JP4073886B2 - 可変波長光源 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 55
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 34
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 20
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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- A63B—APPARATUS FOR PHYSICAL TRAINING, GYMNASTICS, SWIMMING, CLIMBING, OR FENCING; BALL GAMES; TRAINING EQUIPMENT
- A63B2225/00—Miscellaneous features of sport apparatus, devices or equipment
- A63B2225/60—Apparatus used in water
- A63B2225/605—Floating
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/023—Mount members, e.g. sub-mount members
- H01S5/02325—Mechanically integrated components on mount members or optical micro-benches
- H01S5/02326—Arrangements for relative positioning of laser diodes and optical components, e.g. grooves in the mount to fix optical fibres or lenses
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- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/14—External cavity lasers
- H01S5/141—External cavity lasers using a wavelength selective device, e.g. a grating or etalon
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- Physical Education & Sports Medicine (AREA)
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Description
図10に示した可変波長光源1は、半導体レーザ2の低反射面からの出射光をコリメートレンズ3によって平行光に変換して、光を回折する回折格子4の回折面4a側に入射し、その入射光に対して回折格子4が出射する回折光をミラー5に入射し、ミラー5の反射面5aによって反射された反射光を回折格子4へ逆光路で再入射させ、その反射光に対する回折光を半導体レーザ2に戻す構造を有している。
基台(21)と、
前記基台上に固定され、少なくとも一方の光出射面が低反射面である半導体レーザ(22)と、
前記基台上に固定され、前記半導体レーザの前記低反射面からの出射光を平行光に変換するコリメートレンズ(23)と、
前記基台上に固定され、前記コリメートレンズからの出射光を、回折溝(25b)が設けられた回折面(25a)の所定入射位置で受けて回折する回折格子(25)と、
前記基台上に固定され、前記回折格子の回折面に対向する位置にあって前記回折格子から出射される回折光を受けて該回折格子の回折面に逆光路で再入射して前記半導体レーザに戻すための反射面を有し、前記回折格子の回折面を延長した平面上で且つ前記回折溝と平行な軸を回動中心として前記反射面を所定角度範囲で往復回動できるように形成された回動ミラー(30)とを有し、
前記半導体レーザの実効共振端面から前記回折格子を経て前記回動ミラーの反射面に至る光路長で決まる共振器長を、前記回動ミラーの反射面の回動により変化させて、前記半導体レーザの出射光の波長を掃引するリトマン型の外部共振型の可変波長光源であって、
前記回動ミラーは、
前記基台に固定されたフレーム(31)と、
前記フレームの内側に配置され、少なくとも一面側に前記反射面が形成された反射板(32)と、
前記フレームの互いに対向する縁部から前記反射板の外縁まで一直線上に並ぶように延びて前記フレームと前記反射板との間を連結し、その長さ方向に沿った捩じれ変形が可能で前記軸をなす一対の連結部(33、34)と、
前記反射板に外力を与え、前記一対の連結部の中心を結ぶ線を前記回動中心として前記反射板を前記所定角度範囲で回動させる駆動手段(35、36、40)とを有し、
前記回動ミラーの反射面を延長した平面と前記回折格子の回折面を前記回動ミラーの回動中心側へ延長した平面とではさまれる空間で、且つ前記回折格子の所定入射位置と前記回動ミラーの回動中心との間の位置に固定ミラー(24)を配置するとともに、
前記半導体レーザと前記コリメートレンズとを前記回動ミラーの反射面を延長した平面で区切られる2つの空間のうち前記回折格子を含む空間側に配置し、前記半導体レーザから前記コリメートレンズを介して出射される光を前記固定ミラーへ入射させ、該固定ミラーで反射した光を前記回折格子の回折面の所定入射位置に入射させ、前記半導体レーザから前記回折格子までの光路を前記回動ミラーに対して非交差とし、
さらに、前記回動中心から前記回折格子の回折面の所定入射位置までの距離r、前記回動中心から前記反射面を延長した平面までの距離L2、前記半導体レーザの実効共振端面から前記固定ミラーまでの光路長L3、該固定ミラーから前記回折格子の回折面の所定入射位置までの光路長L4および前記固定ミラーから前記回折格子の回折面への光入射角αとの間に、
r=(L3+L4−L2)/sin α
の関係が成り立つようにしたことを特徴としている。
前記半導体レーザから前記コリメートレンズを経て前記固定ミラーに至る光路が前記回折格子の回折溝と平行となるように配置したことを特徴としている。
前記回動ミラーの反射板の一面には前記軸の両側に反射面が形成され、該両側の反射面のそれぞれに対して、前記した半導体レーザ、コリメートレンズ、固定ミラーおよび回折格子の組が設けられていることを特徴としている。
r=(L3+L4−L2)/sin α
が成り立つようにしているので、モードホップすることなく、出射波長を連続掃引できる。
図1、図2は、本発明の実施形態の可変波長光源20の構造全体を示す図、図3は、要部の構造を示している。
r=(L1−L2)/sin α
が成り立つようにすることで、モードホップを発生することなく、波長を連続的に可変できるというものである。
Claims (3)
- 基台(21)と、
前記基台上に固定され、少なくとも一方の光出射面が低反射面である半導体レーザ(22)と、
前記基台上に固定され、前記半導体レーザの前記低反射面からの出射光を平行光に変換するコリメートレンズ(23)と、
前記基台上に固定され、前記コリメートレンズからの出射光を、回折溝(25b)が設けられた回折面(25a)の所定入射位置で受けて回折する回折格子(25)と、
前記基台上に固定され、前記回折格子の回折面に対向する位置にあって前記回折格子から出射される回折光を受けて該回折格子の回折面に逆光路で再入射して前記半導体レーザに戻すための反射面を有し、前記回折格子の回折面を延長した平面上で且つ前記回折溝と平行な軸を回動中心として前記反射面を所定角度範囲で往復回動できるように形成された回動ミラー(30)とを有し、
前記半導体レーザの実効共振端面から前記回折格子を経て前記回動ミラーの反射面に至る光路長で決まる共振器長を、前記回動ミラーの反射面の回動により変化させて、前記半導体レーザの出射光の波長を掃引するリトマン型の外部共振型の可変波長光源であって、
前記回動ミラーは、
前記基台に固定されたフレーム(31)と、
前記フレームの内側に配置され、少なくとも一面側に前記反射面が形成された反射板(32)と、
前記フレームの互いに対向する縁部から前記反射板の外縁まで一直線上に並ぶように延びて前記フレームと前記反射板との間を連結し、その長さ方向に沿った捩じれ変形が可能で前記軸をなす一対の連結部(33、34)と、
前記反射板に外力を与え、前記一対の連結部の中心を結ぶ線を前記回動中心として前記反射板を前記所定角度範囲で回動させる駆動手段(35、36、40)とを有し、
前記回動ミラーの反射面を延長した平面と前記回折格子の回折面を前記回動ミラーの回動中心側へ延長した平面とではさまれる空間で、且つ前記回折格子の所定入射位置と前記回動ミラーの回動中心との間の位置に固定ミラー(24)を配置するとともに、
前記半導体レーザと前記コリメートレンズとを前記回動ミラーの反射面を延長した平面で区切られる2つの空間のうち前記回折格子を含む空間側に配置し、前記半導体レーザから前記コリメートレンズを介して出射される光を前記固定ミラーへ入射させ、該固定ミラーで反射した光を前記回折格子の回折面の所定入射位置に入射させ、前記半導体レーザから前記回折格子までの光路を前記回動ミラーに対して非交差とし、
さらに、前記回動中心から前記回折格子の回折面の所定入射位置までの距離r、前記回動中心から前記反射面を延長した平面までの距離L2、前記半導体レーザの実効共振端面から前記固定ミラーまでの光路長L3、該固定ミラーから前記回折格子の回折面の所定入射位置までの光路長L4および前記固定ミラーから前記回折格子の回折面への光入射角αとの間に、
r=(L3+L4−L2)/sin α
の関係が成り立つようにしたことを特徴とする可変波長光源。 - 前記半導体レーザから前記コリメートレンズを経て前記固定ミラーに至る光路が前記回折格子の回折溝と平行となるように配置したことを特徴とする請求項1記載の可変波長光源。
- 前記回動ミラーの反射板の一面には前記軸の両側に反射面が形成され、該両側の反射面のそれぞれに対して、前記した半導体レーザ、コリメートレンズ、固定ミラーおよび回折格子の組が設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の可変波長光源。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004100240A JP4073886B2 (ja) | 2004-03-30 | 2004-03-30 | 可変波長光源 |
US11/086,858 US7496118B2 (en) | 2004-03-30 | 2005-03-21 | External cavity resonator type tunable light source which can be easily manufactured and which is capable of wavelength sweeping at high speed |
EP05006356.9A EP1605563B1 (en) | 2004-03-30 | 2005-03-23 | External cavity resonator type light source |
KR1020050026019A KR100699626B1 (ko) | 2004-03-30 | 2005-03-29 | 외부 공동 공진기형 가변파장 광원 |
US12/077,398 US7643520B2 (en) | 2004-03-30 | 2008-03-19 | External cavity resonator type tunable light source which can be easily manufactured and which is capable of wavelength sweeping at high speed |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004100240A JP4073886B2 (ja) | 2004-03-30 | 2004-03-30 | 可変波長光源 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005284125A JP2005284125A (ja) | 2005-10-13 |
JP4073886B2 true JP4073886B2 (ja) | 2008-04-09 |
Family
ID=35054230
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004100240A Expired - Lifetime JP4073886B2 (ja) | 2004-03-30 | 2004-03-30 | 可変波長光源 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7496118B2 (ja) |
EP (1) | EP1605563B1 (ja) |
JP (1) | JP4073886B2 (ja) |
KR (1) | KR100699626B1 (ja) |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4557730B2 (ja) * | 2005-01-28 | 2010-10-06 | アンリツ株式会社 | 光スペクトラムアナライザ |
JP2008227407A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Yokogawa Electric Corp | 外部共振器型波長可変光源及び光源装置 |
JP4477659B2 (ja) * | 2007-06-29 | 2010-06-09 | 富士通株式会社 | マイクロ揺動素子およびマイクロ揺動素子アレイ |
JP2009139546A (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-25 | Anritsu Corp | 可変波長光源 |
KR101053372B1 (ko) * | 2008-09-26 | 2011-08-01 | 김정수 | 외부 공진기를 이용한 파장 가변형 반도체 레이저 |
JP5103412B2 (ja) * | 2009-01-28 | 2012-12-19 | アンリツ株式会社 | 波長掃引光源 |
ES2324275B1 (es) * | 2009-02-02 | 2010-03-16 | Macsa Id, S.A. | "aparato laser". |
JP5103416B2 (ja) * | 2009-02-13 | 2012-12-19 | アンリツ株式会社 | 波長掃引光源 |
JP2010192528A (ja) * | 2009-02-16 | 2010-09-02 | Anritsu Corp | 半導体光素子とそれを用いた波長掃引光源 |
JP5103421B2 (ja) * | 2009-02-25 | 2012-12-19 | アンリツ株式会社 | 波長掃引光源 |
JP5308198B2 (ja) * | 2009-03-11 | 2013-10-09 | アンリツ株式会社 | 光パルス発生器およびそれを用いた光計測器 |
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JP2011079683A (ja) * | 2009-10-02 | 2011-04-21 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 単結晶ダイヤモンド成長用基材及び単結晶ダイヤモンド基板の製造方法 |
JP5377212B2 (ja) | 2009-10-13 | 2013-12-25 | 信越化学工業株式会社 | 単結晶ダイヤモンド基板の製造方法 |
JP2011180534A (ja) * | 2010-03-03 | 2011-09-15 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Mems素子、可動式ミラー、および光スイッチ装置 |
JP5468528B2 (ja) | 2010-06-28 | 2014-04-09 | 信越化学工業株式会社 | 単結晶ダイヤモンド成長用基材及びその製造方法並びに単結晶ダイヤモンド基板の製造方法 |
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US11978752B2 (en) | 2019-07-26 | 2024-05-07 | Metalenz, Inc. | Aperture-metasurface and hybrid refractive-metasurface imaging systems |
US11927769B2 (en) | 2022-03-31 | 2024-03-12 | Metalenz, Inc. | Polarization sorting metasurface microlens array device |
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- 2004-03-30 JP JP2004100240A patent/JP4073886B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2005
- 2005-03-21 US US11/086,858 patent/US7496118B2/en active Active
- 2005-03-23 EP EP05006356.9A patent/EP1605563B1/en active Active
- 2005-03-29 KR KR1020050026019A patent/KR100699626B1/ko active IP Right Grant
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2008
- 2008-03-19 US US12/077,398 patent/US7643520B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050220162A1 (en) | 2005-10-06 |
KR100699626B1 (ko) | 2007-03-23 |
EP1605563A2 (en) | 2005-12-14 |
JP2005284125A (ja) | 2005-10-13 |
EP1605563A3 (en) | 2007-10-03 |
US20080175281A1 (en) | 2008-07-24 |
US7643520B2 (en) | 2010-01-05 |
US7496118B2 (en) | 2009-02-24 |
KR20060044933A (ko) | 2006-05-16 |
EP1605563B1 (en) | 2014-05-07 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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