JP4069304B2 - ベローズ継手 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は真空機器や真空配管の一部を構成する柔軟な可撓構造のベローズ継手に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図10は、従来から真空機械や真空用バルブの大気圧と真空の圧力差を変位とともにシールする目的で、広範囲な分野で多く使用されているベローズ継手の一例を示す。
【0003】
図中、1はフランジ、2はパイプ、3はベローズフランジ、4は金属製ベローズ、5はベローズフランジ、6はパイプ、7はフランジである。
【0004】
このベローズ継手は、外力によって軸線方向、すなわち、長さ方向に伸縮することができるほか、軸線方向に対する曲げや両端のフランジの軸線が相対的に平行に移動する、いわゆる軸直角変位が可能である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
金属製ベローズは、その製造方法によって成形ベローズ、溶接ベローズなどの種類があるが、いずれのベローズも構造上円周方向の回転角を吸収することが不可能であるため、回転はできないものとして取扱われてきた。
【0006】
そこで本発明の目的とするところは、円周方向に回転変位が可能なベローズ継手を提供することにあり、とりわけ従来技術による複数のベローズと組み合わせて、円周方向に回転変位が可能なベローズ継手を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
すなわちこの発明のベローズ継手は前記の目的を達成するために、円筒軸に対して、45°±30°の角度をもって傾斜して取り付けた薄肉の金属製ベローズを備えたものであり、ベローズの両端に取り付けたパイプの相対的な角度変位を可能にしている。
【0008】
この発明のベローズ継手は、両端にフランジを有するとともに、継手の円筒軸に対してベローズの軸線が45°±30°の角度となるように傾斜して取り付けた薄肉の金属製ベローズを備えたことをも特徴とするものである。
【0009】
この発明のベローズ継手は、金属製ベローズが円形の輪郭を備えたことをも特徴とするものである。
【0010】
この発明のベローズ継手は、金属製ベローズ端部の円筒軸部分に伸縮および角度変位が可能なベローズを連結したことをも特徴とするものである。
【0011】
この発明のベローズによれば、円周方向の外力が加わると円筒軸の軸芯に対して傾きをもって取り付けられたベローズの角度変位によって、ベローズ両端のパイプが「く」の字のように折れて、結果的に両端のパイプが元の直線状態に比べて相対的に所定の角度をもって回転する。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいてこの発明に係るベローズ継手の実施の形態を詳細に説明する。
【0013】
図1はこの発明の第1の実施例のベローズ構造体を、一部断面で示す正面図で、8はフランジ、9はパイプ(円筒)、10はベローズフランジ、11は薄肉の金属製ベローズ、12はベローズフランジ、13はパイプ(円筒)、14はフランジを示す。この例における金属製ベローズ11は円形の輪郭を備えており、パイプ9の円筒軸に対して金属製ベローズ11の軸線が45°の角度となるように傾斜して取り付けられている。
【0014】
金属製ベローズ11は、その軸線が上記円筒軸に対して45°±30°の角度となるよう傾斜して取り付けられる。この軸線の傾きは、上記円筒軸に対して約45°であることが最大の回転変位を得ることができるが、上記円筒軸に対して軸線の傾きが45°±30°の範囲であれば、ほぼ充分な回転変位を得ることができる。
【0015】
金属製ベローズ11の長さは、フランジ間の長さのみならず、要求される回転変位ならびに角度変位の大きさや、伸縮の範囲等を勘案して適宜決定することができる。また金属製ベローズ11の直径は、円筒部分を連結する位置の確保の観点から自動的に決定される。
【0016】
図2は、図1におけるフランジ14の動きを説明するための図で、上の方向から見た平面図である。
【0017】
説明のために図3の右側面図に示したフランジ14の位置A点とB点およびフランジ中心を示すO点は、フランジ8を固定して、フランジ14に円周方向の外力を加えると、図3のA’、B’、O’の位置にそれぞれ移動する。このとき、フランジ中心位置が移動し、フランジ14が元の位置から見ると図に示すθ°だけ回転運動したことになる。
【0018】
前記実施例に対して、ベローズ両端に取り付けたパイプに、伸縮および角度変位が可能なベローズをそれぞれ連結することによって、上記実施例のベローズが変位したときに生じるフランジ間の全長の変化と両フランジの軸芯の変化を吸収し、0’点を元の0点に戻すことによって回転角度の変位のみとすることができる。
【0019】
図4および図5はこの発明のベローズ継手の他の実施例を示すもので、それぞれベローズ構造体を一部断面で示した正面図、および上の方向から見た平面図である。
【0020】
図4および図5に示した実施例のベローズ継手は、パイプの円筒軸に対して軸線が45°の角度となるように傾斜して取り付けた薄肉の金属製大口径ベローズA15を中心にして、その両端にベローズフランジ16,17、およびパイプ18,19を介して、従来技術による小口径ベローズB20,21をそれぞれ接続し、さらにフランジ22,23を連結している。
【0021】
このような構造であるから、一端のフランジに円周方向の回転力が加わると3個のベローズが1組となって他端のフランジに対して相対的に回転変位を行なうことが可能となる。
【0022】
フランジが回転可能な角度は、ベローズAとベローズBの仕様寸法によって異なる。例えば、この実施例のようにベローズAを内径180mm、外径220mm、板厚0.2mm、山数15山、自由長45mmとし、ベローズBを内径90mm、外径120mm、板厚0.15mm、山数30山、自由長50mmとしたとき、フランジ回転可能な角度は約30°である。
【0023】
上記実施例では回転変位を吸収するベローズA15と両端フランジ22,23との間に、従来の伸縮および角度変位が吸収できるベローズB20,21をユニバーサル継手のように配置した構成により、回転運動に伴うベローズA15の角度変位によるフランジ面間の変化を、ベローズB20,21の変位によってフランジ面間を変化させずに回転運動のみとすることができるばかりでなく、場合によってはフランジ22,23間の伸縮変位も可能であり、さらにフランジ22,23の軸線方向に対する曲げやフランジ22,23の軸線が互いに平行にずれる軸直角変位も可能である。
【0024】
したがって、両フランジ22,23間の、変位に対する自由度が非常に大きいこともこのベローズ継手の特徴である。
【0025】
図6はこの発明の別の実施例を示すもので、前記実施例の大口径ベローズA15の上下に対向するようにヒンジ31を設けてあり、内部を真空引きしたときにベローズ内外の圧力差によってベローズA15が短縮するのを防止している。そしてベローズA15をヒンジ構造としたことにより、ベローズA15は角度変位のみの動きとなり、その動きが阻害されないので両フランジ間の相対的な回転運動が容易に行なわれる。
【0026】
図7は、図6の実施例を説明するための平面図、図8は図7の実施例のベローズ継手を実際に回転させたときの動きを示した平面図である。
【0027】
図9は上記実施例におけるベローズ内面の変形状態を示すもので、フランジ端部から見ることができるベローズ内の円形の輪郭が、ベローズ継手を実際に回転させることによって幅を狭める方向に変形し、縮小する状態を示すものである。いずれにしても、フランジ端部から見ることができるベローズ内の断面積がさほど変化しないことが望ましい。
【0028】
ヒンジ構造の代わりに、ジンバル構造としてもその作用は同様に行なわれるが、ベローズ内外の圧力差によって生じるベローズ長さの変化を起こさせず角度変位のみの動きにすることが目的であるから、ヒンジ構造またはジンバル構造に限定するものではない。
【0029】
なお、上記実施例では円筒軸に対して45°±30°の角度となるよう傾斜して取り付けられたベローズAと従来の伸縮用ベローズBを2個、計3個のベローズを組み合わせたものを示したが、逆にベローズBの両端にベローズAを配置してもよい。またこの実施例のベローズAを複数個連結することにより回転角度を大きくすることも可能である。
【0030】
この場合、ベローズAの傾斜角度を同一方向で連結したり、90°角度を変えて連結することも可能である。
【0031】
また、ベローズAを3個以上、軸芯の方向から見て放射方向に角度をずらせて連結することにより、比較的短い面間で周方向の回転変位量を大きくすることが可能である。
【0032】
以上説明したように、上記第1の実施例では、従来のベローズを使用して回転運動に変換することができるので、ベローズ継手としての自在性を大幅に向上させることができるようになった。
【0033】
また、第2の実施例のベローズ継手によれば、上記第1の実施例の効果を達成し得るとともに、このベローズが変位するときに生じる面間の変化を吸収することができ、各ベローズの変位によってフランジ面の有効開口部に対する見通しの面積が多少狭くはなるものの、ベローズの口径を適当に大きく選定すればよく、非常に柔軟に回転運動を動作させることができるので、例えば内部を高真空に保った光学装置において、光ビームを通過させる部分において効果的に使用することができるようになった。
【0034】
【発明の効果】
以上説明したようにこの発明のベローズ継手によれば、簡単な構造で円周方向に回転変位が可能なベローズ継手を提供できるようになり、とりわけ従来技術による複数のベローズと組み合わせて、円周方向に回転変位が可能なベローズ継手を提供できるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明のベローズ継手の一実施例を示す一部破断正面図である。
【図2】図1の上の方向から見た平面図である。
【図3】図1のフランジの動きを示す上方向から見た右側面図である。
【図4】この発明のベローズ継手の他の実施例を示す一部破断正面図である。
【図5】図4の上の方向から見た平面図である。
【図6】この発明のベローズ継手の別の実施例を示す一部破断正面図である。
【図7】図6の上の方向から見た平面図である。
【図8】図7の両端フランジを相対的に回転させたときの動きを説明した平面図である。
【図9】上記実施例におけるベローズ内面の断面積の変化を示す概略図である。
【図10】従来のベローズ継手の一例を示す一部破断正面図である。
【符号の説明】
1 フランジ
2 パイプ
3 ベローズフランジ
4 金属製ベローズ
5 ベローズフランジ
6 パイプ
7 フランジ
8 フランジ
9 パイプ
10 ベローズフランジ
11 ベローズ
12 ベローズフランジ
13 パイプ
14 フランジ
15 大口径ベローズA
16,17 ベローズフランジ
18,19 パイプ
20,21 小口径ベローズB
22,23 フランジ
31 ヒンジ

Claims (4)

  1. 円筒軸に対して、45°±30°の角度をもって傾斜して取り付けた薄肉の金属製ベローズを備えたことを特徴とするベローズ継手。
  2. 両端にフランジを有するとともに、継手の円筒軸に対してベローズの軸線が45°±30°の角度となるように傾斜して取り付けた薄肉の金属製ベローズを備えたことを特徴とするベローズ継手。
  3. 金属製ベローズが円形の輪郭を備えた請求項1または2に記載のベローズ継手。
  4. 金属製ベローズ端部の円筒軸部分に伸縮および角度変位が可能なベローズを連結してなる請求項1ないし3のいずれかに記載のベローズ継手。
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