JP4048551B2 - ウエハカセット昇降装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置の中でウエハカセットを受渡するカセットローディング室のウエハカセット昇降装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、カセットローディング室のウエハカセット昇降装置は、例えば図3(a)に示すように構成されている。すなわち、1はウエハWを処理する処理室、11は処理室1に設けられたウエハ搬入出口、12はウエハWを搬送するマニプレータである。2はカセットローディング室、21はカセットローディング室2に設けられたウエハ搬入出口で、処理室1のウエハ搬入出口11と連通している。22はカセットローディング室2に設けられたカセット搬入出口で、ウエハ搬入出口21の反対側に開口している。3は複数枚のウエハWを収納し得るウエハカセットである。
4はカセットローディング室2に設けられたウエハカセット昇降装置、41はカセットローディング室2の下面23を貫通して昇降する昇降ロッド、42は昇降ロッド41の上部に設けられた平面状の受台、5は直交する二つの平面状の支持板51,52を備えたステージで、支持板51と52の間でウエハカセット3を把持するようにしてある。53は支持板51と52の接合部分の長手方向に沿って固定された回転軸で、受台42上に設けられた軸受43によって回転自在に支持されている。54は回転軸53に固定されたピニオン、55はカセットローディング室2の下面23に固定されたラックで、ピニオン54と噛み合うようにしてある。
【0003】
ここで動作を説明する。
処理室1の中で処理されたウエハWはマニプレータ11によって把持され、ウエハ搬入出口11および22を通して処理室1からカセットローディング室2に搬送され、さらに、ウエハカセット3に水平に装入される。装入される位置は昇降ロッド41を昇降させることによって選択される。ウエハWのウエハカセット3への装入が完了すると、昇降ロッド41によって受台42とともに、ステージ5を下降させる。
すると、図3(b)に示すように、ピニオン54がラック55に噛み合わされて回転し、回転軸53とともにステージ5が90度回転するので、ウエハWが垂直の状態となる。この状態でカセット搬入出口22からウエハWを収納したウエハカセット3を次の工程に搬送する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記従来技術では、ピニオン54とラック55の噛み合わせでステージ5を回転するため、ピニオン54とラック55の噛み合わせ面どうしにすべりが生じ、摩擦による微細な塵が生じ、搬送中のウエハWに悪影響を与えるという問題があった。
本発明は、発塵が少なく、信頼性の高いウエハカセット昇降装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、半導体製造装置のカセットローディング室(2)の下面(23)を貫通して昇降する昇降ロッド(41)と、前記昇降ロッド(41)の上部に、前記昇降ロッド(41)に対して垂直方向に設けられた平面状の受台(42)と、前記受台(42)上に、軸の方向が前記受台(42)の面と平行になるように設けられた軸受(43)と、前記軸受(43)に回転自在に支持された回転軸(53)と、前記受台(42)の面と平行な平面状の支持板(51)と、この支持板(51)に直交して接合する平面状の支持板(52)を備え、この二つの支持板(51),(52)の接合する部分に沿って前記回転軸(53)を固定して回転自在に支持させるとともに、前記二つの支持板(51),(52)でウエハカセット(3)を、前記回転軸(53)の回りに回転可能に把持するステージ(5)と、を備えたウエハカセット昇降装置において、前記支持板(51)が、前記受台(42)上に載置されている状態であるときに、前記回転軸(53)に、垂直に下方に伸びて固定されたローラ支持部材(6)と、前記ローラ支持部材(6)の先端に回転自在に支持したガイドローラ(61)と、前記カセットローディング室(2)の下面(23)に、上方に伸びて固定され、前記昇降ロッド(41)の下降とともに前記ステージ(5)が、前記回転軸(53)を中心にして回転させたときに前記ガイドローラ(61)が移動する湾曲した軌跡に沿って形成した、前記ガイドローラが係合し得るカム溝(71)を有し、前記昇降ロッド(41)の下降時に、前記ガイドローラ(61)を前記カム溝(71)内に係合させ、前記ガイドローラ(61)を案内して、前記ステージ(5)とともに前記ウエハカセット(3)を、前記回転軸(53)を中心にして回転させるカム部材(7)とを備えたものである。
また、前記支持板(51)が、前記受台(42)上に載置されている状態であるときに、前記回転軸(53)に、この回転軸(53)よりも前記昇降ロッド(41)寄りの斜め下方に向けて固定したカム部材(8)と、前記カム部材(8)の先端部に設けた長穴からなるカム溝(81)と、前記カセットローディング室(2)の下面(23)に、上方に伸びて固定されるとともに、上端部に、前記カム溝(81)と常に係合するガイドローラ(91)を有し、前記昇降ロッド(41)の下降とともに前記カム部材(8)のカム溝(81)が、前記ガイドロ−ラ(91)と接触してスライドしつつ前記カム部材(8)を前記回転軸(53)を中心にして回転させ、前記ステージ(5)とともに前記ウエハカセット(3)を、前記回転軸(53)を中心にして回転させるローラ支持部材(9)とを備えたものである。
したがって、ステージの回転がガイドローラとカム溝との転がり接触によって行われるので、微細な塵の発生を防止することができる。
【0006】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。
図1は本発明の第1の実施例の要部を示す側断面図で、(a)はウエハWが水平の状態、(b)は回転途中の状態、(c)はウエハWが垂直の状態を示している。
図において、1はウエハWを処理する処理室、11は処理室1に設けられたウエハ搬入出口、12はウエハWを搬送するマニプレータである。2はカセットローディング室、21はカセットローディング室2に設けられたウエハ搬入出口で、処理室1のウエハ搬入出口11と連通している。22はカセットローディング室2に設けられたカセット搬入出口で、ウエハ搬入出口21の反対側に開口している。3は複数枚のウエハWを収納し得るウエハカセットである。
4はカセットローディング室2に設けられたウエハカセット昇降装置、41はカセットローディング室2の下面23を貫通して昇降する昇降ロッド、42は昇降ロッド41の上部に設けられた平面状の受台、5は直交する二つの平面状の支持板51,52を備えたステージで、支持板51と52の間でウエハカセット3を把持するようにしてある。53は支持板51と52の接合部分の長手方向に沿って固定された回転軸で、受台42上に設けられた軸受43によって回転自在に支持されている。
以上は図3に基づいて説明した従来例の構成と同様である。
【0007】
6は回転軸53に固定されたローラ支持部材で、ステージ5の支持板51が受台42上に載置されている状態で、垂直に下方に伸びている。61はローラ支持部材6の先端に回転自在に支持されたガイドローラである。7はカセットローディング室2の下面23に固定されたカム部材、71はカム部材7に設けられたガイドローラ61が係合し得るカム溝で、ステージ5が回転軸53の回りに回転したときにガイドローラ61が移動する湾曲した軌跡に沿って形成されている。
このような構成により、図1(a)に示すように、ウエハWがウエハカセット3に装入された状態から昇降ロッド41を下降させていくと、図1(b)に示すように、ガイドローラ61が湾曲したカム溝71に係合し、それに伴って回転軸53とともにステージ5が回転する。回転軸53とガイドローラ61が、図1(c)に示すように、水平に並んだ状態でステージ5が最初の状態から90度回転した状態となるので、ウエハWはウエハカセット3の中で垂直に立てられた状態となる。この状態で、次に工程に搬送される。
このように、ステージ5の回転がガイドローラ61とカム溝71との転がり接触によって行われるので、従来例で説明した滑り接触によって生じる微細な塵の発生を防止することができる。
【0008】
図2は本発明の第2の実施例の要部を示す側断面図で、(a)はウエハWが水平の状態、(b)は回転途中の状態、(c)はウエハWが垂直の状態を示している。
第2の実施例は、上記第1の実施例で説明した構成、すなわち、回転軸53にローラ支持部材6を介してガイドローラ61を固定し、カセットローディング室2の下面23にカム溝71を設けたカム部材7を設けた構成の代わりに、回転軸53に長穴からなるカム溝81を設けたカム部材8を固定し、カセットローディング室2の下面23から上方に伸び、ガイドローラ91を回転自在に支持するローラ支持部材9を設けたものである。
【0009】
このような構成により、図2(a)に示すように、ウエハWがウエハカセット3に装入された状態から昇降ロッド41を下降させていくと、図2(b)に示すように、カム溝81がガイドローラ91に係合し、それに伴って回転軸53とともにステージ5が回転し、更に昇降ロッド41を下降させると、図2(c)に示すように、ステージ5が最初の状態から90度回転した状態となる。したがって、ウエハWはウエハカセット3の中で垂直に立てられた状態となる。この状態で、次に工程に搬送される。
このように、ステージ5の回転がガイドローラ91とカム溝81との転がり接触によって行われるので、従来例で説明した滑り接触によって生じる微細な塵の発生を防止することができる。
【0010】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、ステージの回転はガイドローラのカム溝内の転がりを利用しているので、従来のように歯車の噛み合わせで回転させるときよりも発塵を防止することができ、信頼性の高いウエハカセット昇降装置を提供できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施例の要部を示す側断面図で、(a)はウエハWが水平の状態、(b)は回転途中の状態、(c)はウエハWが垂直の状態を示している。
【図2】 本発明の第2の実施例の要部を示す側断面図で、(a)はウエハWが水平の状態、(b)は回転途中の状態、(c)はウエハWが垂直の状態を示している。
【図3】 従来例を示す側断面図で、(a)はウエハWが水平の状態、(b)はウエハWが垂直の状態を示している。
【符号の説明】
1:処理室、11、21:ウエハ搬入出口、12:マニプレータ、2:カセットローディング室、22:カセット搬入出口、3:ウエハカセット、4:ウエハカセット昇降装置、41:昇降ロッド、42:受台、43:軸受、5:ステージ、51、52:支持板、53:回転軸、6:ローラ支持部材、61:ガイドローラ、7:カム部材、71:カム溝、8:カム部材、81:カム溝、9:ローラ支持部材、91:ガイドローラ
Claims (2)
- 半導体製造装置のカセットローディング室(2)の下面(23)を貫通して昇降する昇降ロッド(41)と、
前記昇降ロッド(41)の上部に、前記昇降ロッド(41)に対して垂直方向に設けられた平面状の受台(42)と、
前記受台(42)上に、軸の方向が前記受台(42)の面と平行になるように設けられた軸受(43)と、
前記軸受(43)に回転自在に支持された回転軸(53)と、
前記受台(42)の面と平行な平面状の支持板(51)と、この支持板(51)に直交して接合する平面状の支持板(52)を備え、この二つの支持板(51),(52)の接合する部分に沿って前記回転軸(53)を固定して回転自在に支持させるとともに、前記二つの支持板(51),(52)でウエハカセット(3)を、前記回転軸(53)の回りに回転可能に把持するステージ(5)と、を備えたウエハカセット昇降装置において、
前記支持板(51)が、前記受台(42)上に載置されている状態であるときに、前記回転軸(53)に、垂直に下方に伸びて固定されたローラ支持部材(6)と、
前記ローラ支持部材(6)の先端に回転自在に支持したガイドローラ(61)と、
前記カセットローディング室(2)の下面(23)に、上方に伸びて固定され、前記昇降ロッド(41)の下降とともに前記ステージ(5)が、前記回転軸(53)を中心にして回転させたときに前記ガイドローラ(61)が移動する湾曲した軌跡に沿って形成した、前記ガイドローラが係合し得るカム溝(71)を有し、前記昇降ロッド(41)の下降時に、前記ガイドローラ(61)を前記カム溝(71)内に係合させ、前記ガイドローラ(61)を案内して、前記ステージ(5)とともに前記ウエハカセット(3)を、前記回転軸(53)を中心にして回転させるカム部材(7)と、
を備えたことを特徴とするウエハカセット昇降装置。 - 半導体製造装置のカセットローディング室(2)の下面(23)を貫通して昇降する昇降ロッド(41)と、
前記昇降ロッド(41)の上部に、前記昇降ロッド(41)に対して垂直方向に設けられた平面状の受台(42)と、
前記受台(42)上に、軸の方向が前記受台(42)の面と平行になるように設けられた軸受(43)と、
前記軸受(43)に回転自在に支持された回転軸(53)と、
前記受台(42)の面と平行な平面状の支持板(51)と、この支持板(51)に直交して接合する平面状の支持板(52)を備え、この二つの支持板(51),(52)の接合する部分に沿って前記回転軸(53)を固定して回転自在に支持させるとともに、前記二つの支持板(51),(52)でウエハカセット(3)を、前記回転軸(53)の回りに回転可能に把持するステージ(5)と、を備えたウエハカセット昇降装置において、
前記支持板(51)が、前記受台(42)上に載置されている状態であるときに、前記回転軸(53)に、この回転軸(53)よりも前記昇降ロッド(41)寄りの斜め下方に向けて固定したカム部材(8)と、
前記カム部材(8)の先端部に設けた長穴からなるカム溝(81)と、
前記カセットローディング室(2)の下面(23)に、上方に伸びて固定されるとともに、上端部に、前記カム溝(81)と常に係合するガイドローラ(91)を有し、前記昇降ロッド(41)の下降とともに前記カム部材(8)のカム溝(81)が、前記ガイドロ−ラ(91)と接触してスライドしつつ前記カム部材(8)を前記回転軸(53)を中心にして回転させ、前記ステージ(5)とともに前記ウエハカセット(3)を、前記回転軸(53)を中心にして回転させるローラ支持部材(9)と、
を備えたことを特徴とするウエハカセット昇降装置。
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