JP4047251B2 - 配線基板および配線基板の製造方法 - Google Patents
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Description
図3は本発明の一実施形態に係る配線基板1の断面構造を模式的に示すものである。該配線基板は、耐熱性樹脂板(たとえばビスマレイミド−トリアジン樹脂板)や、繊維強化樹脂板(たとえばガラス繊維強化エポキシ樹脂)等で構成された板状コア2の両表面に、所定のパターンに配線金属層をなすコア導体層M1,M11がそれぞれ形成される。これらコア導体層M1,M11は板状コア2の表面の大部分を被覆する面導体パターンとして形成され、電源層または接地層として用いられるものである。他方、板状コア2には、ドリル等により穿設されたスルーホール12が形成され、その内壁面にはコア導体層M1,M11を互いに導通させるスルーホール導体30が形成されている。また、スルーホール12は、エポキシ樹脂等の樹脂製穴埋め材31により充填されている。
まず、周知のビルドアップ法等により、板状コア2の両主表面に、配線積層部L1,L2をそれぞれ形成する(配線積層部形成工程)。その後、各配線積層部L1,L2について端子パッド10,17を形成する。まず、図5の工程1に示すように、配線積層部L1,L2のうち最も外側に位置する誘電体層6の主面(第一配線積層部L1および第二配線積層部L2の各第一主表面CP)上に、端子パッド10,17の本体部をなすCuメッキ層52を形成する(Cuメッキ工程)。具体的には、第一配線積層部L1および第二配線積層部L2の各第一主表面CPに、メッキ導通路をなすメッキ用下地導電層を無電解Cuメッキでそれぞれ形成したのち、該メッキ用下地導電層を、フォトレジスト等からなるマスク材にてフォトリソグラフィー工程により、金属端子パッド10,17の形成予定領域が露出するように覆い、その後電解Cuメッキを行なう。電解Cuメッキを行なったのち、マスク材を除去するとともに、メッキ用下地導電層(無電化Cuメッキ)を化学エッチングにより除去する。このように、Cuメッキ工程は、端子パッドの形成予定位置にCuメッキ層52(厚さ:たとえば10μm以上30μm以下)を分散形態で形成するパターンメッキ工程として実施される。なお、本実施形態においては、簡略のため第一配線積層部L1側のみ図示している。
(a)半田ボールマウント後、大気中に24時間放置した後に測定(initial)
(b)半田ボールマウント後、大気中150℃にて100時間熱処理した後に測定
(c)半田ボールマウント後、大気中150℃にて500時間熱処理した後に測定
6 誘電体層
7 内層導体層
8,18 ソルダーレジスト層
8a,18a 開口
L1,L2 配線積層部
CP 第一主表面
10,17 端子パッド
11 半田バンプ(半田接続部)
30 スルーホール導体
34 ビア
52 Cuメッキ層
52p 主表面外周縁部
53 Snメッキ層
Claims (9)
- 誘電体層と導体層とが交互に積層された配線積層部を有し、該配線積層部のうち最も外側に位置する前記誘電体層の主面上に前記導体層に導通する外部接続用の端子パッドが形成され、前記端子パッドはCuメッキ層と、当該端子パッドの表面を構成するように前記Cuメッキ層に接して設けられたSnメッキ層とを備えた配線基板において、
前記Snメッキ層はSnの融点以上かつ前記誘電体層を構成する高分子材料のガラス転移点未満の温度範囲による平滑化熱処理され、前記Snメッキ層の表面凹凸が平滑化していることを特徴とする配線基板。 - 前記配線積層部の主表面は、複数の前記端子パッドを個別に露出させるための開口を有するソルダーレジスト層に覆われており、前記ソルダーレジスト層の開口の内周縁は前記端子パッドの主表面外周縁よりも内側に位置するように調整され、前記端子パッドは、前記ソルダーレジストの開口内に臨む表面全体が前記Snメッキ層にて形成されている請求項1記載の配線基板。
- 前記Snメッキ層は、厚さが0.3μm以上1.0μm以下となるように調整された無電解Snメッキ層である請求項1または2記載の配線基板。
- 前記配線積層部として、板状コアの第一主表面に形成される第一配線積層部と、同じく第二主表面に形成される第二配線積層部とが設けられ、それぞれ前記端子パッドが設けられ、前記第一配線積層部の前記端子パッドと、前記第二配線積層部の前記端子パッドとが、前記板状コアに設けられたスルーホール導体にて接続されてなり、
前記第一配線積層部側の前記端子パッド上には、前記ソルダーレジスト層の開口を充填するように実質的にPbを含有しない半田バンプが形成される一方、前記第二配線積層部側の前記端子パッドは前記Snメッキ層が前記ソルダーレジスト層の開口内に露出するように構成されている請求項1ないし3のいずれか1項に記載の配線基板。 - 誘電体層と導体層とが交互に積層された配線積層部を有し、該配線積層部のうち最も外側に位置する前記誘電体層の主面上に前記導体層に導通する外部接続用の端子パッドが形成された配線基板の製造方法であって、
前記配線積層部を形成する配線積層部形成工程と、
前記配線積層部のうち最も外側に位置する前記誘電体層の主面上に、前記端子パッドの本体部をなすCuメッキ層を形成するCuメッキ工程と、
前記Cuメッキ層に直接接するように前記端子パッドの表層部としてのSnメッキ層を形成するSnメッキ工程と、
前記Snメッキ層の表面を平滑化するための、そのSnメッキ層をSnの融点以上かつ前記誘電体層を構成する高分子材料のガラス転移点未満の温度範囲で加熱する平滑化熱処理工程と、
前記端子パッド上に実質的にPbを含有しない半田からなる半田接続部を設ける半田接続部形成工程と、
をこの順番で行なうことを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記Cuメッキ工程は、前記端子パッドの形成予定位置にCuメッキ層を分散形態で形成するパターンメッキ工程であり、
前記端子パッドの本体部として形成された前記Cuメッキ層を個別に露出させるための開口を有するソルダーレジスト層を、その開口の内周縁が前記Cuメッキ層の主表面外周縁よりも内側に位置するように形成するソルダーレジスト層形成工程をさらに含み、
前記Snメッキ工程は、前記ソルダーレジスト層形成工程を行なった後に、前記ソルダーレジスト層の開口内に露出する前記Cuメッキ層の表面全体を被覆するように前記Snメッキ層を形成するものである請求項5記載の配線基板の製造方法。 - 前記Snメッキ工程は無電解Snメッキ工程である請求項5または6記載の配線基板の製造方法。
- 前記配線積層部を作製する工程は、板状コアの第一主表面側に第一配線積層部、同じく第二主表面側に第二配線積層部を、それら第一配線積層部を構成する前記導体層と第二配線積層部を構成する前記導体層とが、前記板状コアに設けたスルーホール導体にて接続されるように形成するビルドアップ工程であり、
前記Cuメッキ工程は、前記第一配線積層部のうち前記板状コアから最も離れて位置する前記誘電体層の主面上と、前記第二配線積層部のうち前記板状コアから最も離れて位置する前記誘電体層の主面上とのそれぞれに前記Cuメッキ層を形成する工程であり、
前記半田接続部形成工程は、前記第一配線積層部側の前記端子パッド上に、前記ソルダーレジスト層の開口を充填するように実質的にPbを含有しない半田バンプを形成する半田バンプ形成工程とされる請求項7記載の配線基板の製造方法。 - 前記Cuメッキ工程と前記Snメッキ工程の間に、前記Cuメッキ工程によって形成されたCuメッキ層の表面を粗面とする面粗し工程が行われることを特徴とする請求項5ないし8のいずれか1項に記載の配線基板の製造方法。
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