JP4098690B2 - 走査形プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Description
2 搬送ロッド格納チャンバ
3 上ステージ
4 温度センサA
5 試料処理室
6 ベーク用内蔵ヒータ
7 ダンパ
8 ベーク用シーズヒータ
9 内側断熱真空バルブ
10 排気口
11 真空ポンプ
12 外側真空断熱バルブ
13 内部チャンバ
14 内部チャンバヒータ
15 内側断熱真空部
16 冷媒液面
17 外側断熱真空部
18 マグネット上部抵抗
19 クライオスタット
20 SPMセル
21 温度センサB
22 超伝導マグネット
23 下ステージ
24 マグネット下部抵抗
25 温度制御器
26 真空ポンプ
27 サンプル室
28 除振台
29 冷媒タンク
30 カンチレバ・探針
31 レーザー光源
32 検出器
33 スキャナ
34 コンピュータ
Claims (3)
- 気密に設けられた試料観察室と、
前記試料観察室の気体を排気する気体排気手段と、
前記試料観察室に接続された内部チャンバと、
前記内部チャンバを内部に有し前記内部チャンバを冷却する冷却手段と、
前記内部チャンバに設置されベークをするための加熱手段とを備え、
探針と試料との間に作用する物理量を検出する走査形プローブ顕微鏡において、
前記試料観察室に設置された試料観察室温度センサと、
前記内部チャンバに設置された内部チャンバ温度センサを備え、
前記冷却手段が冷媒タンクであり、
前記加熱手段が前記内部チャンバ外部に巻装した内部チャンバヒータであり、
ベークが終了した後、前記試料観察室温度センサと前記内部チャンバ温度センサとの温度差を比較して、前記内部チャンバヒータにより前記内部チャンバの温度を調整しながら、前記冷媒タンクにより前記内部チャンバを冷却することを特徴とする走査形プローブ顕微鏡。 - 請求項1に記載した走査形プローブ顕微鏡において、
前記内部チャンバ温度センサの示す温度が前記試料観察室温度センサの示す温度より低くならないように前記内部チャンバの温度調整を行うことを特徴とする走査形プローブ顕微鏡。 - 請求項1又は請求項2に記載した走査形プローブ顕微鏡において、
前記内部チャンバに磁気を及ぼす超伝導マグネットを備えたことを特徴とする走査形プローブ顕微鏡。
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