構成にする。この構成では、白色光源201から出た光はレンズ202によっていったん平行光にコリメートされた後レンズ203によって集光される。前記レンズ203の焦点面にはスリット204が設置され、これによって入射光の大きさが適当に調整される。前記スリット204を通過した白色光は凹面鏡205によって平行光にコリメートされ、回折格子206に導かれる。前記回折格子206において波長に応じて特定の方向に回折された1次回折光が凹面鏡207によって結像される。前記凹面鏡207の結像面には液晶フィルタ208が設置され、液晶フィルタ208は各波長の光の結像位置における透過率を任意に設定できるようになっている。前記液晶フィルタ208は前記プロセッサ148により制御される液晶フィルタドライバ209により動作される。
【0038】
前記液晶フィルタ208を通過した光はレンズ210により集光され、入射端側コネクタ211から、光ファイバ束で構成されるライトガイド240に導かれる。たとえば黄色い光を照射したい場合、凹面鏡207の結像位置で青色の波長の光が透過できないように液晶フィルタ208を液晶フィルタドライバ209から操作すると、入射端側コネクタ211において緑色と赤色の光が混ぜ合わされ、その結果、黄色の光がライトガイド240を介して照射されるようになる。
【0039】
ところで学習モードにおいて算出された最適なスペクトルデータは、概して図3(a)のように正値と負値を持ったものになる。しかしマイナスの演算を光学的に実現することはできないので、プロセッサ148の内部で電気信号処理によりマイナス演算を実現する。そこで図3(a)の適正スペクトルデータを図3(b)と図3(c)の2つに分け、図3(b)のスペクトル光による対象物142の画像から図3(c)のスペクトル光による対象物142の画像を引くことでマイナスの演算を実現することとする。
【0040】
このマイナスの演算を実現するためにプロセッサ148には図4の構成が設けられる。CPU406は図3(b)のスペクトル光で対象物142を照明するように照明光発生手段100を制御し、このときに画像入力手段145によって撮像される信号をセレクタ402を介してメモリ403−1にいったん蓄える。次に図3(c)のスペクトル光で対象物142を照明するように照明光発生手段100を制御し、このときに画像入力手段145によって撮像される信号を前記セレクタ402を介してメモリ403−2に蓄える。メモリ403−1,403−2に蓄えられた画像信号は数値演算回路(ALU)404に送られる。前記数値演算回路(ALU)404はメモリ403−1の画像信号からメモリ403−2の画像信号を引いた後、その結果をメモリ405に送る。メモリ405に蓄えられた画像信号はその後の検査等に用いられる。こうしてマイナスの演算が実現できるようになる。
【0041】
上記したように、第1実施形態では、プリント基板12を白色光で予め照明して、プリント基板12の複数の材質(ボンディングパッド部10、レジスト部11)の分光スペクトルデータを個々に測定し、このスペクトルデータに基づいて、光学像の注目部位のS/Nが高くかつ非注目部位の光強度との差が大きく観測されるための最適なスペクトルを決定する。そして、この最適なスペクトルを持つ照明光でプリント基板12を照明するようにしている。このような方法によれば、プリント基板12の全域にわたって最適なコントラストの画像を得ることができるようになり、非注目部位における誤検出等を特別なアルゴリズム無しに防ぐことができる。
【0042】
またプリント基板12全域で照明光は同じであるので、画像の入力時間を短縮できる。従って同一種類の電子部品の画像ならば、短時間で画像を取り込むことができる。
【0043】
なお、上記した第1の結像光学系146と第2の結像光学系144とは本実施形態では、その一部を共用しているが、全く同じ光学系としてもよい。また画像の光量が充分得られるならば、可動式のミラーでなく固定のハーフミラーを用いてもかまわない。
【0044】
次に、上記した第1実施形態の変形例を図5(a)、5(b)を用いて説明する。この変形例は第1実施形態の最適なスペクトルを算出する構成と、画像入力を行なう構成とをそれぞれ別個の装置で構成したものである。
【0045】
最適スペクトル算出装置は図5(a)に示すように、照明光発生手段500、ライトガイド501、照明装置502、結像光学系504、分光計505、プロセッサ506によって構成され、最適なスペクトルを決定する統計的な処理を行う。503はプリント基板などの対象物である。また、画像入力装置は図5(b)に示すように、照明光発生手段510、スペクトル変換手段511、照明光学系512、結像光学系514、撮像装置515、プロセッサ516によって構成され、決定された最適なスペクトル分布の照明光で照明された対象物503の画像を取り込む。
【0046】
図5(a),(b)の作用は第1実施形態とほぼ同じである。すなわち、最適スペクトル算出装置は対象物503を構成する各材質のスペクトルデータを測定し、これらのデータから上述した原理に基づいて最適なスペクトルを決定する。ただし、最適なスペクトルを算出する際には最適スペクトル算出装置と画像入力装置の波長伝達特性の違いを補正する為の機能をプロセッサ506に持たせている。画像入力装置では、プロセッサ516がスペクトル変換手段511を制御して最適なスペクトルを出力させて対象物503を照明する。この対象物503からの光学像は、結像光学系514によって結像され撮像装置515によってプロセッサ516に入力される。
【0047】
こうすることによって画像入力装置のスペクトル変換手段511のスペクトルは可変にする必要がなくなるので、構成を簡単にすることができる。対象物503の種類が変わるときには最適スペクトル算出装置でその対象物503に最適なスペクトル分布を決定し直して、画像入力装置のスペクトル変換手段511の透過スペクトルを変更すればよい。
【0048】
図6は上記したスペクトル変換手段101の別の具体的な構成を示す図である。
白色光源620aから出た白色光は、レンズ621aにより平行光にコリメートされ、NDフィルタ622aに導かれる。前記平行光は前記NDフィルタ622aにより適当に明るさが調整された後、バンドパス色フィルタ623aによって所望の青色成分のみが透過される。バンドパス色フィルタ623aを透過した前記平行光は青色成分のみを反射するダイクロイックミラー625により青色成分のみが反射され、レンズ626に導かれる。
【0049】
また、白色光源620bから出た白色光はレンズ621bにより平行光にコリメートされ、NDフィルタ622bに導かれる。前記平行光は前記NDフィルタ622bにより適当に明るさが調整された後、バンドパス色フィルタ623bによって所望の赤色成分のみが透過される。前記バンドパス色フィルタ623bを透過した前記平行光はダイクロイックミラー624,625をまっすぐ通過し、前記レンズ626に導かれる。
【0050】
また、白色光源620cから出た白色光はレンズ621cにより平行光にコリメートされ、NDフィルタ622cに導かれる。前記平行光は前記NDフィルタ622cにより適当に明るさが調整された後、バンドパス色フィルタ623cによって所望の緑色成分のみが透過される。前記バンドパス色フィルタ623cを透過した前記平行光は赤色より波長の短い光を反射するダイクロイックミラー624により反射され、ダイクロイックミラー625を通過し、前記レンズ626に導かれる。
【0051】
このようにして、前記レンズ626には光源620a,620b,620cからの平行光が各々所定のスペクトルを持って入射される。重ね合わされた平行光は前記レンズ626により集光され、入射端側コネクタ627を介し、光ファイバ束で構成されるライトガイド640に導かれる。尚、NDフィルタ622a,b,c及びバンドパス色フィルタ623a,b,cは着脱自在に配置しても良いし、異なる特性のものをターレットに装着し、回転させることで交換可能としてもよい。
【0052】
図7はスペクトル変換手段101の他の構成を示す図である。
白色光源730aから出た白色光は、レンズ731aにより平行光にコリメートされ、バンドパス色フィルタ732aを透過し、レンズ733aにより集光されてライトガイド734aに導かれる。白色光源730bから出た白色光は、レンズ731bにより平行光にコリメートされ、バンドパス色フィルタ732bを透過し、レンズ733bにより集光されてライトガイド734bに導かれる。白色光源730cから出た白色光は、レンズ731bにより平行光にコリメートされ、バンドパス色フィルタ732cを透過し、レンズ733cにより集光されてライトガイド734cに導かれる。入射端側コネクタ735にはそれぞれの白色光源730a,b,cから出た光が各々所定のスペクトルをもって入射される。前記入射端側コネクタ735では、所定のスペクトルを持った光が混ぜ合わされライトガイド740によって図示せぬ照明装置へ導かれる。尚、バンドパス色フィルタ732a、b、cは着脱自在に配置してもよいし、異なる特性のものをターレットに装着し、回転させることで交換可能としてもよい。
【0053】
以下に本発明の第2実施形態を説明する。第2実施形態は、反射スペクトルの異なる複数の部位における光強度の差をできるだけ小さく観測するための最適スペクトル算出手段とそれを用いた画像入力装置に関する。
【0054】
対象物は第1実施形態と同様に、プリント基板12(図13)上の金メッキされたボンディングパッド部10と半透明のレジスト部11とから構成されているものとする。ボンディングパッド部10とレジスト部11にはそれぞれ欠陥が存在し、これら両方の欠陥はすべて検出されなければならない。これをなるべく短時間で行うには、ボンディングパッド部10とレジスト部11とを同時に検査しなければならないことになる。しかし、金属光沢を有するボンディングパッド部10と半透明なレジスト部11とでは反射率が大きく異なり、通常は両方のS/Nが高い状態でそれらを同時に観測することは難しい。
【0055】
そこで第2実施形態では以下に述べる原理に基づいて、複数の注目部位における光強度の差をできるだけ小さくする最適なスペクトルを算出し、算出されたスペクトルに基づいて光学像のスペクトルを変換して、ボンディングパッド部10とレジスト部11との光強度の差が小さい画像を得るものである。
第1実施形態と同様な定義によれば、材質i(i=1,2)の観測スペクトルhi は次式で表される。
【0056】
【数17】
ここで、(S)は所定の波長範囲を示す。解析を容易にするために観測スペクトルhi を離散データで表現すると(17)式は次式のように表される。
【0057】
hi =st gi (17)
ただし、s,gはベクトルであり、tは転置行列を表す。
第2実施形態では材質の異なる2種類の部材からの観測光強度h1 ,h2 の差をできるだけ小さくすることが目的であるから、本実施形態での問題を次のように式で表すことができる。
【0058】
【数18】
目的:ε2 =|h1 −h2 |2 →min (19)
この(19)式を次のように展開する。
【0059】
【数19】
ただし、Λ2 =ΔΔt とする。また、(20)、(21)式においてΔはベクトルである。
【0060】
条件(18)式の下で(21)式を最小化するようなベクトルsを求める問題は、例えば2次計画問題に対するBeale 法を応用することにより解くことが可能である。
【0061】
第2実施形態の構成は、第1実施形態と全く同様なので図示は省略する。ただし(18)式で示す条件より光源のスペクトル分布はすべて正となるため、プロセッサ148の構成として図4に示すようなマイナス演算のための構成は必要としない。
【0062】
以下に第2実施形態の作用を説明する。図1において、まず照明光発生手段100からの白色光を対象物142に照射し、照明された対象物142からの反射光を可動式ミラー149によって第1の結像光学系146を経由させて分光スペクトル取得手段147に導き、対象物142を構成するレジスト部11の分光スペクトルを測定して、プロセッサ148の内部にあるメモリに蓄える。これを数回繰り返しレジスト部11のスペクトルを複数取得する。同様にしてボンディングパッド部10からのスペクトルも複数取得し、プロセッサ148内のメモリに蓄える。次に、これら蓄えたレジスト部11及びボンディングパッド部10のそれぞれの複数のスペクトルの集合を{f1 (λ)},{f2 (λ)}とし、(18)式の条件の下で(21)式のε2 が最小になるような最適なスペクトルsをBeale 法を応用して求める。
【0063】
このようにして最適なスペクトルsが求まったら、可動式ミラー149を光路からはずれた位置に移動させ、プロセッサ148の制御により、スペクトル変換手段101の透過スペクトルが求めた最適なスペクトルsと同じになるように照明光のスペクトルを変換して対象物142に照射する。対象物142からの光学像は第2の結像光学系144により結像されて、画像入力手段145によりプロセッサ148に入力される。
【0064】
上記した第2実施形態によれば、材質の異なる部材で構成される対象物であっても、複数の注目部位における光強度の差を小さくして観測できるので対象物全体を同時に検査できる。これによって1つの対象物に対する検査時間を大幅に短縮することができる。
【0065】
以下に本発明の第3実施形態を説明する。第3実施形態は、適切な中心波長と帯域幅(バンド幅)を有する1個の色フィルタと白色光源を有する照明光源を備えた画像入力装置に関する。
【0066】
第3実施形態の全体構成は図1に示される第1実施形態の構成とほぼ同様である。ただし、スペクトル変換手段101の内部構成とプロセッサ148の内部構成は異なる。
【0067】
図8は本発明の第3実施形態におけるスペクトル変換手段101の内部構成を示す図である。光源850から出力された白色光はレンズ851によってコリメートされた後、バンドパス色フィルタ852によって所定のスペクトル光に変換される。前記バンドパス色フィルタ852を通過した前記スペクトル光はレンズ853により入射端側コネクタ854に集光されてライトガイド840に導かれる。前記スペクトル光は前記ライトガイド840によって図示しない照明装置へ導かれる。
【0068】
本実施形態では、バンドパス色フィルタ852を1枚のみ用いて照明光のスペクトルを変化させて対象物142を照明するため、プロセッサ148の構成として図4に示すようなマイナス演算のための構成は必要としない。
【0069】
以下に上記した構成の作用を説明する。
複数の材質の異なる部材から構成される対象物142にバンドパス色フィルタ852によるスペクトル光を照射することによって、注目部位の光強度と非注目部位の光強度との差が大きくなる、または複数の注目部位における光強度の差が小さくなる作用が得られる。
【0070】
以下、1枚のバンドパス色フィルタ852を用いた場合の上記目的を達成するための手段について説明する。
上記した第1実施形態と同様な定義によれば、材質1,2において観測される光強度は次式で表される。
【0071】
【数20】
【0072】
ここで中心波長λp 、半値幅λh を有するバンドパス色フィルタ852によるスペクトル光を照射して得られる輝度値をそれぞれh1 (λp ,λh ),h2 (λp ,λh )とする。
このとき材質1に対する材質2の観測強度比γを次式で定義する。
【0073】
【数21】
また材質1に対する材質2の観測強度比と材質の絶対強度つまりS/Nとを同時に評価する指標として、指標C(λp ,λh )を次式に定義する。
【0074】
【数22】
【0075】
材質1に対して材質2をコントラストよく観測するには、(24)式の観測強度比γができるだけ1よりはなれ、かつ材質2の絶対強度が大きくなる半値幅λh と中心波長λp を見つければよい。
【0076】
材質1と材質2の光強度の差をできるだけ小さくするには、(24)式の観測強度比γができるだけ1に近く、かつ(25)式の指標Cが大きくなる半値幅λh と中心波長λp を見つければよい。
【0077】
以下に図を用いて具体的に説明する。図13に示すレジスト部11を材質1、ボンディングパッド部10を材質2として扱う。ボンディングパッド部10、レジスト部11の反射スペクトルが図9に示すようなものであった場合の観測強度比γと指標Cをそれぞれ図10,11に示す。ただし、図10はバンドパス色フィルタ852の半値幅λh の変更に伴う観測強度比γの中心波長λp に対する特性の変化を表し、図11はバンドパス色フィルタ852の半値幅λh の変更に伴う指標Cの中心波長λp に対する特性の変化を表す。また図12にバンドパス色フィルタ852の半値幅λh の変更に伴うボンディングパッド部10の観測光強度スペクトルを示す。第3実施形態では、これらの図を総合的に判断して、所望の効果が得られるバンドパス色フィルタ852の特性を推定する。
【0078】
また、レジスト部11に対してボンディングパッド部10をコントラスト良く観測するには、観測強度比γができるだけ1よりはなれ、かつボンディングパッド部10の絶対強度が大きくなる中心波長と半値幅を持つフィルタを使用すればよい。図の例では、図10と図12とから中心波長λ4 、半値幅40nmであるフィルタが適していると推定できる。
【0079】
レジスト部11における光強度とボンディングパッド部10における光強度との差をできるだけ小さくするには、観測強度比γができるだけ1に近く、かつ指標Cができるだけ大きくなる中心波長と半値幅を持つフィルタを使用すればよい。具体的には、図10と図11とから中心波長λ5 、半値幅60nmのフィルタが適していると推定できる。
【0080】
第3実施形態では、スペクトル算出手段としてのプロセッサ148において対象物142のボンディングパッド部10及びレジスト部11のスペクトルデータを測定し、以上述べた手法に基づいて、注目部位の光強度と非注目部位の光強度との差をできるだけ大きくする、または複数の注目部位の光強度の差を小さくするバンドパス色フィルタ852の特性を算出し、求めた中心波長と半値幅を持つバンドパス色フィルタ852を図8で示す位置にセットして、光源850からの光線により対象物142を照明し所望の光学像を得るようにする。
【0081】
第3実施形態によれば、スペクトル変換手段を複雑な構成にしなくても、第1,2実施形態と同様な効果が得られる光学検査装置を提供できる。
なお、本発明は上述の実施形態の構成に限るものではなく、たとえば上記の実施形態では照明光源からの照明光の色を変化させるように構成されているが、画像を取り込む画像撮像素子の前面に色フィルタなどの色変換素子を設け、算出された適正スペクトル分布に基づいて色フィルタを交換するように構成してもよい。また入力画像をその場で判断して、蓄積装置に蓄積する必要がなければ撮像素子を省いて、直接観察するようにしてもよい。
【0082】
さらに、上記した具体的実施形態から以下のような構成の発明が導き出され、各構成の作用、効果、対応する実施形態は次の通りである。
(1)
種類の異なる複数の部位からなる対象物の光学像を入力する画像入力装置において、
前記対象物を照明する照明光を発生する照明光発生手段と、
前記照明光を前記対象物へ導く照明光学系と、
前記照明された対象物の像を結像する第1の結像光学系と、
この第1の結像光学系によって結像された、対象物の注目部位の像とこの注目部位に隣接する非注目部位の像における各分光スペクトルを取得する分光スペクトル取得手段と、
この分光スペクトル取得手段によって取得された複数の分光スペクトルに基づいて、前記非注目部位に対して前記注目部位が高いコントラストで観察され、しかも前記注目部位が高いS/Nで観測されるためのスペクトルを算出するスペクトル算出手段と、
このスペクトル算出手段によって算出された前記スペクトルに基づいて、前記対象物の光学像のスペクトルを変換するスペクトル変換手段と、
前記第1の結像光学系と波長感度特性が同等で、前記スペクトル変換手段によってスペクトル変換された前記対象物の像を結像するための第2の結像光学系と、
この第2の結像光学系により結像された前記対象物の光学像を入力する画像入力手段と、
を備えたことを特徴とする画像入力装置。
(1)’
前記スペクトル変換手段は、前記照明光発生手段からの照明光が前記対象物に照射される前に、前記最適なスペクトルに基づいて前記照明光のスペクトルを変換し、このスペクトル変換された照明光が前記対象物に照射されることを特徴とする構成(1)に記載の画像入力装置。
(作用)
分光スペクトル取得手段によって注目部位とそれに隣接する非注目部位における分光スペクトルを取得し、両部位の各分光スペクトルに基づいて、非注目部位に対して注目部位が高いコントラストで観察され、しかも注目部位が高いS/Nで観察されるためのスペクトルを算出する。そしてこのスペクトルに基づいて、入力される対象物の光学像のスペクトルを変換し、画像入力装置によって光学像を入力する。スペクトル変換手段は例えば、照明光発生手段からの照明光が対象物に照射される前に、当該照明光のスペクトルを変換し、このスペクトル変換された照明光が前記対象物に照射される。
(効果)
高いコントラスト及び高いS/Nで注目部位の光学像を入力する画像入力装置を提供できる。
(対応する実施形態)
この構成は、少なくとも上記した第1及び第3実施形態に対応する。
(2)
種類の異なる複数の部位を含む対象物の光学像を入力する画像入力装置において、
前記対象物を照明する照明光を発生する照明光発生手段と、
前記照明光を前記対象物へ導く照明光学系と、
前記照明された対象物の像を結像する第1の結像光学系と、
この第1の結像光学系によって結像された前記種類の異なる複数の注目部位の像における各分光スペクトルを取得する分光スペクトル取得手段と、
この分光スペクトル取得手段によって取得された複数の分光スペクトルに基づいて、前記注目部位同士が低いコントラストで観察され、しかも前記各注目部位が高いS/Nで観察されるためのスペクトルを算出するスペクトル算出手段と、
このスペクトル算出手段によって算出された前記スペクトルに基づいて、前記対象物の光学像のスペクトルを変換するスペクトル変換手段と、
前記第1の結像光学系と波長感度特性が同等で、前記スペクトル変換手段によってスペクトル変換された前記対象物の像を結像するための第2の結像光学系と、
この第2の結像光学系により結像された前記対象物の光学像を入力する画像入力手段と、
を備えたことを特徴とする画像入力装置。
(作用)
分光スペクトル取得手段によって対象物の注目部位における分光スペクトルを取得し、これら複数部位の各分光スペクトルに基づいて、種類の異なる注目部位同士が低いコントラストで、かつS/Nが高く観察されるためのスペクトルを算出する。そして、このスペクトルに基づいて、入力される対象物の光学像のスペクトルを変換し、画像入力装置によって光学像を入力する。
(効果)
対象物の注目部位の分光スペクトルに基づいて算出された、種類の異なる注目部位同士が低いコントラストで、かつ注目部位のS/Nが高く観察されるためのスペクトルにより入力される対象物の光学像のスペクトルを変換しているので、種類の異なる注目部位同士が低いコントラストで、かつ注目部位のS/Nが高い光学像を得ることができる。
(対応する実施形態)
この構成は、少なくとも上記した第2,3実施形態に対応する。
(3)
前記スペクトル算出手段は、
前記対象物の各部位から得られる光強度を算出し、その光強度に基づいて前記スペクトルを算出するものであり、且つ、その光強度は、
【0083】
【数23】
の式で定義され、
s(λ):前記スペクトル変換手段の透過スペクトル、
e(λ):光源スペクトル、
t(λ):光学伝達系の特性スペクトル、
k(λ):前記画像入力手段の感度スペクトル、
f(λ):前記対象物の反射スペクトル、
であることを特徴とする構成(1)又は(2)に記載の画像入力装置。
(作用)
対象物の各部位から得られる光強度を算出し、この光強度に基づいて、注目部位と非注目部位の光強度差が大きくかつ注目部位が高いS/Nで観察されるスペクトルあるいは、種類の異なる注目部位の光強度差が小さく、かつ注目部位が高いS/Nで観察されるスペクトルを算出する。
(効果)
所望のコントラスト及び高いS/Nで注目部位の光学像を入力する画像入力装置を提供できる。
(対応する実施形態)
この構成は、少なくとも上記した第1〜第3実施形態に対応する。
(4)
前記スペクトル変換手段は、バンドパス色フィルタで構成され、前記スペクトル算出手段は、部位ごとに異なる部材で構成される対象物に対して、注目部位を示す光強度値と非注目部位を示す光強度値の比と、この光強度値の比と前記注目部位を示す光強度値の積とで定義される指標値に基づいて、前記バンドパス色フィルタの中心波長と半値幅を算出する
ことを特徴とする構成(1)に記載の画像入力装置。
(作用)
スペクトル変換手段はバンドパス色フィルタで構成され、スペクトル算出手段は部位ごとに異なる部材で構成される対象物に対して、注目部位を示す光強度値と非注目部位を示す光強度値の比と、この光強度値の比と前記注目部位を示す光強度値の積とで定義される指標値に基づいて前記バンドパス色フィルタの中心波長と半値幅を算出する。
(効果)
スペクトル変換手段がバンドパス色フィルタで構成されるため、装置構成が簡単になる。
(対応する実施形態)
この構成は、少なくとも上記した第3実施形態に対応する。
(5)
前記スペクトル変換手段は、前記照明光発生手段から前記対象物へ至る光路中に設置される
ことを特徴とする構成(1)乃至(4)のいずれか1つに記載の画像入力装置。
(作用)
照明光発生手段から対象物へ至る光路中にスペクトル変換手段を設置して色変換を行う。
(対応する実施形態)
この構成は、少なくとも上記した第1,2,3実施形態に対応する。
(6)
前記スペクトル変換手段は、前記対象物から前記画像入力手段に至る光路中に設けられる
ことを特徴とする構成(1)乃至(4)のいずれか1つに記載の画像入力装置。
(作用)
対象物から画像入力手段に至る光路中にスペクトル変換手段を設置して色変換を行う。
(対応する実施形態)
この構成は、少なくとも上記した第1,2,3実施形態に対応する。
(7)
種類の異なる複数の部位からなる対象物の光学像の観察に適したスペクトルを算出するスペクトル算出装置において、
前記対象物を照明する照明光を発生する照明光発生手段と、
前記照明光を前記対象物へ導く照明光学系と、
前記照明された対象物の像を結像する結像光学系と、
この結像光学系によって結像された、対象物の注目部位の像とこの注目部位に隣接する非注目部位の像における各分光スペクトルを得る分光スペクトル取得手段と、
この分光スペクトル取得手段によって取得された複数の分光スペクトルに基づいて、前記非注目部位に対して前記注目部位が高いコントラストで観察され、しかも前記注目部位が高いS/Nで観察されるためのスペクトルを算出するスペクトル算出手段と、
を備えたことを特徴とする最適スペクトル算出装置。
(作用)
分光スペクトル取得手段により対象物の注目部位と非注目部位の像における各分光スペクトルを取得し、この各分光スペクトルに基づいてスペクトル算出手段が、前記非注目部位に対して前記注目部位が高いコントラストで観察され、しかも前記注目部位が高いS/Nで観察されるためのスペクトルを算出する。
(効果)
対象物の観察に適したスペクトルを算出しており、このスペクトルを、対象物の非注目部位に対して注目部位が高いコントラストとなると共に、前記注目部位が高いS/Nを持つような画像を入力する場合に用いることができる。
(対応する実施形態)
この構成は、少なくとも上記した第1及び第3実施形態に対応する。
(8)
対象物の光学像を入力する画像入力装置において、
前記対象物を照明する照明光を発生する照明光発生手段と、
前記照明光を前記対象物へ導く照明光学系と、
前記対象物の光学像のスペクトルを変換するスペクトル変換手段と、
このスペクトル変換手段によってスペクトル変換された前記対象物の像を結像するための結像光学系と、
この結像光学系により結像された前記対象物の像を入力する画像入力手段と、
を備え
前記スペクトル変換手段は、
前記対象物の注目部位とこの注目部位に隣接する非注目部位の分光スペクトル像から算出された、前記対象物の非注目部位に対して注目部位が高いコントラストで観察され、しかも前記注目部位が高いS/Nで観察されるためのスペクトルに基づいて前記対象物の光学像のスペクトルを変換する
ことを特徴とする画像入力装置。
(作用)
対象物の注目部位と非注目部位の分光スペクトルから対象物の非注目部位に対して注目部位が高いコントラストで観察され、しかも前記注目部位が高いS/Nで観察されるためのスペクトルを予め算出しておき、このスペクトルにより対象物の光学像のスペクトルを変換し、画像入力装置により光学像を入力する。
(効果)
対象物の光学像を良好に得るのに適したスペクトルを学習する部分を画像入力装置の外に設けるので、画像入力装置の構成が複雑にならない。
(対応する実施形態)
この構成は、少なくとも上記した第1及び第3実施形態に対応する。
(9)
種類の異なる複数の部位からなる対象物の光学像の観察に適したスペクトルを算出するスペクトル算出装置と、算出された前記スペクトルに基づいて前記対象物のスペクトルを変換して前記対象物の光学像を入力する画像入力装置とからなる画像入力システムであって、
前記スペクトル算出装置は、
前記対象物を照明する照明光を発生する照明光発生手段と、
前記照明光を前記対象物へ導く照明光学系と、
前記照明された対象物の像を結像する結像光学系と、
この結像光学系によって結像された、対象物の注目部位の像とこの注目部位に隣接する非注目部位の像における各分光スペクトルを取得する分光スペクトル取得手段と、
この分光スペクトル取得手段によって取得された複数の分光スペクトルに基づいて、前記非注目部位に対して前記注目部位が高いコントラストで観察され、しかも前記注目部位が高いS/Nで観察されるためのスペクトルを算出するスペクトル算出手段と、
を備え、
前記画像入力装置は、
前記対象物を照明する照明光を発生する第2の照明光発生手段と、
前記照明光を前記対象物に導く第2の照明光学系と、
前記スペクトル算出手段によって算出された前記スペクトルに基づいて、前記対象物のスペクトルを変換するスペクトル変換手段と、
前記スペクトル変換手段によってスペクトル変換された前記対象物の像を結像するための第2の結像光学系と、
この第2の結像光学系により結像された前記対象物の光学像を入力する画像入力手段と、
を備えたことを特徴とする画像入力システム。
(作用)
スペクトル算出装置の分光スペクトル取得手段が、対象物の注目部位の像とこの注目部位に隣接する非注目部位の像における各分光スペクトルを取得し、スペクトル算出手段が、取得した各分光スペクトルに基づいて、前記対象物の前記非注目部位に対して前記注目部位が高いコントラストで観察され、しかも前記注目部位が高いS/Nで観察されるためのスペクトルを算出する。そして、画像入力装置は、スペクトル変換手段により、前記スペクトル算出手段によって算出された前記スペクトルに基づいて、前記対象物のスペクトルを変換して光学像を入力する。
(効果)
高いコントラスト及び高いS/Nで注目部位の光学像を短時間で入力する画像入力システムを提供できる。
(対応する実施形態)
この構成は、少なくとも上記した第1及び第3実施形態に対応する。
(10)
種類の異なる複数の注目部位を含む対象物の光学像の観察に適したスペクトルを算出するスペクトル算出装置において、
前記対象物を照明する照明光を発生する照明光発生手段と、
前記照明光を前記対象物へ導く照明光学系と、
前記照明された対象物の像を結像する第1の結像光学系と、
この第1の結像光学系によって結像された前記種類の異なる複数の注目部位の像における各分光スペクトルを取得する分光スペクトル取得手段と、
この分光スペクトル取得手段によって取得された複数の分光スペクトルに基づいて、前記注目部位同士が低いコントラストで観察され、しかも前記各注目部位が高いS/Nで観察されるためのスペクトルを算出するスペクトル算出手段と、
を備えたスペクトル算出装置。
(効果)
対象物の観察に適したスペクトルを算出でき、このスペクトルは注目部位同士が低いコントラストとなると共に、前記各注目部位が高いS/Nを持つような画像を入力する場合に用いることができる。
(対応する実施形態)
この構成は、少なくとも上記した第2、第3実施形態に対応する。
(11)
種類の異なる複数の注目部位を含む対象物の光学像を入力する画像入力装置において、
前記対象物を照明する照明光を発生する照明光発生手段と、
前記照明光を前記対象物へ導く照明光学系と、
前記対象物の光学像のスペクトルを変換するスペクトル変換手段と、
このスペクトル変換手段によってスペクトル変換された前記対象物の像を結像するための結像光学系と、
この結像光学系により結像された前記対象物の光学像を入力する画像入力手段とを備え、
前記スペクトル変換手段は、
前記複数の注目部位の分光スペクトルから前記注目部位同士が低いコントラストで観察され、しかも前記各注目部位が高いS/Nで観察されるためのスペクトルに基づいて前記対象物の光学像のスペクトルを変換することを特徴とする画像入力装置。
(効果)
対象物の良好な光学像を得るのに適したスペクトルを学習する部分を画像入力装置の外に設けるので、画像入力装置の構成が複雑にならない。
(対応する実施形態)
この構成は、少なくとも上記した第2、第3実施形態に対応する。
(12)
種類の異なる複数の注目部位を含む対象物の光学像の観察に適したスペクトルを算出するスペクトル算出装置と、算出された前記スペクトルに基づいて前記対象物のスペクトルを変換して前記対象物の光学像を入力する画像入力装置とからなる画像入力システムにおいて、
前記スペクトル算出装置は、
前記対象物を照明する照明光を発生する照明光発生手段と、
前記照明光を前記対象物へ導く照明光学系と、
前記照明された対象物の像を結像する第1の結像光学系と、
この第1の結像光学系によって結像された前記種類の異なる複数の注目部位の像における各分光スペクトルを取得する分光スペクトル取得手段と、
この分光スペクトル取得手段によって取得された複数の分光スペクトルに基づいて、前記注目部位同士が低いコントラストで観察され、しかも前記各注目部位が高いS/Nで観察されるためのスペクトルを算出するスペクトル算出手段と、を備え、
前記画像入力装置は、
前記対象物を照明する照明光を発生する照明光発生手段と、
前記照明光を前記対象物へ導く照明光学系と、
前記スペクトル算出手段によって算出された前記スペクトルに基づいて、前記対象物の光学像のスペクトルを変換するスペクトル変換手段と、
このスペクトル変換手段によってスペクトル変換された前記対象物の像を結像するための結像光学系と、
この結像光学系により結像された前記対象物の光学像を入力する画像入力手段とを備えたことを特徴とする画像入力システム。
(効果)
注目部位同士が低いコントラストとなると共に、前記各注目部位が高いS/Nを持つ光学像を短時間で入力する画像入力システムを提供できる。
(対応する実施形態)
この構成は少なくとも上記した第2、第3実施形態に対応する。
(13)
種類の異なる複数の部位からなる検査用対象物の光学像を入力する画像入力装置において、
前記検査用対象物と同じ構造を持つ学習用対象物を照明する照明光を発生する照明光発生手段と、
前記照明光を前記学習用対象物へ導く照明光学系と、
前記照明された学習用対象物の像を結像する第1の結像光学系と、
この第1の結像光学系によって結像された、前記学習用対象物の注目部位の像とこの注目部位に隣接する非注目部位の像における各分光スペクトルを取得する分光スペクトル取得手段と、
この分光スペクトル取得手段によって取得された複数の分光スペクトルに基づいて、前記非注目部位に対して前記注目部位が高いコントラストで観察され、しかも前記注目部位が高いS/Nで観察されるためのスペクトルを算出するスペクトル算出手段と、
このスペクトル算出手段によって算出された前記スペクトルに基づいて、前記検査用対象物の光学像のスペクトルを変換するスペクトル変換手段と、
前記第1の結像光学系と波長感度特性が同等で、前記スペクトル変換手段によってスペクトル変換された前記検査用対象物の像を結像するための第2の結像光学系と、
この第2の結像光学系により結像された前記検査用対象物の光学像を入力する画像入力手段と、
を備えたことを特徴とする画像入力装置。
(効果)
学習動作により検査用対象物の観察に適したスペクトルを用意し、これを用いて高いコントラスト及び高いS/Nで注目部位の光学像を短時間で入力する画像入力装置を提供できる。
(対応する実施形態)
この構成は、少なくとも上記した第1及び第3実施形態に対応する。
【0084】
【発明の効果】
本発明によれば、高いコントラスト及び高いS/Nで注目部位の光学像を短時間で入力することができる画像入力装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1〜第3実施形態の構成を示す図である。
【図2】図1に示す照明光発生手段及びスペクトル変換手段の具体的構成を示す図である。
【図3】負値を含むスペクトルデータに対して電気信号処理によりマイナス演算を行なう方法を説明するための図である。
【図4】マイナス演算を実現するためのプロセッサの構成を示す図である。
【図5】第1実施形態の変形例を示す構成図である。
【図6】図1に示すスペクトル変換手段の別の具体的構成を示す図である。
【図7】図1に示すスペクトル変換手段の他の構成を示す図である。
【図8】本発明の第3実施形態におけるスペクトル変換手段の内部構成を示す図である。
【図9】ボンディングパッド部及びレジスト部の反射スペクトルの一例を示す図である。
【図10】バンドパス色フィルタの半値幅λh の変更に伴う観測強度比γの中心波長λp に対する特性の変化を表す図である。
【図11】バンドパス色フィルタの半値幅λh の変更に伴う指標Cの中心波長λp に対する特性の変化を表す図である。
【図12】バンドパス色フィルタの半値幅λh の変更に伴うボンディングパッド部の観測光強度スペクトルを示す図である。
【図13】対象物としての、プリント基板上の金メッキされたボンディングパッド部とレジスト部を示す図である。
【符号の説明】
10…ボンディングパッド部、
11…レジスト部、
12…プリント基板
100…照明光発生手段、
101…スペクトル変換手段、
140…照明光学系、
142…対象物、
144…第2の結像光学系、
145…画像入力手段、
146…第1の結像光学系、
147…分光スペクトル取得手段、
148…プロセッサ、
149…可動式ミラー
Claims (7)
- 材質の異なる複数の部位からなる対象物の光学像を入力する画像入力装置において、
前記対象物を照明する照明光を発生する照明光発生手段と、
前記照明光を前記対象物へ導く照明光学系と、
前記照明光学系を通して照明された前記対象物の注目部位および非注目部位の像を結像する第1の結像光学系と、
前記第1の結像光学系によって結像された前記対象物の注目部位および非注目部位における各分光スペクトルを取得する分光スペクトル取得手段と、
前記分光スペクトル取得手段によって取得された前記対象物の注目部位および非注目部位の各分光スペクトルに基づいて、前記非注目部位に対して前記注目部位が高いコントラストで観察され、しかも前記注目部位が高いS/Nで観察されるためのスペクトルを算出するスペクトル算出手段と、
前記スペクトル算出手段によって算出された前記スペクトルに基づいて、前記照明光のスペクトルを変換するスペクトル変換手段と、
前記第1の結像光学系と波長感度特性が同等で、前記スペクトル変換手段によってスペクトル変換された前記対象物の注目部位および非注目部位の像を結像する第2の結像光学系と、
前記第2の結像光学系により結像された前記対象物の光学像を入力する画像入力手段と、
を備えたことを特徴とする画像入力装置。 - 材質の異なる複数の部位からなる対象物の光学像を入力する画像入力装置において、
前記対象物を照明する照明光を発生する照明光発生手段と、
前記照明光を前記対象物へ導く照明光学系と、
前記照明光学系を通して照明された前記対象物の注目部位および非注目部位の像を結像する第1の結像光学系と、
前記第1の結像光学系によって結像された前記材質の異なる複数の注目部位における各分光スペクトルを取得する分光スペクトル取得手段と、
前記分光スペクトル取得手段によって取得された前記各分光スペクトルに基づいて、前記各注目部位同士が低いコントラストで観察され、しかも前記各注目部位が高いS/Nで観察されるためのスペクトルを算出するスペクトル算出手段と、
前記スペクトル算出手段によって算出された前記スペクトルに基づいて、前記照明光のスペクトルを変換するスペクトル変換手段と、
前記第1の結像光学系と波長感度特性が同等で、前記スペクトル変換手段によってスペクトル変換された前記対象物の注目部位および非注目部位の像を結像する第2の結像光学系と、
前記第2の結像光学系により結像された前記対象物の光学像を入力する画像入力手段と、
を備えたことを特徴とする画像入力装置。 - 前記スペクトル算出手段は、前記注目部位のS/Nが高く、かつ前記非注目部位の光強度との差が大きく観察されるスペクトルを決定することを特徴とする請求項1または2記載の画像入力装置。
- 前記照明光発生手段は、白色光源からなり、前記スペクトル変換手段は、前記白色光源から出射された照明光を平行光にコリメートする第1の凹面鏡と、前記第1の凹面鏡で反射された前記平行光を回折する回折格子と、前記回折格子により特定方向に回折された回折光を結像させる第2の凹面鏡と、前記第2の凹面鏡の結像位置に配置され各波長の光の透過率を任意に設定する液晶フィルタと、を備えることを特徴とする請求項1または2記載の画像入力装置。
- 前記照明光発生手段は、3つの白色光源からなり、前記スペクトル変換手段は、前記各白色から出射された各照明光を平行光にコリメートする第1のレンズと、前記各第1のレンズでコリメートされた前記平行光をそれぞれ青色成分、赤色成分、緑色成分のみ透過させるバンドパス色フィルタと、前記各バンドパス色フィルタを透過した平行光を重ね合わせるダイクロイックミラーと、前記ダイクロイックミラーで重ね合わされた平行光を結像させる第2のレンズと、を備えることを特徴とする請求項1または2記載の画像入力装置。
- 前記照明光発生手段は、3つの白色光源からなり、前記スペクトル変換手段は、前記各白色光源から出射された各照明光を平行光にコリメートする第1のレンズと、前記各第1のレンズでコリメートされた前記平行光をそれぞれ青色成分、、赤色成分、緑色成分のみ透過させ所定のスペクトルに変換するバンドパス色フィルタと、前記各バンドパス色フィルタを透過した平行光を集光させる第2のレンズと、前記各第2のレンズにより集光されたそれぞれ所定のスペクトルに変換された各光を導くライトガイドと、前記各ライトガイドから導かれた各光を混ぜ合わせるコネクタと、を備えることを特徴とする請求項1または2記載の画像入力装置。
- 前記スペクトル取得手段は、前記照明光発生手段から出力される照明光をそのまま前記対象物に照射した状態で、前記対象物の注目部位または非注目部位の各分光スペクトルを複数回取得することを特徴とする請求項1または2記載の画像入力装置。
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