JP4084796B2

JP4084796B2 - ウエハボックス

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Publication number: JP4084796B2
Application number: JP2004348382A
Authority: JP
Inventors: 宗明呉; 天露何
Original assignee: Industrial Technology Research Institute ITRI
Current assignee: Industrial Technology Research Institute ITRI
Priority date: 2004-08-16
Filing date: 2004-12-01
Publication date: 2008-04-30
Anticipated expiration: 2024-12-01
Also published as: JP2006060183A; US7337911B2; SG120206A1; US20060032786A1; TWI267483B; TW200607725A

Description

本発明は一種のウエハボックスに係り、特に合理化された荷重積載の作用力伝送方式に適用され、並びに構造強度、精度、気密性、及び静電防護機能が高められたウエハボックスに関する。

現在、半導体工場で生産されるウエハは往々にしてウエハボート内に水平に配列され、このウエハボートは複数の支持フランジを具えて複数のウエハを挿入でき、このウエハボートが更にウエハボックス本体の下側板に組み付けられた後、ウエハボックス本体のカバーが閉じられて各ウエハが保護されて生産製造の伝送、ストック、及び出し入れの過程で超クリーン環境に保持され、微粒子粉塵による汚染を受けないものとされる。

図１は周知のウエハボックスの立体分解図である。それは、ウエハボックス本体９１、上取付板９２、及びウエハボート９３を具え、且つウエハボックス本体９１の上側板９１１に上組付け孔９１３が開設され、下側板９１２に下組付け板９１４が開設され、ウエハボート９３は下組付け孔９１４に挿入され並びにウエハボックス本体９１の内部収容室９１０内に収容され、且つ上取付板９２が上組付け孔９１３を通りウエハボート９３の上部９３１と相互に組み合わされる。

直接ウエハボックス本体９１の上側板９１１と下側板９１２に上組付け孔９１３と下組付け孔９１４が開設される設計方式は、製造上及び組立上、非常に容易でなく且つ製造コストが高くなり、且つウエハボックス本体９１の構造強度が破壊されやすくなる。このほか、ウエハボックス本体９１の開孔過多で面積が過大となると、内部収容室９１０の気密性が影響を受けやすくなり、このため外界の水気や微塵粒子が進入しやすくなり、理想的でない。僅かにエアシールパッキンリングを増設するしかその気密効果を強化する方法がない。このほか、ウエハボックス本体９１などの部品の死角が多く、関係洗浄設備で洗浄する時、洗浄及び乾燥が難しくなる現象が形成されやすい。

本発明の主要な目的は、一種のウエハボックスを提供することにあり、それは、ウエハボックス本体の構造強度が増され、且つ荷重積載時の作用力伝送方式が良好で、ウエハボックスに自動化伝送時に、荷重による変形が精度に影響するのを防止し、またウエハボックス本体の内部収容室の気密性を維持でき、更に静電防護の効果を提供し、並びに洗浄、乾燥などの維持作業が容易であるものとする。

請求項１の発明は、ウエハボックス本体、ホルダフレーム、上取付板、下取付板を具えたウエハボックスであり、
該ウエハボックス本体は内部収容室、前側開口、上板、及び下板を具え、且つ上板を貫通する複数の貫通孔が設けられ、下板を貫通する複数の穿孔が設けられ、
該ホルダフレームは上述のウエハボックス本体の内部収容室内部に収容され、且つ該ホルダフレームは、上横板及び二つの側板を具え、該二つの側板は上横板の二側が下向きに延伸されてなり、上横板の上方に複数の上固定構造が上向きに凸設され、二つの側板の底部にそれぞれ複数の下固定構造が下向きに凸設され、且つ二つの側板が内側面を具え、二つの内側面に複数の挿入溝が設けられ、
該上取付板はウエハボックス本体の上板の上方に設置され、且つ該上取付板は複数の上固定装置を具え、該複数の上固定装置はウエハボックス本体の上板の対応する貫通孔を通りそれぞれホルダフレームの上横板の対応する上固定構造に固定され、
該下取付板はウエハボックス本体の下板の下方に設置され、且つ下取付板は複数の下固定装置を具え、該複数の下固定装置はウエハボックス本体の下板の対応する穿孔を通りそれぞれホルダフレームの二つの側板の底部の対応する下固定構造に固定されることを特徴とする、ウエハボックスとしている。
請求項２の発明は、請求項１記載のウエハボックスにおいて、ホルダフレームの上横板と二つの側板が一体成形方式で形成されたことを特徴とする、ウエハボックスとしている。
請求項３の発明は、請求項１記載のウエハボックスにおいて、ホルダフレームの上横板の上固定構造がそれぞれネジ孔とされ、且つ上取付板の上固定装置が上ボルトと上貫通孔を具え、該上ボルトが対応する上貫通孔を通り対応する該ネジ孔に螺合されたことを特徴とする、ウエハボックスとしている。
請求項４の発明は、請求項１記載のウエハボックスにおいて、ホルダフレームの二つの側板の底部の下固定構造がそれぞれネジ孔とされ、且つ下取付板の下固定装置が下ボルトと下貫通孔を具え、該下ボルトが対応する下貫通孔を通り対応するネジ孔に螺合されたことを特徴とする、ウエハボックスとしている。
請求項５の発明は、請求項１記載のウエハボックスにおいて、上固定装置と上固定構造の間に少なくとも一つのＯリングが組み付けられ、且つ下固定装置と下固定構造の間にも少なくとも一つのＯリングが組み付けられたことを特徴とする、ウエハボックスとしている。
請求項６の発明は、請求項１記載のウエハボックスにおいて、ホルダフレームの上横板の二側に少なくとも一つの係合孔が設けられ、且つ二つの側板の上部に該係合孔に対応し係合可能な少なくとも一つのフックが設けられたことを特徴とする、ウエハボックスとしている。
請求項７の発明は、請求項１記載のウエハボックスにおいて、ホルダフレーム、上取付板、下取付板が導電性材料で形成されたことを特徴とする、ウエハボックスとしている。
請求項８の発明は、請求項１記載のウエハボックスにおいて、ウエハボックス本体が左側板と右側板を具え、該左側板の外側に左側ハンドルが組み付けられ、右側板の外側に右側ハンドルが組み付けられたことを特徴とする、ウエハボックスとしている。
請求項９の発明は、請求項８記載のウエハボックスにおいて、ウエハボックス本体が更に左接地部品と右接地部品を具え、該左接地部品が左側ハンドルと下取付板の間に接続され、右接地部品が右側ハンドルと下取付板の間に接続されたことを特徴とする、ウエハボックスとしている。
請求項１０の発明は、請求項９記載のウエハボックスにおいて、左側ハンドル、右側ハンドル、左接地部品、右接地部品がそれぞれ導電性材料で形成されたことを特徴とする、ウエハボックスとしている。
請求項１１の発明は、ウエハボックス本体、ホルダフレーム、上取付板、下取付板を具えたウエハボックスであり、
該ウエハボックス本体は内部収容室、前側開口、上板、及び下板を具え、且つ上板を貫通する複数の貫通孔が設けられ、下板を貫通する複数の穿孔が設けられ、
該ホルダフレームは上述のウエハボックス本体の内部収容室内部に収容され、且つ該ホルダフレームは、上横板、二つの側板、及び下横板を具え、該二つの側板は上横板の二側が下向きに延伸されてなり、該下横板は該二つの側板の底部に接続され、上横板の上方に複数の上固定構造が上向きに凸設され、二つの側板の底部にそれぞれ複数の下固定構造が下向きに凸設され、且つ二つの側板が内側面を具え、二つの内側面に複数の挿入溝が設けられ、
該上取付板はウエハボックス本体の上板の上方に設置され、且つ該上取付板は複数の上固定装置を具え、該複数の上固定装置はウエハボックス本体の上板の対応する貫通孔を通りそれぞれホルダフレームの上横板の対応する上固定構造に固定され、
該下取付板はウエハボックス本体の下板の下方に設置され、且つ下取付板は複数の下固定装置を具え、該複数の下固定装置はウエハボックス本体の下板の対応する穿孔を通りそれぞれホルダフレームの二つの側板の底部の対応する下固定構造に固定されることを特徴とする、ウエハボックスとしている。
請求項１２の発明は、請求項１１記載のウエハボックスにおいて、ホルダフレームの上横板、二つの側板、及び下横板が一体成形方式で形成されたことを特徴とする、ウエハボックスとしている。
請求項１３の発明は、請求項１１記載のウエハボックスにおいて、ホルダフレームの上横板の上固定構造がそれぞれネジ孔とされ、且つ上取付板の上固定装置が上ボルトと上貫通孔を具え、該上ボルトが対応する上貫通孔を通り対応するネジ孔に螺合されたことを特徴とする、ウエハボックスとしている。
請求項１４の発明は、請求項１１記載のウエハボックスにおいて、ホルダフレームの二つの側板の底部の下固定構造がそれぞれネジ孔とされ、且つ下取付板の下固定装置が下ボルトと下貫通孔を具え、該下ボルトが対応する下貫通孔を通り対応するネジ孔に螺合されたことを特徴とする、ウエハボックスとしている。
請求項１５の発明は、請求項１１記載のウエハボックスにおいて、上固定装置と上固定構造の間に少なくとも一つのＯリングが組み付けられ、且つ下固定装置と下固定構造の間にも少なくとも一つのＯリングが組み付けられたことを特徴とする、ウエハボックスとしている。
請求項１６の発明は、請求項１１記載のウエハボックスにおいて、ホルダフレームの上横板の二側に少なくとも一つの係合孔が設けられ、且つ二つの側板の上部に該係合孔に対応し係合可能な少なくとも一つのフックが設けられたことを特徴とする、ウエハボックスとしている。
請求項１７の発明は、請求項１１記載のウエハボックスにおいて、ホルダフレーム、上取付板、下取付板が導電性材料で形成されたことを特徴とする、ウエハボックスとしている。
請求項１８の発明は、請求項１１記載のウエハボックスにおいて、ウエハボックス本体が左側板と右側板を具え、該左側板の外側に左側ハンドルが組み付けられ、右側板の外側に右側ハンドルが組み付けられたことを特徴とする、ウエハボックスとしている。
請求項１９の発明は、請求項１８記載のウエハボックスにおいて、ウエハボックス本体が更に左接地部品と右接地部品を具え、該左接地部品が左側ハンドルと下取付板の間に接続され、右接地部品が右側ハンドルと下取付板の間に接続されたことを特徴とする、ウエハボックスとしている。
請求項２０の発明は、請求項１９記載のウエハボックスにおいて、左側ハンドル、右側ハンドル、左接地部品、右接地部品がそれぞれ導電性材料で形成されたことを特徴とする、ウエハボックスとしている。

本発明のウエハボックスは、ウエハボックス本体の構造強度が増され、且つ荷重積載時の作用力伝送方式が良好で、ウエハボックスに自動化伝送時に、荷重による変形が精度に影響するのを防止し、またウエハボックス本体の内部収容室の気密性を維持でき、更に静電防護の効果を提供し、並びに洗浄、乾燥などの維持作業が容易である。

本発明のウエハボックスは、ウエハボックス本体、ホルダフレーム、上取付板、下取付板を具えている。そのうち、ウエハボックス本体は内部収容室、前側開口、上板、及び下板を具え、且つ上板を貫通するように複数の貫通孔が設けられ、下板を貫通するように複数の穿孔が設けられている。

このほか、ホルダフレームは上述のウエハボックス本体の内部収容室内部に収容され、且つこのホルダフレームは、上横板及び二つの側板を具え、そのうち、二つの側板は上横板の二側が下向きに延伸されてなり、上横板の上方に複数の上固定構造が上向きに凸設され、二つの側板の底部にそれぞれ複数の下固定構造が下向きに凸設され、且つ二つの側板が内側面を具え、二つの内側面に複数の挿入溝が設けられている。

このほか、上取付板はウエハボックス本体の上板の上方に設置され、且つこの上取付板は複数の上固定装置を具え、該複数の上固定装置はウエハボックス本体の上板の対応する貫通孔を通りそれぞれホルダフレームの上横板の対応する上固定構造に固定される。下取付板はウエハボックス本体の下板の下方に設置され、且つ下取付板は複数の下固定装置を具え、該複数の下固定装置はウエハボックス本体の下板の対応する穿孔を通りそれぞれホルダフレームの二つの側板の底部の対応する下固定構造に固定される。

本発明のホルダフレームはウエハボックス本体の前側開口より直接ウエハボックス本体の内部収容室内部に挿入並びに収容され、これにより、本発明のウエハボックス本体には周知の技術のように他の位置に組立時にホルダフレームを収容するための開孔を設ける必要がなく、この状況にあって、ウエハボックス本体は製造上及び組立上、極めて便利なものとされ、荷重積載時の作用力伝送方式が優れており、且つウエハボックス本体の構造強度も破壊されず、ウエハボックスの自動化伝送時の荷重により発生する変形がホルダフレーム挿入溝位置の精度に影響を与えることがない。また、ウエハボックス本体開孔面積が減少するため、ウエハボックス本体の内部収容室の気密性を維持でき、外界の水気或いは微塵粒子のウエハボックス本体への進入を有効に隔離でき、ウエハボックスの機能或いは工程の必要に応じて慣性ガスを充填する時の保持効果を高めることができる。このほか、ホルダフレームはモジュール化された組み付け方式と新規な概念により、ウエハボックス本体全体の製造品質、材料選択の幅、及び生産コストダウンのいずれに対しても顕著なメリットを有する。

このほか、上述のウエハを積載するホルダフレームは導電性材料を使用して製造可能で、これにより静電防護機能（ＥｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃＤｉｓｃｈａｒｇｅ；ＥＳＤ）を形成可能で、これにより、ウエハボックス本体とホルダフレームの静電防護機能も良好に構築される。

また、本発明のホルダフレームの二つの側板の底部に下横板を接続可能である。このほか、前述のホルダフレームの上横板、二つの側板、及び下横板は一体成形方式で製造可能である。

図２は本発明の第１実施例の立体分解図、図３は本発明の第１実施例の立体組合せ図、図４は図３の固定構造と固定装置の断面図である。これらの図に示されるように、本発明のウエハボックスは、ウエハボックス本体１、ホルダフレーム２、上取付板３、及び下取付板４を具えている。

図示されるウエハボックス本体１は更に内部収容室１１、前側開口１２、上板１３、下板１４、左側板１５、右側板１６を具え、左側板１５の外側に左側ハンドル１５１が組み付けられ、右側板１６の外側に左側ハンドル１５１に対応する右側ハンドル（図示せず）が組み付けられ、且つ上板１３に該上板１３を貫通する複数の貫通孔１３１が設けられ、下板１４の二側に該下板１４を貫通する複数の穿孔１４１が設けられている。

このほか、図示されるホルダフレーム２は、本実施例ではウエハ６１を挿入できるウエハボートとされ、且つそれはウエハボックス本体１の前側開口１２より直接ウエハボックス本体１の内部収容室１１内部に挿入並びに収容され、且つこのホルダフレーム２は上横板２１、及び二つの側板２２を具え、そのうち二つの側板２２は上横板２１の二側より下向きに延伸され、且つこの二つの側板２２が内側面２２５を具え、二つの内側面２２５に複数の挿入溝２２６が設けられ、該挿入溝２２６は複数のウエハ６１を挿入するのに供される。上横板２１の上方に複数の上固定構造２１１が上向きに凸設され、二つの側板２２の底部２２１に複数の下固定構造２２２が下向きに凸設され、且つ本実施例では、上固定構造２１１と下固定構造２２２にネジ孔が使用されている。

このほか、図示されるように上取付板３はウエハボックス本体１の上板１３の上方に設置され、且つこの上取付板３は複数の上固定装置３１を具え、各上固定装置３１は本実施例では、上ボルト３１１、及び上貫通孔３１２を具え、各上ボルト３１１が対応する上貫通孔３１２とウエハボックス本体１の上板１３の対応する貫通孔１３１を通り、並びにホルダフレーム２の上横板２１の対応する上固定構造２１１のネジ孔に螺合される。

同様に、下取付板４はウエハボックス本体１の下板１４の下方に設置され、且つこの下取付板４は複数の下固定装置４１を具え、各下固定装置４１は本実施例では、下ボルト４１１、及び下貫通孔４１２を具え、各下ボルト４１１が対応する下貫通孔４１２とウエハボックス本体１の下板１４の対応する穿孔１４１を通り、並びにホルダフレーム２の側板２２の底部２２１の対応する下固定構造２２２のネジ孔に螺合される。

上述の組立過程中に、左側ハンドル１５１と右側ハンドル（図示せず）と下取付板４の間に左接地部品８と右接地部品（図示せず）が接続され、それぞれ導電材料で形成され、且つ左側ハンドル１５１、右側ハンドル（図示せず）もまた導電性材料で形成される。このほか、各上固定装置３１と各上固定構造２１１の間、及び各下固定装置４１と下固定構造２２２の間に、それぞれ三つのＯリング７が、ウエハボックス本体１の内部収容室１１を密封して気密を形成させるために組み付けられる。

上述の構造の組立完成後に、上取付板３、下取付板４とホルダフレーム２の間は直接組み合わされて一体に力を受ける状況が形成され、こうして上取付板３に力が加わる時、ホルダフレーム２により力を受けてウエハボックス本体１は無関係であり、ゆえにウエハボックス本体１が不当な外力により変形してホルダフレームの精度機能に影響が生じたり損壊する問題を防止できる。

以上から分かるように、ホルダフレーム２は直接ウエハボックス本体１の前側開口１２よりウエハボックス本体１の内部収容室１１内部に挿入並びに収容され、これによりウエハボックス本体１は周知の技術のように、ホルダフレーム２を収容するために別の位置に開孔を開設する必要がなく、この状況にあって、ウエハボックス本体１は製造上及び組立上、いずれも極めて便利なものとされ、且つウエハボックス本体の構造強度も破壊されず、また、ウエハボックス本体１の開孔面積が減少するため、ウエハボックス本体１の内部収容室１１の気密性を維持でき、外界の水気或いは微塵粒子のウエハボックス本体１への進入を有効に隔離できる。このほか、ホルダフレームがモジュール化された組み付け方式と新規な概念により、ウエハボックス本体全体の製造品質、材料選択の幅、及び生産コストダウンのいずれに対しても顕著なメリットを有する。このほか、ホルダフレーム２の開孔面積の大幅な減少により、死角過多の問題が発生せず、これにより関係洗浄設備で洗浄する時、洗浄と乾燥が容易である。

更に図２に示されるように、本実施例では、上述のホルダフレーム２の上横板２１の二側に二つの係合孔２１２が設けられ、且つ二つの側板２２の上部２２３に二つのフック２２４が設けられて該フック２２４が上横板２１の二側の二つの係合孔２１２に係合可能とされ、則ち、上横板２１及び二つの側板２２は本実施例では分離された設計とされるが、一体成形方式で設計することも可能である。

図３に示されるように、ウエハ６１を積載するホルダフレーム２は本実施例ではポリエチルイミド（ＰＥＩ）及びカーボンファイバを使用した導電性材料で形成され、これにより静電防護機能（ＥｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃＤｉｓｃｈａｒｇｅ；ＥＳＤ）を形成可能であるが、当然、ポリエチルエチルケトン（ＰＥＥＫ）及びカーボンファイバ等他の等しい効果を有する材料も使用可能である。前述の設計方式により、ウエハボックス本体１とホルダフレーム２の静電防護機能が良好に構築される。当然、上取付板３と下取付板４もまた導電性材料で形成可能で、これにより静電防護機能を強化できる。また、左側ハンドル１５１と右側ハンドル（図示せず）にも導電性材料で形成された左接地部品８を組み合わせることにより、その静電防護機能を強化できる。

図５は本発明の第２実施例の立体分解図であり、図６は本発明の第２実施例の立体組合せ図である。その主要な構造は第１実施例と同じであるが、異なるところは、本実施例では、ウエハ６１を積載するホルダフレーム５が更に下横板５３を具え、この下横板５３はホルダフレーム５の二つの側板５２の底部５２１に接続され、且つホルダフレーム５の上横板５１、二つの側板５２、及び下横板５３が一体成形方式で形成されている。しかし当然、上述の上横板５１、二つの側板５２及び下横板５３は第１実施例と同様に分離方式で形成可能である。

以上の実施例は本発明の実施範囲を限定するものではなく、本発明の権利請求範囲は特許請求の範囲の記載に準じ、上述の実施例に制限されない。本発明の載置物はウエハのような半導体に限定されるわけではなく、その他の例えばマスク、ガラス基板などクリーンな工程環境を必要とする製品のいずれにも応用可能である。

周知のウエハボックスの立体分解図である。本発明の第１実施例の立体分解図である。本発明の第１実施例の立体組合せ図である。図３の固定構造と固定装置の断面図である。本発明の第２実施例の立体分解図である。本発明の第２実施例の立体組合せ図である。

符号の説明

１ウエハボックス本体１１内部収容室１２前側開口
１３上板１３１貫通孔１４下板
１４１穿孔１５左側板１５１左側ハンドル
１６右側板２ホルダフレーム２１上横板
２１１上固定構造２１２係合孔２２側板
２２１底部２２２下固定構造２２３上部
２２４フック２２５内側面２２６挿入溝
３上取付板３１上固定装置３１１上ボルト
３１２上貫通孔４下取付板４１下固定装置
４１１下ボルト４１２下貫通孔５ホルダフレーム
５１上横板５２側板５２１底部
５３下横板６１、６２ウエハ７Ｏリング
８接地部品

Claims

ウエハボックス本体、ホルダフレーム、上取付板、下取付板を具えたウエハボックスであり、
該ウエハボックス本体は内部収容室、前側開口、上板、及び下板を具え、且つ上板を貫通する複数の貫通孔が設けられ、下板を貫通する複数の穿孔が設けられ、
該ホルダフレームは上述のウエハボックス本体の内部収容室内部に収容され、且つ該ホルダフレームは、上横板及び二つの側板を具え、該二つの側板は上横板の二側が下向きに延伸されてなり、上横板の上方に複数の上固定構造が上向きに凸設され、二つの側板の底部にそれぞれ複数の下固定構造が下向きに凸設され、且つ二つの側板が内側面を具え、二つの内側面に複数の挿入溝が設けられ、
該上取付板はウエハボックス本体の上板の上方に設置され、且つ該上取付板は複数の上固定装置を具え、該複数の上固定装置はウエハボックス本体の上板の対応する貫通孔を通りそれぞれホルダフレームの上横板の対応する上固定構造に固定され、
該下取付板はウエハボックス本体の下板の下方に設置され、且つ下取付板は複数の下固定装置を具え、該複数の下固定装置はウエハボックス本体の下板の対応する穿孔を通りそれぞれホルダフレームの二つの側板の底部の対応する下固定構造に固定されることを特徴とする、ウエハボックス。
請求項１記載のウエハボックスにおいて、ホルダフレームの上横板と二つの側板が一体成形方式で形成されたことを特徴とする、ウエハボックス。
請求項１記載のウエハボックスにおいて、ホルダフレームの上横板の上固定構造がそれぞれネジ孔とされ、且つ上取付板の上固定装置が上ボルトと上貫通孔を具え、該上ボルトが対応する上貫通孔を通り対応する該ネジ孔に螺合されたことを特徴とする、ウエハボックス。
請求項１記載のウエハボックスにおいて、ホルダフレームの二つの側板の底部の下固定構造がそれぞれネジ孔とされ、且つ下取付板の下固定装置が下ボルトと下貫通孔を具え、該下ボルトが対応する下貫通孔を通り対応するネジ孔に螺合されたことを特徴とする、ウエハボックス。
請求項１記載のウエハボックスにおいて、上固定装置と上固定構造の間に少なくとも一つのＯリングが組み付けられ、且つ下固定装置と下固定構造の間にも少なくとも一つのＯリングが組み付けられたことを特徴とする、ウエハボックス。
請求項１記載のウエハボックスにおいて、ホルダフレームの上横板の二側に少なくとも一つの係合孔が設けられ、且つ二つの側板の上部に該係合孔に対応し係合可能な少なくとも一つのフックが設けられたことを特徴とする、ウエハボックス。
請求項１記載のウエハボックスにおいて、ホルダフレーム、上取付板、下取付板が導電性材料で形成されたことを特徴とする、ウエハボックス。
請求項１記載のウエハボックスにおいて、ウエハボックス本体が左側板と右側板を具え、該左側板の外側に左側ハンドルが組み付けられ、右側板の外側に右側ハンドルが組み付けられたことを特徴とする、ウエハボックス。
請求項８記載のウエハボックスにおいて、ウエハボックス本体が更に左接地部品と右接地部品を具え、該左接地部品が左側ハンドルと下取付板の間に接続され、右接地部品が右側ハンドルと下取付板の間に接続されたことを特徴とする、ウエハボックス。
請求項９記載のウエハボックスにおいて、左側ハンドル、右側ハンドル、左接地部品、右接地部品がそれぞれ導電性材料で形成されたことを特徴とする、ウエハボックス。
ウエハボックス本体、ホルダフレーム、上取付板、下取付板を具えたウエハボックスであり、
該ウエハボックス本体は内部収容室、前側開口、上板、及び下板を具え、且つ上板を貫通する複数の貫通孔が設けられ、下板を貫通する複数の穿孔が設けられ、
該ホルダフレームは上述のウエハボックス本体の内部収容室内部に収容され、且つ該ホルダフレームは、上横板、二つの側板、及び下横板を具え、該二つの側板は上横板の二側が下向きに延伸されてなり、該下横板は該二つの側板の底部に接続され、上横板の上方に複数の上固定構造が上向きに凸設され、二つの側板の底部にそれぞれ複数の下固定構造が下向きに凸設され、且つ二つの側板が内側面を具え、二つの内側面に複数の挿入溝が設けられ、
該上取付板はウエハボックス本体の上板の上方に設置され、且つ該上取付板は複数の上固定装置を具え、該複数の上固定装置はウエハボックス本体の上板の対応する貫通孔を通りそれぞれホルダフレームの上横板の対応する上固定構造に固定され、
該下取付板はウエハボックス本体の下板の下方に設置され、且つ下取付板は複数の下固定装置を具え、該複数の下固定装置はウエハボックス本体の下板の対応する穿孔を通りそれぞれホルダフレームの二つの側板の底部の対応する下固定構造に固定されることを特徴とする、ウエハボックス。
請求項１１記載のウエハボックスにおいて、ホルダフレームの上横板、二つの側板、及び下横板が一体成形方式で形成されたことを特徴とする、ウエハボックス。
請求項１１記載のウエハボックスにおいて、ホルダフレームの上横板の上固定構造がそれぞれネジ孔とされ、且つ上取付板の上固定装置が上ボルトと上貫通孔を具え、該上ボルトが対応する上貫通孔を通り対応するネジ孔に螺合されたことを特徴とする、ウエハボックス。
請求項１１記載のウエハボックスにおいて、ホルダフレームの二つの側板の底部の下固定構造がそれぞれネジ孔とされ、且つ下取付板の下固定装置が下ボルトと下貫通孔を具え、該下ボルトが対応する下貫通孔を通り対応するネジ孔に螺合されたことを特徴とする、ウエハボックス。
請求項１１記載のウエハボックスにおいて、上固定装置と上固定構造の間に少なくとも一つのＯリングが組み付けられ、且つ下固定装置と下固定構造の間にも少なくとも一つのＯリングが組み付けられたことを特徴とする、ウエハボックス。
請求項１１記載のウエハボックスにおいて、ホルダフレームの上横板の二側に少なくとも一つの係合孔が設けられ、且つ二つの側板の上部に該係合孔に対応し係合可能な少なくとも一つのフックが設けられたことを特徴とする、ウエハボックス。
請求項１１記載のウエハボックスにおいて、ホルダフレーム、上取付板、下取付板が導電性材料で形成されたことを特徴とする、ウエハボックス。
請求項１１記載のウエハボックスにおいて、ウエハボックス本体が左側板と右側板を具え、該左側板の外側に左側ハンドルが組み付けられ、右側板の外側に右側ハンドルが組み付けられたことを特徴とする、ウエハボックス。
請求項１８記載のウエハボックスにおいて、ウエハボックス本体が更に左接地部品と右接地部品を具え、該左接地部品が左側ハンドルと下取付板の間に接続され、右接地部品が右側ハンドルと下取付板の間に接続されたことを特徴とする、ウエハボックス。
請求項１９記載のウエハボックスにおいて、左側ハンドル、右側ハンドル、左接地部品、右接地部品がそれぞれ導電性材料で形成されたことを特徴とする、ウエハボックス。