JP4092783B2 - 半導体キャリアの移載装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体キャリアの移載装置に係り、特に、キャリアの搬出入を効率良く行うことができる半導体キャリアの移載装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、ウェーハが大型化する傾向にある中で、300mmをこえる大きさのウェーハを取り扱う必要が生じてきている。このような大きさのウェーハを取り扱う場合に、一般には複数のウェーハをキャリアに収納して搬送している。
したがって、このようなウェーハの大型化により、例えば、300mmを越えるウェーハが収納されたキャリアの重量は7Kgにもなってしまうため、人手での搬送は困難となっており、各種ロボット等の自動機によって行われることが多い。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、パイロット生産時や搬送の自動化を行うことができないような場合、あるいは、搬送装置の不具合時には、キャリアの搬送は人手に頼らざるを得ないため、作業者に大きな負担を強いないよう手搬送の補助となる台車が必要となってくる。
とりわけ、女性作業者が多い半導体生産ラインにおいては、小柄で非力な女性の負担を軽減する必要がある。
したがって、このような人手によるキャリアの搬送を補助して作業者にかかる負担を最小限に抑えることができ、かつ、女性作業者でも簡単に操作できる台車が要望されている。
そこで、この発明は、キャリアの搬出入の際の作業者にかかる負荷を軽減し、キャリアの搬出入を短時間で行うことができ、さらに、操作も簡単な半導体キャリアの移載装置を提供するものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、この発明においては、台車フレームの上部に、所定の摺動方向に摺動可能なスライドテーブルが、前記摺動方向に沿って複数のキャリアが列をなすように載置可能な状態で支持され、前記スライドテーブルの前記摺動方向と交叉する方向及び上下方向に移動可能であると共に、前記摺動方向に対して固定された単一の移載アームが前記台車フレームに設けられ、該移載アームに前記キャリアの係合部に係止する係止部が設けられ、前記キャリアを搬出入する装置の所定のキャリアセット位置と前記移載アームとの前記摺動方向における位置を一致させる位置決め部が前記台車フレームに設けられていることを特徴とする。
また、前記係止部は、前記移載アームを前記摺動方向と交叉する方向に移動させることで、前記キャリアの前記係合部に係止可能であることを特徴とする。
【0005】
例えば、キャリアを搬出入する装置(以下、単に装置という)から、処理済みのウェーハを収納したキャリアを回収して、同じステージに新たに未処理のウェーハが収納されたキャリアを投入する場合について説明する。
移送装置のスライドテーブル上に未処理の単数あるいは複数のキャリアを載置し、同数のキャリア載置スペースを空けた状態で、移載装置を装置の近傍まで搬送して停止させ、ここで位置決め部を介して装置に位置決めする。次に、移載アームを装置に向かって前進させ移載アームの係止部を装置内の処理済みキャリアの係合部に係止した後上昇させ、移載アームを待機位置まで後退させる。そして、移載アームを下降させキャリアをスライドテーブル上に載置する。そして、この動作を繰り返し、装置内のキャリアを全てスライドテーブル上に回収する。
【0006】
次に、スライドテーブルを摺動させ未処理のキャリアを移載アームに対応する位置まで移動する。そして、ここで移載アームの係止部をキャリアの係合部に係止した後上昇させ、前記と同様に移載アームを前進させて、装置の所定位置にキャリアを搬入し、その後、移載アームを待機位置まで後退させる。そして、この動作を繰り返し、スライドテーブル上の未処理のキャリアを全て装置に投入する。
【0008】
また、例えば、移送装置のスライドテーブル上にウェーハが収納されたキャリアを1つ載置し、キャリア載置スペースを1つ空けた状態で、この移載装置を装置の近傍まで搬送して停止させ、ここで位置決め部を介して装置に位置決めする。次に、移載アームを装置に向かって前進させ移載アームの係止部を装置内のキャリアの係合部に係止した後上昇させ、移載アームを待機位置まで後退させる。そして、移載アームを下降させキャリアをスライドテーブル上に載置して回収する。次に、スライドテーブルを摺動させキャリアを移載アームに対応する位置まで移動する。そして、ここで移載アームの係止部をスライドテーブル上のキャリアの係合部に係止した後上昇させ、前記と同様に移載アームを前進させて、装置の所定位置にキャリアを搬入し、その後、移載アームを待機位置まで後退させる。
【0009】
前記スライドテーブルには、操作ハンドルが取り付けられ、前記移載アームは、ハンドルを介して前記スライドテーブルの前記摺動方向と交叉する方向に移動可能に構成されていることを特徴とする。
上記スライドテーブルの操作は操作ハンドルを押すことで行い、移載アームの装置に対する進退動操作はハンドルによって行い、移載アームの上昇動作はペダルによって行い、下降動作は、例えば、自重でなされる。したがって、これら操作ハンドル、ハンドル、および、ペダルの単純な操作によりキャリアの搬出入を行うことが可能となる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の一実施形態を図面と共に説明する。
図1は、この発明の一実施形態の移載装置1を示すものである。
移載装置1は台車フレーム2を備えている。台車フレーム2は下部に4つのキャスタ3を備えた平面視長方形状のもので、走行ハンドル4によって作業者が所望の場所まで移動させる手押しタイプの台車である。
台車フレーム2の上部にはスライドテーブル3が、台車フレーム2の平面視における長辺に沿う方向(以下Y方向という)に沿って摺動可能に支持されている。また、スライドテーブル3には操作ハンドル3aが取り付けれられ、作業者がこの操作ハンドル3aを押すことでスライドテーブル3を台車フレーム2に対してスライド操作するものである。なお、このスライドテーブル3は台車フレーム2に対して、レール、スライダ等の周知の機構によって摺動できるようになっている。
【0011】
このスライドテーブル3の上部には、このスライドテーブル3の摺動方向に沿って並ぶ2つのキャリア5が隣接して載置可能にされている。ここで、キャリア5はスライドテーブル3上に設けられた図示しない位置決め部により、スライドテーブル3の所定の位置にセットされるようになっている。キャリア5には複数枚のウェーハ6が収納可能にされ、キャリア5の上部には後述する移載アーム7に係合するフランジ部5aが設けられている。
【0012】
台車フレーム2には、スライドテーブル3が摺動するY方向と交叉する方向(以下X方向という)に移動可能で、かつ、上下方向に移動可能な単一の移載アーム7が設けられている。この移載アーム7は略L字形の部材で上部延出端が水平に延びる形状のもので、台車フレーム2の側壁に設けたれたガイド孔8に沿って移動するハンドル9に連係され、ハンドル9をガイド孔8に沿って操作すると、図示しない溝に沿ってX方向に進退動するようになっている。また、移載アーム7は台車フレーム2の下部に設けたペダル10を踏むことによりエアー(油圧またはメカリンクでも良い)によって上昇し、図示しないバルブコックを開放して自重(バネで引っ張っても良い)で下降する。
なお、これらスライドテーブル3の操作ハンドル3a、走行ハンドル4、ハンドル9、および、ペダル10は、いずれも台車フレーム2の作業者の立つ側に配置されている。
【0013】
上記移載アーム7の延出端の下壁にはX方向に向かう所定長さのスリットを備えたスリット部材(係止部)7aが取り付けられ、上記キャリア5のフランジ部(係合部)5aを受け入れるようになっている。
具体的には上記移載アーム7は図1の右側のキャリア5に対応する位置を待機位置としており、そのままの高さで前進するとキャリア5のフランジ部5aに移載アーム7のスリット部材7aが挿入されるようになっている。また、上記スライドテーブル3がスライドした状態では、今度は図1の左側のキャリア5が移載アーム7にマッチングするようになっている。
【0014】
そして、上記台車フレーム2の下部には、キャリア5を前記装置に対する位置決め部11が設けられている。具体的に位置決め部11は、プレート12に、台車フレーム2のX方向に対する位置決めを行うフック13と、台車フレーム2のY方向の位置決めを行うホルダ14とが設けられてもので、これらフック13とホルダ14とが装置側に設けられた位置決めプレート15の上辺と側辺とに係止することで、移送装置1と装置との位置決めをおこなうものである。
【0015】
次に、作用について説明する。
移送装置1のスライドテーブル3上(図1中左側の載置部)にウェーハ6が収納されたキャリア5を1つ載置し、図1右側のキャリア5載置スペースを1つ空けた状態で、この移載装置1を走行ハンドル4を押しながら、装置の近傍まで搬送して停止させる。ここで位置決め部11のフック13とホルダ14を位置決めプレート15に係止させれば、簡単、かつ、正確に移載装置1を装置に位置決めできる。
【0016】
次に、移載アーム7をハンドル9を用いて装置に向かって前進させ、移載アーム7のスリット部材7aを、図示しない装置内の処理済みのウェーハが収納されたキャリア5のフランジ部5aに係止させ、その後、ペダル10によって移載アーム7を上昇させ、ハンドル9の操作により待機位置まで後退させ、ペダル10のエアーをバルブコックで開放して移載アーム7を下降させる。
これにより、キャリア5はスライドテーブル3の明きスペースに載置回収される。そして、ハンドル9によって移載アーム7をさらに後退させるとキャリア5は移載アーム7から開放される。
【0017】
次に、スライドテーブル3を操作ハンドル3aを押すことによりY方向に摺動させ、未処理のウェーハ6が収納されたキャリア5を移載アーム7に対応する位置まで移動させる。そして、移載アーム7をハンドル9を用いて装置に向かって前進させ、移載アーム7のスリット部材7aをスライドテーブル3上のキャリア5のフランジ部5aに係止させ、その後、ペダル10によって移載アーム7を上昇させ、ハンドル9の操作により装置の所定のキャリアセット位置まで前進させ、ペダル10のエアーをバルブコックで開放して移載アーム7を下降させる。これにより、キャリア5は装置の所定位置に載置投入される。
【0018】
そして、ハンドル9によって移載アーム7を後退させれば移載アーム7はキャリア5を開放し、さらに、移載アーム7を待機位置まで後退させ、スライドテーブル3を定位置に戻せば、キャリア5の交換作業は終了する。
したがって、移載装置1による一度の搬送でキャリア5の回収と投入を行うことができるため作業効率をアップすることができる。
また、スライドテーブル3の操作は操作ハンドル3aを押すだけでよく、移載アーム7の装置に対する進退動操作はハンドル9によって簡単に行うことができ、移載アーム7の昇降動作はペダル10によって簡単に行うことができるため、キャリア5の搬出入の際の作業者にかかる負荷は大幅に軽減され、キャリア5の交換作業を短時間で行うことができる。その結果、難しい操作を嫌い体力的にも不利な女性作業者でも容易に作業ができる。
【0019】
なお、この発明の上記実施形態では移載装置のスライドテーブル上に設けるキャリアの載置スペースを2つ設けた場合について説明したが、交換対象となるキャリアが2つの場合には4つ、3つの場合には6つというように、その個数に合わせて載置スペースを増加させることができる。
また、上記位置決め部11は上記構成に限られず、様々な構成のものが採用可能である。
【0020】
【発明の効果】
以上説明してきたように、請求項1に記載した発明によれば、複数の処理済みキャリアを回収して、未処理の新たな同数のキャリアを投入することができるため、複数のキャリアの回収と投入の2つの作業を、作業者にかかる負担を軽減して行うことができるという効果がある。
請求項2に記載した発明によれば、1つのキャリアを回収して、別の1つのキャリアを投入することができるため、搬出入の際の作業者にかかる負荷を軽減しつつ、キャリアの交換作業を短時間で行うことができるという効果がある。
請求項3に記載した発明によれば、上記スライドテーブルの操作は操作ハンドルを押すことで行い、移載アームの装置に対する進退動操作はハンドルによって行い、移載アームの昇降動作はペダルによって行うことができる。したがって、これら操作ハンドル、ハンドル、および、ペダルの単純な操作によりキャリアの搬出入を行うことが可能となるため、キャリアの搬出入の際の作業者にかかる負荷を軽減でき、キャリアの搬出入を短時間で行うことができ、操作を簡単に行うことができるため、女性作業者でも容易にキャリア交換作業を行なうことができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態の斜視図である。
【符号の説明】
2 台車フレーム
3 スライドテーブル
3a 操作ハンドル
5 キャリア
5a フランジ部(係合部)
7 移載アーム
7a スリット部材(係止部)
9 ハンドル
10 ペダル
11 位置決め部
Claims (3)
- 台車フレームの上部に、所定の摺動方向に摺動可能なスライドテーブルが、前記摺動方向に沿って複数のキャリアが列をなすように載置可能な状態で支持され、前記スライドテーブルの前記摺動方向と交叉する方向及び上下方向に移動可能であると共に、前記摺動方向に対して固定された単一の移載アームが前記台車フレームに設けられ、該移載アームに前記キャリアの係合部に係止する係止部が設けられ、前記キャリアを搬出入する装置の所定のキャリアセット位置と前記移載アームとの前記摺動方向における位置を一致させる位置決め部が前記台車フレームに設けられていることを特徴とする半導体キャリアの移載装置。
- 前記係止部は、前記移載アームを前記摺動方向と交叉する方向に移動させることで、前記キャリアの前記係合部に係止可能であることを特徴とする請求項1に記載の半導体キャリアの移載装置。
- 前記スライドテーブルには、操作ハンドルが取り付けられ、前記移載アームは、ハンドルを介して前記スライドテーブルの前記摺動方向と交叉する方向に移動可能に構成され、かつ、ペダルを介して昇降するように構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体キャリアの移載装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19787798A JP4092783B2 (ja) | 1998-07-13 | 1998-07-13 | 半導体キャリアの移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19787798A JP4092783B2 (ja) | 1998-07-13 | 1998-07-13 | 半導体キャリアの移載装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000025943A JP2000025943A (ja) | 2000-01-25 |
JP4092783B2 true JP4092783B2 (ja) | 2008-05-28 |
Family
ID=16381813
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19787798A Expired - Fee Related JP4092783B2 (ja) | 1998-07-13 | 1998-07-13 | 半導体キャリアの移載装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4092783B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101737816B1 (ko) * | 2016-03-25 | 2017-05-19 | 주식회사 에스에프에이 | 비접촉식 기판 이송장치 |
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---|---|
JP2000025943A (ja) | 2000-01-25 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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