JP4059860B2

JP4059860B2 - 微弱光検出方法および装置

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Publication number: JP4059860B2
Application number: JP2004069161A
Authority: JP
Inventors: 恭二土井; 憲明木村; 孝佳弓井; 弘能林; 卓史吉田
Original assignee: Mitsui Engineering and Shipbuilding Co Ltd; Mitsui E&S Holdings Co Ltd
Current assignee: Mitsui Engineering and Shipbuilding Co Ltd; Mitsui E&S Holdings Co Ltd
Priority date: 2004-03-11
Filing date: 2004-03-11
Publication date: 2008-03-12
Anticipated expiration: 2024-03-11
Also published as: JP2005257453A

Description

本発明は、蛍光などの微弱な光を検出する微弱光検出方法および装置に関する。

エッチング装置やプラズマＣＶＤ装置などの半導体製造装置は、プラズマを利用している。このため、プラズマやラジカル状態にあるガスの分析、またプラズマにレーザを照射して発生する蛍光の時間的な変化（時間分解）を求めてガスの組成や、密度分布などを分析することは、半導体デバイスの製造にとって重要である。

一方、バイオテクノロジーや生化学、医療などのライフサイエンスの分野または環境分野などにおいて、特定のＤＮＡやタンパク質、細胞などを検出する場合、または溶液中に含有されている微量物質を検出する場合、蛍光を利用した検出がしばしば行なわれる。例えば、ＤＮＡチップリーダやフローサイトメータなどを用いて特定のＤＮＡを検出する場合、これとハイブリッドを形成するＤＮＡ断片に蛍光プローブを添加し、レーザ光を照射して蛍光プローブから生じる蛍光の有無により行なっている。そして、バックグラウンドノイズを低減し、生体分子の時間的な構造変化や分子間の相互作用を分析する場合、蛍光の時間的変化を得る必要がある。

従来、ナノ秒パルス光という高速信号を直接、同時に多チャンネルによって検出することは、技術的に困難であるために行なわれていなかった。そして、従来の時間分解蛍光測定装置は、一般に励起光であるレーザビームを１点に照射し、多数の試料を配置した試料台（ＸＹステージ）を機械的に移動させて、各試料にレーザビームを順次照射して蛍光を計測するようにしている。また、１本のレーザビームをガルバノミラーによって機械的に駆動して走査し、各試料にレーザビームを照射する装置もある。従来のこれらの装置は、いずれも試料にレーザビームを短時間照射して計測するようになっており、計測に十分な蛍光を得るために、レーザビームの強度を大きくする必要がある。このため、試料にダメージを与えることになりやすい。

さらに、２次元映像装置をタイムゲートという技術によって時間分解するＩＣＣＤのような方法もある。この方法は、パルスレーザの照射からΔｔ時間経過後の画像を得るようにしており、遅延させてゲートを開き、したがって高い時間分解能を得るには多大の時間を要する。しかも、ＣＣＤカメラのデータを読み出すようになっており、データの読み出しに０．１秒程度の時間を必要とする。

ところで、ストリーク管と呼ばれる装置により、ナノ秒より短いパルス光を検出する方法が提案されている（特許文献１）。この特許文献１に記載のパルス光の検出方法は、次のようにして行なう。まず、入射した光信号を複数に分割し、分割した各光信号を光電変換して光電子を得る。そして、各光電子をストリーク管に導入して一対の電極板の間を通過させ、電極板に時間的に変化する電圧を印加して光電子を偏向し、さらに所定のスリットを通過した光電子を蛍光面に衝突させて光に変換したのち、光検出器で検出する。
特開２００３−７５２６１号公報

特許文献１に記載されているパルス光の検出方法は、光電子を偏向させる一対の電極を内蔵したストリーク管を用いる必要があり、装置の構造が複雑で大型、高価である。このため、多数のストリーク管を配置して多チャンネル化をすることが困難である。さらに、この方法ではスリットから入る空間的に１次元の光に限定される。

本発明は、前記従来技術の欠点を解消するためになされたもので、光検出部の多チャンネル化を行なえるようにすることを目的としている。
また、本発明は、到来光子が衝突（光子の到来時間が一致）した際でもその両者を取り漏らすことなく検出できる微弱光同時多チャンネル検出を行うことを目的としている。

微弱光を想定した場合、光子検出器（光検出器）を複数設けて光子の検出を行なうとすると、すべての光子検出器に入射する光子の数の合計は、１００個／μ秒以下と考えてよい。そこで、光子検出器の数をｎ個とすると、各光子検出器に入射する光子の数の平均値は、１００／ｎ／μ秒以下である。そして、光子検出器の数ｎ＝１００とした場合、各光子検出器に入射する光子の数の平均値は、１個／μ秒以下となる。このため、各光子検出器のそれぞれに、サンプリング間隔が１０^-9秒程度の高速のアナログＡ／Ｄ変換器を適用すると、はなはだ効率が悪く、かつ莫大なコストを必要とする。本発明は、このような考察に基づいてなされたものである。

そこで、上記の目的を達成するために、本発明に係る微弱光検出方法は、複数の光電変換器を配置して微弱光を検出する方法であって、前記各光電変換器が出力する各検出信号に対して、他の複数の前記検出信号の和と異なる大きさとなる識別情報を付加し、識別情報を付加した前記検出信号を読み込んで記憶し、読み込んだ前記検出信号について所定時間ごとに、前記記憶した検出信号に基づいて、前記各光電変換器のそれぞれが出力した前記検出信号の検出時間と数を求める、ことを特徴としている。

識別情報が付加された検出信号の読込みは、前記各光電変換器に対応した前記識別情報の付加された前記検出信号を合成したのちに行なうようにすると良い。
また、目的を達成するための、本発明に係る微弱光検出方法は、複数の光電変換器を配置して微弱光を検出する方法であって、前記各光電変換器が出力する検出信号に識別情報を付加すると共に、前記各光電変換器が出力した検出信号の数を検出し、識別情報を付加した前記検出信号を読み込んで記憶し、読み込んだ前記検出信号について所定時間ごとに、前記記憶した検出信号に基づいて、前記各光電変換器のそれぞれが出力した前記検出信号の検出時間と数を求める、ことを特徴としても良い。

上記方法において識別情報は、電圧レベルであると良い。また、上記微弱光検出方法において、検出信号の記憶は、前記検出信号の読込み時刻とともに記憶し、前記光電変換器ごとに求める前記検出信号の検出時間と数とは、予め定めた時間ごとについて求めるようにすると良い。

そして、上記微弱光検出方法を実施するための微弱光検出装置は、入射した光を電気信号に変換して出力する複数の光電変換器と、前記各光電変換器に対応して設けられ、対応する光電変換器が出力した検出信号に識別情報を付加して出力する識別情報付与部と、前記各光電変換器に対応して設けられ、対応する光電変換器が出力した検出信号の数をカウントするカウント部と、前記各識別情報付与部の出力信号を読み込むデータ読込み部と、前記データ読込み部が読み込んだ前記出力信号を記憶するデータ記憶部と、前記データ読込み部が読み込んだ前記出力信号について所定時間ごとに、前記データ記憶部が記憶した前記出力信号および前記カウント部がカウントした検出信号の数とに基づいて、前記各光電変換器のそれぞれが出力した前記検出信号の検出時間と数とを求める演算部と、を有することを特徴とする。

前記識別情報付与部は、前記検出信号を所定の電圧を有するパルス信号にして出力する信号変換部と、前記信号変換部の出力パルスの電圧を、前記光電変換器に対応させて複数の電圧レベルに変換する電圧変換部とによって構成することができる。また、前記電圧変換部は、前記信号変換部の出力側に並列接続した複数の電圧変換器を有し、前記データ読込み部と前記データ記憶部とは、前記複数の電圧変換器に対応して設ける構成にできる。さらに、前記データ記憶部は、前記データ読込み部の出力信号読込み時刻に対応させて前記出力信号を記憶し、前記演算部は、予め定めた時間ごとについての前記各光電変換器が出力した前記検出信号の検出時間と数とを求めるように構成することができる。

上記のごとくなっている本発明は、各光電変換器が出力する検出信号に識別情報を付加して記憶するようにしているため、ＣＣＤなどを用いる場合と異なり、光子を１つずつ到来時間と共に検出することができる。また、本発明は、ストリーク管などを用いないため、装置をコンパクト、かつ任意の光電変換器の配置に対応可能、安価にすることができる。そして、記憶した検出信号は、識別情報に基づいてどの光電変換器が出力したものであるかを容易に判別することができる。したがって、光検出部を多数の光電変換器によって形成し、多チャンネル化をしたとしても、ナノ秒の時間分解で光子の到来を検知可能、また演算処理が可能であり、微弱光を容易、確実、かつ高い時間分解能で検出することができる。

さらに、各光電変換器に対応した識別情報を付加した検出信号を合成したのちに読み込むようにしているため、光子の到来が時間的にまれな微弱な光であったとしても、多数の光電変換器の検出信号を効率よく、容易に高速で読み込むことができる。また、検出信号に付加する識別情報を各検出信号に対して、他の複数の前記検出信号の和と異なる大きさとなるように設定したことにより、光電変換器に到来する光子が重なったとしても、合成された検出信号を演算によって分離させることが可能となる。よって、光子を取り漏らす確率を減らすことができる。

また、本発明は、識別情報として電圧レベルを用いているため、電圧レベルを変更するのに抵抗器に電気信号（パルス電圧）を通すだけでよく、安価であるとともに迅速に識別情報を付加することができ、処理速度の低下を招くようなことがない。そして、本発明は、予め定めた時間ごとの各光電変換器が出力した検出信号の数を求めるようにしてあるため、ナノ秒以下の高い時間分解を容易に実現することができる。なお、電圧変換器となる抵抗器を複数並列接続することにより、多次元的な識別情報を付加することができ、光電変換器の数を多くしても容易に識別することができる。

本発明に係る微弱光検出方法および装置の好ましい実施の形態を、添付図面に従って詳細に説明する。
図２は、本発明の第１実施形態に係る微弱光検出装置の説明図である。図２において、微弱光検出装置１０は、蛍光などの微弱光（光子）１２が入射する検出ユニット２０を有している。検出ユニット２０は、チャンバ２２を備えており、チャンバ２２にレンズユニット２４が装着してあり、チャンバ２２の内部にマイクロミラーアレイ２６や光電変換部となる光子検出器アレイ２８、検出回路部３０などが収納してある。すなわち、チャンバ２２には、前端の開口部３２にレンズユニット２４が装着してある。そして、レンズユニット２４の後方には、直角プリズム３４がチャンバ２２内に配設してある。直角プリズム３４は、傾斜面がレンズユニット２４から入射した微弱光１２を図の下方に反射し、マイクロミラーアレイ２６に入射させる。

マイクロミラーアレイ２６は、直角プリズム３４から入射した微弱光１２を、入射方向と予め定めた角度だけ異なった方向に反射する。マイクロミラーアレイ２６によって反射された微弱光（反射光３６）は、直角プリズム３４を透過して直角プリズム３４の上方の、適宜の位置に配設したレンズ系３８に入射する。このレンズ系３８の上方には、反射鏡４０が設けてある。反射鏡４０は、レンズ系３８から入射した反射光３６を光子検出器アレイ２８に向けて反射する。光子検出器アレイ２８は、光電子増倍管などの光電変換器からなる複数の光子検出器から構成してある。各光子検出器の出力信号（検出信号）は、検出回路部３０に入力し、詳細を後述するように、識別情報を付加される。そして、検出回路部３０は、識別情報を付加した検出信号を、チャンバ２２の外部に設けたアナログ・ディジタル変換部（Ａ／Ｄ変換部）４２に出力する。Ａ／Ｄ変換部４２は、多チャンネルの高速Ａ／Ｄ変換器によって構成してあって、検出回路部３０が出力したアナログ信号をディジタル信号に変換し、コンピュータ４４に入力する。

コンピュータ４４は、データ記憶部４６と演算部４８と、Ａ／Ｄ変換部４２の出力信号を読み込んでデータ記憶部４６に書き込むデータ読込み部（図示せず）とを備えている。データ記憶部４６は、検出回路部３０の出力信号のディジタル変換された信号を、データ読込み部が読み込んだ時刻とともに記憶するようになっている。また、演算部４８は、データ記憶部４６に記憶されているディジタルデータを読み出し、光子検出器アレイ２８を構成している各光子検出器のそれぞれが出力した検出信号の検出時間と数とを求めるようになっている。

光子検出器アレイ２８は、図３に示したように、複数の光子検出器５０（５０Ａ〜５０Ｎ）によって構成してある。これらの光子検出器５０は、微弱光１２が入射すると光子を光電子に変換し、増幅して電気信号である電流を出力する。そして、各光子検出器５０は、マトリックス状に配列してもよいし、その他の配置でもよい。

また、検出回路部３０は、図３に示したように、多チャンネル増幅器５２とパルス信号検出整形加算回路５４とを有している。この検出回路部３０においては、光子検出器５０の出力したパルス信号を閾値と比較し、閾値を超えた信号を整形してパルス幅が一定の矩形波を得るとともに、各光子検出器（チャンネル）ごとに識別情報（タグ）を付けて加算回路で合成するようにしている。ただし、実施形態の場合、パルス幅は５ナノ秒以下にしてあり、識別情報として矩形波の高さ（振幅）を各光子検出器５０ごとに異ならせてある。

多チャンネル増幅器５２は、各光子検出器５０に対応して設けた電流電圧変換部と、この電流電圧変換部の出力側に設けられて、電流電圧変換部の出力信号を増幅する増幅部とを有する（いずれも図示せず）。電流電圧変換部は、光子検出器５０が検出信号として出力した電流信号（パルス電流）を電圧信号（パルス電圧）に変換して出力する。

パルス信号検出整形加算回路５４は、図１に示したように、識別情報付与部５６と加算部５８とから構成してある。識別情報付与部５６は、各光子検出器５０を識別できるように識別情報を付加して出力する。識別情報付与部５６の出力信号は、加算部５８において合成するようにしてある。なお、図１は、理解を容易にするために、光子検出を行うチャンネル数を８つとし、加算部５８を１つとする例を示したものであって、これに限定されるものでない。

識別情報付与部５６は、多チャンネル増幅器５２の出力信号が入力する信号変換部６０と、この信号変換部６０の出力側に設けた波形整形部６２、この波形整形部６２の出力側に設けた電圧変換部６４とからなっている。信号変換部６０は、多チャンネル増幅器５２の出力した電圧レベルがまちまちの信号を、一定の電圧値を有する矩形波にして出力するもので、多チャンネル増幅器５２に設けた電流電圧変換部、すなわち光子検出器５０に対応した数の比較器７０（７０Ａ〜７０Ｎ）によって構成してある。そして、各比較器７０の反転入力端子は、基準電圧電源７１に接続してある。一方、各比較器７０の非反転入力端子には、多チャンネル増幅器５２の各チャンネルが電圧信号に変換して出力した光子検出器５０の検出信号ＰＤ（ｉ，ｊ）が入力するようになっている。これらの比較器７０は、非反転入力端子に入力する多チャンネル増幅器５２からの信号を、所定の電圧値を有する矩形に変換して波形整形部６２に出力する。

波形整形部６２は、信号変換部６０の各比較器７０に対応して設けた波形整形回路７２（７２Ａ〜７２Ｎ）からなっている。これらの波形整形回路７２は、図４に示したように、ＪＫフリップフロップ７４と遅延回路７６とから構成してある。遅延回路７６は、入力側がＪＫフリップフロップ７４のＱ出力端子に接続してあり、出力側がＪＫフリップフロップ７４のＫ入力端子に接続してある。また、ＪＫフリップフロップ７４は、Ｊ入力端子が比較器７０の出力側に接続してあって、比較器７０の出力信号が入力する。このため、ＪＫフリップフロップ７４は、Ｊ入力端子に矩形波が入力すると、セット状態となってＱ出力端子から「Ｈ」を出力するとともに、この出力信号を遅延回路７６によって所定時間（例えば、数ナノ秒）遅延させてＫ入力端子に入力してリセットされるため、Ｑ出力端子から一定のパルス幅を有する矩形信号を出力する。この矩形パルス信号は、波形整形部６２の出力信号として電圧変換部６４に与えられる。

波形整形部６２の出力側に設けた電圧変換部６４は、波形整形部６２からの出力信号に識別情報を付与するためのもので、図１に示したように、電圧変換部６４を構成する抵抗器Ｒ_i（ｉ＝１からｎ）から構成してある。そして、本実施形態の場合、電圧変換部６４は、波形整形部６２を構成している各波形整形回路７２の出力側に抵抗器Ｒ_i（ｉ＝１からｎ）が並列に接続してある。これらの抵抗器Ｒ_iは、使用するチャンネル数に応じ、波形整形回路７２から出力された一定電圧のパルス信号がそれぞれ、任意の２つの電圧値が異なり、任意の２つの電圧値の和は各チャンネルに与えられたどの電圧値とも異なり、かつ任意の２組の電圧値の和とも異なった値をとる。例えば、１：２：４：７：１３：２１：２９：３９：・・・のような比率となるように抵抗値を決定する。これは、後述する加算部５８に入力される電圧変換部６４からの出力パルスが重なった場合に、どのチャンネルからの出力パルスが重なった組み合わせであるかを一義的に導き出せる比率、即ち各検出信号に対して、他の複数（本実施形態では２つ）の検出信号の和が異なる大きさとなる識別情報を付加しているのである。その他の実施形態として２進数の桁中の１つのみを１としその他の桁を０とするなどの手も有る（１：２：４：８：・・・）。従って、本実施形態に係る電圧値の比は上記のみに拘束されるものではない。

加算部５８の出力電圧はＶ＝（Ｖ₁/Ｒ₁+Ｖ₂/Ｒ₂+・・・Ｖ_n/Ｒ_n）・Ｒ_f（ただしＶ１、Ｖ２、・・・Ｖ_nは各波形整形器７２の出力電圧）で求められるため、各チャンネル毎に備える抵抗器Ｒ_iは、上記比率に従い、Ｒ₁＝１，Ｒ₂＝２，Ｒ₃＝４，Ｒ₄＝７，Ｒ₅＝１３，Ｒ₆＝２１，Ｒ₇＝２９，Ｒ₈＝３９，・・・という比率で設定すれば良い。

これにより、２つの信号が加算部において同時に入力された場合であっても、加算された値の組み合わせを一義的に導き出すことが可能となる。よって、パルス信号合成後に加算部５８へ同時に入力されたパルス信号を分離することが可能となる。したがって、光子検出器５０に同時に到来した光子があったとしても、それらを採り漏らす確率を減らすことが可能となる。

加算部５８は、それぞれが加算器を構成するオペアンプ８０を有する。そして、オペアンプ８０の入力側は、各波形整形回路７２の出力側に並列接続した抵抗器Ｒ_iに接続してある。オペアンプ８０には、抵抗器Ｒ_iを通ったパルス信号が入力し、出力したアナログ信号がＡ／Ｄ変換部４２においてディジタル信号に変換され、ＰＣＩバスを介してコンピュータ４４に入力される。そして、コンピュータ４４は、図示しないデータ読込み部がＡ／Ｄ変換部４２の出力信号（データ）を読み込み、読み込んだデータを読み込み時刻とともにデータ記憶部４６に書き込む。なお、Ａ／Ｄ変換部４２は、加算部５８を構成しているオペアンプ８０に対応したＡ／Ｄ変換器を備えている。

したがって、Ａ／Ｄ変換部４２のチャンネル数、すなわちオペアンプ８０の数をｍ個とし、タグのためのｎ種類の抵抗器を用いると、全光子検出器５０の数Ｎは、Ｎ＝ｎ^mとなる。そして、前記したように、図１は、ｍ＝１、ｎ＝８の場合であって、識別情報（タグ）が８通りであるため、８個の光子検出器の出力信号を識別できることになる。

上記のごとく構成されている微弱光検出装置１０による微弱光の検出は、次のようにして行なわれる。図２に示すように、微弱光（光子）１２は、レンズユニット２４を介して検出ユニット２０のチャンバ２２に入射し、直角プリズム３４、マイクロミラーアレイ２６、レンズ系３８、反射鏡４０を経て、光子検出器アレイ２８を構成している光子検出器５０のいずれかに入射する（図３参照）。微弱光１２が入射した光子検出器５０は、光子を光電子に変換してパルス状の電流を検出信号として出力する。光子検出器５０の出力したパルス電流は、多チャンネル増幅器５２に入力する。多チャンネル増幅器５２は、入力したパルス電流を電圧に変換したのち、さらに増幅して図５（１）に示したようなアナログのパルス電圧ＰＤを出力信号として、パルス信号検出整形加算回路５４の信号変換部６０に入力する（図１参照）。

すなわち、パルス電圧ＰＤは、信号変換部６０を構成している比較器７０の非反転入力端子に入力する。比較器７０は、ノイズを除去するために、入力したパルス電圧ＰＤを予め設定してある基準電圧電源７１の基準電圧（閾値）と比較し、図５（２）に示したような一定の電圧（パルスの高さ）の矩形パルス９０を出力する。比較器７０の出力した矩形パルス９０は、波形整形部６２を構成している波形整形回路７２のＪＫフリップフロップ７４のＪ端子に入力する（図４参照）。波形整形回路７２は、入力した矩形パルス９０を一定時間保持し、図５（３）に示したように、所定パルス幅のパルス９２を出力する。このパルス９２のパルス幅は、遅延回路７６の遅延時間に依存する。そして、パルス９２は、波形整形部６２の出力として電圧変換部６４に入力される。

波形整形回路７２から出力されたパルス９２は、電圧変換部６４を構成している抵抗器Ｒ_iを通ることにより、図５（４）に示した出力パルス９４のように、電圧レベルが所定の値に変換されて識別情報が付与される。この出力パルス９４の電圧レベルは、抵抗器Ｒ_iの抵抗値により定まる。そして、各波形整形回路７２から出力されたパルス９２は、抵抗器Ｒ_iによって電圧変換され、加算部５８を構成しているオペアンプ８０に入力する。オペアンプ８０は、電圧変換部６４が次々に出力する出力パルス９４を合成し、増幅してＡ／Ｄ変換部４２に出力する。

例えば、多チャンネル増幅器５２が４チャンネルであって、その出力信号（生波形）であるパルス電圧ＰＤが図６（１）のようであったとする。そして、これらのパルス電圧ＰＤが波形整形されたのち、各チャンネルに対応して電圧変換されて識別情報を付加され、出力パルス９４となって加算部５８に入力される波形が図６（２）に示すような、各チャンネルに応じてパルス高さの異なるパルスである。さらに、この電圧変換部からの出力パルスが加算部５８に入力され、合成されて出力されるパルスが図６（３）に示すものである。このように、各パルスの高さを識別することによって、多チャンネル増幅器５２のどのチャンネルの出力信号、すなわちどの光子検出器５０の検出信号であるかを容易に識別することができる。さらに、各チャンネル毎に出力信号の比率を定めているため、チャンネルの出力信号が重なった場合、すなわち複数の光子検出器５０から同時に検出信号が出力されたのであっても、パルスの高さから、出力されたチャンネルの組み合わせを一義的に導き出すことができる。図６では、出力比１のチャンネル１の信号と、出力比４のチャンネル３の信号とが重なっており、加算部の出力信号では矢印で示すように出力比が５として出力されている。

それぞれのチャンネルの出力パルスの比は上述のようにチャンネル１＝１、チャンネル２＝２、チャンネル３＝４、チャンネル４＝７という比率であるので、出力比が５となる組み合わせは、チャンネル１とチャンネル３の組み合わせであるということが導き出せる。

オペアンプ８０を用いた加算回路の出力Ｖ_out（ｔ）は、ＪＫフリップフロップ７４の出力電圧をＶ₀、オペアンプ８０のフィードバック抵抗をｒ_f、電圧変換部６４の各チャンネルの抵抗値をｒ_i（ｉ＝１、２、３、………）とすると、

ただし、

である。そして、Χ（ｔ）はｔ＝０で立ち上がる値が１で幅がΔｔのパルス関数であって、図５（３）に示したパルス９２のような矩形状の関数である。また、ｔ_i,jは、ｉ番目の光子検出器５０に到来した光子によるｊ番目のパルスの到来時刻を表している。

加算部５８の出力パルスは、Ａ／Ｄ変換部４２に入力してディジタル信号に変換される。そして、Ａ／Ｄ変換部４２の出力信号は、コンピュータ４４のデータ読込み部に読み込まれ、データ記憶部４６に読み込み時刻とともに書き込まれる。なお、図２には、データ記憶部４６が１つしか記載してないが、データ読込み部とデータ記憶部４６とは、オペアンプ８０に対応して設けてあり、オペアンプ８０ごとに分けてデータ記憶部４６に書き込まれる。一方、演算部４８は、各データ読込み部がＡ／Ｄ変換部４２の出力信号（データ）を、予め定めた時間読み込むと、各データ記憶部４６に格納してあるデータを読み出し、各データ記憶部４６に記憶されている各データの電圧レベル（識別情報）に基づいて、予め定められた時間（例えば１ナノ秒）ごとの各光子検出器５０が出力した検出信号の数を求めて出力する。このとき、前記各データの電圧レベル（識別情報）は、複数の波形整形回路７２から出力された一定電圧のパルス信号が加算器に同時に入力された場合であっても、その組み合わせが一義的に導き出すことができる比率に設定されているため、規定比率以外の比率で入力された信号を該当する比率毎の信号に分解して、各光子検出器５０が出力した検出信号の数を求める。

このように実施形態においては、各光子検出器５０の検出信号に識別情報を付加してデータとしてデータ記憶部４６に記憶し、データ記憶部４６に記憶したデータに基づいて、各光子検出器の検出信号の到来時間と数とを求めるようにしているため、装置を安価、コンパクトにできるとともに、迅速な処理が可能となる。しかも、データを読み込み時間とともに記憶するようにしているため、ナノ秒以下の高い時間分解能を容易に得ることができる。

図７は、第２実施形態に係る微弱光検出装置におけるパルス信号検出整形加算回路１５４の構成を示す図である。この第２実施形態に係る微弱光検出装置は、パルス信号検出整形加算回路１５４の構成が、対応した第１実施形態のパルス信号検出整形加算回路５４と異なっている点を除いて、第１実施形態の微弱光検出装置とほぼ同様に形成してある。

第２の実施形態におけるパルス信号検出整形加算回路１５４では、電圧変換部６４を構成する抵抗器Ｒ_iに、各光電検出器毎に入力された光子数をカウントするカウンタ６５（６５Ａから６５Ｎ）を設けている。なお、本実施形態では、カウンタ６５を電圧変換部６４に設けるようにしているが、波形整形部６２に設けるようにしても良い。

本実施形態において、抵抗器Ｒ_i（例えばｉ＝１から３）には、それぞれ抵抗値の異なるものを使用する。この場合第１の実施形態とは異なり、抵抗値は任意の２つが同じでなければ良い（制限が緩和されている）。よって抵抗値は、加算部５８の出力電圧が、異なった値となるように例えば１：２：３の比率となるように設定する。

このように構成された本実施形態において、各光子検出器毎に設けられたカウンタ６５によって検出されたパルス信号を図８（１）に示し、加算部からの出力パルス信号を図８（２）に示す。
図８（１）及び図８（２）から読みとれる関係を表１に示す。

表１から読み取れるように、各光子検出器毎に設けられたカウンタ６５で検出された光子数と、加算部５８の出力パルス信号として演算部で検出された光子数とでは、チャンネル１およびチャンネル２で検出された光子数が、カウンタ６５で検出された光子数に比べて１つずつ少なく、チャンネル３で検出された光子数が１つ多いことがわかる。ここで、電圧比を１：２：３と設定していることからＣｈ１＋Ｃｈ２＝Ｃｈ３（１＋２＝３）ということが推測できる。よって、チャンネル１から出力されたパルス信号とチャンネル２から出力されたパルス信号とが加算部に入力する際に合成されたことが読み取れる。このことより、パルス信号が加算部に入力される際、衝突（合成）が生じたとしても、演算部４８にてそれらを分離することが可能となる。即ち、加算部５８の出力から得られる各チャンネルの出力光子数と各チャンネル毎のカウンタ出力から得られる光子数とを比較することにより衝突した光子の数を決定できる。更にその信号強度を比較することにより、どのチャンネルの光子が衝突したかを推定することが可能となる。

この方法は、２つの信号が衝突した結果、その信号強度が他の信号強度に等しくなった場合でも分離可能である。しかも実施形態１に比べて加算部５８の出力電圧比を小さくとることが可能となるため、ダイナミックレンジを大きくとれるといった利点を有する。

本発明は、微弱な光の検出を必要とする分野、例えばエッチング装置やプラズマＣＶＤ装置におけるプラズマやラジカル状態にあるガスの分析、ガスの組成や密度分布の解析などに適用することができる。また、ＤＮＡやタンパク質、細胞などの分析、さらにはライフサイエンスや環境分野における時間分解による３次元映像装置への適用、赤外線パルスレーザを用いた暗視野装置による空間の３次元映像の作成に適用することができる。

本発明の第１実施形態に係るパルス信号検出整形加算回路の説明図である。本発明の第１実施形態に係る微弱光検出装置の説明図である。第１実施形態に係る検出回路部の概略構成図である。実施形態に係る波形整形回路の説明図である。実施形態に係るパルス信号検出整形加算回路の動作を説明する図である。実施形態に係る電圧変換部及び加算部の出力信号の説明図である。第２実施形態に係るパルス信号検出整形加算回路の説明図である。第２実施形態に係るコンピュータの要部の概略ブロック図である。

符号の説明

１０………微弱光検出装置、１２………微弱光、２０………検出ユニット、２４………レンズユニット、２６………マイクロミラーアレイ、２８………光子検出器アレイ、３０………検出回路部、４４………コンピュータ、４６………データ記憶部、４８………演算部、５０Ａ〜５０Ｎ………光子検出器、５４、１５４………パルス信号検出整形加算回路、５６………識別情報付与部、５８………加算部、６０………信号変換部、６２………波形整形部、６４………電圧変換部、Ｒ₁〜Ｒ_i………電圧変換器（抵抗器）。

Claims

複数の光電変換器を配置して微弱光を検出する方法であって、
前記各光電変換器が出力する各検出信号に対して、他の複数の前記検出信号の和と異なる大きさとなる識別情報を付加し、
識別情報を付加した前記検出信号を読み込んで記憶し、
読み込んだ前記検出信号について所定時間ごとに、前記記憶した検出信号に基づいて、前記各光電変換器のそれぞれが出力した前記検出信号の検出時間と数を求める、
ことを特徴とする微弱光検出方法。
請求項１に記載の微弱光検出方法において、
前記識別情報を付加した前記検出信号の読込みは、前記各光電変換器に対応した前記識別情報の付加された前記検出信号を合成したのちに行なうことを特徴とする請求項１に記載の微弱光検出方法。
複数の光電変換器を配置して微弱光を検出する方法であって、
前記各光電変換器が出力する検出信号に識別情報を付加すると共に、前記各光電変換器が出力した検出信号の数を検出し、
識別情報を付加した前記検出信号を読み込んで記憶し、
読み込んだ前記検出信号について所定時間ごとに、前記記憶した検出信号に基づいて、前記各光電変換器のそれぞれが出力した前記検出信号の検出時間と数を求める、
ことを特徴とする微弱光検出方法。
請求項１ないし３のいずれか１に記載の微弱光検出方法において、
前記識別情報は、電圧レベルであることを特徴とする微弱光検出方法。
請求項１ないし４のいずれか１に記載の微弱光検出方法において、
前記検出信号の記憶は、前記検出信号の読込み時刻とともに記憶し、
前記光電変換器ごとに求める前記検出信号の検出時間と数とは、予め定めた時間ごとについて求める、
ことを特徴とする微弱光検出方法。
入射した光を電気信号に変換して出力する複数の光電変換器と、
前記各光電変換器に対応して設けられ、対応する光電変換器が出力した検出信号に識別情報を付加して出力する識別情報付与部と、
前記各光電変換器に対応して設けられ、対応する光電変換器が出力した検出信号の数をカウントするカウント部と、
前記各識別情報付与部の出力信号を読み込むデータ読込み部と、
前記データ読込み部が読み込んだ前記出力信号を記憶するデータ記憶部と、
前記データ読込み部が読み込んだ前記出力信号について所定時間ごとに、前記データ記憶部が記憶した前記出力信号および前記カウント部がカウントした検出信号の数とに基づいて、前記各光電変換器のそれぞれが出力した前記検出信号の検出時間と数とを求める演算部と、
を有することを特徴とする微弱光検出装置。
請求項６に記載の微弱光検出装置において、
前記識別情報付与部は、前記検出信号を所定の電圧を有するパルス信号にして出力する信号変換部と、前記信号変換部の出力パルスの電圧を、前記光電変換器に対応させて複数の電圧レベルに変換する電圧変換部とを有することを特徴とする微弱光検出装置。
請求項７に記載の微弱光検出装置において、
前記電圧変換部は、前記信号変換部の出力側に並列接続した複数の電圧変換器を有し、
前記データ読込み部と前記データ記憶部とは、前記複数の電圧変換器に対応して設けてある、
ことを特徴とする微弱光検出装置。
請求項６ないし８のいずれか１に記載の微弱光検出装置において、
前記データ記憶部は、前記データ読込み部の出力信号読込み時刻に対応させて前記出力信号を記憶し、
前記演算部は、予め定めた時間ごとについての前記各光電変換器が出力した前記検出信号の検出時間と数とを求める、
ことを特徴とする微弱光検出装置。