JP4080581B2 - 流量センサー - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体流量検知技術に属するものであり、特に、配管内を流れる流体の流量を検知するための流量センサーに関する。本発明の流量センサーは特に幅広い温度環境条件下において流体の流量を正確に測定するのに好適であり、また、製造上の組立容易性を企図したものである。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
従来、各種流体特に液体の流量(あるいは流速)を測定する流量センサー(あるいは流速センサー)としては、種々の形式のものが使用されているが、低価格化が容易であるという理由で、いわゆる熱式(特に傍熱型)の流量センサーが利用されている。
【0003】
この傍熱型流量センサーとしては、基板上に薄膜技術を利用して薄膜発熱体と薄膜感温体とを絶縁層を介して積層し、基板を配管に取付けたものが使用されている。発熱体に通電することにより感温体を加熱し、該感温体の電気的特性例えば電気抵抗の値を変化させる。この電気抵抗値の変化(感温体の温度上昇に基づく)は、配管内を流れる流体の流量(流速)に応じて変化する。これは、発熱体の発熱量のうちの一部が基板を経て流体中へと伝達され、この流体中へ拡散する熱量は流体の流量(流速)に応じて変化し、これに応じて感温体へと供給される熱量が変化して、該感温体の電気抵抗値が変化するからである。この感温体の電気抵抗値の変化は、流体の温度によっても異なり、このため、上記感温体の電気抵抗値の変化を測定する電気回路中に温度補償用の感温素子を組み込んでおき、流体の温度による流量測定値の変化をできるだけ少なくすることも行われている。
【0004】
このような、薄膜素子を用いた傍熱型流量センサーに関しては、例えば、特開平8−146026号公報に記載がある。
【0005】
ところで、従来の流量センサーは配管部分に取り付けられる金属製の管路を有しており、該金属製管路内を流体が通過するようになっている。そして、この金属製管路が外気に露出している。金属製管路は熱伝導性が高いため、外気温が変化するとその影響が直ちに管路内の流体(特に管路壁と接する部分)に伝達され、熱式流量センサーの流量測定の精度の低下をもたらす可能性がある。特に、流量が微少である場合には測定精度に与える影響が大きくなる。このような問題は、管路内を流れる流体の温度と外気温との差が大きい場合に顕著となる。
【0006】
また、流体が粘性流体特に粘度の比較的高い粘性流体である場合には、配管内の流体の流れと直交する断面における流速分布が顕著となる(断面内の中央部と外周部とで流速が大きく異なる)。従来の管壁に単に基板またはそれに接続されたケーシング部分を露出させたものの場合には、上記流速分布が、流量測定の精度に大きな影響を与える。これは、流量検知に際して、配管の断面中央部分を流れる流体の流速が考慮されず、配管の管壁近傍における流体の流速のみが考慮されるからである。このように、従来の流量センサーでは、比較的高い粘度を持つ粘性流体の場合には、正確な流量測定が困難であるという問題点があった。尚、常温において粘度が低い流体であっても、温度が低下するにつれて粘度が上昇するので、以上のような流体の粘性に関連する問題が発生する。特に、単位時間あたりの流量が多い場合より流量が比較的少ない場合には上記問題点が一層顕著である。
【0007】
そして、流量センサーが使用される温度環境は、地理的条件及び屋内外の別などにより極めて広い範囲であり、更に、これらに季節的条件及び昼夜の別などが加わり、温度環境の変化も極めて大きく、このような幅広い環境温度条件下において正確に流量を検知する流量センサーが望まれている。
【0008】
そこで、本発明の目的は、外部環境温度条件による測定精度への悪影響を阻止することで、測定精度の向上した熱式流量センサーを提供することにある。
【0009】
また、本発明の目的は、熱式流量センサーの製造上における組立を容易ならしめることにある。
【0010】
また、本発明の目的は、比較的高い粘度の粘性流体であっても、配管内を流れる該流体の流量を正確に測定できる流量センサーを提供することにある。
【0011】
更に、本発明の目的は、比較的少ない流量であっても、配管内を流れる該流体の流量を正確に測定できる流量センサーを提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、
発熱機能と感温機能とを有する流量検知部と、該流量検知部からの熱が被検知流体に伝達され吸熱されるように形成された該被検知流体のための管路とを備えており、前記流量検知部において発熱に基づき前記被検知流体による吸熱の影響を受けた感温が実行され、該感温の結果に基づき前記管路内の被検知流体の流量を検知する流量センサーであって、
前記管路の形成されたケーシングには前記管路に隣接して少なくとも1つの素子ユニット保持部が形成されており、該素子ユニット保持部のうちの1つには前記流量検知部を含む流量検知ユニットが保持されていることを特徴とする流量センサー、
が提供される。
【0013】
本発明の一態様においては、前記ケーシングは合成樹脂からなる。
【0014】
本発明の一態様においては、前記流量検知ユニットは、前記流量検知部と、該流量検知部に付設された第1の熱伝達用部材と、前記流量検知部に電気的に接続された第1の電極端子と、合成樹脂製の第1の基体部とを含んでおり、該第1の基体部が前記1つの素子ユニット保持部により保持されており、該第1の基体部から前記第1の熱伝達用部材が前記管路内へと延出しており、該第1の基体部から前記第1の電極端子が前記管路と反対の外側へと延出している。
【0015】
本発明の一態様においては、前記第1の熱伝達用部材は前記管路の断面の少なくとも中央部の近傍に至るように延びている。
【0016】
本発明の一態様においては、前記第1の基体部は、弾力性を有する内側部分と該内側部分の外側に配置された外側部分とからなる。
【0017】
本発明の一態様においては、前記第1の基体部の中心部には空洞が形成されている。
【0018】
本発明の一態様においては、前記第1の熱伝達用部材は平板状であり、該第1の熱伝達用部材の前記第1の基体部内の部分の片面に前記流量検知部が接合されている。
【0019】
本発明の一態様においては、前記第1の基体部と前記ケーシングとの間には前記管路に対するシール部材が介在している。
【0020】
本発明の一態様においては、前記ケーシングには、前記素子ユニット保持部の外側に素子収容部が形成されており、該素子収容部には配線基板が配置されており、該配線基板と前記流量検知ユニットの第1の電極端子とが電気的に接続されている。
【0021】
本発明の一態様においては、前記素子収容部は蓋により覆われている。
【0022】
本発明の一態様においては、前記流量検知部は、第1の基板上に薄膜発熱体と該薄膜発熱体の発熱の影響を受けるように配置された流量検知用薄膜感温体とを形成してなる。
【0023】
本発明の一態様においては、前記第1の熱伝達用部材は前記第1の基板に接合されている。
【0024】
本発明の一態様においては、前記薄膜発熱体と前記流量検知用薄膜感温体とは前記第1の基板の第1面上にて第1の絶縁層を介して積層されている。
【0025】
本発明の一態様においては、前記第1の熱伝達用部材は前記第1の基板の第2面に接合されている。
【0026】
本発明の一態様においては、前記第1の熱伝達用部材の前記管路の方向の寸法は、前記管路の断面内における前記第1の熱伝達用部材の延在方向と直交する方向の寸法より大きい。
【0027】
本発明の一態様においては、前記素子ユニット保持部のうちの他の1つには、前記流量検知の際の流体温度補償を行うための流体温度検知部を含む流体温度検知ユニットが保持されている。
【0028】
本発明の一態様においては、前記流体温度検知ユニットは、前記流体温度検知部と、該流体温度検知部に付設された第2の熱伝達用部材と、前記流体温度検知部に電気的に接続された第2の電極端子と、合成樹脂製の第2の基体部とを含んでおり、該第2の基体部が前記他の1つの素子ユニット保持部により保持されており、該第2の基体部から前記第2の熱伝達用部材が前記管路内へと延びており、該第2の基体部から前記第2の電極端子が管路と反対の側へと延出している。
【0029】
本発明の一態様においては、前記第2の熱伝達用部材は前記管路の断面の少なくとも中央部の近傍に至るように延びている。
【0030】
本発明の一態様においては、前記第2の基体部は、弾力性を有する内側部分と該内側部分の外側に配置された硬質の外側部分とからなる。
【0031】
本発明の一態様においては、前記第2の基体部の中心部には空洞が形成されている。
【0032】
本発明の一態様においては、前記第2の熱伝達用部材は平板状であり、該第2の熱伝達用部材の前記第2の基体部内の部分の片面に前記流体温度検知部が接合されている。
【0033】
本発明の一態様においては、前記第2の基体部と前記ケーシングとの間には前記管路に対するシール部材が介在している。
【0034】
本発明の一態様においては、前記配線基板と前記流体温度検知ユニットの第2の電極端子とが電気的に接続されている。
【0035】
本発明の一態様においては、前記流体温度検知部は、第2の基板上に流体温度検知用薄膜感温体を形成してなる。
【0036】
本発明の一態様においては、前記第2の熱伝達用部材は前記第2の基板に接合されている。
【0037】
本発明の一態様においては、前記流体温度検知用薄膜感温体は前記第2の基板の第1面上にて第2の絶縁層を介して積層されている。
【0038】
本発明の一態様においては、前記第2の熱伝達用部材は前記第2の基板の第2面に接合されている。
【0039】
本発明の一態様においては、前記第2の熱伝達用部材の前記管路の方向の寸法は、前記管路の断面内における前記第2の熱伝達用部材の延在方向と直交する方向の寸法より大きい。
【0040】
また、本発明によれば、
発熱機能と感温機能とを有する流量検知部と、該流量検知部からの熱が被検知流体に伝達され吸熱されるように形成された該被検知流体のための管路とを備えており、前記流量検知部において発熱に基づき前記被検知流体による吸熱の影響を受けた感温が実行され、該感温の結果に基づき前記管路内の被検知流体の流量を検知する流量センサーであって、
前記ケーシングは合成樹脂からなることを特徴とする流量センサー、
が提供される。
【0041】
更に、本発明によれば、
発熱機能と感温機能とを有する流量検知部において発熱に基づき被検知流体による吸熱の影響を受けた感温が実行され、該感温の結果に基づき被検知流体の流量を検知する流量センサーに用いられる流量検知ユニットであって、
前記流量検知部と、該流量検知部に付設された第1の熱伝達用部材と、前記流量検知部に電気的に接続された第1の電極端子と、合成樹脂製の第1の基体部とを含んでおり、該第1の基体部から前記第1の熱伝達用部材と前記第1の電極端子とが互いに反対側へと延出していることを特徴とする流量検知ユニット、
が提供され、
発熱機能と感温機能とを有する流量検知部において発熱に基づき被検知流体による吸熱の影響を受けた感温が実行され、該感温の結果に基づき被検知流体の流量を検知する流量センサーにて前記流量検知の際の流体温度補償を行うために用いられる流体温度検知ユニットであって、
流体温度検知部と、該流体温度検知部に付設された第2の熱伝達用部材と、前記流体温度検知部に電気的に接続された第2の電極端子と、合成樹脂製の第2の基体部とを含んでおり、該第2の基体部から前記第2の熱伝達用部材と前記第2の電極端子が互いに反対側へと延出していることを特徴とする流体温度検知ユニット、
が提供される。
【0042】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
【0043】
図1は本発明による流量センサーの一実施形態を示す一部切欠側面図であり、図2はその断面図である。
【0044】
これらの図において、2はケーシング本体部であり、該ケーシング本体部を貫通して管路4が形成されている。該管路4はケーシング本体部2の両端まで延びている。該ケーシング本体部2の両端において、外部配管と接続するための接続部(例えばオネジ)6a,6bが形成されている。ケーシング本体部2は合成樹脂製たとえば塩化ビニル樹脂製である。このケーシング本体部2には、管路4の上方にて素子収容部5が形成されており、該素子収容部5にはケーシング蓋体部8がネジ等により固定されている。該ケーシング蓋体部8と上記ケーシング本体部2とによりケーシングが構成されている。
【0045】
本実施形態では、ケーシング本体部2の素子収容部5の内側(即ち管路4側)に、管路4に隣接して2つの素子ユニット保持部50,60が形成されている。これら素子ユニット保持部50,60はいずれも管路4の径方向を中心とする円筒状内面を有する。第1の素子ユニット保持部50により流量検知ユニット51が保持されており、第2の素子ユニット保持部60により流体温度検知ユニット61が保持されている。
【0046】
流量検知ユニット51は、流量検知部12と、該流量検知部12に熱伝導性良好な接合材16により接合された熱伝達用部材としてのフィンプレート14と、電極端子52と、流量検知部12の電極を対応する電極端子52と電気的に接続するボンディングワイヤ28と、合成樹脂製の基体部53とを有する。該基体部53は異なる2つの部分すなわち内側部分53−1と外側部分53−2とからなる。内側部分53−1は、弾力性を有しており、例えばフッ素ゴム等からなり、ケーシング本体部2及び流量検知ユニット51を構成する各部材の熱膨張率差に基づき温度変化により発生する応力を吸収して変形することができる。また、外側部分53−2は、硬質で耐薬品性や耐油性が大きく、例えばポリフェニレンサルファイド(PPS)やポリブチレンテレフタレート(PBT)等からなる。基体部53は素子ユニット保持部50の内周面に対応した円筒形状外周面を有する。基体部53から、フィンプレート14の一部が管路4内へと延出しており、電極端子52の一部が管路4と反対の側(外側)へと延出している。すなわち、流量検知部12と、接合材16とフィンプレート14の一部と、電極端子52の一部とが基体部53により封止されている。
【0047】
流量検知部12は、図3に示されている様に、基板12−1の上面(第1面)上に絶縁層12−2を形成し、その上に薄膜発熱体12−3を形成し、その上に該薄膜発熱体のための1対の電極層12−4,12−5を形成し、その上に絶縁層12−6を形成し、その上に流量検知用薄膜感温体12−7を形成し、その上に絶縁層12−8を形成したチップ状のものからなる。基板12−1としては例えば厚さ0.5mm程度で大きさ2〜3mm角程度のシリコンやアルミナなどからなるものを用いることができ(アルミナなどの絶縁基板を用いる場合には、絶縁層12−2を省略することができる)、薄膜発熱体12−3としては膜厚1μm程度で所望形状にパターニングしたサーメットからなるものを用いることができ、電極層12−4,12−5としては膜厚0.5μm程度のニッケルからなるもの又はこれに膜厚0.1μm程度の金を積層したものを用いることができ、絶縁層12−2,12−6,12−8としては膜厚1μm程度のSiO2 からなるものを用いることができ、薄膜感温体12−7としては膜厚0.5〜1μm程度で所望形状例えば蛇行形状にパターニングした白金やニッケルなどの温度係数が大きく安定な金属抵抗膜を用いることができる(あるいは酸化マンガン系のNTCサーミスターからなるものを用いることもできる)。このように、薄膜発熱体12−3と薄膜感温体12−7とが薄膜絶縁層12−6を介して極く近接して配置されていることにより、薄膜感温体12−7は薄膜発熱体12−3の発熱の影響を直ちに受けることになる。
【0048】
図2に示されているように、流量検知部12の一方の面すなわち基板12−1の第2面に、熱伝達用部材としての平板状フィンプレート14が熱伝導性良好な接合材16により接合されている。フィンプレート14としては例えば銅、ジュラルミン、銅−タングステン合金からなる平板状のものを用いることができ、接合材16としては例えば銀ペーストを用いることができる。尚、ケーシング本体部2には、上記流量検知部12が配置されている位置において、フィンプレート14が通過する開口が形成されている。
【0049】
図1及び図2に示されているように、基体部53の外周面と素子ユニット保持部50の内周面との間には、管路4に対するシール部材としてのO−リング54が介在している。
【0050】
フィンプレート14は、上部分が流量検知部12に接合されており、下部分が管路4内へと延びている。該フィンプレート14は、ほぼ円形の断面を持つ管路4内において、その断面内の中央を通って上部から下部へと該管路4を横切って延在している。但し、管路4は必ずしも断面が円形である必要はなく、適宜の断面形状が可能である。管路4内において、上記フィンプレート14の管路方向の寸法L1 は該フィンプレート14の厚さL2 より十分大きい。このため、フィンプレート14は、管路4内における流体の流通に大きな影響を与えることなしに、流量検知部12と流体との間の熱伝達を良好に行うことが可能である。
【0051】
上記ケーシング本体部2には、素子ユニット保持部50から管路4に沿って隔てられた位置において、素子ユニット保持部60が配置されている。素子ユニット保持部60により流体温度検知ユニット61が保持されている。
【0052】
流体温度検知ユニット61は、流体温度検知部22と、該流体温度検知部22に熱伝導性良好な接合材により接合された熱伝達用部材としてのフィンプレート14’と、電極端子62と、流体温度検知部22の電極を対応する電極端子62と電気的に接続するボンディングワイヤ29と、合成樹脂製の基体部63とを有する。該基体部63は異なる2つの部分すなわち内側部分63−1と外側部分63−2とからなる。内側部分63−1は、弾力性を有しており、例えばフッ素ゴム等からなり、ケーシング本体部2及び流体温度検知ユニット61を構成する各部材の熱膨張率差に基づき温度変化により発生する応力を吸収して変形することができる。また、外側部分63−2は、硬質で耐薬品性や耐油性が大きく、例えばポリフェニレンサルファイド(PPS)やポリブチレンテレフタレート(PBT)等からなる。基体部63は素子ユニット保持部60の内周面に対応した円筒形状外周面を有する。基体部63から、フィンプレート14’の一部が管路4内へと延出しており、電極端子62の一部が管路4と反対の側(外側)へと延出している。すなわち、流体温度検知部22と、フィンプレート14’の一部と、電極端子62の一部とが基体部63により封止されている。
【0053】
温度検知部22は、上記流量検知部12と同様な基板上に、同様な薄膜感温体(流体温度補償用薄膜感温体)を形成したチップ状のものからなる。即ち、温度検知部22は、図3における薄膜発熱体12−3、1対の電極層12−4,12−5及び絶縁層12−6を除去したものと同様にして構成することができる。また、温度検知部22には、流量検知部12と同様にして、接合材によりフィンプレート14’が接合されている。
【0054】
流体温度検知ユニット61は、管路4内の流体流通方向に関して流量検知ユニット51の上流側に配置するのが好ましい。
【0055】
上記ケーシング本体部2の素子収容部5内には、配線基板26が固定配置されている。該配線基板26の電極のうちのいくつかは、上記流量検知ユニット51の電極端子52とワイヤボンディング等により電気的に接続されており(図示省略)、同様に上記流体温度検知ユニット61の電極端子62とワイヤボンディング等により電気的に接続されている(図示省略)。配線基板26の電極のうちの他のいくつかは外部リード線30と接続されていて、該外部リード線30はケーシング外へと延びている。
【0056】
図4は本実施形態の流量センサーの回路構成図である。図示されているように、直流電源40の電圧が、薄膜発熱体12−3とブリッジ回路42とに印加される。ブリッジ回路42中の差動増幅器44の出力として、流量を示す出力が得られる。即ち、流量検知部12において、薄膜発熱体12−3の発熱に基づき、フィンプレート14を介して被検知流体による吸熱の影響を受けて、薄膜感温体12−7による感温が実行され、該感温の結果に基づき、更に温度検知部22でフィンプレート14’を介して検知される被検知流体温度の補償を行って、管路4内の被検知流体の流量が検知される。
【0057】
図5は、本実施形態における流量検知ユニット51の変形例を示す断面図である。この変形例では、基体部53の中心部(内側部分53−1の中心部)には空洞55が形成されており、該空洞55内に流量検知部12が位置している。この空洞55の断熱効果により、流量検知部12に対する周囲環境からの熱的影響を低減することができる。基体部53には、空洞55と上記素子収容部5とを連通させる通気孔56を形成しておくことができる。流体温度検知ユニット61も同様に空洞及び通気孔を有するものとすることができる。
【0058】
図6は、本実施形態における素子ユニット保持部50への流量検知ユニット51の取り付けの変形例を示す断面図である。図1〜2においては、素子ユニット保持部50の内周面と流量検知ユニット51の外周面との双方にO−リング収容溝が形成されているが、本図6の例では素子ユニット保持部50の内周面のみにO−リング収容溝57を形成している。流量検知ユニット51の外周面のみにO−リング収容溝を形成することも可能である。素子ユニット保持部60への流体温度検知ユニット61の取り付けについても、同様にすることができる。
【0059】
以上の本実施形態によれば、ケーシング本体部2を熱伝導性の低い合成樹脂から構成しているので、周囲環境温度条件が変化しても、その影響が直ちに管路4内の被検知流体に及んで流量測定に悪影響を与えるようなことはない。
【0060】
また、流量検知部12を含んでいる流量検知ユニット51を素子ユニット保持部50により保持し、流体温度検知部22を含んでいる流体温度検知ユニット61を素子ユニット保持部60により保持するので、製造上における組立が容易である。
【0061】
また、フィンプレート14,14’を用いているので、被検知流体が比較的高い粘度の粘性流体であっても、更に管路4の断面内の径方向流量分布がどのようなものであろうとも、該流量分布を十分に反映した正確な流量検知が可能である。
【0062】
従って、比較的少ない微小流量であっても、あるいは幅広い環境温度条件下において、配管内を流れる流体の流量を正確に測定することが可能である。
【0063】
以上の実施形態においては、フィンプレート14,14’が管路断面の中央部を通って上部から下部へと横切っているが、該フィンプレート14,14’は管路断面の上部から中央部の近傍にまで延びているものとすることができる。これによって、管路4の断面内の径方向流量分布がどのようなものであろうとも、該流量分布を良好に反映した正確な流量検知が可能である。
【0064】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の流量センサーによれば、流量検知部を含む素子をユニット化しているので、製造上における組立が容易である。また、本発明の流量センサーによれば、外気温の変動による悪影響を受けにくい正確な流量測定が可能である。また、本発明の流量センサーによれば、比較的高い粘度の粘性流体であっても、配管内を流れる該流体の流量を正確に測定することができる。更に、本発明によれば、比較的少ない流量であっても、配管内を流れる該流体の流量を正確に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による流量センサーの一実施形態を示す一部切欠側面図である。
【図2】本発明による流量センサーの一実施形態を示す断面図である。
【図3】本発明による流量センサーの一実施形態の流量検知部の分解斜視図である。
【図4】本発明による流量センサーの一実施形態の流量センサーの回路構成図である。
【図5】本発明による流量センサーの流量検知ユニットの変形例を示す断面図である。
【図6】本発明による流量センサーの素子ユニット保持部への流量検知ユニットの取り付けの変形例を示す断面図である。
【符号の説明】
2 ケーシング本体部
4 管路
5 素子収容部
6a,6b 接続部
8 ケーシング蓋体部
12 流量検知部
12−1 基板
12−2 絶縁層
12−3 薄膜発熱体
12−4,12−5 電極層
12−6 絶縁層
12−7 流量検知用薄膜感温体
12−8 絶縁層
14,14’ フィンプレート
16, 接合材
22 流体温度検知部
26 配線基板
28,29 ボンディングワイヤ
30 外部リード線
40 直流電源
42 ブリッジ回路
44 差動増幅器
50 素子ユニット保持部
51 流量検知ユニット
52 電極端子
53 基体部
53−1 内側部分
53−2 外側部分
54 O−リング
55 空洞
56 通気孔
57 O−リング収容溝
60 素子ユニット保持部
61 流体温度検知ユニット
62 電極端子
63 基体部
63−1 内側部分
63−2 外側部分
64 O−リング
Claims (26)
- 発熱機能と感温機能とを有する流量検知部と、管路の形成されたケーシングとを備えており、前記流量検知部において発熱に基づき前記管路内の被検知流体による吸熱の影響を受けた感温が実行され、該感温の結果に基づき前記管路内の被検知流体の流量を検知する流量センサーであって、
前記ケーシングには前記管路に隣接して少なくとも1つの素子ユニット保持部が形成されており、該素子ユニット保持部のうちの1つには前記流量検知部を含む流量検知ユニットが保持されており、
前記流量検知ユニットは、前記流量検知部と、第1の熱伝達用部材と、前記流量検知部に電気的に接続された第1の電極端子と、合成樹脂製の第1の基体部とを含んでおり、該第1の基体部が前記1つの素子ユニット保持部により保持されており、該第1の基体部から前記第1の熱伝達用部材が前記管路内へと延出しており、該第1の基体部から前記第1の電極端子が前記管路と反対の外側へと延出しており、
前記第1の熱伝達用部材は平板状であり、該第1の熱伝達用部材の前記第1の基体部内の部分の片面に前記流量検知部が接合されていることを特徴とする流量センサー。 - 前記第1の基体部は、弾力性を有する内側部分と該内側部分の外側に配置された外側部分とからなることを特徴とする、請求項1に記載の流量センサー。
- 前記第1の基体部の中心部には空洞が形成されていることを特徴とする、請求項1〜2のいずれかに記載の流量センサー。
- 前記第1の熱伝達用部材は前記管路の断面の少なくとも中央部の近傍に至るように延びていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の流量センサー。
- 前記第1の熱伝達用部材の前記管路の方向の寸法は、前記管路の断面内における前記第1の熱伝達用部材の延在方向と直交する方向の寸法より大きいことを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の流量センサー。
- 前記流量検知部は、第1の基板上に薄膜発熱体と該薄膜発熱体の発熱の影響を受けるように配置された流量検知用薄膜感温体とを形成してなることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載の流量センサー。
- 前記第1の熱伝達用部材は前記第1の基板に接合されていることを特徴とする、請求項6に記載の流量センサー。
- 前記薄膜発熱体と前記流量検知用薄膜感温体とは前記第1の基板の第1面上にて第1の絶縁層を介して積層されていることを特徴とする、請求項6に記載の流量センサー。
- 前記第1の熱伝達用部材は前記第1の基板の第2面に接合されていることを特徴とする、請求項8に記載の流量センサー。
- 前記ケーシングは合成樹脂からなることを特徴とする、請求項1〜9のいずれかに記載の流量センサー。
- 前記第1の基体部と前記ケーシングとの間には前記管路に対するシール部材が介在していることを特徴とする、請求項1〜10のいずれかに記載の流量センサー。
- 前記ケーシングには、前記素子ユニット保持部の外側に素子収容部が形成されており、該素子収容部には配線基板が配置されており、該配線基板と前記流量検知ユニットの第1の電極端子とが電気的に接続されていることを特徴とする、請求項1〜11のいずれかに記載の流量センサー。
- 前記素子収容部は蓋により覆われていることを特徴とする、請求項12に記載の流量センサー。
- 前記素子ユニット保持部のうちの他の1つには、前記被検知流体の流量を検知する際の流体温度補償を行うための流体温度検知部を含む流体温度検知ユニットが保持されており、
前記流体温度検知ユニットは、前記流体温度検知部と、第2の熱伝達用部材と、前記流体温度検知部に電気的に接続された第2の電極端子と、合成樹脂製の第2の基体部とを含んでおり、該第2の基体部が前記他の1つの素子ユニット保持部により保持されており、該第2の基体部から前記第2の熱伝達用部材が前記管路内へと延びており、該第2の基体部から前記第2の電極端子が管路と反対の側へと延出しており、
前記第2の熱伝達用部材は平板状であり、該第2の熱伝達用部材の前記第2の基体部内の部分の片面に前記流体温度検知部が接合されていることを特徴とする、請求項1〜13のいずれかに記載の流量センサー。 - 前記第2の基体部は、弾力性を有する内側部分と該内側部分の外側に配置された硬質の外側部分とからなることを特徴とする、請求項14に記載の流量センサー。
- 前記第2の基体部の中心部には空洞が形成されていることを特徴とする、請求項14〜15のいずれかに記載の流量センサー。
- 前記第2の熱伝達用部材は前記管路の断面の少なくとも中央部の近傍に至るように延びていることを特徴とする、請求項14〜16のいずれかに記載の流量センサー。
- 前記第2の熱伝達用部材の前記管路の方向の寸法は、前記管路の断面内における前記第2の熱伝達用部材の延在方向と直交する方向の寸法より大きいことを特徴とする、請求項14〜17のいずれかに記載の流量センサー。
- 前記流体温度検知部は、第2の基板上に流体温度検知用薄膜感温体を形成してなることを特徴とする、請求項14〜18のいずれかに記載の流量センサー。
- 前記第2の熱伝達用部材は前記第2の基板に接合されていることを特徴とする、請求項19に記載の流量センサー。
- 前記流体温度検知用薄膜感温体は前記第2の基板の第1面上にて第2の絶縁層を介して積層されていることを特徴とする、請求項19に記載の流量センサー。
- 前記第2の熱伝達用部材は前記第2の基板の第2面に接合されていることを特徴とする、請求項21に記載の流量センサー。
- 前記第2の基体部と前記ケーシングとの間には前記管路に対するシール部材が介在していることを特徴とする、請求項14〜22のいずれかに記載の流量センサー。
- 前記配線基板と前記流体温度検知ユニットの第2の電極端子とが電気的に接続されていることを特徴とする、請求項14〜23のいずれかに記載の流量センサー。
- 発熱機能と感温機能とを有する流量検知部において発熱に基づき被検知流体による吸熱の影響を受けた感温が実行され、該感温の結果に基づき被検知流体の流量を検知する流量センサーに用いられる流量検知ユニットであって、
前記流量検知部と、第1の熱伝達用部材と、前記流量検知部に電気的に接続された第1の電極端子と、合成樹脂製の第1の基体部とを含んでおり、該第1の基体部から前記第1の熱伝達用部材と前記第1の電極端子とが互いに反対側へと延出しており、
前記第1の熱伝達用部材は平板状であり、該第1の熱伝達用部材の前記第1の基体部内の部分の片面に前記流量検知部が接合されていることを特徴とする流量検知ユニット。 - 発熱機能と感温機能とを有する流量検知部において発熱に基づき被検知流体による吸熱の影響を受けた感温が実行され、該感温の結果に基づき被検知流体の流量を検知する流量センサーにて前記被検知流体の流量を検知する際の流体温度補償を行うために用いられる流体温度検知ユニットであって、
流体温度検知部と、第2の熱伝達用部材と、前記流体温度検知部に電気的に接続された第2の電極端子と、合成樹脂製の第2の基体部とを含んでおり、該第2の基体部から前記第2の熱伝達用部材と前記第2の電極端子とが互いに反対側へと延出しており、
前記第2の熱伝達用部材は平板状であり、該第2の熱伝達用部材の前記第2の基体部内の部分の片面に前記流体温度検知部が接合されていることを特徴とする流体温度検知ユニット。
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