JP4607754B2 - 微動装置及び走査形プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Description
また、超高真空試料室を備えた走査形プローブ顕微鏡の場合、スキャナが設置されている試料室の超高真空環境を得るために、試料室内に付着した気体等を除去する焼き出しであるベークを行う。つまり、室温から150°C程度のベーク温度に加熱し、ベーク温度から室温に戻すというヒートサイクルが発生する。チューブ型圧電素子1は熱膨張係数が小さく、堅くてもろい。固定台6の材料である金属は熱膨張係数が圧電素子より大きい。よって、ヒートサイクルの際、固定台6は圧電素子1より大きく変化する。また、ガス等の発生が少ない超高真空下で使用可能な接着剤も硬化後は熱膨張係数が小さくほとんど変形しない。このため、チューブ型圧電素子1と接着剤、金属等で構成された固定台6との間に相対的な熱膨張差が発生し、チューブ型圧電素子1が破損するか、固定部8の接着剤が剥がれるという結果に至る。
本発明の構成を図4を用いて説明する。図示しない装置に設置されたステンレス等の金属で構成された固定台6には円筒状のチューブ型圧電素子1の一端が固定されている。原子分解能が要求される走査形プローブ顕微鏡においては、僅かなガタも許されないために接着剤による固定方法が用いられる。また、チューブ型圧電素子1は、薄いPbZrTiO3等の圧電セラミックから構成され、半径方向に分極されており、長手方向は非分極となっている。チューブ型圧電素子1の外側表面には、2個のX駆動電極3と2個のY駆動電極4が交互に等間隔でメタライズされている。またその自由端側には、Z駆動電極5がメタライズされている。各電極3、4、5に図示しない電線が接続されており、電圧が印加される構成になっている。また、チューブ型圧電素子1の内側にも図示しない電極がメタライズされており、接地電極となっている。
また、切欠部の数は4個に限らず、1個以上あればよい。切欠部が2個以上の場合はチューブ型圧電素子固定部が2ピース以上に分割されるので固定台の変化により追従し易いくなり、効果がより高まる。しかし、余り数が多すぎるとチューブ型圧電素子の強度が低下するため好ましくはない。
走査形トンネル顕微鏡は、試料と金属製探針との距離をlnm以下に保ち、これらの間に数V程度のバイアス電圧をかけると、探針と試料間の真空間隙を通って電子が移動しトンネル電流が流れるという、いわゆるトンネル効果の原理を利用する。トンネル電流は試料と探針との距離に敏感であり、距離に対して指数関数的に変化する。そこで、圧電素子を用いた微動装置によりこのトンネル電流が一定となるように探針又は試料をZ方向に制御して試料表面上を二次元的に走査する。この時Z方向を制御するために印加した電圧を距離換算したデータに基づいて凹凸情報として画像化することにより、試料表面の凹凸を原子レベルで観察することができる。
このような構成の走査形プローブ顕微鏡において、実施例1で述べたように、室温〜ベーク温度〜室温〜低温〜室温のヒートサイクルが生じた場合、金属製固定台6の変形が激しいが、切欠部7を備えたチューブ型圧電素子1の固定部は追従し易いため破損が起き難く有効である。
2 プローブ
3 X駆動電極
4 Y駆動電極
5 Z駆動電極
6 固定台
7 切欠部
8 固定部
9 U字形状切欠部
10 先端部曲面形状切欠部
11 V字形状切欠部
12 コの字形状切欠部
13 試料
14 試料台
15 XYドライバー
16 Zドライバー
17 コンピュータ
18 バイアス回路
19 超高真空試料室
Claims (7)
- 円筒状に形成され、一方の端部に切欠部が形成された圧電素子体と、
前記圧電素子体の前記一方の端部を固定し、前記圧電素子体と温度変化による変形率が異なる固定台と、
前記圧電素子体に設けられた電極と、を備えた前記圧電素子体の他方の端部を微動させる微動装置であって、
前記圧電素子体と前記固定台との温度変化による変形量の違いを前記切欠部を形成することにより生ずる前記圧電素子体の弾性変形で吸収することを特徴とする微動装置。 - 前記切欠部の先端が曲面で構成されたことを特徴とする請求項1に記載の微動装置。
- 前記切欠部がU字形状で構成されたことを特徴とする請求項1に記載の微動装置。
- 前記切欠部が少なくとも2カ所に形成されたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の微動装置。
- 前記切欠部が等間隔に、4カ所に、形成されたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の微動装置。
- 前記圧電体素子が前記固定台に接着により固定されたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の微動装置。
- 探針と試料を接近させて対向配置し、前記探針と前記試料との相対位置を変化させ、前記探針と前記試料間に作用する物理量により検出される信号に基づいて前記試料表面の像情報を得る走査形プローブ顕微鏡において、
前記試料が配置された試料室の温度を変化させ、請求項1乃至6のいずれかに記載の微動装置により前記探針と前記試料の相対位置を変化させることを特徴とした走査形プローブ顕微鏡。
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