JP4925967B2 - 電気光学素子及び電気光学素子の製造方法 - Google Patents
電気光学素子及び電気光学素子の製造方法 Download PDFInfo
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Description
2…センサチップ
3,4…電極
31,41…接続部
5…絶縁基板台
6…接着剤
100…電界検出光学装置
110…レーザダイオード
111…レンズ
112,114…偏光ビームスプリッタ
113…波長板
115,116…フォトダイオード
120…信号電極
121…グランド電極
50…電気光学素子
51…リッジ
52…台座
Claims (4)
- 電極間に電圧を印加してセンサチップ内に電界を生じさせるとともに、前記センサチップ内にレーザ光を通過させ、前記センサチップから出射したレーザ光の偏光を調べることにより前記電界の変化を検出する電界光学素子であって、
絶縁基板と、
前記絶縁基板上に溝を形成するように離間させて配置した電気的に一対の電極と、
前記電極に挟まれるように前記溝に収容された電気光学結晶を材料とするセンサチップと、を有し、
前記レーザ光は前記センサチップの端面から前記溝に沿った方向に入射されて前記センサチップ内を通過させ、前記電界は前記電極により前記レーザ光に対して垂直に印加されることを特徴とする電気光学素子。 - 電極間に電圧を印加してセンサチップ内に電界を生じさせるとともに、前記センサチップ内にレーザ光を通過させ、前記センサチップから出射したレーザ光の偏光を調べることにより前記電界の変化を検出する電界光学素子の製造方法であって、
絶縁基板と電極板とを貼り合わせて貼合基板を作製する工程と、
前記電極板に、複数の溝を形成する工程と、
前記溝を1つ含むように前記貼合基板を分離する工程と、
前記溝に電気光学結晶を材料とするセンサチップを組み込む工程と、
を有することを特徴とする電気光学素子の製造方法。 - 電気光学結晶基板の一方の面を着色する工程と、
前記電気光学結晶基板を分離して前記センサチップを作製する工程と、
を有することを特徴とする請求項2記載の電気光学素子の製造方法。 - 前記電気光学結晶基板を分離する工程は、作製される前記センサチップが前記電極板に形成した溝内に収まる大きさで分離することを特徴とする請求項3記載の電気光学素子の製造方法。
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