JP4097763B2 - 2次の非線形光学部材、及びその製造方法、並びに光変調素子 - Google Patents
2次の非線形光学部材、及びその製造方法、並びに光変調素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4097763B2 JP4097763B2 JP07254298A JP7254298A JP4097763B2 JP 4097763 B2 JP4097763 B2 JP 4097763B2 JP 07254298 A JP07254298 A JP 07254298A JP 7254298 A JP7254298 A JP 7254298A JP 4097763 B2 JP4097763 B2 JP 4097763B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nonlinear optical
- light
- optical member
- order nonlinear
- modulation element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/35—Non-linear optics
- G02F1/355—Non-linear optics characterised by the materials used
- G02F1/3558—Poled materials, e.g. with periodic poling; Fabrication of domain inverted structures, e.g. for quasi-phase-matching [QPM]
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、2次の非線形光学効果を有する光透過方向にほとんど複屈折を示さない非線形光学部材とその製造方法、および前記非線形光学部材を電気光学素子として用いた光変調素子に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、光変調素子に用いられる2次の非線形光学材料としてはLiNbO3(LN)やBi12SiO20(BSO)やBi12GeO20(BGO)そしてBi4Ge3O12などの光学結晶が知られていた。また、大越孝敬編著「光ファイバセンサ」オーム社(1986年)pp149−153に示されるように、これらの非線形光学材料を用いた光変調素子が通信用光変調素子や高電圧測定用の光ファイバセンサとして開発されてきた。
【0003】
また、近年光ファイバセンサに使用する光学素子削減のためレンズやミラーを省略し、光ファイバからなる光路途中に磁気光学素子または電気光学素子を組み込んだ光ファイバセンサが検討されてきた(例えば特開平5−297086、特開平6−74979、特開平8−219825等)。
【0004】
更にまた、ごく最近、光ファイバを分極処理する事により2次の非線形光学効果が発現する事が明らかになり、光ファイバを用いた光変調素子が作製されるようになって来ている(例えばA.C.Liu 他:Opt. Lett. Vol.19 pp.466-468 (1994)、T. Fujiwara他:IEEE Photonics Lett. Vol.7 PP.1177-1179(1995)、特開平9−230293など)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の様に、例えば大きな自然複屈折を持つLNを用いた光変調素子(光ファイバセンサも含む)では、特開平3−44562号公報や大越孝敬 編著「光ファイバセンサ」 オーム社(1986年)pp153に示すように、約0.1〜0.2度以下の軸ずれ角にする必要があった。これは光の入射角がずれると以下の2つの問題が発生するためである。
【0006】
(1)入射光が結晶主軸からずれる事により発生する自然複屈折が電気光学効果により発生する複屈折より大きくなり、その結果変調度が設計値から大きく変化する。
【0007】
(2)自然複屈折や非線形光学定数(電気光学定数)の温度変化のため、変調度の温度特性が非常に大きくなる。
【0008】
これらの問題を解決するため、自然複屈折のない結晶を用いる方法が考えられる。自然複屈折のない非線形光学材料(結晶)としてはBGO、BSO、そしてBi4G e3O12等が知られている。
【0009】
しかし、BGOやBSOは旋光性(光の偏光面が結 晶長に比例して回転する効果)のため結晶長を長くできず、光の変調度を任意に設定できなかったり、変調度を十分大きくできないという課題があった(例えば大越孝敬 編著「光ファイバセンサ」 オーム社(1986年)pp.152−153)。又、Bi4Ge3O12は高温でDCドリフトが存在するため、光変調素子として安定した温度特性を実現できないという課題があった(例えばO.Kamada, Appl.Phys. Vol.32(1993) pp.4288-4291)。
【0010】
又、従来の様に、光ファイバの途中に通常の電気光学素子を配置した光ファイバセンサに於いては、レンズが省略されており、軸ずれ角の許容範囲の小さなLNを電気光学素子として用いた場合、大きな温度特性が発生するという課題があった。また、液晶を用いた場合は、応答速度が非常に遅く電圧値の急速な変化が測定できなっかたり、低温で液晶が固体化し使用出来なくなるなどの課題があった。
【0011】
更に又、光ファイバの一部を従来の様に分極処理して電気光学素子として用いた場合、LN結晶を電気光学素子として用い、かつ入射光が光軸(Z軸)からずれた場合に生じるものと同様の課題が発生することを本願発明者が初めて発見した。すなわち、新たに発見された上記課題とは、光ファイバを従来の方法で分極処理する事により、非線形光学効果(電気光学効果)のみならず、屈折率の異方性(自然複屈折)が発生するため、それを光ファイバセンサとして用いた場合、目的とする光学バイアスの状態にする事が困難であるという課題である。
【0012】
尚、片方の誘電主軸の電気光学効果による屈折率変化を利用した従来の光変調器では、上記課題が発生する余地が無かったため、上記課題自体は、まったく認識されなかった。
【0013】
一方、特開平9−230293に開示されている光変調素子に於いても、電気光学効果のみしか考慮されていないため、当然のことながら自然複屈折による光学バイアスが考慮されておらず、直線性が悪い変調素子となる。さらに上記従来例に於いては、光ファイバのクラッド部に電極挿入用孔が作製されており、この結果分極処理により発生する自然複屈折以上に、光ファイバ断面構造の異方性に起因する非常に大きな自然複屈折が発生する。この結果、この光ファイバはいわゆる偏波面保存ファイバと同様の機能を有し、誘電主軸(2対の孔を結んだ直線およびそれに垂直な方向)以外に入射した光の偏光状態は非常に不安定となり、温度や外圧が加わると著しく変化する光ファイバとなる。この結果特に上記光ファイバを電気光学素子として用い誘電主軸とは異なる方向に偏光方向をもつ光を入射した場合、例えば温度が数℃変化しただけでも変調度が大きく変化し、著しく温度特性の悪い、また歪み率の大きな電気光学素子になるという課題があった。
【0014】
本発明は、上記従来の課題を考慮して、従来に比べて自然複屈折の発生を抑制出来る2次の非線形光学部材、及びその製造方法、並びに光変調素子を提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項1記載の本発明は、無機ガラス材料を含む基材を分極処理して作製された2次の非線形光学部材であって、
前記分極処理は、相異なる第1の方向と第2の方向から行われたものであり、前記第1及び前記第2の方向に実質上直交する第3の方向に伝搬する光に対して、前記第1の方向又は第2の方向の何れか一方のみから分極処理が行われた場合に比べて自然複屈折の発生が抑制されること、又はその発生が実質上ない2次の非線形光学部材である。
【0016】
又、請求項2記載の本発明は、前記第1の方向と前記第2の方向が互いに90度±10度の範囲で実質上直交している請求項1記載の2次の非線形光学部材である。
【0017】
又、請求項3記載の本発明は、前記第3の方向が前記第1の方向および前記第2の方向とそれぞれ互いに90度±10度の範囲で実質上直交している請求項1記載の2次の非線形光学部材である。
【0018】
又、請求項4記載の本発明は、無機ガラス材料を含む基材に対して、互いに異なる第1の方向及び第2の方向から所定の電界を印加して分極処理を施す2次の非線形光学部材の製造方法であって、
前記分極処理は、前記第1および前記第2の方向に実質上垂直な第3の方向に伝搬する光に対して、前記第1の方向又は第2の方向の何れか一方のみから分極処理が行われた場合に比べて自然複屈折の発生を抑制又はその発生を実質上なくす様に行う2次の非線形光学部材の製造方法である。
【0019】
又、請求項5記載の本発明は、前記分極処理は、前記基材を通過した光の偏光状態を観測しながら行う請求項4記載の2次の非線形光学部材の製造方法である。
【0020】
又、請求項6記載の本発明は、少なくとも2次の非線形光学部材と、前記2次の非線形光学部材に電界を印加するための電極とを含む電気光学素子を備えた光変調素子であって、
前記2次の非線形光学部材が請求項1記載の2次の非線形光学部材である光変調素子である。
【0021】
又、請求項7記載の本発明は、少なくとも偏光子と、検光子と、電気光学素子とを備えた光変調素子であって、
前記電気光学素子が請求項1記載の2次の非線形光学部材を含むものである光変調素子である。
【0022】
又、請求項8記載の本発明は、少なくともミラーと、電気光学素子とを備えた光変調素子であって、
前記電気光学素子が請求項1記載の2次の非線形光学部材を含むものである光変調素子である。
【0023】
又、請求項9記載の本発明は、前記電気光学素子は、光透過方向に対して実質上直交する相異なる2方向から同時に変調電圧が印加されるものである請求項8記載の光変調素子である。
【0024】
又、請求項10記載の本発明は、光ファイバと、
前記光ファイバを固定するための光ファイバ固定用溝を有する基板と、
前記光ファイバの所定の箇所に設けられた光学素子挿入用溝に取り付けられた偏光子と、
前記光学素子挿入用溝に取り付けられた検光子と、
前記光学素子挿入用溝に取り付けられた電気光学素子とを備えた光変調素子であって、
前記電気光学素子が請求項1記載の2次の非線形光学部材からなる光変調素子である。
【0025】
又、請求項11記載の本発明は、前記光ファイバが所定の形状に曲げられている請求項10記載の光変調素子である。
【0026】
又、請求項12記載の本発明は、前記所定の形状が底面がフラット形状のU字型光ファイバである請求項11記載の光変調素子である。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【0028】
ここでは、本発明の2次の非線形光学部材の製造方法の一実施の形態について、従来の2次の非線形光学材料の作製における分極処理方法と対比しながら説明する。
【0029】
従来報告されているガラスを分極処理した2次の非線形光学材料は、1方向のみ分極処理されているため、分極処理をすればするほど(大きな2次の非線形光学特性、即ち大きな電気光学定数を得るほど)大きな自然複屈折を示す。
【0030】
先ず最初に、図1(a)、(b)を用いて、従来の方法により分極処理を行うと、自然複屈折が大きくなる理由を、本実施の形態の説明と合わせて述べる。
【0031】
図1(a)は、非線形光学材料のブロックからなる電気光学素子101とx,y,z軸を示す図である。
【0032】
同図において、x,y軸は直交しているものとして表されているが、必ずしも直交する必要はない。ただし、x軸,y軸を互いに90度±10度の範囲で直交させた場合、y軸方向の分極処理がx軸方向の分極処理の結果に影響を与えにくいという特徴があり、分極処理を容易にコントロールする事ができる。また、z軸は、このx軸及びy軸に、90度±10度の範囲でほぼ直交している。
【0033】
まず、周囲温度を例えば150〜300℃に昇温し、次に、x軸方向に1×104〜1×106 V/cm程度の電界を印加し分極処理を行う。このとき、x軸方向に分極処理するとx軸方向の電子分極が大きくなり、x軸方向に偏光した光(x軸方向に光電界が振動する光)が感じる屈折率nxは増加する(図1(b)参 照)。図1(b)は、本実施の形態の分極処理による屈折率変化を説明する図である。
【0034】
一方、x軸方向と直角方向の偏光が感じる屈折率ny、nzは低下する(図1(b)参照)。
【0035】
従って、従来の様に、1方向からのみ分極処理を行った場合、z軸方向に伝搬する光は必ず自然複屈折を示すことになる。即ち、この段階で分極処理を終了するとすると、従来のLN等を用いた場合と同じように、温度特性や変調度の設計値からの大きなずれの原因となる。
【0036】
本実施の形態では、y軸方向についても、先ほどのx軸方向と同じ要領で電界を印加することにより、更に分極処理を行う点が、従来の方法と大きく異なるところである。
【0037】
このy軸方向についての分極処理により、y軸方向の偏光を持つ光が感じる屈折率nyが大きくなる。ここで、分極処理時間や分極電圧を適当に選ぶことにより、nx≒nyとする事が可能となる。
【0038】
従って、z軸方向に伝搬する光(x偏光、y偏光またはx軸とy軸の間に偏光方向を持つ光)に対しては、自然複屈折を非常に小さく、又はゼロにする事が可能となる。
【0039】
また、x軸及びy軸方向に分極処理する事により、z軸方向の屈折率が小さくなる。しかし、等方的なガラスを分極処理した場合の複屈折量(屈折率の最大値と最小値の差)は、通常0.001程度以下である。
【0040】
一方、LNの複屈折量は、約0.09である。0.09/0.001=90となることから、LNの複屈折量は、本発明による非線形光学材料の複屈折量より約2桁大きいと言える。従って、非線形光学材料に入射する光の角度精度もLNの場合に比べて約2桁近く大きくなり、そのため、軸ずれ角を±10度程度以内とする事が可能となる。この結果、光変調素子の作製がきわめて容易になる。
【0041】
尚、上述した本実施の形態では、2方向の分極処理は、時間的に別々に行った場合について述べたが、これに限らず例えば、同時に行っても同様の効果が得られる。
【0042】
以下、さらに具体的な実験例及び比較例を用いて本発明を説明する。
【0043】
なお、以下の具体例では、分極処理方法として加温中に高電圧を印加し分極処理を行う方法を示すが、紫外線を照射しながら室温で高電界を印加する方法、コロナポーリングによる方法、あるいは高真空中で高電圧を印加する方法などいずれの分極方法を用いても本質的に同様の機能を得ることができる。
【0044】
【実施例】
(実施例1)
ここでは、本発明の第1の実施例を図2(a)〜(f)、及び図3を用いて説明する。
【0045】
即ち、図2(a)に示すように、第1の方向(x軸と定義する)の分極処理として以下の操作を行った。ガラス材料としてGeO2 を5〜20%含む光学研磨された厚み0.5mmの薄板状のガラス基材201を用意した。
【0046】
次に、このガラス基材201の光学研磨面にアルミ電極202を蒸着した。このガラス基材201を乾燥窒素置換した電気炉に入れ250℃に保持した。この状態で5kVの電圧を印加し約100分保持し分極処理を行った(図2(a)参照)。
【0047】
次に、このガラス基材201の電極202をケミカルエッチングで完全にとり除いた後、このガラス基材201を回転式ブレードソーを用いて0.6mm巾に切断して、複数個の短冊形状の部材203を得た(図2(b))。
【0048】
さらに、第2の方向(y軸と定義)の分極処理として以下の操作を行った。
【0049】
即ち、短冊形状の部材203の上記切断面を図2(c)のように、x軸及びy軸にほぼ垂直なz軸を中心に右回りに90度±10度の範囲で回転させる。そして、図2(c)に示す様に、y軸がほぼ上向きになるように各短冊形状の部材203を並べて、一枚のガラス板状となるように接着する。
【0050】
さらに、このy面(y軸に垂直な面であり、表と裏の両面)を合計0.1mmだけ光学研磨し、y軸方向の厚みを0.5mmとした。
【0051】
次に、この光学面に図2(a)と同様のアルミ電極202を蒸着し、リード線204をつけた。そして、電気炉に入れて乾燥窒素雰囲気で250℃に保持し、両端に5kVの電圧を印加し30分放置し、y軸方向に分極処理を行った(図2(d)参照)。
【0052】
次に、分極処理が終了した試料を室温にもどした。第1(x軸)と第2(y軸)の分極方向に垂直方向(z軸)に直線偏光を透過させ、光の楕円率を測定した。このとき、入射光の偏光面はx軸から45度の角度とした。透過してきた光が楕円偏光の場合は、さらに前記と同様の分極処理を行い、楕円偏光がほぼ直線偏光になるまで前記の分極操作を繰り返した。分極処理の大きさにも依存するが、x軸およびy軸の垂直度は90度±10度、z軸とx軸またはz軸とy軸との垂直度は90度±10度の範囲でほ自然複屈折のほとんどない試料を得る事ができた。
【0053】
最後に、分極処理の終了した試料を所望の長さに切り出しz軸(光の透過方向)の両面205を光学研磨し、電気光学素子206を得た(図2(f))。また、電極の端からの沿面放電が発生する場合、結晶エッジの部分の電極をとり除いて電気光学素子206を作製した。
【0054】
次に、この様にして得られた電気光学素子206を用いて光変調素子35を作製した実施例を図3を用いて説明する。
【0055】
同図に示すように、光源31としてLEDを用いた。この光をコリメートレンズ32を透過させ、平行光を得た。次に、偏光ビームスプリッタからなる偏光子33、水晶を用いた1/4波長板34、電気光学素子35、検光子36を図3のように配置した。さらに、検光子を透過した光は集光レンズ36で集光し、受光素子(フォトダイオード)で電気信号に変換され、信号処理を行った。電気光学素子35の電極間に1000Vの交流を印加した時、変調度1%の交流波形信号を得た。
【0056】
得られた非線形光学材料に、第1の分極方向及び第2の分極方向に垂直な入射角から±1度入射角を変化させた場合、変調度の変化率(垂直入射の場合の変調度を100と規格化)は±3%以下、また±10度入射角を変化させた時の変調度の変化は±10%以内であった。
【0057】
さらに、光変調素子を乾燥雰囲気とし、温度を−20℃〜+80℃まで温度変化させ変調度の温度変化を測定した結果、変調度の変化(室温での変調度を100と規格化)は±2%以下と良好な結果を示した。さらに、70℃以上の高温でも、Bi4Ge3O12の場合のような光量のDCドリフトは観測されず、安定した変調信号を得る事ができた。
【0058】
ここで、光変調素子として1/4波長板を用いている。これは入射直線偏光を円偏光にし光学バイアスをかけることによりアナログ(強度)変調信号を直線性よく取り出す為に設置したものである。デジタル変調のように、光のON−OFF変調を行う場合、省略する事も可能である。
【0059】
(実施例2)
本発明による第2の実施例を図4を用いて説明する。
【0060】
実施例1に用いた電気光学素子を光変調素子(光の位相変調素子)として用い、干渉計を構成した。ここでは電気光学素子45(この場合電気光学素子45が光の光変調素子として機能する)としてy軸方向に電極を形成した電気光学素子を用いた。入射光としては可干渉性のよいHe−Neレーザ光を用い、干渉計に入射する光の偏光をx軸方向とした。x軸方向に1500Vの電圧を印加する事により電気光学素子45で入射光の位相が変調され、位相変調しない光とハーフミラー41で合成され受光素子48で変調信号を得る事ができた。次にx軸及びy軸方向に電極を形成した電気光学素子を用い、電圧をx軸及びy軸から同時に印加した。この時、偏光子46により入射光の偏光方向を回転させても、変調度の大きな差をなくす事が出来た。さらに偏光子46を取り除いた場合にも受光素子48で変調信号を観測する事ができた。
【0061】
この結果、偏光子のない光変調素子を実現することが出来た。
【0062】
(比較例1)
比較例として、従来知られている1方向(x軸とする)のみに分極処理した非線形光学材料を電気光学素子として用い、上記実施例2と同様にx軸、y軸2方向に電極を形成し、以下のような実験を行った。
【0063】
このとき、偏光子46の透過偏光面を回転させると、受光素子48で観測される変調信号は入射光の偏光面の回転とともに大きく変化した。
【0064】
これは、通常の1方向のみに分極した非線形光学材料からなる電気光学素子を用いた場合、分極処理による自然複屈折のため、偏光面を回転すると透過光の位相が変化し電圧を印加しなくとも受光素子48で観測される光強度が変化するためである。また、y軸方向にはほとんど2次の非線形光学特性を示さないためである。
【0065】
更に、電気光学素子45に入射する偏光面がy軸方向の場合、電圧印加による光の変調信号はほとんど観測されなっかた。
【0066】
更に、偏光子46を取り除いた場合は、所望の大きさの変調度が得られず、変調素子として使用することが出来なかった。
【0067】
(実施例3)
本発明による第3の実施例を図5を用いて説明する。ここでは、基板上に偏光子、電気光学素子、検光子、光ファイバ等をハイブリッドに集積化した光変調素子の実施の形態を示す。
【0068】
基板59の材料としては、ガラス、セラミックス、樹脂など、絶縁性の材料であればいずれの材料でもよいが、とくに絶縁性が高く加工性の優れたガラスエポキシ基板を用いた。
【0069】
先ず、基板59に回転式ブレードソーを用いて光ファイバ固定用溝58を作製する。
【0070】
次に、光ファイバ心線51の一部の被覆を除去し、光ファイバ素線部52が見える状態とし、この光ファイバを基板59の光ファイバ固定用溝58に接着固定した。
【0071】
次に、回転式ブレードソーを用いて、各種光学素子を挿入するための光学素子挿入用溝57を形成した。この溝57に偏光子と1/4波長板(水晶製)を張り合わせた素子53、電気光学素子55、そして検光子56を図5のように接着固定した。尚、素子53は、入射光側に偏光子ががくるように配置されている。また、電圧印加のためのリード線を電気光学素子の電極に直接銀ペーストで接続した。また、基板59の裏側のリード線は、基板に孔を形成し、電気光学素子55に直接リード線を接続した。また、電気光学素子55は実施例1と同様の方法で作製したものであり、また光の透過方向の厚みは1.5mmのものを用いた。
【0072】
この電気光学素子に1000Vの電圧を印加した結果、変調度0.7%の交流変調信号を得た。
【0073】
この光変調素子の温度特性を測定したところ、室温での変調度を100とすると、−20〜80℃の温度範囲で、±3.5%の良好な結果を示した。さらに、70℃以上の高温においても、Bi4Ge3O12結晶を用いた場合問題となるDCドリフトが観測されず安定した温度特性を実現を実現可能であった。なお、この光変調素子は、光の入射方向と出射方向が同一直線上にあり、途中光ファイバの曲がりがなく低損失化が可能なため、特に光通信用光変調素子として有効である。
(実施例4)
次に、本発明による第4の実施例を図6(a)〜図7(b)を用いて説明する。
【0074】
ここでは、基板上に偏光、電気光学素子、検光子、光ファイバ等をハイブリッドに集積化した光変調素子の実施例を示す。
【0075】
図6(a)、(b)に示すように、基板69の上に、回転式ブレードソーを用いて光ファイバ固定用溝を作製する。基板69の材料としては、絶縁性の高く加工性の優れたガラスエポキシ基板を用いた。
【0076】
次に、光ファイバ心線の一部の被覆を除去し、光ファイバ素線部が見える状態とし、この光ファイバ素線部に加熱処理にを行い、底面がフラットなU字型光ファイバ(屈曲光ファイバ)601を作製した。この方法は特開平8―219825に開示されている内容と同様の方法を用いた。
【0077】
この屈曲光ファイバ601を基板69の溝68に接着固定した(図6(b))。
【0078】
次に、回転式ブレードソーを用いて、各種光学素子を挿入するための光学素子挿入用溝67を形成した(図7(a))。この溝67に偏光子と1/4波長板(水晶製)を張り合わせた素子63、電気光学素子65、そして検光子66を図7(b)のように接着固定した。尚、ここでは、図面の記載が複雑になるのを避けるために、電圧印加のためのリード線の図面への記載は省略してある。
【0079】
ここで、電気光学素子65は、実施例1と同様の方法で作製したものであり、また光の透過方向の厚みは1mmのものを用いた。この電気光学素子に1000Vの電圧を印加した結果、変調度0.4%の交流変調信号を得た。この光変調素子は、入射光及び出射光が平行であり、直線状に長くならず、コンパクトに出来ることから、光ファイバ(電界または電圧)センサとして、特に有効利用できる。 この光変調素子の温度特性を測定したところ、室温での変調度を100とすると、±3%の良好な結果を示した。
【0080】
なお、ここでは屈曲ファイバの曲げ部分での光損失を押さえる対策は特に施していないが、光損失を極力小さくしたい場合など、光ファイバ屈曲部に光の反射構造を、金属の蒸着や、金属ペーストの塗布などの方法により形成してもよい。
【0081】
以上のことから、上記本実施の形態〜実施例によれば以下の効果が発揮される。
【0082】
(1)光の伝搬方向に複屈折のないまたは非常に小さな、2次の非線形光学材量を、ガラスに分極処理をするだけで容易に作製する事ができる。
【0083】
(2)この結果、光の伝搬方向の角度許容巾が大きなかつ温度特性の良好な光変調素子や、光変調素子の一種である光ファイバ電圧(電界)センサを作製する事ができる。
【0084】
(3)入射光の偏光依存性の小さなまたはほとんど無い光変調素子(光の位相変調素子)を実現できる。
【0085】
(4)従来、等方的結晶(Bi4Ge3O12)などで問題となるDCドリフトの問題がない光変調素子を実現できる。
【0086】
以上説明したような優れた特徴があり、本発明の工業的価値は高い。
【0087】
【発明の効果】
以上述べたところから明らかなように本発明は、自然複屈折の発生を抑制出来るという長所を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による非線形光学材料と本発明による分極処理による屈折率変化を説明する図
【図2】本発明の第1の実施例による非線形光学材料の作製方法を示す図
【図3】本発明の第1の実施例による光変調素子の構成を示す図
【図4】本発明の第2の実施例よる干渉計を用いた光変調素子の構成を示す図
【図5】本発明の第3の本実施例による光変調素子をファイバ光路途中に作製した構成図
【図6】(a)〜(b):本発明の第4の実施例による光変調素子をファイバ光路途中に作製した作製プロセス及び構成を示す図
【図7】(a)〜(b):本発明の第4の実施例による光変調素子をファイバ光路途中に作製した作製プロセス及び構成を示す図
【符号の説明】
31 光源
32,37 レンズ
33,46 偏光子
34 1/4波長板
35,45,55,65 電気光学素子
36,54,66 検光子
38,48 受光素子
53,63 偏光子と1/4波長板を貼り合わせた素子
43 全反射ミラー
41 ハーフミラー
57,67 光学素子挿入用溝
58,68 光ファイバ固定用溝
59,69 基板
Claims (12)
- 無機ガラス材料を含む基材を分極処理して作製された2次の非線形光学部材であって、
前記分極処理は、相異なる第1の方向と第2の方向から行われたものであり、前記第1及び前記第2の方向に実質上直交する第3の方向に伝搬する光に対して、前記第1の方向又は第2の方向の何れか一方のみから分極処理が行われた場合に比べて自然複屈折の発生が抑制されること、又はその発生が実質上ないことを特徴とする2次の非線形光学部材。 - 前記第1の方向と前記第2の方向が互いに90度±10度の範囲で実質上直交している事を特徴とする請求項1記載の2次の非線形光学部材。
- 前記第3の方向が前記第1の方向および前記第2の方向とそれぞれ互いに90度±10度の範囲で実質上直交している事を特徴とする請求項1記載の2次の非線形光学部材。
- 無機ガラス材料を含む基材に対して、互いに異なる第1の方向及び第2の方向から所定の電界を印加して分極処理を施す2次の非線形光学部材の製造方法であって、
前記分極処理は、前記第1および前記第2の方向に実質上垂直な第3の方向に伝搬する光に対して、前記第1の方向又は第2の方向の何れか一方のみから分極処理が行われた場合に比べて自然複屈折の発生を抑制又はその発生を実質上なくす様に行う事を特徴とする2次の非線形光学部材の製造方法。 - 前記分極処理は、前記基材を通過した光の偏光状態を観測しながら行う事を特徴とする請求項4記載の2次の非線形光学部材の製造方法。
- 少なくとも2次の非線形光学部材と、前記2次の非線形光学部材に電界を印加するための電極とを含む電気光学素子を備えた光変調素子であって、
前記2次の非線形光学部材が請求項1記載の2次の非線形光学部材である事を特徴とする光変調素子。 - 少なくとも偏光子と、検光子と、電気光学素子とを備えた光変調素子であって、
前記電気光学素子が請求項1記載の2次の非線形光学部材を含むものである事を特徴とする光変調素子。 - 少なくともミラーと、電気光学素子とを備えた光変調素子であって、
前記電気光学素子が請求項1記載の2次の非線形光学部材を含むものである事を特徴とする光変調素子。 - 前記電気光学素子は、光透過方向に対して実質上直交する相異なる2方向から同時に変調電圧が印加されるものである事を特徴とする請求項8記載の光変調素子。
- 光ファイバと、
前記光ファイバを固定するための光ファイバ固定用溝を有する基板と、
前記光ファイバの所定の箇所に設けられた光学素子挿入用溝に取り付けられた偏光子と、
前記光学素子挿入用溝に取り付けられた検光子と、
前記光学素子挿入用溝に取り付けられた電気光学素子とを備えた光変調素子であって、
前記電気光学素子が請求項1記載の2次の非線形光学部材からなる事を特徴とする光変調素子。 - 前記光ファイバが所定の形状に曲げられている事を特徴とする請求項10記載の光変調素子。
- 前記所定の形状が底面がフラット形状のU字型光ファイバである事を特徴とする請求項11記載の光変調素子。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP07254298A JP4097763B2 (ja) | 1997-03-27 | 1998-03-20 | 2次の非線形光学部材、及びその製造方法、並びに光変調素子 |
US09/047,956 US6215576B1 (en) | 1997-03-27 | 1998-03-26 | Method for making a second-order nonlinear optical material, the material obtained by the method, and an optical modulation device comprising the material |
KR1019980010738A KR100293295B1 (ko) | 1997-03-27 | 1998-03-27 | 2차비선형광학재료를제조하는방법,이방법에의해얻어진재료및이재료를포함하는광변조장치 |
EP98302337A EP0881528B1 (en) | 1997-03-27 | 1998-03-27 | Method for making a second-order nonlinear optical material, the material obtained by the method, and an optical modulation device comprising the material |
DE69830099T DE69830099T2 (de) | 1997-03-27 | 1998-03-27 | Verfahren zur Herstellung eines nichtlinearen optischen Materials zweiter Ordnung, nach diesem Verfahren erhaltenes Material und optische Modulations-Vorrichtung unter Verwendung dieses Materials |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9-75408 | 1997-03-27 | ||
JP7540897 | 1997-03-27 | ||
JP07254298A JP4097763B2 (ja) | 1997-03-27 | 1998-03-20 | 2次の非線形光学部材、及びその製造方法、並びに光変調素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10325969A JPH10325969A (ja) | 1998-12-08 |
JP4097763B2 true JP4097763B2 (ja) | 2008-06-11 |
Family
ID=26413678
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP07254298A Expired - Fee Related JP4097763B2 (ja) | 1997-03-27 | 1998-03-20 | 2次の非線形光学部材、及びその製造方法、並びに光変調素子 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6215576B1 (ja) |
EP (1) | EP0881528B1 (ja) |
JP (1) | JP4097763B2 (ja) |
KR (1) | KR100293295B1 (ja) |
DE (1) | DE69830099T2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000258810A (ja) | 1999-03-08 | 2000-09-22 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 二次光非線形性ガラス材料及びその製造方法 |
GB9917138D0 (en) * | 1999-07-21 | 1999-09-22 | Univ Southampton | Optical fibres and waveguides |
US6496623B2 (en) * | 2000-03-22 | 2002-12-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical device, optical communication component and optical transmission apparatus |
US6768856B2 (en) * | 2001-02-09 | 2004-07-27 | Corning Incorporated | High germanium content waveguide materials |
US6753993B1 (en) * | 2003-05-30 | 2004-06-22 | Lucent Technologies Inc. | Passive optical wavelength converter |
EP2634625A1 (en) | 2007-04-18 | 2013-09-04 | Nikon Corporation | Wavelength conversion element, wavelength conversion method, phase matching method, and light source device |
CN101092290B (zh) * | 2007-04-30 | 2011-03-16 | 武汉理工大学 | 一种提高玻璃二阶非线性系数的方法 |
JP4925967B2 (ja) * | 2007-08-13 | 2012-05-09 | 日本電信電話株式会社 | 電気光学素子及び電気光学素子の製造方法 |
JP4729541B2 (ja) * | 2007-08-20 | 2011-07-20 | 日本電信電話株式会社 | 電気光学素子およびその製造方法 |
JP4871810B2 (ja) * | 2007-08-20 | 2012-02-08 | 日本電信電話株式会社 | 電気光学素子の製造方法 |
CN110129747B (zh) * | 2019-02-22 | 2021-01-15 | 南京大学 | 一种用于团簇束流源的电转向器 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2521537B2 (ja) * | 1989-07-12 | 1996-08-07 | 松下電器産業株式会社 | 電圧センサの組立方法 |
AUPM956694A0 (en) * | 1994-11-18 | 1994-12-15 | University Of Sydney, The | Inducing or enhancing electro-optic properties in optically transmissive material |
US5617499A (en) * | 1995-09-08 | 1997-04-01 | University Of New Mexico | Technique for fabrication of a poled electrooptic fiber segment |
JPH09230293A (ja) * | 1996-02-21 | 1997-09-05 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ型変調装置 |
-
1998
- 1998-03-20 JP JP07254298A patent/JP4097763B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1998-03-26 US US09/047,956 patent/US6215576B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-03-27 DE DE69830099T patent/DE69830099T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-03-27 KR KR1019980010738A patent/KR100293295B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1998-03-27 EP EP98302337A patent/EP0881528B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR19980080785A (ko) | 1998-11-25 |
EP0881528B1 (en) | 2005-05-11 |
US6215576B1 (en) | 2001-04-10 |
JPH10325969A (ja) | 1998-12-08 |
EP0881528A3 (en) | 2000-04-26 |
EP0881528A2 (en) | 1998-12-02 |
DE69830099T2 (de) | 2006-04-27 |
KR100293295B1 (ko) | 2001-07-12 |
DE69830099D1 (de) | 2005-06-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4097763B2 (ja) | 2次の非線形光学部材、及びその製造方法、並びに光変調素子 | |
Ohmachi et al. | Electro‐optic light modulator with branched ridge waveguide | |
Pan et al. | Waveguide fabrication and high-speed in-line intensity modulation in 4-N, N-4′-dimethylamino-4′-N′-methyl-stilbazolium tosylate | |
JP4097764B2 (ja) | 光変調素子およびその製造方法 | |
Gee et al. | Minimizing dc drift in LiNbO3 waveguide devices | |
US7643205B2 (en) | Harmonics generating devices | |
Chen et al. | Integrated electro-optic modulator in z-cut lithium niobate thin film with vertical structure | |
US6859467B2 (en) | Electro-optic modulator material | |
JP3025982B2 (ja) | 導波路型光方向性結合器 | |
JP3156444B2 (ja) | 短波長レーザ光源およびその製造方法 | |
JP3573180B2 (ja) | マッハ・ツェンダ干渉計アームのポーリング方法 | |
JPH1183894A (ja) | 光学式加速度計 | |
CN105074545B (zh) | 光波导元件以及光波导元件的制造方法 | |
JP2002531873A (ja) | 電歪ファイバ変調器 | |
Liu et al. | Silicon rich nitride-lithium niobate on insulator platform for photonics integrated circuits | |
JP2800792B2 (ja) | 導波路型偏波スクランブラ | |
JP3235301B2 (ja) | 光電圧センサー | |
JPH11288011A (ja) | 波長可変擬似位相整合素子 | |
JP2002236226A (ja) | フォトニック結晶作製方法およびフォトニック結晶を用いた光デバイス | |
JP3418391B2 (ja) | 導波型光デバイスの製造方法 | |
JPS6038689B2 (ja) | 導波形電気光学光変調器の製造方法 | |
Lotspeich | Single-crystal electrooptic thin-film waveguide modulators for infrared laser systems | |
JP2792306B2 (ja) | 偏光分離素子 | |
JP3036610B2 (ja) | 偏波方向切り替え器 | |
CN114815328A (zh) | 一种基于铌酸锂晶体电光效应的光强调制的方法及光开关 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050315 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070411 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070508 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070704 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080219 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080312 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110321 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110321 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120321 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130321 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130321 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140321 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |