JP4090361B2

JP4090361B2 - Method and apparatus for producing ozone-containing ultrapure water

Info

Publication number: JP4090361B2
Application number: JP2003037735A
Authority: JP
Inventors: 茂富永; 健一藤平
Original assignee: Roki Techno Co Ltd
Current assignee: Roki Techno Co Ltd
Priority date: 2003-02-17
Filing date: 2003-02-17
Publication date: 2008-05-28
Anticipated expiration: 2023-02-17
Also published as: JP2004243260A

Description

【０００１】
【発明が属する技術分野】
この発明は、主として、半導体ウェハの酸化膜生成及び半導体デバイスなどの洗浄に使用されるオゾン含有超純水の製造方法及び製造装置に係り、詳記すれば、超純水へのオゾンガスの溶解効率を著しく高めたオゾン含有超純水の製造方法及び製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
オゾン含有超純水は、溶存オゾンの酸化力を利用して、化学反応生成物の製造や洗浄及び酸化膜の生成などに利用されている。
【０００３】
半導体製造工程のウェットステーションと呼ばれる洗浄方法では、一般にRCA洗浄が行われるが、この方法においては、アンモニア／過酸化水素水、塩酸／過酸化水素水及びフッ素等の薬液でウェハーを洗浄している。、近年、RCA洗浄の最終リンス工程で、有機物の除去を目的として、オゾン含有超純水が一部で使用されている。また、RCA洗浄に代わって、高濃度のオゾン含有超純水を使用する試みもなされている。
【０００４】
従来、超純水は、例えば図１に示すように、市水などを活性炭、逆浸透膜を通過させて脱気し、イオン交換して超純水をタンク内に収容し、ＵＶ酸化、イオン交換、ＵＦ膜を通過させて循環させて有機物の除去を行った後、ユースポイントから取り出すようになっている。超純水タンクでは、ユースポイントで超純水が使用されると水面が低下し、超純水タンクへの超純水の供給量が多くなると水面が上昇する。そこで、水面が低下するときは窒素ガスを注入し、水面が上昇するときは窒素ガスを排気することによって、超純水と空気（特に酸素）の接触を遮断している。このようにUV酸化時間を長くするため、超純水を循環させて使用しているので、窒素ガスが超純水に多量に溶解する。
【０００５】
この超純水にオゾンガスを溶解させる場合、市水や純水にオゾンガスを溶解させる場合と比べて、オゾンの溶解効率が悪化し、オゾン発生機の容量を大きくしなければならないという驚くべき事実を見出した。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、このような知見に基づいてなされたものであり、超純水でも市水や純水と同じようにオゾンガスの溶解効率を上昇させ、オゾン発生機を小型化し得る超純水の製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明者らは鋭意研究の結果、超純水中の窒素ガス量を減少させることによって、オゾンガスの溶解効率が著しく向上するという驚くべき事実を見出し、本発明に到達した。
【０００８】
即ち、本発明の製造方法は、ハウジングにチューブ状脱気膜を内装した脱気膜の外側を、結露を防止するため空気が流通し得るように構成し、該チューブ状脱気膜内を超純水を通過させて、超純水内の窒素を１４ｐｐｍ以下に除去し、該窒素を除去した超純水にオゾンガスを導入することを特徴とする。
【０００９】
前記窒素は、好ましくは１４ｐｐｍ以下、特に好ましくは１３ｐｐｍ以下に除去する。
【００１０】
前記超純水は、超純水タンク内の水面の変動に伴う圧力変化を、窒素ガスを超純水タンク内に導入することにより調整することによって窒素を含有している超純水を使用するのが良い。
【００１１】
また、本発明の製造装置は、ハウジングにチューブ状脱気膜を内装した超純水から窒素を除去する脱気装置と、該脱気膜の外側を結露を防止するため空気が流通し得るようにする装置と、該チューブ状脱気膜内を超純水を通過させて、超純水内の窒素を１４ｐｐｍ以下に除去した超純水にオゾンガスを導入するオゾン溶解器と、を具備することを特徴とする。
【００１２】
本発明の脱気装置は、チューブ状脱気膜の外側は結露を防止するため空気が流通し得るように構成しているので、チューブ状脱気膜の外側の減圧に真空ポンプ等を使用する必要がなくなるので、メンテナンス費用を含めたコスト的利点が極めて大きい。
【００１３】
要するに本発明は、超純水中の窒素ガスを好ましくは１４ｐｐｍ以下に除去することによって、オゾンガスの溶解性を著しく向上させたことを要旨とするものであるが、このような効果の生じる理由は、理論的に十分解明されていない。
【００１４】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を説明する。
【００１５】
オゾンガスの溶解効率は、水への注入オゾン量と水中の溶存オゾン量との比で求められる。水中の溶存オゾン量は、製造する溶存オゾン超純水（オゾン含有超純水）の流量（リットル／分）に溶存オゾン濃度（ｍｇ／リットル）を乗じて求められる。
【００１６】
従って、一定の溶存オゾン量を得るためには、溶解効率が高いほど、注入オゾン量が少なく済むから、オゾンガス発生機の容量を小型にできる。
【００１７】
図２は、本発明の一実施例を示すブロック図であり、オゾン溶解器１とユースポイント２との間に、脱気膜３を収容したハウジング５を設けている。脱気膜は、図３に示すようにUF膜とユースポイントとの間に設けても良い。
【００１８】
脱気膜３は、気体透過性・液体不透過性の膜であり、図４に示すように、パイプ状の脱気膜３の内側に超純水を流し、脱気膜３の外側を減圧機４によって減圧にして、超純水中の窒素を真空側に除去するものである。本発明においては、このように減圧機４によって減圧にすることなく、脱気膜３の外側を、単に空気が流通するように構成するだけで良い。
【００１９】
上記のようにして窒素ガスを除去した超純水を、図２に示すように、オゾン溶解器１を通過させて、オゾン発生機６からのオゾンガスを溶解させる。
【００２０】
オゾン溶解器１は、図５に示すように、エゼクタ方式であっても、図５に示すように溶解膜方式であっても差し支えない。
【００２１】
エゼクタ方式は、図５に示すように、配管路の途中を狭め、流速を早めたエゼクタ７の配管路にオゾンガスを注入することによって、ガスを微細気泡化して、水とオゾンガスの接触面積を大きくして溶解させる方式で、後段に未溶解オゾンガスと水とを分離する気液分離機８が設置されている。未溶解オゾンガスは、図２に示すオゾン分解器９によって分解されて大気中に放出される。
【００２２】
溶解膜式は、例えば図６に示すように、チューブ状多孔膜エレメントとハウジングで一体に形成された膜式オゾン溶解器を使用して行われる。チューブ状多孔膜１０の上端と下端は、固定材１１に嵌合固定され、同固定材１１を固定したハウジング１２側部下端には、オゾンガス供給口１３が、ハウジング側部上端には、オゾンガス排出口１４が形成されている。超純水は、ハウジング１２下端の入口１６から導入され、チューブ状多孔膜１０内を通ってオゾンガスを溶解させて、ハウジング上端の出口１７から排出されるようになっている。
【００２３】
チューブ状多孔膜１０は、疎水性樹脂から形成され、チューブの外側と内側に貫通した多数の微細孔１５が形成され、チューブの水圧が高くても、水の表面張力のために、水が微細孔１５を通ってチューブの外側に漏れないようになっている。従って、チューブの内側の水は、微細孔１５でチューブの外側のオゾンガスと接触しており、接触界面でオゾンガスが水に溶解し、オゾン水を生成するようになっている。
【００２４】
本発明の方法及び装置によって、オゾンガスの溶解効率が高くなる理由は、理論的に十分解明されていないが、一応下記のような理由が考えられている。
【００２５】
オゾンガスの成分は、酸素ガスとオゾンガスであるが、気液接触界面では、オゾン分圧により、ガス側からオゾンが超純水中に物質移動するが、超純水の溶存窒素は、ガス側では窒素ガス分圧がほぼゼロであるため、液中からガス側に移動する。窒素がガス側に移動すると、相対的にオゾンガスの分圧が低下し、オゾンの溶解量が低下するため、溶解効率が低下する。図７（Ａ）は、エゼクタの場合の界面拡大をしめすものであり、図７（Ｂ）は、膜式の場合の界面拡大を示すものである。
【００２６】
次に、実施例を挙げて本発明を更に説明するが、本発明はこの実施例に限定されない。
【００２７】
実施例
図８に記載の装置を使用し、出力０．６Ａ、出力１．２Ａ及び出力３Ａのオゾン発生機６からのオゾンガスを、０．５リットル／分の流量で導入しながら、次表１に記載の溶存窒素濃度（ｐｐｍ）の超純水を、１．５リットル／分で流して、超純水に溶解した溶存オゾン濃度（ｐｐｍ）を測定した。結果を次表２と図９に示す。尚、出力０．６Ａのときのオゾン注入量は６０ｍｇ／分であり、出力１．２Ａのときのオゾン注入量は８５ｍｇ／分であり、出力３Ａのときのオゾン注入量は１００ｍｇ／分であった。
【００２８】
溶存オゾン濃度と溶存窒素濃度の測定方法は、下記のようにして行った。また、次表１に記載の窒素濃度とするのに、次表１に記載の方法によって窒素を除去した。
【００２９】
溶存オゾン濃度：エゼクタ７でオゾンガスを超純水に溶解させ、気液分離器８で未溶解ガスと溶存オゾン水とを分離した直後に、溶存オゾン濃度計で測定した。
【００３０】
溶存窒素濃度：超純水を脱気膜３に通過させない場合と、脱気膜の外側を大気開放、減圧機４で吸引通過させた場合とについて、超純水サンプリングポイントから超純水を２００ｃｃのサンプリング瓶に採取し、直ちに密閉して測定用試料とした。溶存窒素量は、亜硝酸態窒素測定機（ＧＣＴ−６Ｎ住化分析センター製）で測定した。
【００３１】
【表１】

【００３２】
【表２】

【００３３】
上記表２及び図７の記載から明らかなように、溶存窒素濃度１４ｐｐｍ以下、特に１３ｐｐｍ以下とすると、出力０．６Ａのオゾン発生機であっても、出力１．２Ａ以上のオゾン発生機を使用した場合と同等以上の溶存オゾン濃度を示す。
【００３４】
また、超純水の溶存窒素濃度が１３ｐｐｍ以下であれば、オゾンガスの溶解効率がほぼ一定となるから、真空引きする必要がなく、大気圧の状態で十分である。
【００３５】
図３に示す膜式脱気装置では、超純水から蒸発した水分が膜の外側に結露して脱気能力が低下するので、膜外側を吸引する必要があるが、加圧若しくは若干減圧にして、膜外側の空気が流通するようにすれば、高減圧度に吸引しなくとも、水分の結露が防止でき、必要な溶存窒素の除去が可能となる。従って、吸引装置が簡便化できるので、メンテナンス費用を含めて経済的利点が大きい。
【００３６】
【発明の効果】
本発明によれば、オゾン溶解効率の悪かった超純水でも、窒素を除去することによって、市水や純水と同じようにオゾンガスの溶解効率を上昇させることができるので、従来と比べてオゾン発生機を小型化できるという絶大な効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の超純水の製造方法の一例を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図３】本発明の他の実施例を示すブロック図である。
【図４】本発明に使用する脱気装置の一例を示す断面図である。
【図５】本発明に使用するオゾン溶解器の一例を示す概略断面図である。
【図６】本発明に使用するオゾン溶解器の他の例を示す断面図である。
【図７】（Ａ）はエゼクタの場合の界面拡大、（Ｂ）は膜式の場合の界面拡大を示す説明図である。
【図８】実施例で使用した本発明装置のブロック図である。
【図９】本発明の実施例で得た溶存窒素濃度とオゾン水濃度との関係を示す線図である。
【符号の説明】
１………オゾン溶解器
２………ユースポイント
３………脱気膜
４………減圧機
７………エゼクタ
８………気液分離器
９………オゾン分解器
１０………チューブ状多孔膜
１２………ハウジング
１３………オゾンガス供給口
１４………オゾンガス排出口
１５………微細孔[0001]
[Technical field to which the invention belongs]
The present invention mainly relates to a production method and a production apparatus for ozone-containing ultrapure water used for generating an oxide film on a semiconductor wafer and cleaning a semiconductor device, and more specifically, ozone gas dissolution efficiency in ultrapure water. The present invention relates to a method and an apparatus for producing ozone-containing ultrapure water in which the water content is significantly increased.
[0002]
[Prior art]
Ozone-containing ultrapure water is used for the production and cleaning of chemical reaction products and the production of oxide films, etc., using the oxidizing power of dissolved ozone.
[0003]
In a cleaning method called a wet station in a semiconductor manufacturing process, RCA cleaning is generally performed. In this method, a wafer is cleaned with a chemical solution such as ammonia / hydrogen peroxide solution, hydrochloric acid / hydrogen peroxide solution, and fluorine. . In recent years, ozone-containing ultrapure water has been partially used for the purpose of removing organic substances in the final rinsing process of RCA cleaning. Attempts have also been made to use high-concentration ozone-containing ultrapure water instead of RCA cleaning.
[0004]
Conventionally, as shown in FIG. 1, for example, ultrapure water is degassed by passing city water through an activated carbon or reverse osmosis membrane, and ion exchange is performed to store the ultrapure water in a tank. The organic matter is removed by exchanging and circulating through the UF membrane, and then taken out from the use point. In the ultrapure water tank, when the ultrapure water is used at the point of use, the water level decreases, and when the amount of ultrapure water supplied to the ultrapure water tank increases, the water level increases. Therefore, the contact between ultrapure water and air (particularly oxygen) is blocked by injecting nitrogen gas when the water level drops and exhausting nitrogen gas when the water level rises. Since ultrapure water is circulated and used in order to lengthen the UV oxidation time in this way, a large amount of nitrogen gas dissolves in the ultrapure water.
[0005]
The surprising fact that when ozone gas is dissolved in this ultrapure water, the ozone dissolution efficiency deteriorates and the capacity of the ozone generator must be increased compared to when ozone gas is dissolved in city water or pure water. I found it.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
This invention has been made on the basis of such knowledge, and even in ultrapure water, as with city water and pure water, the ozone gas dissolution efficiency is increased, and the production of ultrapure water that can reduce the size of the ozone generator. An object is to provide a method and a manufacturing apparatus.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, as a result of intensive studies, the present inventors have found the surprising fact that the ozone gas dissolution efficiency is remarkably improved by reducing the amount of nitrogen gas in ultrapure water. did.
[0008]
That is, in the manufacturing method of the present invention, the outside of the deaeration membrane in which the tubular deaeration membrane is housed in the housing is configured so that air can flow in order to prevent condensation, and the inside of the tubular deaeration membrane is exceeded. by passing the pure water, the nitrogen in the ultrapure water was removed below 14 ppm, it characterized that you introduce ozone gas in ultrapure water to remove the nitrogen.
[0009]
The nitrogen is preferably removed to 14 ppm or less, particularly preferably 13 ppm or less.
[0010]
The ultrapure water uses ultrapure water containing nitrogen by adjusting the pressure change accompanying the fluctuation of the water surface in the ultrapure water tank by introducing nitrogen gas into the ultrapure water tank. Is good.
[0011]
The manufacturing apparatus of the present invention, a deaerator for removing nitrogen from ultra pure water interior tubular degassing membrane housings, air to prevent dew condensation outside the dehydration gas film may flow And an ozone dissolver that introduces ozone gas into ultrapure water in which ultrapure water is passed through the tubular degassing membrane and nitrogen in the ultrapure water is removed to 14 ppm or less. It is characterized by that.
[0012]
Degassing apparatus of the present invention, since the outer tubing shaped degassing membrane air to prevent dew condensation is configured to be able to flow, using a vacuum pump or the like to vacuum the outer side of the tubular degassing membrane Therefore, the cost advantage including the maintenance cost is extremely large.
[0013]
In short, the gist of the present invention is that the solubility of ozone gas is remarkably improved by removing nitrogen gas in ultrapure water to preferably 14 ppm or less. Theoretically, it is not well understood.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Next, an embodiment of the present invention will be described.
[0015]
The dissolution efficiency of ozone gas is determined by the ratio of the amount of ozone injected into water and the amount of dissolved ozone in water. The amount of dissolved ozone in water is obtained by multiplying the flow rate (liter / minute) of dissolved ozone ultrapure water (ozone-containing ultrapure water) to be produced by the dissolved ozone concentration (mg / liter).
[0016]
Therefore, in order to obtain a constant dissolved ozone amount, the higher the dissolution efficiency, the smaller the amount of injected ozone, so the capacity of the ozone gas generator can be reduced.
[0017]
FIG. 2 is a block diagram showing an embodiment of the present invention, in which a housing 5 containing a degassing membrane 3 is provided between the ozone dissolver 1 and the use point 2. The deaeration membrane may be provided between the UF membrane and the use point as shown in FIG.
[0018]
The deaeration membrane 3 is a gas permeable / liquid impermeable membrane, and as shown in FIG. 4, ultrapure water is allowed to flow inside the pipe-like deaeration membrane 3 and the outside of the deaeration membrane 3 is decompressed. The pressure is reduced by the machine 4 to remove nitrogen in the ultrapure water to the vacuum side. In the present invention, without reducing the pressure in this way by the pressure reducer 4, the outer degassing membrane 3, only a single air configured to flow not good.
[0019]
As shown in FIG. 2, the ultrapure water from which nitrogen gas has been removed as described above is passed through the ozone dissolver 1 to dissolve the ozone gas from the ozone generator 6.
[0020]
The ozone dissolver 1 may be an ejector type as shown in FIG. 5 or a dissolved film type as shown in FIG.
[0021]
As shown in FIG. 5, the ejector system narrows the middle of the pipe line and injects ozone gas into the pipe line of the ejector 7 whose flow velocity is increased, thereby making the gas fine bubbles and increasing the contact area between water and ozone gas. Then, a gas-liquid separator 8 that separates undissolved ozone gas and water is installed in the subsequent stage. Undissolved ozone gas is decomposed by the ozonolysis device 9 shown in FIG. 2 and released into the atmosphere.
[0022]
For example, as shown in FIG. 6, the dissolution membrane type is performed using a membrane type ozone dissolver formed integrally with a tubular porous membrane element and a housing. An upper end and a lower end of the tubular porous membrane 10 are fitted and fixed to a fixing material 11. An ozone gas supply port 13 is provided at the lower end of the housing 12 side where the fixing material 11 is fixed, and an ozone gas exhaust is provided at the upper end of the housing side portion. An outlet 14 is formed. Ultrapure water is introduced from the inlet 16 at the lower end of the housing 12, dissolves ozone gas through the tubular porous membrane 10, and is discharged from the outlet 17 at the upper end of the housing.
[0023]
The tubular porous membrane 10 is formed of a hydrophobic resin and has a large number of micropores 15 penetrating the outside and inside of the tube. Even if the water pressure of the tube is high, the water is fine due to the surface tension of the water. It does not leak to the outside of the tube through the hole 15. Accordingly, the water inside the tube is in contact with the ozone gas outside the tube through the fine holes 15, and the ozone gas is dissolved in water at the contact interface to generate ozone water.
[0024]
The reason why the ozone gas dissolution efficiency is increased by the method and apparatus of the present invention has not been sufficiently clarified theoretically, but the following reasons are considered.
[0025]
The components of ozone gas are oxygen gas and ozone gas. At the gas-liquid contact interface, ozone moves into the ultrapure water from the gas side due to the partial pressure of ozone, but the dissolved nitrogen in the ultrapure water Since the nitrogen gas partial pressure is almost zero, it moves from the liquid to the gas side. When nitrogen moves to the gas side, the partial pressure of ozone gas is relatively lowered and the amount of ozone dissolved is lowered, so that the dissolution efficiency is lowered. FIG. 7A shows the interface enlargement in the case of the ejector, and FIG. 7B shows the interface enlargement in the case of the membrane type.
[0026]
Next, the present invention will be further described with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.
[0027]
EXAMPLE Using the apparatus shown in FIG. 8, while introducing ozone gas from the ozone generator 6 with an output of 0.6 A, an output of 1.2 A and an output of 3 A at a flow rate of 0.5 liter / min, the following table 1 Then, the concentration of dissolved ozone (ppm) dissolved in the ultrapure water was measured by flowing the ultrapure water having a dissolved nitrogen concentration (ppm) described in 1. The results are shown in the following Table 2 and FIG. The ozone injection amount at an output of 0.6 A is 60 mg / min, the ozone injection amount at an output of 1.2 A is 85 mg / min, and the ozone injection amount at an output of 3 A is 100 mg / min. It was.
[0028]
The measuring method of dissolved ozone concentration and dissolved nitrogen concentration was performed as follows. Further, in order to obtain the nitrogen concentration shown in the following table 1, nitrogen was removed by the method shown in the following table 1.
[0029]
Dissolved ozone concentration: Immediately after the ozone gas was dissolved in ultrapure water by the ejector 7 and the undissolved gas and the dissolved ozone water were separated by the gas-liquid separator 8, the concentration was measured with a dissolved ozone concentration meter.
[0030]
Dissolved nitrogen concentration: 200 cc of ultrapure water from the ultrapure water sampling point when the ultrapure water is not passed through the deaeration membrane 3 and when the outside of the deaeration membrane is opened to the atmosphere and sucked by the decompressor 4. Were collected in a sampling bottle and immediately sealed to prepare a sample for measurement. The amount of dissolved nitrogen was measured with a nitrite nitrogen measuring machine (GCT-6N Sumika Chemical Analysis Center).
[0031]
[Table 1]

[0032]
[Table 2]

[0033]
As is clear from the description in Table 2 and FIG. 7, when the dissolved nitrogen concentration is 14 ppm or less, particularly 13 ppm or less, an ozone generator with an output of 1.2 A or more is used even if the ozone generator has an output of 0.6 A. The dissolved ozone concentration is equal to or higher than that of the case.
[0034]
Further, if the dissolved nitrogen concentration of ultrapure water is 13 ppm or less, the ozone gas dissolution efficiency becomes substantially constant, and it is not necessary to evacuate, and the atmospheric pressure is sufficient.
[0035]
In the membrane type deaerator shown in FIG. 3, the water evaporated from the ultrapure water is condensed on the outside of the membrane and the deaeration ability is lowered, so it is necessary to suck the outside of the membrane. If air outside the membrane is circulated, moisture condensation can be prevented and the necessary dissolved nitrogen can be removed without suction at a high degree of vacuum. Therefore, since the suction device can be simplified, the economic advantage including the maintenance cost is great.
[0036]
【The invention's effect】
According to the present invention, even with ultrapure water having poor ozone dissolution efficiency, by removing nitrogen, ozone gas dissolution efficiency can be increased in the same manner as city water and pure water. There is a great effect that the generator can be downsized.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram showing an example of a conventional method for producing ultrapure water.
FIG. 2 is a block diagram showing an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a block diagram showing another embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing an example of a deaeration device used in the present invention.
FIG. 5 is a schematic sectional view showing an example of an ozone dissolver used in the present invention.
FIG. 6 is a cross-sectional view showing another example of an ozone dissolver used in the present invention.
7A is an explanatory diagram showing interface enlargement in the case of an ejector, and FIG. 7B is an explanatory diagram showing interface enlargement in the case of a membrane type.
FIG. 8 is a block diagram of the device of the present invention used in the examples.
FIG. 9 is a diagram showing the relationship between dissolved nitrogen concentration and ozone water concentration obtained in an example of the present invention.
[Explanation of symbols]
1 ... Ozone dissolver 2 ... Use point 3 ... Degassing membrane 4 ... Depressurizer 7 ... Ejector 8 ... Gas-liquid separator 9 ... Ozone decomposer 10 ......... Tubular porous membrane 12 ... Housing 13 ... Ozone gas supply port 14 ... Ozone gas discharge port 15 ... Micropores

Claims

The outer side of the deaeration membrane with a tubular deaeration membrane installed in the housing is configured to allow air to flow in order to prevent dew condensation, and ultrapure water is passed through the tubular deaeration membrane. nitrogen in the water is removed below 14 ppm, the production method of the ozone-containing ultrapure water which is characterized that you introduce ozone gas in ultrapure water to remove the nitrogen.

The ultrapure water is the production of ultrapure water in the tank of the pressure change due to the water surface fluctuations, claim 1, which contains nitrogen by adjusting by introducing nitrogen gas into the ultrapure water tank Method.

A deaerator for removing nitrogen housings from ultra pure water interior tubular degassing membrane, and a device for air to be circulated in order to prevent condensation outside the dehydration gas film, the tube-shaped An ozone dissolver for introducing ozone gas into ultrapure water in which ultrapure water is passed through the degassing membrane and nitrogen in the ultrapure water is removed to 14 ppm or less. Water production equipment.