JP4039004B2 - 焦電性基材の分極方法及びその装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は焦電効果を利用した赤外線センサ等に搭載する焦電素子に用いられる焦電性基材の分極方法及びその装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来は特開平8-15741号の分極反転装置、及び非線形光学素子の製造方法のように、分極反転電流の大きさを高電圧アンプにフィードバックし、高圧出力を調節することで、非線形光学素子の分極反転域を制御性良く形成するものである。
しかしながら、分極反転電流の大きさは、焦電性基材の不純物濃度や組成比、結晶欠陥の量に強く依存するために、しきい値となる設定反転電流値を分極反転領域のZ面での面積と基材の自発分極の大きさより決定し、各処理ワークロットに対し均一な値とすると、処理するワークロットによって、不純物濃度や組成比、結晶欠陥の量が微妙に異なるために、ワークロット間で分極量(分極率)のバラツキが生じる恐れのあるものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記問題点の解決を目的とするものであり、焦電性基材を分極する際に、焦電性基材の不純物濃度や組成比、結晶欠陥の量によらず、各ロット間で分極量のバラツキのない処理を行うことのでき、制御性良く所望の分極率を得ることができる焦電性基材の分極方法及びその装置を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1記載の焦電性基材の分極方法は、焦電性基材を電圧印加により分極する際に、予め焦電性基材の非製品部分の検査用分極部分の表裏に一対のプローブを接触させて電圧を印加し、該検査用分極部分に所定の電圧を印加して流れる電荷量を基準電荷量とし、製品部分の表裏面に形成された所定面積の電極に製品部分の分極プローブ対を配設し、前記検査用分極部分の基準電荷量に基づいて,この製品部分の目標とする分極率から分極反転に必要な電荷量を設定し、所望の電荷量まで電圧を印加し、単一分域を形成することを特徴とする。
【0005】
したがって、焦電性基材の不純物濃度や組成比、結晶欠陥の量によらず、各ロット間で分極量のバラツキのない処理を行うことができ、制御性良く所望の分極率を得ることができる。
【0006】
本発明の請求項2記載の焦電性基材の分極方法は、請求項1記載の非製品部分に設けられた検査用分極部分を複数箇所とし、各箇所で得られる電荷量の平均値を基準電荷量とすることを特徴とするものである。
【0007】
したがって、同一基材内での材料の組成比や不純物濃度、結晶欠陥密度などに起因する分極量のバラツキをなくすことで、取得する基準電荷量の測定精度が向上する。
【0008】
本発明の請求項3記載の焦電性基材の分極方法は、請求項1記載又は請求項2記載の非製品部分に設けられた検査用分極部分に製品部分の表裏面と同じ材料の電極を形成し、表裏一対のプローブを接触させ電圧を印加し、該検査用分極部分に所定の電圧を印加して流れる電荷量を基準電荷量とし、該非製品部分の検査用分極部分の基準電荷量に基づいて、製品部分に必要な目標とする分極率から分極反転に必要な電荷量を設定し、所望の電荷量まで電圧を印加し、単一分域を形成することを特徴とする。
【0009】
したがって、検査用分極の領域が正確になり、プローブの接触不良によって、取得する所得する基準電荷量が不確かになるのを防ぐとともに形成した電極を利用して、分極する製品部分の分極に検査用分極も合わせることで、電極による電圧降下の影響や、電極材質の基材への拡散の影響を考慮した基準電荷量の取得ができる。
【0010】
本発明の請求項4記載の焦電性基材の分極方法は、請求項1乃至請求項3記載のいずれか1項記載の非製品部分の基準電荷量に基づいて製品部分に必要な目標とする分極率から分極反転に必要な電荷量を設定し、製品部分の同一の焦電性基材に形成した複数領域の製品部分に対して、複数の電圧プローブ対によって、複数領域を同時に分極し、所望の電荷量まで電圧を印加し、複数の単一分域を形成することを特徴とする。
【0011】
したがって、同一基材から分極率の異なる複数個の単一分域素子を形成することができる。
【0012】
本発明の請求項5記載の焦電性基材の分極方法は、請求項1乃至請求項4記載のいずれか1項記載の非製品部分に設けられた検査用分極部分と製品部分の分極をほぼ同時に開始し、検査用分極において、製品部分の分極よりも高い電圧を印加することで、検査用分極を製品部分の分極よりも早く終了させ、検査用分極が終了した段階で製品部分の電圧印加の終了をすることを特徴とする。
【0013】
したがって、検査用分極を製品部品の分極中に行うことで、検査用分極の時間を削減し、タクトアップにつながる。
【0014】
本発明の請求項6記載の焦電性基材の分極装置は、焦電性基材を電圧印加により分極する装置であって、焦電性基材を挟んで対向する検査部分用の電圧プローブ対と、同様に焦電性基材を挟んで対抗する製品部分の分極用の電圧プローブ対と、検査用分極、製品部分用分極及び電圧印加しない状態をリレーにより切替える機構を備えた電圧印加装置と、取得する電荷量を記録し、且つ製品部分に電圧印加する時間を調節する装置を設け、該焦電性基材の製品部分に対し、所望の分極反転に必要なだけの電荷が流れるまで製品部分に電圧を印加し、単一分域を形成することを特徴とする。
【0015】
したがって、検査用プローブ対及び製品部分の分極用プローブ対を別にすることで、検査用の分極時と製品部分の分極時で、基材の位置を動かす或いはプローブ対を走査する必要がなく、装置が簡易なものになる。又、検査用プローブ対及び製品部分の分極用プローブ対がそれぞれ基材に対し、対向する位置にあることで、薄板状である基材の保持を兼ねることができる。
【0016】
本発明の請求項7記載の電性基材の分極装置は、請求項6記載の焦電性基材を加熱する加熱プレートを備えてなるものである。
【0017】
したがって、基材を加熱することで、分極反転の進行が速まり、タクトの短縮につながる。
【0018】
本発明の請求項8記載の焦電性基材の分極装置は、請求項6又は請求項7記載の焦電性基材の製品部分の分極後、表裏の電極を短絡する機構を備えてなるものである。
【0019】
したがって、処理後、基材の冷却により分極再反転の防止ができる。又、基材の強制急冷が可能となり、タクトが短縮できる。
【0020】
本発明の請求項9記載の焦電性基材の分極装置は、請求項6乃至請求項8記載の検査用分極及び製品部分の分極を絶縁ガス雰囲気中で行うための気密性の有る容器を具備して成るものである。
【0021】
したがって、分極中放電による基材破損を抑制することができる。
【0022】
【発明の実施の形態】
図1乃至図11は、請求項1〜9に係る発明に対応する一実施例の形態を示し、この実施形態の焦電性基材の分極方法を以下に示す。
【0023】
図1乃至図3において、本発明の焦電性基材の分極方法は、焦電性基材1を電圧印加により分極する際に、予め焦電性基材1の非製品部分2の検査用分極部分3の表裏に一対のプローブ4aを接触させて電圧を印加し、該検査用分極部分3に所定の電圧を印加して流れる電荷量を基準電荷量Aとし、製品部分5の表裏面に形成された所定面積の電極9に製品部分の分極プローブ対4bを配設し、前記検査用分極部分3の基準電荷量Aに基づいてこの製品部分5の分極プローブ対4bの必要な目標とする分極率から分極反転に必要な電荷量Bを設定し、所望の電荷量Bまで電圧を印加し、単一分域を形成するようにしたものである。
【0024】
このとき、焦電性基材1としては、例えばニオブ酸リチウム単結晶(LiNbO3),タンタル酸リチウム単結晶(LiTaO3),チタン酸ジルコン酸鉛(PZT系強誘電体)等が用いられる。これらの焦電性基材1は通常、厚み10〜200μmのものが使用される。
【0025】
図1のように、焦電性基材1の分極処理フローは、まず丸型状や四角状の焦電性基材1を準備し、この焦電性基材1の非製品部分2の検査用分極部分3の表裏に一対のプローブ4aを接触させて電圧を印加する。そして、この検査用分極部分3の基準電荷量Aは、プローブ4aの接触面積を基準面積とし、電圧を所定時間(例えば15分)印加し、完全に分極させた(分極率:100%)ものをいう。したがって、この基準電荷量Aを基準として、製品部分5に必要な分極率や分極面積をパソコンに入力し、製品部分5の分極による電荷量Bを求める。この電荷量B=基準電荷量A×分極面積で求められ、図4のように、分極電流と時間との積分値(図中の面積)で所望の分極率を設定することが可能となる。そこで、製品部分5に必要な分極による電荷量Bは電圧印加時間として決定される。そしてこの電圧印加時間を制御するようになされている。
したがって、焦電性基材1の不純物濃度や組成比、結晶欠陥の量によらず、各ロット間で分極量のバラツキのない処理を行うことができ、制御性良く所望の分極率を得ることができる。
【0026】
(実施例1)
【0027】
厚みが50μmで2〜3mm□のニオブ酸リチウム単結晶(LiNbO3)からなる焦電性基材1を準備し、この焦電性基材1の非製品部分2の検査用分極部分3の表裏に一対のプローブ4aを接触させて500〜700Vの電圧を電圧印加装置6の切替機構7の右側接点へのONで15分印加する。このとき、上下のプローブ4aは材質や接触面積が同一のものを使用し、焦電性基材1を挟んで対向する位置にある。
【0028】
この非製品部分2の検査用分極部分3の電圧印加により基準電荷量Aは、図4の検査部分の分極電流波形から積分値として算出される。そして、この算出された基準電荷量Aを基にし、製品部分5に必要な目標とする分極率や分極面積をパソコンに入力し、かつパソコンを用いたA/D変換ボードにより固定抵抗8に反転電流が流れる際の電位差を電圧値としてリアルタイムで取り込むものである。
【0029】
そして、製品部分5に必要な分極による電荷量Bは、表裏に一対のプローブ4bを接触させて500〜700Vの電圧を電圧印加装置6の切替機構7の左側接点へのONで印加して製品部分5の分極反転に必要な電荷量Bを電圧の印加開始〜終了の時間で設定するものである。つまり、製品部分5に対し電圧を印加し、所望の分極反転に必要なだけの電荷が流れるまで製品部分5に所定時間印加し単一分域を形成する。尚、製品部分5の電極9は分極処理前に電子ビーム蒸着法により銅やアルミニウム等が用いられる。
【0030】
このとき、電荷量B=基準電荷量A×分極面積であるので所定の電荷が蓄積されたら電圧印加装置6の切替機構7のスイッチをOFFにすれば良いのである。
尚、10は電荷量記憶装置である。したがって、非製品部分2の検査用分極部分3の電圧印加によって、基準電荷量Aを電圧印加終了時間すなわち分極電流0mvになるまでの電流波形の積分値(面積)として算出する。そして、この基準電荷量Aの算出及び製品部分5の分極率を設定した後、製品部分5の分極に必要な電荷量Bになるまで電圧を印加して終了する。
【0031】
したがって、得られた焦電性基材は、不純物濃度や組成比、結晶欠陥の量によらず、各ロット間で分極率のバラツキのない処理を行うことができ、制御性良く所望の製品部分5の分極率を得ることができる。
【0032】
(実施例2)
上記(実施例1)において、図5のように、検査用分極部分3(検査用プローブ4aを接触させる部分)を非製品部分2に複数箇所設けたものである。例えば、ニオブ酸リチウム単結晶(LiNbO3)からなる焦電性基材1を準備し、この焦電性基材1の非製品部分2の複数の検査用分極部分3a、3bの表裏に一対のプローブ4aを接触させて500〜700Vの電圧を電圧印加装置6の切替機構7の右側接点へのONで15分間印加する。
【0033】
このとき、上下のプローブ4aは材質や接触面積が同一のものを使用し、焦電性基材1を挟んで対向する位置にある。この非製品部分2の検査用分極部分3a、3bの電圧印加により基準電荷量Aは、図4の検査部分の分極電流波形から積分値として算出され各箇所で得られる電荷量の平均値で決定される。
【0034】
そして、この算出された基準電荷量Aを基にし、製品部分5に必要な目標とする分極率や分極面積をパソコンを用いたA/D変換ボードにより固定抵抗8に反転電流が流れる際の電位差を電圧値としてリアルタイムで取り込むものである。
【0035】
さらに、製品部分5に必要な分極による電荷量Bは、表裏に一対のプローブ4bを接触させて500〜700Vの電圧を電圧印加装置6の切替機構7の左側接点へのONで印加して製品部分5の分極反転に必要な電荷量Bを電圧の印加開始〜終了の時間で設定するものである。つまり、製品部分5に対し電圧を印加し、所望の分極反転に必要なだけの電荷が流れるまで製品部分5に印加し単一分域を形成する。
【0036】
このとき、電荷量B=基準電荷量A×分極面積であるので所定の電荷が蓄積されたら電圧印加装置6の切替機構7のスイッチをOFFにすれば良いのである。尚、10は電荷量記憶装置である。基準電荷量Aを電圧印加終了時間すなわち分極電流0mvになるまでの電流波形の積分値(面積)として算出する。そして、この基準電荷量Aの算出及び製品部分5の分極率を設定した後、製品部分5に電圧を印加開始することで、所望の分極率に応じて電圧印加終了時間を設定することが可能となり、製品部分5の分極に必要な電荷量Bが決定される。したがって、非製品部分2の複数の検査用分極部分3a、3bの電圧印加によって、同一焦電性基材1内の不純物濃度や組成比、結晶欠陥密度等に起因する分極率のバラツキをなくすことで、取得する基準電荷量Aの測定精度が向上する。
【0037】
(実施例3)
上記(実施例1)において、図6のように、ニオブ酸リチウム単結晶(LiNbO3)からなる焦電性基材1を準備し、この焦電性基材1の非製品部分2の検査用分極部分3(検査用プローブ4aを接触させる部分)の表裏面に製品部分5と同じ材料の電極9を形成し、表裏一対のプローブ4aを接触させて500〜700Vの電圧を電圧印加装置6の切替機構7の右側接点へのONで印加する。
【0038】
このとき、上下のプローブ4aは材質や接触面積が同一のものを使用し、焦電性基材1を挟んで対向する位置にある。この非製品部分2の検査用分極部分3の電圧印加により基準電荷量Aは、非製品部分2の検査用分極部分3に製品部分5と材質や厚みが同等の電極9を表裏面に、分極処理前に形成しておき、形成して得た電極を通して得られた検査分極での電荷量Cを言う。この場合の基準面積はプローブ4aの接触面積ではなく、検査部分の電極面積となる。
【0039】
そして、得られた電荷量Cを表裏に一対のプローブ4aを接触させて500〜700Vの電圧を電圧印加装置6の切替機構7の左側接点へのONで印加して製品部分5の分極反転に必要な電荷量Cを電圧の印加開始〜終了の時間で設定するものである。つまり、製品部分5に対し電圧を印加し、所望の分極反転に必要なだけの電荷が流れるまで製品部分5に所定時間印加し単一分域を形成する。
【0040】
このとき、電荷量C=基準電荷量A×分極面積であるので所定の電荷が蓄積されたら電圧印加装置6の切替機構7のスイッチをOFFにすれば良いのである。尚、10は電荷量記憶装置である。基準電荷量Aを電圧印加終了時間すなわち分極電流0mvになるまでの電流波形の積分値(面積)として算出する。そして、この基準電荷量Aの算出及び製品部分5の分極率を設定した後、製品部分5の分極に必要な電荷量Cなるまで電圧を印加して終了する。
【0041】
したがって、検査用分極の領域が正確になり、プローブの接触不良によって、取得する所得する基準電荷量が不確かになるのを防ぐとともに形成した電極9を利用して、分極する製品部分の分極に検査用分極も合わせることで、電極9による電圧降下の影響や、電極材質の基材への拡散の影響を考慮した基準電荷量の取得ができる。
【0042】
(実施例4)
【0043】
図7及び図8に示したように、厚みが50μmで2〜3mm□のニオブ酸リチウム単結晶(LiNbO3)からなる焦電性基材1を準備し、この焦電性基材1の複数領域の製品部分5に対し、非製品部分2の検査用分極部分3の表裏に一対のプローブ4aを接触させて500〜700Vの電圧を電圧印加装置6の切替機構7の右側接点へのONで印加する。このとき、上下のプローブ4aは材質や接触面積が同一のものを使用し、焦電性基材1を挟んで対向する位置にある。この非製品部分2の検査用分極部分3の電圧印加により基準電荷量Aは、図4の検査部分の分極電流波形から積分値として算出される。
【0044】
そして、この算出された基準電荷量Aを基にし、製品部分5に必要な目標とする分極率や分極面積をパソコンを用いたA/D変換ボードにより固定抵抗8に反転電流が流れる際の電位差を電圧値としてリアルタイムで取り込むものである。そして、複数領域の製品部分5のそれぞれに必要な分極による電荷量Bは、表裏に一対のプローブ4bを各々接触させて500〜700Vの電圧を電圧印加装置6の切替機構7の左側接点へのONで印加して製品部分5の分極反転に必要な電荷量Bを電圧の印加開始〜終了の時間で設定するものである。
【0045】
つまり、複数領域の製品部分5に対し各々電圧を印加し、所望の分極反転に必要なだけの電荷が流れるまで製品部分5に所定時間印加し単一分域を形成する。
このとき、電荷量B=基準電荷量A×分極面積であるので所定の電荷が蓄積されたら電圧印加装置6の切替機構7のスイッチをOFFにすれば良いのである。
尚、10は電荷量記憶装置である。したがって、非製品部分2の検査用分極部分3の電圧印加によって、基準電荷量Aを電圧印加終了時間すなわち分極電流0mvの電流波形の積分値(面積)として算出する。そして、この基準電荷量Aの算出及び複数領域の製品部分5の分極率を設定した後、製品部分5の分極に必要な電荷量Bになるまで電圧を印加して終了する。
【0046】
したがって、同一の焦電性基材1から分極率の異なる複数個の単一分域素子を形成することができる。
【0047】
(実施例5)
【0048】
図9に示したように、非製品部分2に設けられた検査用分極部分3と製品部分5の分極をほぼ同時に開始し、検査用分極部分3において、製品部分5の分極よりも高い電圧を印加することで、検査用分極部分3を製品部分5の分極よりも早く終了させ、検査用分極部分3が終了した段階で製品部分5の電圧印加の終了をする方法である。
【0049】
焦電性基材1のに500〜700Vの高電圧を印加して単一分域化する場合、印加する電圧値が高いほど(結晶破壊が生じないレベル)分極反転が速くなるので、このことを利用して、検査用分極部分3と製品部分5の分極をほぼ同時に開始し、検査用分極部分3の分極において、検査用分極部分3を速く終了させ、検査用分極部分3の電圧印加が終了製品部分5の分極よりも高い電圧を印加することで、製品部分5の電圧印加の終了を決定する。通常は検査用分極部分3が700V印加し、製品部分5の電極への印加は分極率80%で500Vに設定すれば検査用分極を製品部品の分極中に終了することができる。
【0050】
したがって、検査用分極を製品部品の分極中に行うことで、検査用分極の時間を削減し、タクトアップにつながる。
【0051】
(実施例6)
図10に示したように、厚みが50μmで2〜3mm□のニオブ酸リチウム単結晶(LiNbO3)からなる焦電性基材1を準備し、この焦電性基材1を電圧印加により分極する装置であって、焦電性基材1を挟んで対向する検査部分用の表裏に一対のプローブ4a、4aを接触させて500〜700Vの電圧を電圧印加装置6の切替機構7の右側接点へのONで印加する。
【0052】
このとき、上下のプローブ4a、4aは材質や接触面積が同一のものを使用し、焦電性基材1を挟んで対向する位置にある。このプローブ対4a、4aと、検査用分極、製品部分用分極及び電圧を印加しない状態をリレーにより切替える機構を備えた電圧印加装置6と、取得する電荷量を記録し、且つ、製品部分5に電圧を印加する時間を調節する装置を設け、この焦電性基材1の製品部分5に対し、所望の分極反転に必要なだけの電荷が流れるまで製品部分5に電圧を印加し、単一分域を形成する装置である。
【0053】
以下に分極装置を詳述する。
検査用のプローブ対4a、4aは、焦電性基材1の表裏面に対向して接触させて電圧を印加するものである。同様に製品用のプローブ対4b、4bは、焦電性基材1の表裏面に対向して形成した電極9に接触させて電圧を印加するものである。これらの検査用分極及び製品部分5用の分極は、電圧印加のON,OFFをリレーにより切替機構7を有している。
【0054】
又、固定抵抗8は、電圧印加装置6と焦電性基材1とを直列につなぎ、その電圧降下値を電荷量記憶装置10に送るようにしている。電荷量記憶装置10は、製品部分5に必要な目標とする分極率や分極面積をパソコンを用いたA/D変換ボードにより固定抵抗8に反転電流が流れる際の電位差を電圧値としてリアルタイムで取り込むものである。
【0055】
そして、製品部分5に必要な分極による電荷量Bは、表裏に一対のプローブ4b、4bを接触させて500〜700Vの電圧を電圧印加装置6の切替機構7の左側接点へのONで印加して製品部分5の分極反転に必要な電荷量Bを電圧の印加開始〜終了の時間で設定するものである。つまり、製品部分5に対し電圧を印加し、所望の分極反転に必要なだけの電荷が流れるまで製品部分5に所定時間印加し単一分域を形成する。このとき、電荷量B=基準電荷量A×分極面積であるので所定の電荷が蓄積されたら電圧印加装置6の切替機構7のスイッチをOFFにすれば良いのである。
【0056】
したがって、検査用プローブ対4a、4a及び製品部分の分極用プローブ対4b、4bを別にすることで、検査用の分極時と製品部分の分極時で、基材の位置を動かす或いはプローブ対4a、4bを走査する必要がなく、装置が簡易なものになる。又、検査用プローブ対4a、4a及び製品部分の分極用プローブ対4b、4bがそれぞれ基材に対し、対向する位置にあることで、薄板状である基材の保持を兼ねることができる。
【0057】
尚、図11に示したように、本発明の焦電性基材の分極装置において、焦電性基材1を加熱し、薄板焦電性基材1のバックアップを兼ねた加熱プレート11を備えても良いものである。例えば、タンタル酸リチウム単結晶(LiTaO3)を分極処理する際に、焦電性基材1の製品部に形成した電極の裏面側に電熱ヒーター等の加熱プレート11を配設し、この焦電性基材1を150〜200℃に加熱することで、低電圧で分極反転が生じやすくなる。又、10〜200μmの薄板状の焦電性基材1を補強することが可能となり、タクトの短縮にもつながる。又、12は焦電性基材1の裏面側に形成した電極に印加するための製品部分の分極用プローブ4bを通すための貫通孔である。
【0058】
したがって、基材を加熱することで、分極反転の進行が速まり、タクトの短縮につながる。
【0059】
さらに、図12に示したように、製品部分の分極後、表裏面の電極を短絡する機構を設けたものである。
【0060】
例えば、タンタル酸リチウム単結晶(LiTaO3)を分極処理する際に、図11のように焦電性基材1の製品部に形成した電極9の裏面側に電熱ヒーター等の加熱プレート11を配設し、この焦電性基材1を150〜200℃に加熱した場合に、低電圧で分極反転が生じやすくなる。しかし、分極処理後に常温まで冷却するが、特に冷却勾配が急なときに基材自身の焦電効果により基材に形成した電極表面の帯電量が変化し、生じた電位差によって、基材が再反転してしまい、設定した分極率を下回ってしまうという問題があった。そこで、この分極率の降下を防止するために、電圧印加装置6で印加終了後、切替機構7の右側接点へのON及び製品部分の分極用プローブ4bを短絡することにより回路を形成するものである。
【0061】
さらに又、図13に示したように、検査用の分極と製品部分の分極とを絶縁ガス雰囲気で充満された気密性のある容器内で分極処理する装置であり以下に述べる。
【0062】
密閉した箱型状の気密容器12内に焦電性基材1の製品部の表裏面に形成した電極9に製品部分5の分極用プローブ対4b、4b及び非製品部分2の検査用のプローブ対4a、4aを配設し、ガスボンベ13から分極時に六弗化硫黄ガス(SF6)等の絶縁ガス14を封入しておく。この状態で電圧印加を行う。又、ロータリーポンプ等の真空ポンプ15で気密容器12内を真空排気した後、絶縁ガス14を導入しても良い。このような装置で絶縁ガス14を封入していないと、薄板状の焦電性基材1に製品部分5の分極用プローブ対4b及び非製品部分2の検査用のプローブ対4a、4aを配設し高電圧を印加するので、分極時の雰囲気ガスにより放電が生じ、基材を破壊してしまう恐れがある。そこで、特に同一基材に分極処理する領域としない領域を形成する場合には同一面内に形成した電極間で放電が生じてしまわないように、分極時に六弗化硫黄ガス(SF6)等の絶縁ガス14を封入しておくことで、分極中放電による基材破損を抑制できる。
【0063】
【発明の効果】
上述の如く、本発明の請求項1記載の焦電性基材の分極方法は、焦電性基材を電圧印加により分極する際に、予め焦電性基材の非製品部分の検査用分極部分の表裏に一対のプローブを接触させて電圧を印加し、該検査用分極部分に所定の電圧を印加して流れる電荷量を基準電荷量とし、製品部分の表裏面に形成された所定面積の電極に製品部分の分極プローブ対を配設し、前記検査用分極部分の基準電荷量に基づいて,この製品部分の目標とする分極率から分極反転に必要な電荷量を設定し、所望の電荷量まで電圧を印加し、単一分域を形成することにより、焦電性基材の不純物濃度や組成比、結晶欠陥の量によらず、各ロット間で分極量のバラツキのない処理を行うことができ、制御性良く所望の分極率を得ることができる。
【0064】
本発明の請求項2記載の焦電性基材の分極方法は、検査用分極部分を複数箇所とし、各箇所で得られる電荷量の平均値を基準電荷量とすることにより、同一基材内での材料の組成比や不純物濃度、結晶欠陥密度などに起因する分極量のバラツキをなくすことで、取得する基準電荷量の測定精度が向上する。
【0065】
本発明の請求項3記載の焦電性基材の分極方法は、非製品部分に設けられた検査用分極部分に製品部分の表裏面と同じ材料の電極を形成し、表裏一対のプローブを接触させ電圧を印加し、該検査用分極部分に所定の電圧を印加して流れる電荷量を基準電荷量とし、該非製品部分の検査用分極部分の基準電荷量に基づいて、製品部分に必要な目標とする分極率から分極反転に必要な電荷量を設定し、所望の電荷量まで電圧を印加し、単一分域を形成することにより、検査用分極の領域が正確になり、プローブの接触不良によって、取得する所得する基準電荷量が不確かになるのを防ぐとともに形成した電極を利用して、分極する製品部分の分極に検査用分極も合わせることで、電極による電圧降下の影響や、電極材質の基材への拡散の影響を考慮した基準電荷量の取得ができる。
【0066】
本発明の請求項4記載の焦電性基材の分極方法は、非製品部分の基準電荷量に基づいて製品部分に必要な目標とする分極率から分極反転に必要な電荷量を設定し、製品部分の同一の焦電性基材に形成した複数領域の製品部分に対して、複数の電圧プローブ対によって、複数領域を同時に分極し、所望の電荷量まで電圧を印加し、複数の単一分域を形成することにより、同一基材から分極率の異なる複数個の単一分域素子を形成することができる。
【0067】
本発明の請求項5記載の焦電性基材の分極方法は、非製品部分に設けられた検査用分極部分と製品部分の分極をほぼ同時に開始し、検査用分極において、製品部分の分極よりも高い電圧を印加することで、検査用分極を製品部分の分極よりも早く終了させ、検査用分極が終了した段階で製品部分の分極反転に必要な電荷量を決定し、その電荷量になるまで製品部分に電圧を印加するすることにより、検査用分極を製品部品の分極中に行うことで、検査用分極の時間を削減し、タクトアップにつながる。
【0068】
本発明の請求項6記載の焦電性基材の分極装置は、焦電性基材を電圧印加により分極する装置であって、焦電性基材を挟んで対向する検査部分用の電圧プローブ対と、同様に焦電性基材を挟んで対抗する製品部分の分極用の電圧プローブ対と、検査用分極、製品部分用分極及び電圧印加しない状態をリレーにより切替える機構を備えた電圧印加装置と、取得する電荷量を記録し、且つ製品部分に電圧印加する時間を調節する装置を設け、該焦電性基材の製品部分に対し、所望の分極反転に必要なだけの電荷が流れるまで製品部分に電圧を印加し、単一分域を形成するので、検査用プローブ対及び製品部分の分極用プローブ対を別にすることで、検査用の分極時と製品部分の分極時で、基材の位置を動かす或いはプローブ対を走査する必要がなく、装置が簡易なものになる。又、検査用プローブ対及び製品部分の分極用プローブ対がそれぞれ基材に対し、対向する位置にあることで、薄板状である基材の保持を兼ねることができる。
【0069】
本発明の請求項7記載の焦電性基材の分極装置は、焦電性基材を加熱する加熱プレートを備えてなるから、基材を加熱することで、分極反転の進行が速まり、タクトの短縮につながる。
【0070】
本発明の請求項8記載の焦電性基材の分極装置は、焦電性基材の製品部分の分極後、表裏の電極を短絡する機構を備えてなるから、処理後、基材の冷却により分極再反転の防止ができる。又、基材の強制急冷が可能となり、タクトが短縮できる。
【0071】
本発明の請求項9記載の焦電性基材の分極装置は、検査用分極及び製品部分の分極を絶縁ガス雰囲気中で行うための気密性の有る容器を具備して成るから、分極中放電による基材破損を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の焦電性基材の分極方法の一実施形態に係る分極処理の流れ図である
【図2】本発明の焦電性基材の一実施形態に係る製品部分と非製品部分の区分けと検査用分極部分を示す平面図である。
【図3】本発明の焦電性基材の一実施形態に係る図1の分極方法を示す焦電性基材を正面方向から見た概略図である。
【図4】本発明の焦電性基材の一実施形態に係る検査用分極と製品部分の分極との分極電流と時間との関係を示すグラフである。
【図5】本発明の異なる焦電性基材の実施形態に係る製品部分と非製品部分の区分けと複数の検査用分極部分を示す平面図である。
【図6】本発明のさらに異なる焦電性基材の実施形態に係る検査用分極部分に製品部分と同一の電極を形成した平面図である。
【図7】本発明のさらに異なる焦電性基材の実施形態に係る同一基材に形成した複数領域の製品部分に対し、複数のプローブ対によって分極した平面図である。
【図8】本発明は図7の複数領域の製品部分を有する焦電性基材を製造するための方法を示す焦電性基材を正面方向から見た概略図である。
【図9】本発明の焦電性基材の検査用分極と製品部分の分極を同時に開始したときの分極電流と時間との関係を示すグラフである。
【図10】本発明の焦電性基材の分極するための焦電性基材を正面方向から見た概略図である。
【図11】本発明の焦電性基材の分極装置で加熱プレートを具備した焦電性基材を正面方向から見た概略図である。
【図12】本発明の焦電性基材の分極装置で製品部分の分極後、表裏の電極を短絡する機構を具備した焦電性基材を正面方向から見た概略図である。
【図13】本発明の焦電性基材の分極装置で絶縁ガス雰囲気中で分極処理する焦電性基材を正面方向から見た概略図である。
【符号の説明】
A 基準電荷量
B、C 電荷量
1 焦電性基材
2 非製品部分
3 検査用分極部分
4 プローブ
4a 検査用プローブ対
4b 分極用プローブ対
5 製品部分
6 電圧印加装置
7 切替機構
8 固定抵抗
9 製品部に形成した電極
10 電荷量記憶装置
11 加熱プレート
12 気密容器
13 ガスボンベ
14 絶縁ガス
15 真空ポンプ
Claims (9)
- 焦電性基材を電圧印加により分極する際に、予め焦電性基材の非製品部分の検査用分極部分の表裏に一対のプローブを接触させて電圧を印加し、該検査用分極部分に所定の電圧を印加して流れる電荷量を基準電荷量とし、製品部分の表裏面に形成された所定面積の電極に製品部分の分極プローブ対を配設し、前記検査用分極部分の基準電荷量に基づいて,この製品部分の目標とする分極率から分極反転に必要な電荷量を設定し、所望の電荷量まで電圧を印加し、単一分域を形成することを特徴とする焦電性基材の分極方法。
- 上記非製品部分に設けられた検査用分極部分を複数箇所とし、各箇所で得られる電荷量の平均値を基準電荷量とすることを特徴とする請求項1記載の焦電性基材の分極方法。
- 上記非製品部分に設けられた検査用分極部分に製品部分の表裏面と同じ材料の電極を形成し、表裏一対のプローブを接触させ電圧を印加し、該検査用分極部分に所定の電圧を印加して流れる電荷量を基準電荷量とし、該非製品部分の検査用分極部分の基準電荷量に基づいて、製品部分に必要な目標とする分極率から分極反転に必要な電荷量を設定し、所望の電荷量まで電圧を印加し、単一分域を形成することを特徴とする請求項1又は請求項2記載の焦電性基材の分極方法。
- 上記非製品部分の基準電荷量に基づいて製品部分に必要な目標とする分極率から分極反転に必要な電荷量を設定し、製品部分の同一の焦電性基材に形成した複数領域の製品部分に対して、複数の電圧プローブ対によって、複数領域を同時に分極し、所望の電荷量まで電圧を印加し、複数の単一分域を形成することを特徴とする請求項1乃至請求項3記載のいずれか1項記載の焦電性基材の分極方法。
- 上記非製品部分に設けられた検査用分極部分と製品部分の分極をほぼ同時に開始し、検査用分極において、製品部分の分極よりも高い電圧を印加することで、検査用分極を製品部分の分極よりも早く終了させ、検査用分極が終了した段階で製品部分の分極反転に必要な電荷量を決定し、その電荷量になるまで製品部分に電圧を印加することを特徴とする請求項1乃至請求項4記載のいずれか1項記載の焦電性基材の分極方法。。
- 焦電性基材を電圧印加により分極する装置であって、焦電性基材を挟んで対向する検査部分用の電圧プローブ対と、同様に焦電性基材を挟んで対向する製品部分の分極用の電圧プローブ対と、検査用分極、製品部分用分極及び電圧印加しない状態をリレーにより切替える機構を備えた電圧印加装置と、取得する電荷量を記録し、且つ製品部分に電圧印加する時間を調節する装置を設け、該焦電性基材の製品部分に対し、所望の分極反転に必要なだけの電荷が流れるまで製品部分に電圧を印加し、単一分域を形成することを特徴とする焦電性基材の分極装置。
- 上記焦電性基材を加熱する加熱プレートを備えてなる請求項6記載の焦電性基材の分極装置。
- 上記焦電性基材の製品部分の分極後、表裏面の電極を短絡する機構を備えてなる請求項6又は請求項7記載の焦電性基材の分極装置。
- 上記検査用分極及び製品部分の分極を絶縁ガス雰囲気中で行うための気密性の有る容器を具備して成る請求項6乃至請求項8記載のいずれか1項記載の焦電性基材の分極装置。
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