JP4096480B2 - イリジウム含有薄膜の化学気相成長法による製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、イリジウム含有薄膜の化学気相成長法による製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
PZTの強誘電体薄膜は不揮発性メモリーとして使われているが、この電極としてIrやIrO2を使うと、疲労特性が大きく改善される。メモリー高集積化のためにPZT膜をCVD法で成膜するようになると、このIrやIrO2電極もCVD法で成膜することが必要である。
そのIr含有薄膜のCVD法による成膜としては、J.B.Hoke,E.W.Stern and H.H.Murray,J.Mater.Chem.Vol.1,552(1991)は、シクロペンタジエニル(1,5−シクロオクタジエン)イリジウムIr(C5H5)(1,5−C8H12)[以下IrCp(cod)と表示する]やメチルシクロペンタジエニル(1,5−シクロオクタジエン)イリジウムIr(C5H4CH3)(1,5−C8H12)[以下Ir(MeCp)(cod)と表示する]を原料として使い、酸素分圧1.3Torr、270℃で純なIr膜を得ている。しかしその膜の粗さや比抵抗値は記されていなかった。
【0003】
本発明者は、室温で液体の新化合物であるエチルシクロペンタジエニル(1,5−シクロオクタジエン)イリジウムIr(C5H4C2H5)(1,5−C8H12)[以下Ir(EtCp)(cod)と表示する]を用いて酸素雰囲気中でCVDを行い、Ir膜が得られたことを第46回応用物理学関連連合講演会講演予稿集p568(1999.3)で発表しているが、膜は均一性に欠け、表面モフォロジーが悪く、比抵抗値は大きく、実用に耐えるものではなかった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、平滑性が高く光沢のあるIr含有薄膜を有機Ir化合物のCVD法で製造する方法を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、加熱された基板を水素雰囲気に暴露させた後、有機Ir化合物と酸素を該基板上に導入し熱分解堆積を起こさせると、平滑な光沢のあるIr含有薄膜が得られることを見い出した。水素雰囲気に暴露させる工程では、有機Ir化合物を共存させてもよいし、させなくてもよい。有機イリジウム化合物は、Ir(EtCp)(cod)である。Ir(EtCp)(cod)は室温で液体(融点14℃)で、供給や取り扱いが容易である利点がある。基板はSiO 2 被覆基板である。
【0006】
【発明の実施の形態】
Ir(EtCp)(cod)原料の供給方法としては、通常のバブリングの他に、有機溶媒に溶解し、溶液フラッシュする方法が使える。
【0007】
次に実際にIr系薄膜のCVD装置の概略を図1に示す。
1,2はマスフローコントローラー(MFC)、3は有機Ir原料、4は石英管、5は基板、6は加熱用の赤外線ランプ、7は減圧用ロータリー真空ポンプ(RP)である。斜線の配管部は加熱保温した。
【0008】
【図1】
【0009】
Ir系薄膜の成長条件は以下のとおりである。
成長温度(基板温度) 250〜400℃
Ir原料温度100℃でキャリヤーガス(Ar)流量 100〜200sccmO2ガス流量 40〜400sccm
反応圧力 1〜8Torr
基板 SiO2/Si(100)
温度が300℃と低く、O2ガス流量が少ない場合は、Ir金属膜が得られる。一方、温度が400℃と高く、O2ガス流量が多い場合は、粗いIrO2もしくは(IrO2+Ir)膜が得られる。
上記条件で作成した膜は、粗く表面モフォロジーが悪いので実用には耐えない。
【0010】
そこで基板を室温〜400℃で水素雰囲気に暴露した後、上記のIr膜を成膜すると平坦な光沢のある鏡面となる。
水素暴露の時間は5分から1時間である。暴露の後に、温度を室温に下げ大気中に曝してから成膜してもよい。
水素暴露の際にIr原料の蒸気を共存させても良い。この時Irの膜や島状の結晶核が基板に形成されているかをSEMやAFMで調べたが、そのようなものは観測されなかった。
SiO2/Siの基板を水素暴露した後、Ir膜の成膜をすると、その膜がなぜ平坦になるかは現在のところ明らかでない。
【0011】
【実施例1】
平坦なIr膜の成膜
SiO2/Si(100)の基板を400℃に保ち、圧力1Torrで、H2流量20sccmに15分暴露した。次いで基板温度400℃で、Ir(EtCp)(cod)温度100℃、キャリヤーガス(Ar)流量100sccm、O2ガス流量200sccmとし、反応圧力1Torrで15分成膜した。この条件でできた膜は目視では光沢があった。
その表面のSEM像写真を図2に示す。
図から明らかなように、細かい結晶が面状に成長していることがわかる。その表面をAFMで調べた結果、自乗平均面粗さは1.3nmであった。
【0012】
【図2】
【0013】
【比較例1】
Ir膜の成膜
実施例1において水素暴露をしなかった他は、実施例1と同じ条件でIr膜を作った。
その表面のSEM像写真を図3に示す。
図3から粗い島状の結晶となっていることがわかる。
【0014】
【図3】
【0015】
【比較例2】
Ir膜の成膜
SiO2/Si(100)基板を温度300℃に保ち、反応圧力8Torr、Ir(EtCp)(cod)温度100℃、キャリヤーガス(Ar)流量200sccm、O2ガス流量40sccmで、膜厚100nmに成膜した。
その膜をXRDで分析した結果、図4に示すとおり、Ir金属膜であった。
【0016】
【図4】
【0017】
その膜の断面のSEM像写真を図5に示す。
【図5】
【0018】
また表面のSEM像写真を図6に示す。
【図6】
【0019】
この膜の自乗平均面粗さは4.9nmと粗かった。そのため抵抗率は230μΩ.cmであり、スパッタ膜の17μΩ.cmに比べ1オーダー大きかった。
【0020】
【発明の効果】
CVD法で平坦なIr膜を成膜できるので、強誘電体薄膜用電極として工業的に極めて有用である。
【図面の簡単な説明】
【図1】CVD装置の概略図である。
【図2】本発明による平坦なIr膜の表面のSEM像写真である。
【図3】比較例1の粗いIr膜の表面のSEM像写真である。
【図4】比較例2の膜のXRDによる測定結果を示す図である。
【図5】比較例2の膜の断面のSEM像写真である。
【図6】比較例2の膜の表面のSEM像写真である。
【符号の説明】
1、2、 マスフローコントローラー
3、 有機Ir原料
4、 石英管
5、 基板
6、 加熱用の赤外線ランプ
7、 減圧用ロータリー真空ポンプ
Claims (1)
- イリジウム含有薄膜を有機イリジウム化合物の化学気相成長法により製造する方法において、室温〜400℃に加熱されたSiO2被覆基板を水素の雰囲気に5分から1時間暴露させた後、有機イリジウム化合物としてエチルシクロペンタジエニル(1,5−シクロオクタジエン)イリジウムと酸素を該SiO2被覆基板上に導入し、熱分解堆積を行うことを特徴とするイリジウム含有薄膜の化学気相成長法による製造方法。
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