JP4056957B2 - 光回折構造の複製方法 - Google Patents
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Description
2 ドラム装置
3 移動装置
4 制御装置
10 光回折構造原版、ホログラム原版
11 転写媒体
24 溶融層
L、L1、L2 赤外線レーザー
Claims (3)
- 光の干渉縞が凹凸の形で施された被複製領域を有する光回折構造原版を、ベース基材上に積層された溶融層と重ね合わせ、その互いに重ね合わされた前記溶融層と前記光回折構造原版とに対して、エネルギー線を前記被複製領域の一部に照射範囲が制限されるように照射し、その照射範囲の前記溶融層を前記エネルギー線に基づく熱によって溶融し、前記照射範囲を前記被複製領域において移動させることにより前記干渉縞を順次前記溶融層へ転写させる光回折構造の複製方法であって、
前記エネルギー線の照射範囲を、一定方向にスキャン線を描くように移動させることにより、前記干渉縞を前記溶融層へ順次転写する第1の転写工程と、
前記エネルギー線を前記被複製領域に描かれた前記スキャン線の境界部分に対して照射し、前記エネルギー線の照射範囲を前記スキャン線に沿って移動させることにより、前記境界部分の前記干渉縞を前記溶融層へ順次転写する第2の転写工程と、
を有することを特徴とする光回折構造の複製方法。 - 前記第2の転写工程における前記エネルギー線のエネルギー量は前記第1の転写工程における前記エネルギー線のエネルギー量以下であることを特徴とする請求項1に記載の光回折構造の複製方法。
- 前記第2の転写工程における前記エネルギー線のエネルギー量は前記第1の転写工程における前記エネルギー線のエネルギー量の0.3倍から1倍の範囲であることを特徴とする請求項1に記載の光回折構造の複製方法。
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