JP4055493B2 - 関節部用軸受装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般産業機械やスパッタ装置のチャンバ内部等で使用されるロボットアームの関節部用軸受装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、図6に示すように、真空処理装置内でウエハや液晶基板等の板状ワークを搬送する搬送用多関節ロボットが使用されている。
【0003】
搬送用多関節ロボットは、モータ等を内蔵したロボット本体10と、ロボット本体10から延びる左右一対のアーム11,12と、両アーム11,12の先端に設けられたリンクとなるウェハホーク13とから構成されている。
【0004】
各アーム11,12は、一対のリンク14,15,16,17と、リンク14,16とリンク15,17を揺動可能に連結する関節部18,19にて構成されている。リンク14,16の先端とウェハホーク13は、関節部20を介して揺動可能に連結されている。リンク15,17の基端は、ロボット本体10に設けた揺動機構に連結されている。
【0005】
搬送用多関節ロボットの動作を説明する。
【0006】
ウェハホーク13に板状ワーク21が載置された状態で、ロボット本体10に設けた揺動機構にて、リンク15,17を揺動させる。すると、アーム11,12が伸縮し、ウェハホーク13が反復直線移動し、板状ワーク21が搬送される。
【0007】
図7は、関節部20の断面図を示している。
【0008】
関節部20は、内輪33,34と外輪35,36間に玉37,38を介装してなる一対の転がり軸受31,32を、軸方向に組合わせてなるアンギュラ玉軸受からなる組合せ軸受30を備えている。
【0009】
組合せ軸受30の外輪35,36間には、リンク14(16)の先端に設けられた環状部材40が介挿されている。
【0010】
組合せ軸受30の両内輪33,34は、軸方向外端面から把持部材41,42にて把持される。把持部材41はベースからなり、把持部材42はカバー43の開口に嵌合したキャップからなる。カバー43はベース41に重ねられてキャップ42が嵌合され、ベース41の段部44とキャップ42の段部45に、組合せ軸受30の両内輪33,34が遊嵌され、両内輪33,34が軸方向外端面から把持される。
【0011】
キャップ42に固定ネジ46が挿通され、ベース41に締結される。この固定ネジ46の締結により、環状部材40が両外輪35,36間にて挟圧固定されると共に、両内輪33,34もベース41の段部44とキャップ42の段部45に固定され、一対の転がり軸受31,32に各々予圧が付与される。各転がり軸受31,32に付与される予圧は、固定ネジ46の締め付け力を調整することによって行われる。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
板状ワーク21等に対して各種の処理を施す場合、板状ワーク21の位置合わせに高い精度が要求される。そのため、上記処理中に用いられる搬送用多関節ロボットに対しては、搬送時における板状ワーク21の位置ずれを防止することが求められる。
【0013】
ところが、上記処理は一般に真空環境で行われる。このような処理では、搬送時に板状ワーク21を真空吸引により保持することができず、単に板状ワーク21を被搬送物載置台に載置した状態で搬送しなければならない。この搬送によれば、板状ワーク21の位置ずれに対して振動が大きく影響し、搬送用多関節ロボットには高い防振性能が要求される。
【0014】
図7に示した関節部20では、固定ネジ46の締め付け力によって転がり軸受31,32に予圧が付与される定位置予圧付与構造をしている。つまり、固定ネジ46の締め付け量を調整することで、ベース41とキャップ42の軸方向の離間間隔を調整し、その離間間隔に応じた予圧を転がり軸受31,32に付与している。
【0015】
振動を防止するためには、一般的に転がり軸受31,32の予圧を高めることが望ましい。しかし、定位置予圧付与構造においては、固定ネジ46の締め付け加減によって、転がり軸受31,32に付与される予圧が大きく変動する。固定ネジ46の締め付けは、作業者の手作業により行われるため、締め付け精度は悪くなる。そのため、転がり軸受31,32に付与される予圧に過不足が生じ易くなる。特に、転がり軸受31,32に付与される予圧が不充分である場合、軸受のがたつきによって振動が発生する。
【0016】
図6に示した関節部20のように、一対の組合せ軸受30が水平方向に並設されている場合、転がり軸受31,32に付与する予圧が大き過ぎると、両組合せ軸受30にてトルク差が発生し易くなる。両組合せ軸受30にトルク差が生じると振動が発生する。
【0017】
以上のように、搬送時において振動が発生すると、板状ワーク21に位置ずれが生じるという問題があった。しかも、振動の発生により、搬送速度を上げることができないという問題もあった。
【0018】
本発明は、搬送時におけるワークの振動を低減することにより、ワークの位置ずれを防止でき、かつ、搬送速度も高めることができる関節部用軸受装置を提供することを目的とする。
【0019】
【課題を解決するための手段】
本発明の関節部用軸受装置は、一方のリンクと、他方のリンクと、を歯車にて噛合した一対のリンクと、
これらリンクを揺動自在に連結させる関節部とからなるリンク機構の関節部用軸受装置であって、
前記関節部は、
第1内輪と、第1外輪と、第1内輪と第1外輪との間に介装される第1転動体とからなる第1転がり軸受と、
第2内輪と、第2外輪と、第2内輪と第2外輪との間に介装される第2転動体とからなる第2転がり軸受と、
を軸方向に組み合わせてなる第1の組合せ軸受と、
第3内輪と、第3外輪と、第3内輪と第3外輪との間に介装される第3転動体とからなる第3転がり軸受と、
第4内輪と、第4外輪と、第4内輪と第4外輪との間に介装される第4転動体とからなる第4転がり軸受と、
を軸方向に組み合わせてなる第2の組合せ軸受と、
前記第1転がり軸受の前記第1内輪が固定され、前記第1内輪の内周面と軸方向一方側端面とが当接するとともに、前記第1転がり軸受に対して水平方向に並設される前記第3転がり軸受の前記第3内輪が固定され、前記第3内輪の内周面と軸方向一方側端面とが当接するベースと、
前記第2内輪が固定され、前記第2内輪の内周面と軸方向他方側端面とが当接する第1キャップと、
前記第4内輪が固定され、前記第4内輪の内周面と軸方向他方側端面とが当接する第2キャップと、
前記第1外輪の軸方向他方側端面と前記第2外輪の軸方向一方側端面との間に前記一方のリンクとともに介装する環状に形成された第1予圧付与部材と、
前記第3外輪の軸方向他方側端面と前記第4外輪の軸方向一方側端面との間に前記他方のリンクとともに介装する環状に形成された第2予圧付与部材と、
を備え、
前記ベースは前記第1内輪より径方向内方において軸方向他方側に向く第1対向面を有するとともに、前記第3内輪より径方向内方において軸方向他方側に向く第3対向面を有し、
前記第1キャップは前記第2内輪より径方向内方において軸方向一方側に向く第2対向面を有し、
前記第2キャップは前記第4内輪より径方向内方において軸方向一方側に向く第4対向面を有し、
前記第1対向面および前記第2対向面の軸方向に重なる範囲で前記ベースと前記第1キャップとを第1固定ネジで固定して前記第1対向面と前記第2対向面とが当接することで、前記第1予圧付与部材の弾性力により前記第1転がり軸受と前記第2転がり軸受とに予圧を付与するとともに、
前記第3対向面および前記第4対向面の軸方向に重なる範囲で前記ベースと前記第2キャップとを第2固定ネジで固定して前記第3対向面と前記第4対向面とが当接することで、前記第2予圧付与部材の弾性力により前記第3転がり軸受と前記第4転がり軸受とに予圧を付与することを特徴とする。
【0020】
関節部用軸受装置が適用される部位としては、例えば、搬送用多関節ロボットのアームの関節部や、アーム先端のウェハホーク等が設けられる手首部が挙げられる。
【0021】
本発明の関節部用軸受装置によると、一対の把持部材の軸方向対向面を当接させてねじ止めした状態で、予圧付与部材にて一対の転がり軸受に予圧が付与される、いわゆる定圧予圧付与構造をしている。このため、作業者の手作業によって行われる定位置予圧付与構造のように、転がり軸受に付与される予圧にばらつきが発生せず、各転がり軸受に充分な予圧を付与することができ、軸受のがたつきによって振動が発生するのを防止できる。
【0022】
なお、前記第1内輪の内周面が前記第1キャップに当接するとともに、前記第3内輪の内周面が前記第2キャップに当接する。
【0023】
なお、第1ならびに第2の組合せ軸受に付与される予圧の差を20%以内とする。
【0026】
さらに、第1の組合せ軸受と第2の組合せ軸受に付与される予圧の差を20%以内とすることで、第1の組合せ軸受と第2の組合せ軸受のトルク差を低減でき、トルク差による振動の発生を防止できる。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図1ないし図5を用いて説明する。
【0028】
図1は本実施の形態における関節部用軸受装置の断面図、図2はその関節部用軸受装置の部分拡大断面図、図3はその関節部用軸受装置の要部拡大断面図、図4(A)(B)はその予圧付与部材の平面図ならびに側面図、図5はウェハの振動実験の結果を示すグラフである。
【0029】
本実施の形態の関節部用軸受装置は、図6に示した搬送用多関節ロボットのアーム先端のウェハホーク13が設けられる手首部に組み込まれるものである。なお、図6に示した例と同一部分には、同一符号を付してその説明を省略する。
【0030】
手首部における関節部20は、図1に示すように、互いに水平方向に並設された第1の組合せ軸受30Aと第2の組合せ軸受30Bにて構成されている。第1および第2の組合せ軸受30A,30Bは、図2および図3の拡大図に示すように、各々同様に構成されている。
【0031】
第1および第2の組合せ軸受30A,30Bは、各々内輪33,34と外輪35,36間に玉37,38を介装してなる一対の転がり軸受31,32を、軸方向に組合わせてなるアンギュラ玉軸受からなる。
【0032】
第1の組合せ軸受30Aの外輪35,36間には、リンク14の先端に設けられた環状部材40が介挿されている。また、第2の組合せ軸受30Bの外輪35,36間には、リンク16の先端に設けられた環状部材40が介挿されている。
【0033】
各環状部材40と、転がり軸受31の外輪35の軸方向内端面との間には、予圧付与部材50が介挿されている。
【0034】
予圧付与部材50は、図4に示すように、環状波形バネであるウェーブワッシャにて構成されている。51は波板の山谷の頂部を示している。
【0035】
第1および第2の組合せ軸受30A,30Bの両内輪33,34は、各々把持部材となるベース41と、カバー43の開口に嵌合したキャップ42にて軸方向外端面から把持される。すなわち、カバー43はベース41に重ねられてキャップ42が嵌合され、ベース41の段部44に各組合せ軸受30A,30Bの内輪34が遊嵌されると共に、キャップ42の段部45に内輪33が遊嵌される。
【0036】
ベース41の軸方向対向面47と、キャップ42の軸方向対向面48を互いに当接させた状態で、キャップ42に固定ネジ46が挿通されてベース41に締結される。この状態で、ウェーブワッシャ50にて両外輪35,36が各々軸方向外方に付勢され、転がり軸受31,32に予圧が付与されると共に、転がり軸受31,32が固定される。
【0037】
転がり軸受31,32に付与される予圧の大きさは、静定格荷重の2〜10%とする。ここで、静定格荷重の2%より小さい予圧を付与すると、荷重を負荷されな転動体が生じるため、剛性不足を招き、軸受性能が低下する。また、静定格荷重の10%より大きい予圧を付与すると、転動体の接触面積が200kgf/mmを超え、真空中での環境を考えた場合、寿命低下につながり好ましくない。よって、このように静定格荷重の2〜10%の大きさの予圧を付与するために、ウェーブワッシャ50の弾性力が設定されている。
【0038】
第1の組合せ軸受30Aおよび第2の組合せ軸受30Bに付与される予圧の差を20%以内とする。これは、予圧量の差が20%生じると、各転がり軸受(30A,30B)の起動トルクに28%の差が発生する。今回の荷重条件によるストローク試験では、各転がり軸受(30A,30B)の起動トルク差が30%以上になると、各転がり軸受(30A,30B)が取付けられているウェハホーク13の反復直線運動に発生する振動が大きくなり、ウェハホーク13に載置されている板状ワーク21が位置ずれを起こす。よって、このように予圧の差が20%以内となるように、ウェーブワッシャ50の弾性精度が設定されている。
【0039】
また、上記予圧の設定は、別途ウェーブワッシャのつぶし量と荷重の関係を求めておき、各部品設計によるウェーブワッシャのつぶし量を算出し、その値を上記関係に当てはめることで行われる。
【0040】
リンク14,16の先端どうしは、互いの外周面に形成した歯車22を介して、揺動自在に噛合されている。
【0041】
搬送用多関節ロボットの動作を説明する。
【0042】
ウェハホーク13に板状ワーク21が載置された状態で、ロボット本体10に設けた揺動機構にてリンク15,17が揺動される。すると、歯車22にて噛合したリンク14,16が互いに揺動しながらアーム11,12が伸縮され、ウェハホーク13が反復直線移動し、板状ワーク21が搬送される。
【0043】
図5は、搬送用多関節ロボットのウェハホーク13に載置したワークの振動実験の結果を示す。
【0044】
実験条件について説明する。
【0045】
図6に示すように、板状ワークとして、ウェハホーク13に8インチウェハ21が載置される。
【0046】
ウェハ21の荷重作用点Bから関節部20の組合せ軸受30の中心Aまでの距離Xを140mmとする。荷重作用点Bには、ウェハ21とウェハホーク13の合計の荷重500gfが作用する。
【0047】
縮小時のウェハ21の中心点Cから伸長時のウェハ21の中心点C’までの距離Yを600mmとする。
【0048】
アーム11,12の伸縮速度は300mm/secとする。
【0049】
ウェハ21上に振動計のピックアップが設置され、アーム11,12の伸縮時の振動を測定する。振動の測定方向は、ウェハ21に水平で、かつ、アーム11,12の伸縮方向に対して直角方向とする。測定は、アーム11,12を10往復させ、その間の振動を計測した。
【0050】
図5中A,Bは、本発明のウェーブワッシャ50による定圧予圧の関節部用軸受装置を用いた場合、図5中C,D,Eは、従来例のねじ締めによる定位置予圧の関節部用軸受装置を用いた場合における実験結果を示している。
【0051】
図5の縦軸はウェハの振動値(G)を示している。このグラフは、伸縮動作を10往復(20往復)行い、1動作あたりの最大値をその動作の振動値として、各20回の動作の振動値を測定し、その最大値、最小値、平均値を示している。なお、振動値(G)のGは、重力加速度である。
【0052】
図5より、定圧予圧A,Bの場合に、振動の平均値が小さくなり、その最大値と最小値の差も小さくなることがわかる。下記の表1に、A〜Eの各実験例における振動の平均値、最大値、最小値を示す。
【0053】
【表1】
Figure 0004055493
このように構成された関節部用軸受装置によると、ベース41の軸方向対向面47とキャップ42の軸方向対向面48を当接させて固定ネジ46でねじ止めした状態で、ウェーブワッシャ50にて一対の転がり軸受31,32に予圧が付与される、いわゆる定圧予圧付与構造をしている。このため、作業者の手作業によって行われる定位置予圧付与構造のように、転がり軸受31,32に付与される予圧にばらつきが発生せず、各転がり軸受31,32に充分な予圧を付与することができ、軸受のがたつきによって振動が発生するのを防止できる。
【0054】
第1の組合せ軸受30Aと第2の組合せ軸受30Bに付与される予圧の差を20%以内とすることで、第1の組合せ軸受30Aと第2の組合せ軸受30Bのトルク差を低減でき、トルク差による振動の発生も防止できる。
【0055】
以上のようにして、搬送時における板状ワーク21の振動を低減することにより、板状ワーク21の位置ずれを防止でき、かつ、搬送速度も高めることができる。しかも、振動を低減することで、関節部用軸受装置の長寿命化も図れる。
【0056】
ウェーブワッシャ50は、リンク14,16の環状部材40と、転がり軸受32の外輪36間に介装してもよい。
【0057】
予圧付与部材は、外輪35,36間に介装されて外輪35,36を軸方向外方に付勢することにより、組合せ軸受30の一対の転がり軸受31,32に各々予圧を付与するものであればよい。
【0058】
組合せ軸受30を構成する転がり軸受31,32は、深溝玉軸受や、円すいころ軸受等の各種転がり軸受であってもよい。
【0059】
本発明の関節部用軸受装置は、1つの組合せ軸受に一対のリンクを連結させた構成のものにも適用できる。
【0060】
例えば、搬送用多関節ロボットのアーム11,12の関節部18,19におけるリンク14,16とリンク15,17の連結部分に適用してもよい。
【0061】
すなわち、関節部18,19において、一対の転がり軸受を軸方向に組合わせてなる組合せ軸受が設けられ、転がり軸受の内輪にリンク14,16が圧入されると共に、外輪にリンク15,17が圧入され、両外輪の軸方向内端面間にウェーブワッシャ50が介装される。両内輪は軸方向外端面からカバー等の一対の把持部材にて把持され、把持部材の互いの軸方向対向面を当接させてねじ止めされ、ウェーブワッシャ50にて両外輪が各々軸方向外方に付勢されて一対の転がり軸受に予圧が付与される。
【0062】
このように、1つの組合せ軸受に一対のリンクを連結させた関節部用軸受装置においても、定圧予圧付与構造とすることで、転がり軸受に付与される予圧にばらつきが発生するのを防ぎ、各転がり軸受に充分な予圧を付与することができ、軸受のがたつきによって振動が発生するのを防止できる。よって、板状ワーク21の位置ずれを防止でき、かつ、搬送速度も高めることができる。
【0063】
【発明の効果】
本発明の関節部用軸受装置によると、搬送時におけるワークの振動を低減することにより、ワークの位置ずれを防止でき、かつ、搬送速度も高めることができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態における関節部用軸受装置の断面図である。
【図2】本発明の一実施形態における関節部用軸受装置の部分拡大断面図である。
【図3】本発明の一実施形態における関節部用軸受装置の要部拡大断面図である。
【図4】(A)(B)は、本発明の一実施形態における関節部用軸受装置の予圧付与部材の平面図ならびに側面図である。
【図5】ウェハの振動実験の結果を示すグラフである。
【図6】搬送用多関節ロボットの概略平面図である。
【図7】従来例における関節部用軸受装置の部分拡大断面図である。
【符号の説明】
13 ウェハホーク(リンク)
14,15,16,17 リンク
18,19,20,21 関節部
30 組合せ軸受
31,32 転がり軸受
33,34 内輪
35,36 外輪
37,38 玉(転動体)
41 ベース(把持部材)
42 キャップ(把持部材)
46 固定ネジ
47,48 軸方向対向面
50 ウェーブワッシャ(予圧付与部材)

Claims (3)

  1. 一方のリンクと、他方のリンクと、を歯車にて噛合した一対のリンクと、
    これらリンクを揺動自在に連結させる関節部とからなるリンク機構の関節部用軸受装置であって、
    前記関節部は、
    第1内輪と、第1外輪と、第1内輪と第1外輪との間に介装される第1転動体とからなる第1転がり軸受と、
    第2内輪と、第2外輪と、第2内輪と第2外輪との間に介装される第2転動体とからなる第2転がり軸受と、
    を軸方向に組み合わせてなる第1の組合せ軸受と、
    第3内輪と、第3外輪と、第3内輪と第3外輪との間に介装される第3転動体とからなる第3転がり軸受と、
    第4内輪と、第4外輪と、第4内輪と第4外輪との間に介装される第4転動体とからなる第4転がり軸受と、
    を軸方向に組み合わせてなる第2の組合せ軸受と、
    前記第1転がり軸受の前記第1内輪が固定され、前記第1内輪の内周面と軸方向一方側端面とが当接するとともに、前記第1転がり軸受に対して水平方向に並設される前記第3転がり軸受の前記第3内輪が固定され、前記第3内輪の内周面と軸方向一方側端面とが当接するベースと、
    前記第2内輪が固定され、前記第2内輪の内周面と軸方向他方側端面とが当接する第1キャップと、
    前記第4内輪が固定され、前記第4内輪の内周面と軸方向他方側端面とが当接する第2キャップと、
    前記第1外輪の軸方向他方側端面と前記第2外輪の軸方向一方側端面との間に前記一方のリンクとともに介装する環状に形成された第1予圧付与部材と、
    前記第3外輪の軸方向他方側端面と前記第4外輪の軸方向一方側端面との間に前記他方のリンクとともに介装する環状に形成された第2予圧付与部材と、
    を備え、
    前記ベースは前記第1内輪より径方向内方において軸方向他方側に向く第1対向面を有するとともに、前記第3内輪より径方向内方において軸方向他方側に向く第3対向面を有し、
    前記第1キャップは前記第2内輪より径方向内方において軸方向一方側に向く第2対向面を有し、
    前記第2キャップは前記第4内輪より径方向内方において軸方向一方側に向く第4対向面を有し、
    前記第1対向面および前記第2対向面の軸方向に重なる範囲で前記ベースと前記第1キャップとを第1固定ネジで固定して前記第1対向面と前記第2対向面とが当接することで、前記第1予圧付与部材の弾性力により前記第1転がり軸受と前記第2転がり軸受とに予圧を付与するとともに、
    前記第3対向面および前記第4対向面の軸方向に重なる範囲で前記ベースと前記第2キャップとを第2固定ネジで固定して前記第3対向面と前記第4対向面とが当接することで、前記第2予圧付与部材の弾性力により前記第3転がり軸受と前記第4転がり軸受とに予圧を付与する
    ことを特徴とする関節部用軸受装置。
  2. 請求項1に記載の関節部用軸受装置において、
    前記第1内輪の内周面が前記第1キャップに当接するとともに、
    前記第3内輪の内周面が前記第2キャップに当接する
    ことを特徴とする関節部用軸受装置。
  3. 請求項1または2に記載の関節部用軸受装置において、
    前記第1の組合せ軸受ならびに前記第2の組合せ軸受に付与される予圧の差が20%以内である
    ことを特徴とする関節部用軸受装置。
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