JP4094530B2 - 電気的信号を用いてpcr産物を検出する方法 - Google Patents

電気的信号を用いてpcr産物を検出する方法 Download PDF

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Description

本発明は、電気的信号を利用してポリメラーゼ連鎖反応(PCR)産物を検出する方法に関する。
代表的なバイオセンサとしては、酵素センサ及び免疫系の免疫反応を利用した免疫センサがある。しかしながら、ヒトのゲノムプロジェクトが完了したことによって膨大な量のDNA情報が得られ、ヒトの遺伝病を早期に発見し、治療できる可能性とそれによる期待とが大きくなっているため、バイオセンサの分野にさらに他のセンサとしてDNAチップが急激に確立されている。現在、バイオセンサ開発の趨勢は、低価格性、迅速性、正確性、操作の簡便性そして小型化(携帯性)にあり、この点において、DNA情報を用いてヒトの疾病を早期発見するためのDNAセンサもまた、世界的な市場での競争力を強化するために、上記要求を満たすように開発が行なわれている。
基本的な遺伝アッセイの一つとしてPCR DNAアッセイがあり、これは、1980年代後半に発明されて以来、臨床、生物、及び遺伝子の実験室で広く使用されている。
既存のPCRは、PCR反応の終末点でゲル泳動によって増幅されたDNAの定性的な結果を示すが、DNAの定量的な検出は不正確であるなどの多くの問題点を有している。このような問題を解決するために、光学的検出システムを利用して、増幅されたDNAの濃度に比例する、蛍光の強さを検出することによって増幅されたDNAの定量分析を可能にさせるリアルタイムPCRが開発された。
DNAの定量分析は、疾病の治療とDNA発現の研究に必須である。例えば、B型肝炎ウイルス(HBV)に感染した患者の成功的な薬物治療を確率するために、定期的に血漿のHBVの濃度をリアルタイムPCR(RT−PCR)を利用して検出することによって、投与される薬物に対するウイルスの耐性を検査しなければならない。
従来のリアルタイムPCRは、レーザ源、微細鏡(micromirror)及び顕微鏡以外にフィルタのような色々な光学装置が必要であると同時に、高価の蛍光染料が使用されていた。また、DNA定量分析のための多くのPCRチップが開発されたが、従来のリアルタイムPCRチップは蛍光検出の原理による方法であるので、小型化(チップ化)及び経済性において多くの短所を有している。
この問題を克服するために、毛細管電気泳動(CE:Capillary Electrophoresis)を利用して電気的にDNAを検出しようとする努力がなされた(例えば、非特許文献1,非特許文献2,非特許文献3参照)。この方法は定性分析が可能であるが、定量分析をするには多くの問題がある。上記問題に加えて、PCRが終わった後にPCR産物をマイクロチャンネルを利用してCE検出システムまで移さなければならない面倒さ及び高い電圧が必要である。ゆえに、経済効率及び機器の小型化が十分でないという問題がある。
PCR過程中でDNAの濃度が濃くなるにつれてインピーダンスが小さくなり、伝導性は増加するという概念に基づいて、特許出願がなされた(例えば、特許文献1参照)。しかしながら、上記特許文献1に示されるPCR過程中でDNAの濃度が濃くなるにつれてインピーダンスが小さくなるという主張は、本発明者らが確認した結果とは相異なる点がある。したがって、この特許文献1は、PCR反応のメカニズムを理解していない可能性がある。
PCR過程中、dNTPは、dNMPとジホスフェートとに分解されると同時に、dNMPは、鋳型DNAに相補的なプライマーを用いて重合されてDNAが合成される。この時、特許文献1では、副産物であるジホスフェートの電気的移動性だけを考慮しているがが、DNAの合成時に電荷を有しているdNMP、プライマー及び鋳型によって減少される電気的移動性までを考慮すると、DNAの濃度が濃くなるにつれてPCRのインピーダンスは電気的移動性の減少により高まる。また、前記特許文献1はリアルタイムPCRチップでない終末点検出(end-point detection)用のPCRチップに関するものであり、この点で、リアルタイムPCRチップとは異なる。また、前記特許文献1は、増幅されたPCR産物を検出するためにイオンで標識されたプローブを使用しなければならないという問題点があった。
米国特許出願公開第2002/0072054号明細書 Christa L. Colyer et al, Journal of Chromatography A, Volume 781, Issues 1-2, 26 September 1997, pp. 271-276 F. Laugere et al, Sensors and Actuators B: Chemical, Volume 83, Issues 1-3, 15 March 2002, pp. 104-108 Pumera et al., Anal. Chem., 2002, 74(9), pp.1968-1971
本発明の目的は、前のような従来技術の問題点を解決するためのものであって、PCR溶液中の電気的信号の変化を測定することによってPCR増幅産物をリアルタイムで検出できる方法を提供することである。
本発明の目的は、(a)PCRの反応に必要な成分からなる溶液を含む容器内に一対以上の電極を提供する段階;(b)イオンで標識されたプライマーを使用せずにPCRを行う段階と;(c)前記電極間に交流電場を発生させる段階と;(d)前記溶液のインピーダンスサイズの増加度を測定する段階と、(e)前記(d)段階の測定時に生じる誤差値を修正する段階と、を含むPCR産物を検出する方法によって達成される。
本発明は、(a)PCRの反応に必要な成分からなる溶液を含む容器内に一対以上の電極を提供する段階;(b)イオンで標識されたプライマーを使用せずにPCRを行う段階;(c)前記電極間に交流電場を発生させる段階と;(d)前記溶液のインピーダンスサイズの増加度を測定する段階と、(e)前記(d)段階の測定時に生じる誤差値を修正する段階と、を含むPCR産物を検出する方法に関するものである。本発明の方法によれば、PCR産物をPCR工程中にリアルタイムで測定できる。
また、本発明の方法によれば、電気的信号を検出することによって検出システムを小型化することができる。
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明は、(a)PCRの反応に必要な成分からなる溶液を含む容器内に一対以上の電極を提供する段階;(b)イオンで標識されたプライマーを使用せずにPCRを行う段階;(c)前記電極間に交流電場を発生させる段階と;(d)前記溶液のインピーダンスサイズの増加度を測定する段階と、(e)前記(d)段階の測定時に生じる誤差値を修正する段階と、を含むPCR産物を検出する方法を提供するものである。
本発明による(a)段階において、前記PCR溶液を含む容器は、特に制限されず、通常、PCRに使用される容器が使用される。例えば、通常のバルクPCRチューブ等のPCRチューブまたは重合マイクロチャンバー(polymerization microchamber)等のチャンバーが含まれるが、これに限定されるものではない。
本発明において、電極は、PCR溶液を含む容器中に少なくとも1対設けられるが、この際、電極の配置は特に制限されないが、例えば、PCR溶液を含む容器中に相互に対向するように配置される。バルクPCRチューブの場合には、電極は、チューブの底から一定の高さに相互に対向するように設置できる。重合マイクロチャンバーの場合には、マイクロチャンバーの上下または左右の側面に、例えば、相互に対向するように、設置できる。この時、電極は、当該分野において既知の色々な方法、例えば、フォトリソグラフィ法を使用することによって形成されうる。また、前記電極は、当該分野において既知の様々な金属電極、例えば、Cu電極、Cr−Au電極またはシリコン上にAsをドーピングして作った電極などを使用できる。
上記段階(a)において、PCR溶液を含む容器内に電極を提供する方法としては、特に制限されず公知の電極の形成方法が同様にして使用できるが、例えば、PCRチューブの場合には、PCRチューブに孔を開け、この孔を介してPCR溶液の適当な部分(例えば、中間部分)に電極がくるように電極をを挿入する方法がある。次に、適当な電線を孔に挿し込んで電極と連結する。この際、電極としてがは、特に制限されず、公知の電極が使用でき、例えば、銀がコーティングされており、テフロン(登録商標)被覆等の絶縁材で覆われたCu電線などがある。また、電極は、高温エポキシ等の接着剤を用いて、電極間の距離が一定になるようにチューブの壁に固定することが好ましい。これにより、PCR溶液が存在するチューブの下部の直径を一定に維持しつつ、チューブ内の壁面に小さな電極を設置できるので、電極の表面積を小さくすることができる。また、このように電極の表面積を狭くすることによって、電極表面で発生する酵素またはPCR成分の吸着量を減らし、それによる検出の感度及び産物収率を向上することが可能である。
また、重合マイクロチャンバーの場合にも、PCR溶液を含む容器内に電極を提供する方法としては、特に制限されず公知の電極の形成方法が同様にして使用できるが、例えば、以下のような方法がある。まず、AsがドーピングされたN型シリコンウェーハ等の適当なウェーハを熱酸化させて、適当な厚みの酸化膜層(例えば、SiO層)を、ウェーハの上下面に形成する。次に、ウェーハの上面に形成された酸化膜層に、フォトレジストを塗布し、フォトリソグラフィ法を利用して上部及び下部電極をパターニングした後、酸化膜層を適当なエッチング液でエッチングして、前記パターン形成された部分の酸化膜層を除去する。電子ビームまたはスパッタリング等の公知の蒸着方法を用いて、酸化膜層がエッチングされたウェーハの上面に、Cr及びAu等の適当な金属薄膜を蒸着させ、下面には、Al等の適当な金属薄膜を同様にして蒸着させる。さらに、リフトオフ方式等の公知の方法用いて、上部電極として、Au等の電極を形成する。下面の金属薄膜にフォトレジストを塗布し、この薄膜上にフォトレジストパターンを形成し、エッチングする。続いて、酸化膜層及びシリコンウェーハをICP−RIEなどの公知の方法を利用してドライエッチングする。エッチング後に残りのフォトレジストをアセトン等の適当な溶剤で溶かし、残りの下面の金属薄膜をエッチングして、下部電極を形成する。このようにして得られた上部及び下部電極が形成されたシリコンウェーハは、ガラスウェーハに正極接合法(anodic bonding process)等の公知の方法により接合し、これに、サンドブラスト工法等の公知の方法によってPCRチップの反応チャンバー用孔を形成する。この接合されたウェーハをダイシングして、最終チップとする。前記正極接合法は、シリコンウェーハとガラスウェーハとを接合させるための方法であって、高い電場及び熱を加えて、ガラスウェーハ内に存在する正電荷を帯びたイオン(例えば、Naイオン)をシリコンウェーハの境界面から反対側に移動させて、シリコンウェーハとガラスウェーハとの間に水素結合を形成させて2つのウェーハを接合させる方法である。このようにして製造された電極は、公知の電極が従来平面的に一定領域に形成されるのとは異なり、電極を3次元的に相対するように、電極(上部、下部)が形成され、PCRによって増幅されるDNAすべてがこのチャンバで検出できる。
または、上記方法において、上部及び下部電極を形成したシリコンウェーハを、シリコン直接接合法を用いて、直接結合して、2層構造のPCRチップを製造してもよい。この方法によると、ガラスウェーハを使用しないので、生産コスト及びチャンバーの体積を容易に調節できる。また、この方法を利用する場合には、金属電極を利用せず、AsドーピングされたN型シリコンウェーハ等のシリコンウェーハの上面及び下面上のSiO層等の酸化膜層を狭い面積でエッチングした後、エッチングされたSiO層を電極として使用することができる。これによって、金属表面に生体分子(biomolecule)の吸着を防止できて、PCR産物収率と検出感度とを向上できる。
本発明による(b)段階において、PCRは、公知の方法と同様にして行なわれ、その反応条件や試薬などは適宜選択される。なお、PCRを行うにおいて、PCR反応に必要な反応物や溶液以外には、電気的信号を発生させ、溶液の誘電特性の変化を測定するため、特異的に標識されたプローブやプライマーを使用する必要は必ずしもない。したがって、本発明ではイオンで標識されたプライマーなどを使用する必要がない。ただし、本発明は、電気的信号を発生させるために特異的に標識されたプローブやプライマーを使用せずにもPCR産物を検出できるが、これに限定されるものではなく、このようなプローブやプライマーを使用してもよい。
本発明による(c)段階において、電場は、公知の方法によって生じ、例えば、前記一対の電極に連結された公知の交流(AC)または直流(DC)供給器を通じて発生され、好ましくは交流を用いて発生する。前記電場を発生するのに使われる交流の周波数は、望ましくは1Hzないし100MHzである。また、電場を発生させる段階において、平均交流電圧[平均AC電圧(Vrms)]は、望ましくは1mVないし10Vである。
本発明による(d)段階において、PCR溶液の誘電特性の変化を測定するが、この際誘電特性としては、特に制限されず、上記PCR溶液の変化する特性であれば特に制限されないが、例えば、電場を通じて派生される、インピーダンス、誘電損失、誘電率またはアドミタンス等の電気的係数があるが、これに限定されるものではない。このような電気的係数は、特に制限されず、測定される誘電特性の種類によって公知の方法から適宜選択されて測定でき、前記電極に連結された前記誘電特性の測定手段を通じて測定できる。例えば、前記電極に作動可能に連結されたインピーダンスセンサを使用できる。
以下、本発明を、図面を参照した実施例を通じてさらに具体的に説明する。しかしながら、本発明がこれら実施例に限定されるものではない。
実施例1:電極を備えたPCRチューブの製作
公知のPCRチューブに孔を開け、この孔を介してPCR溶液の中間部分に電極を挿し込んだ。次いで、この電極をPCR機器と連結した後、PCRを行いつつ、各PCRサイクル直後に電気的信号を検出した。本実施例では、増幅したDNAをインピーダンスを測定した。
具体的には、0.2mlのPCRチューブの底部から5mm地点に、チューブの両壁面(相対する面)に直径0.3mmの孔をあけた。次に、0.32mm直径の電線を孔に挿し込んで電極として使用した。この際、電極として、銀がコーティングされており、テフロン(登録商標)被覆で覆われたCu電線を使用した。電極は、チューブの壁に高温エポキシを利用して電極間の距離が1.5mmに保持されるように固定した。これによって、図1に示されるように、PCR溶液が存在するチューブの下部の直径は約1.5mmに維持され、そのチューブ内の壁面に小さな電極を設置したので、電極の表面積を狭くできた。このように電極の表面積を狭くすることによって、電極表面で発生する酵素またはPCR成分の吸着を減らし、それによる検出の感度及び産物収率を向上させうる。
実施例2:チャンバーの上部及び下部に電極を備えた3層構造のPCRチップの製作
図6ないし7に示したような過程を経て、チャンバーの上部及び下部に電極が具現されたPCRチップを製作した。
まず、AsがドーピングされたN型シリコンウェーハ1を熱酸化させて、約5,000Å以上の厚みを有するSiO層3を、ウェーハ1の上下面に形成した(A段階)。次に、ウェーハ1の上面に形成された前記SiO層(酸化膜層)3に、フォトレジスト(AZ 5214)5を塗布した(B段階)。前記フォトレジスト5についてフォトリソグラフィ法を利用して上部及び下部電極をパターニングした後、前記パターンされた部分のSiO層を除去するために、エッチング液(HF)にウェーハ1を入れてSiOをエッチングした。SiOがエッチングされたウェーハ1に電子ビームまたはスパッタリングを利用してCr及びAu薄膜7をウェーハ1の上面に蒸着させ、下面にはAl薄膜9を同様にして蒸着させた(C段階)。その次に、リフトオフ方式を利用して上部電極にAu電極を形成した(D段階)。Al薄膜9にフォトレジストを塗布し、Al薄膜9上にフォトレジストパターンを形成した(E段階)後、Al薄膜9をエッチングし、さらに、SiO層3及びシリコンウェーハ1をICP−RIEを利用してドライエッチングした(F、G、H及びI段階)。エッチング後に残りのフォトレジストをアセトンを利用して溶かし、残りのAl薄膜をエッチングした(J、K段階)。
得られた上部及び下部電極が形成されたシリコンウェーハ1をガラスウェーハ11を正極接合法(anodic bonding process)を利用して接合し、これに、サンドブラスト工法によってPCRチップの反応チャンバー用孔を設置形成した。この接合されたウェーハをダイシングして、最終チップを製造した。前記正極接合法は、シリコンウェーハとガラスウェーハとを接合させるための方法であって、高い電場及び熱を加えて、ガラスウェーハ内に存在する正電荷を帯びたイオン(例えば、Naイオン)をシリコンウェーハの境界面から反対側に移動させて、シリコンウェーハとガラスウェーハとの間に水素結合を形成させて2つのウェーハを接合させる方法である。
本実施例の製造工程は、公知の電極が従来平面的に一定領域に形成されるのと異なり、電極を3次元的に相対するように、電極(上部、下部)を形成するものであって、PCRによって増幅されるDNAすべてがチャンバで検出できる。
本実施例によって製作されたPCRチップを、図2ないし5に示した。図2は、前記PCRチップの斜視図である。図3は、前記PCRチップの平面図であって、入口13と出口15とが示されている。図4は、前記PCRチップの平面断面図であって、重合マイクロチャンバー17と下部電極19とが示されている。図5は、前記PCRチップの側面断面図であって、入口13、出口15、上部電極21、下部電極19、重合マイクロチャンバー17及びガラスウェーハ11が示されている。
実施例3:シリコン直接結合を通した2層構造のPCRチップの製作
前記実施例2において、上部及び下部電極を形成したシリコンウェーハを、シリコン直接接合法を用いて、直接結合した以外は、実施例2と同様にして、2層構造のPCRチップを製造した。
本実施例では、ガラスウェーハを使用しなかったので、生産コスト及びチャンバーの体積を容易に調節(減少)できる。この方法を利用する場合には、金属電極を利用せず、AsドーピングされたN型シリコンウェーハの上面及び下面上のSiO層を狭い面積でエッチングした後、エッチングされたSiO層を電極として使用する。これによって、金属表面に生体分子(biomolecule)の吸着を防止できて、PCR産物収率と検出感度とを向上させうる。
実施例4:PCR反応産物のリアルタイム検出
本実施例では、実施例1と同様にして製造された電極を備えたPCRチューブ及び前記電極に作動的に連結されたインピーダンス測定装置(インピーダンスセンサ)を含むPCR機器を利用して、PCR産物をリアルタイムで検出した。
PCR反応は、プラスミドDNA(323bp)を鋳型とし、およびTaq DNA ポリメラーゼを利用してPCRを行った。総35サイクルのPCRのうち、1、5、10、15、20、25、30、及び35サイクル目で、それぞれ、1分間の延長反応が終わった後にインピーダンス(抵抗)値を測定した。この時、測定温度は、延長反応時の温度と同じであり、電圧は100mVの交流電圧を印加して、500〜5,000Hzの周波数範囲で測定する。比較群として、DNA鋳型なしで同じようにPCRを行った後、インピーダンスを測定した。
その結果を図8ないし11に示した。図8は、比較用PCRのサイクルの増加による周波数に対するインピーダンス実数の変化を示すグラフである。図8に示したように、PCRサイクル数の増加によって、インピーダンス実数は増加する。また、周波数が増加するほど、1サイクル目から35サイクル目までのインピーダンス実数の差が小さくなることが分かる。
図9は、比較用PCRのサイクルの周波数に対するインピーダンスサイズの変化を示す図面である。図9に示したように、インピーダンス虚数部(impedance imaginary part)の変化は、図8に示されるのと同様、インピーダンス実数、虚数部の変化、タンジェントデルタの値と比較すると、PCRサイクル数の増加に伴って顕著に減少する。約1,000Hz領域では、PCRサイクル数の増加に対するインピーダンスサイズの変化は、ほとんどないことが分かる。周波数が1077Hzである時の1サイクル目及び35サイクル目でのインピーダンスサイズの差が約45Ωである。DNAの増幅があまりないあるいはあるにも拘わらずインピーダンス値の変化が発生するのは、dNTP、プライマー及び酵素が電極に吸着される現象とこの検出システムが含んでいる測定時の干渉とのためであると考えられる。この誤差値はPCRによって増幅されるDNAの検出値で考慮されなければならない。
図10は、本発明によるPCRサイクルの周波数に対するインピーダンス実数の変化を示すグラフである。図10に示したように、PCRサイクル数の増加に従って、DNA濃度が増加することを示す、インピーダンス実数は顕著な差を示す。この結果は、PCRサイクルの数がnになった時、DNAの数は2倍に増幅するという理論と符合するものである。
図11は、本発明によるPCRサイクルの周波数に対するインピーダンスサイズの変化を示すグラフである。図11に示したように、PCRサイクル数の増加に従って、インピーダンスサイズが顕著に増加することが分かる。1ないし5サイクル目ではインピーダンスサイズの変化が少なく、それ以降インピーダンスサイズの変化が大きくなっていることは、DNAの増幅が指数的に生じるという理論によって説明される。また、30ないし35サイクル目ではインピーダンスサイズ値の変化が少ない理由はPCR成分の枯渇によりプラトーになったためであると考えられる。
以上のように図8ないし11に示した結果から、PCRサイクル数の増加によるDNA産物の濃度を定量的に分析するためには、インピーダンス実数、虚数部、タンジェントデルタのような測定値よりは、インピーダンスサイズが最適であることが判明した。その理由は、図8及び9の結果に示したように、システムの干渉のサイズが、他の測定値と比較して、インピーダンスサイズで最も小さいためである。
実施例5:特定な周波数でのPCRサイクルに対するインピーダンスサイズの変化
一定の周波数でのPCRサイクルに対するインピーダンスサイズの変化を測定することを除いては、実施例4と同じ方法で、PCR産物のリアルタイム検出を行なった。実施例4では、約1,000Hzの周波数でPCR理論に最適の結果を示すことが示されたので、この近くの周波数である1,077HzでのPCRサイクルによるDNA増幅時及び増幅が起らない時のインピーダンスサイズ(電気的抵抗)を測定した。その結果を図12及び13に示した。
図12は、比較用PCR反応溶液のリアルタイムでのインピーダンスサイズを測定した結果を示すグラフであり、図13は、本発明によるPCRが進行されるにつれて増幅されたDNAをリアルタイムで検出した結果を示すグラフである。図12では、実施例4で説明したように、周波数が1077Hzである時の1サイクル目及び35サイクル目でのインピーダンスサイズの差が45Ωである。これは検出システムの干渉によって発生する誤差値である。図13に示したように、PCRサイクル数の増加によるインピーダンスの変化はS字型曲線を形成しており、これは代数的に増加するPCR産物の濃度をよく反映している。以上のような結果を基に、本発明によるPCRサイクルの45Ωの干渉による誤差を修正したインピーダンスサイズの結果を図14に示した。
本発明のPCR増幅産物を検出する方法は、PCRから増幅産物をリアルタイムで検出するのに使用されうる。本発明の方法は、電気的信号を利用してPCR増幅産物を測定することによって検出機器を小型化できる。
電極を備えたPCRチューブを示す図面である。 電極を備えたPCRチップを有するPCRチャンバーの一実施態様を示す図面である。 は、図2のPCRチップの平面図である。 は、図2のPCRチップの平面断面図である。 は、図2のPCRチップの側面断面図である。 及び は、図2のPCRチップの重合反応チャンバー及び電極を製造する過程を示す図面である。 は、比較用PCRサイクルで周波数に対するインピーダンス実数の変化を示すグラフである。 は、比較用PCRサイクルで周波数に対するインピーダンスサイズ(impedance magnitude)の変化を示すグラフである。 は、本発明によるPCRサイクルで周波数に対するインピーダンス実数の変化を示すグラフである。 は、本発明によるPCRサイクルで周波数に対するインピーダンスサイズの変化を示すグラフである。 は、比較用PCRサイクル数に対するインピーダンスサイズの変化を示すグラフ図面である。 は、本発明によるPCRサイクル数に対するインピーダンスサイズの変化を示すグラフである。 は、誤差を修正した本発明によるPCRサイクル数に対するインピーダンスサイズの変化を示すグラフである。
符号の説明
入口…13、出口…15、上部電極…21、下部電極…19、重合マイクロチャンバー…17、ガラスウェーハ…11。

Claims (5)

  1. (a)PCRの反応に必要な成分からなる溶液を含む容器内に一対以上の電極を提供する段階と、
    (b)イオンで標識されたプライマーを使用せずにPCRを行う段階と、
    (c)前記電極間に交流電場を発生させる段階と、
    (d)前記溶液のインピーダンスサイズの増加度を測定する段階と、
    (e)前記(d)段階の測定時に生じる誤差値を修正する段階と、
    を含むPCR産物を検出する方法。
  2. 前記溶液を含む容器は、PCRチューブまたは重合マイクロチャンバーである、請求項1に記載の方法。
  3. 前記(c)段階において、前記交流電場を発生させる段階は、周波数1Hz〜100MHzの交流を使用する、請求項1または2に記載の方法。
  4. 前記(c)段階において、前記交流電場を発生させる段階は、1mV〜10Vの平均交流電圧[平均AC電圧(Vrms)]を使用する、請求項1〜のいずれか1項に記載の方法。
  5. 前記(e)段階は、周波数をパラメーターとして、PCRのサイクルの増加による周波数に対するインピーダンスの変化を測定し、1サイクル目及び35サイクル目でのインピーダンスの誤差値を求めることを含む、請求項1〜のいずれか1項に記載の方法。
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