JP4023085B2 - IC tester - Google Patents

IC tester Download PDF

Info

Publication number
JP4023085B2
JP4023085B2 JP2000349164A JP2000349164A JP4023085B2 JP 4023085 B2 JP4023085 B2 JP 4023085B2 JP 2000349164 A JP2000349164 A JP 2000349164A JP 2000349164 A JP2000349164 A JP 2000349164A JP 4023085 B2 JP4023085 B2 JP 4023085B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
voltage
outputs
output
comparator
pin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2000349164A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2002156412A (en
Inventor
慎吾 森田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP2000349164A priority Critical patent/JP4023085B2/en
Publication of JP2002156412A publication Critical patent/JP2002156412A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4023085B2 publication Critical patent/JP4023085B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数ピンから多段階電圧を出力する被試験対象、例えば液晶駆動ドライバ等を試験するICテスタに関し、高速に被試験対象の試験が行えるICテスタに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
液晶駆動ドライバは、複数ピンから多段階(多階調)電圧を出力し、液晶ディスプレイを駆動している。このような液晶駆動ドライバを試験するICテスタを図5に示し説明する。
【0003】
図において、被試験対象(以下DUTと略す)1は、複数ピンから多段階電圧を出力する。スイッチ2は、DUT1のピンを選択する。A/Dコンバータ3は、スイッチ2からの出力を入力し、デジタルデータに変換する。メモリ4は、A/Dコンバータ3からのデジタルデータを格納する。デジタル信号処理部(以下DSPと略す)5は、メモリ4のデジタルデータにより、DUT1の良否判定を行う。
【0004】
このような装置の動作を以下に説明する。DUT1は、図6に示す多段階電圧を出力する。そして、スイッチ2がDUT1のピンを順番に選択し、出力する。この出力を、A/Dコンバータ3は、デジタルデータに変換し、メモリ4に格納する。そして、DSP5は、メモリ4のデジタルデータにより、各ピンの出力電圧の絶対値の大きさ、ピン間の出力電圧のばらつきの大きさなどを演算処理して、DUT1の良否の判定を行う。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような従来の構成によれば、DUT1の各ピンの出力電圧の測定にあたり、DUT1の各ピンの出力電圧をスイッチ2で切り換えて、A/Dコンバータ3に入力しているので、かなりの測定時間を要する。
【0006】
測定時間を短縮する方法として、A/Dコンバータ3をDUT1の各ピンごとに設け、並列に測定することにより短縮することができるが、高精度のA/Dコンバータ3を複数設けなければならず、高価になってしまう。
【0007】
また、デジタル信号処理部5としても、高速処理性能が要求されることから、コスト高の要因となっている。
【0008】
そこで、本発明の目的は、A/Dコンバータやデジタル信号処理部を設けることなく、高速に被試験対象の試験を行うことができるICテスタを実現することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
第1の本発明は、
複数ピンから多段階電圧を出力する被試験対象を試験するICテスタにおいて、
電圧を出力する第1の電圧発生部と、
前記被試験対象より多段階電圧が出力されるピンごとに設けられ、前記被試験対象の多段階電圧と前記第1の電圧発生部の電圧の差電圧を出力する差電圧発生部と、
電圧を出力する第2の電圧発生部と、
前記差電圧発生部の出力と前記第2の電圧発生部の出力とを比較するコンパレータと、
このコンパレータの出力の変化を検出する変化検出部と
を有し、前記第1の電圧発生部または前記第2の電圧発生部の少なくとも一方をステップ電圧ΔV1ごとに増加または減少させ、前記変化検出部が前記コンパレータの全出力が変化したことを検出したとき、ステップ電圧ΔV1増加だった場合ステップ電圧ΔV2(<ΔV1)ごとに減少させ、ステップ電圧ΔV1減少だった場合ステップ電圧ΔV2ごとに増加させ、前記変化検出部が前記コンパレータの全出力が変化したことを検出したとき、前記第1、第2の電圧発生部の出力の合計をピン間ばらつきの中の最小値または最大値とし、ピン間ばらつきを求めることを特徴とするものである。
【0010】
第2の本発明は、
複数ピンから多段階電圧を出力する被試験対象を試験するICテスタにおいて、
電圧を出力する電圧発生部と、
前記被試験対象より多段階電圧が出力されるピンごとに設けられ、前記被試験対象の出力と電圧発生部の出力とを比較するコンパレータと、
このコンパレータの出力の変化を検出する変化検出部と
を有し、前記電圧発生部をステップ電圧ΔV1ごとに増加または減少させ、前記変化検出部が前記コンパレータの全出力が変化したことを検出したとき、ステップ電圧ΔV1増加だった場合ステップ電圧ΔV2(<ΔV1)ごとに減少させ、ステップ電圧ΔV1減少だった場合ステップ電圧ΔV2ごとに増加させ、前記変化検出部が前記コンパレータの全出力が変化したことを検出したとき、前記電圧発生部の出力をピン間ばらつきの中の最小値または最大値とし、ピン間ばらつきを求めることを特徴とするものである。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。図1は本発明の一実施例を示した構成図である。
【0012】
図において、D/Aコンバータ6は第1の電圧発生部で、DUT1の多段階電圧に対応した期待値電圧を出力する。減算器7は差電圧発生部、DUT1のピンごとに設けられ、DUT1の多段階電圧とD/Aコンバータ6の期待値電圧の差電圧を出力する。電圧増幅器8は、減算器7の差電圧を増幅する。D/Aコンバータ9は第2の電圧発生部で、電圧増幅器8の出力に対応した比較電圧を出力する。コンパレータ10は、電圧増幅器8の出力とD/Aコンバータ9の出力とを比較する。デジタルコンパレータ11は変化検出部で、コンパレータ10の出力により、変化を検出すると共に、パス/フェイルを出力する。なお、図示しない制御部が、D/Aコンバータ6,9を制御し、デジタルコンパレータ11の出力を入力することはいうまでもない。
【0013】
このような装置の動作を以下で説明する。まず、ピン間ばらつきの試験について、図2,3を用いて説明する。図2は図1に示す装置の動作を示したフローチャートで、図3は図1に示す装置の動作を説明する図である。ピン間ばらつきの試験は、液晶駆動ドライバの場合、ばらつきが許容範囲を越えると、表示むらなどが生じるため行われている。
【0014】
DUT1が、図3の破線に示される期待値電圧に対応する電圧を全ピンから出力する。初期値として、カウント値SC1は”0”なので、ステップ電圧ΔVは”0”となる(S1)。従って、D/Aコンバータ6は、期待値電圧より低く、ばらつきの下限電圧より低い電圧V1を出力する。減算器7が、DUT1の出力とD/Aコンバータ6の出力との差電圧を出力する。この差電圧を、電圧増幅器8は増幅する。D/Aコンバータ9は、比較電圧として、理想的状態では、0Vを出力する。そして、コンパレータ10は、電圧増幅器8の出力とD/Aコンバータ9の出力とを入力し、比較する。この比較結果により、デジタルコンパレータ11の全出力はハイレベルとなる。
【0015】
すべてがハイレベルなので、カウント値SC1を”1”にする(S2,S3)。そして、D/Aコンバータ6は、”V1+ΔV”、つまり、”V1+ΔV1”を出力する(S1)。しかし、デジタルコンパレータ11の全出力はハイレベルなので、カウント値SC1を”2”にする(S2,S3)。そして、D/Aコンバータ6は、”V1+ΔV”、つまり、”V1+2×ΔV1”を出力する。この結果、ばらつきの中の最小値VAを越え、デジタルコンパレータ11の全出力がハイレベルでなくなる。
【0016】
次に、カウント値SC1を”2”、カウント値SC2を”1”とし、D/Aコンバータ6は、”V1+ΔV”、つまり、”V1+2×ΔV1−ΔV2”(ΔV2<ΔV1)を出力する(S2,S4)。しかし、デジタルコンパレータ11の全出力がハイレベルでないので、カウント値SC2を”2”にする(S5,S6)。そして、D/Aコンバータ6は、”V1+ΔV”、つまり、”V1+2×ΔV1−2×ΔV2”を出力する(S2,S4)。しかし、デジタルコンパレータ11の全出力がハイレベルでないので、カウント値SC2を”3”にする(S5,S6)。このような動作を繰り返し、カウント値SC2が”4”のとき、最小値VAを越えなくなり、デジタルコンパレータ11の全出力がハイレベルになる。
【0017】
そして、カウント値SC1,SC2,SC3を”2,4,1”とし、D/Aコンバータ6は、”V1+3×ΔV1−4×ΔV2”を出力する(S5,S7)。この結果、デジタルコンパレータ11の全出力がロウレベルでないので、カウント値SC3を上げていき、D/Aコンバータ6の電圧を上げていく、カウント値SC3が”3”のとき、ばらつきの中の最大値VBを越え、デジタルコンパレータ11の全出力がロウレベルとなる(S8,S9,S7)。
【0018】
次に、カウント値SC1,SC2,SC3,SC4を”2,4,3,1”とし、D/Aコンバータ6は、”V1+5×ΔV1−5×ΔV2”を出力する(S8,S10)。しかし、デジタルコンパレータ11の全出力がロウなので、カウント値SC4を上げていき、D/Aコンバータ6の電圧を下げていく、カウント値SC4が”3”のとき、ばらつきの中の最大値VBを越えなくなり、デジタルコンパレータ11の全出力がロウレベルでなくなる(S12,S10,S11)。
【0019】
この結果、ピン間ばらつき”VB−VA”は、”ΔV1×SC3−ΔV2×SC4”となる。そして、VA=V1+ΔV1×SC1−ΔV2×SC2、VB=V1+ΔV1×(SC1+SC3)−ΔV2×(SC2+SC4)となる。このようにして、各階調のばらつきを求め、ピン間ばらつき”VB−VA”が許容範囲内かによりDUT1の良否の判定を行う。
【0020】
例えば、ピン間ばらつきの下限電圧より低い電圧と上限電圧より高い電圧の差を40mVとし、ΔV1を5mV、ΔV2を0.1mVとすると、測定ステップは、40mV/5mV+2×5mV/0.1mV=108ステップで測定できる。
【0021】
このように、D/Aコンバータ6の出力電圧を2段階に変化させ、デジタルコンパレータ11により変化を検出し、ピン間ばらつきを求めたので、A/Dコンバータやデジタル信号処理部を用いることなく、高速に試験を行うことができる。従って、安価にICテスタを構成することができる。
【0022】
次に、DUT1のピンごとの出力電圧試験について説明する。DUT1は、全ピンから電圧を出力し、D/Aコンバータ6は期待値電圧を出力する。減算器7が、DUT1の出力とD/Aコンバータ6の期待値電圧との差電圧を出力する。この差電圧を、電圧増幅器8は電圧増幅する。そして、D/Aコンバータ9は、比較電圧を出力する。コンパレータ10は、電圧増幅器8の出力とD/Aコンバータ9の出力とを比較する。通常、コンパレータ10は、ウィンドウコンパレータで構成され、D/Aコンバータ9は、上限、下限電圧をコンパレータ10に与えている。この比較結果により、デジタルコンパレータ11は、パス/フェイルを出力する。
【0023】
また、第2の実施例を図4に示し説明する。ここで、図1と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【0024】
図において、D/Aコンバータ12は、期待値電圧を出力する。コンパレータ13は、DUT1の出力とD/Aコンバータ12の出力とを比較し、デジタルコンパレータ11に出力する。
【0025】
このような装置のピン間ばらつきの試験動作は、D/Aコンバータ12は、図1に示す装置のD/Aコンバータ6と同一の動作を行い、コンパレータ13はコンパレータ10と同一の動作を行うので、説明を省略する。
【0026】
また、ピンごとの出力電圧試験の動作は、D/Aコンバータ12が図1に示すD/Aコンバータ6,9を合わせた出力を行うだけで、その他の動作は変わらないので、説明を省略する。
【0027】
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、D/Aコンバータ6をΔV1,ΔV2の2段階に変化させたが、3段階以上でもよい。また、D/Aコンバータ6を変化させる代わりに、D/Aコンバータ9を変化させる構成でもよい。
【0028】
そして、D/Aコンバータ6は、ピン間ばらつきの下限電圧より低い電圧より、ΔV1増加、ΔV2減少させる構成を示したが、ピン間ばらつきの上限電圧より高い電圧より、ΔV1減少、ΔV2増加する構成でもよい。
【0029】
さらに、差電圧発生部として、減算器7を用いた構成を示したが、加算器でもよい。この場合、D/Aコンバータ6が期待値電圧のマイナスの値を出力する。
【0030】
【発明の効果】
本発明によれば、電圧発生部の出力電圧を2段階以上に変化させ、変化検出部により変化を検出し、ピン間ばらつきを求めたので、A/Dコンバータやデジタル信号処理部を用いることなく、高速に試験を行うことができる。従って、安価にICテスタを構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示した構成図である。
【図2】図1に示す装置の動作を示したフローチャートである。
【図3】図1に示す装置の動作を説明する図である。
【図4】本発明の他の実施例を示した構成図である。
【図5】従来のICテスタの構成を示した図である。
【図6】多段階電圧の出力例を示した図である。
【符号の説明】
1 DUT
6,9,12 D/Aコンバータ
7 減算器
8 電圧増幅器
10,13 コンパレータ
11 デジタルコンパレータ
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an IC tester that tests a test object that outputs a multistage voltage from a plurality of pins, for example, a liquid crystal drive driver, and the like, and to an IC tester that can test a test object at high speed.
[0002]
[Prior art]
The liquid crystal drive driver outputs a multi-stage (multi-gradation) voltage from a plurality of pins to drive the liquid crystal display. An IC tester for testing such a liquid crystal drive driver will be described with reference to FIG.
[0003]
In the figure, a device under test (hereinafter abbreviated as DUT) 1 outputs a multistage voltage from a plurality of pins. The switch 2 selects the pin of DUT1. The A / D converter 3 receives the output from the switch 2 and converts it into digital data. The memory 4 stores the digital data from the A / D converter 3. A digital signal processing unit (hereinafter abbreviated as DSP) 5 performs pass / fail judgment of the DUT 1 based on the digital data in the memory 4.
[0004]
The operation of such an apparatus will be described below. The DUT 1 outputs the multistage voltage shown in FIG. Then, the switch 2 sequentially selects and outputs the pins of the DUT 1. The A / D converter 3 converts this output into digital data and stores it in the memory 4. Then, the DSP 5 determines the quality of the DUT 1 by performing arithmetic processing on the magnitude of the absolute value of the output voltage of each pin, the magnitude of variation in the output voltage between the pins, and the like based on the digital data in the memory 4.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, according to such a conventional configuration, when the output voltage of each pin of DUT 1 is measured, the output voltage of each pin of DUT 1 is switched by switch 2 and input to A / D converter 3. Measurement time is required.
[0006]
As a method for shortening the measurement time, an A / D converter 3 can be provided for each pin of the DUT 1 and measurement can be shortened by measuring in parallel. However, a plurality of high-precision A / D converters 3 must be provided. It becomes expensive.
[0007]
Also, the digital signal processing unit 5 is required to have high speed processing performance, which is a factor of high cost.
[0008]
Therefore, an object of the present invention is to realize an IC tester capable of performing a test on an object to be tested at high speed without providing an A / D converter or a digital signal processing unit.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
The first aspect of the present invention is
In an IC tester that tests a device under test that outputs multi-stage voltages from multiple pins,
A first voltage generator for outputting a voltage;
Said provided for each pin in which a multi-stage voltage than under test is output, the differential voltage generator for outputting a difference voltage multistage voltage and the first voltage generator of the voltage of the under test,
A second voltage generator for outputting a voltage;
A comparator that compares the output of the differential voltage generator with the output of the second voltage generator;
A change detection unit that detects a change in the output of the comparator, and increases or decreases at least one of the first voltage generation unit and the second voltage generation unit for each step voltage ΔV1, and the change detection unit , When it is detected that all the outputs of the comparator have changed, when the step voltage ΔV1 is increased, it is decreased for each step voltage ΔV2 (<ΔV1), and when it is decreased, the voltage is increased for each step voltage ΔV2. When the change detecting unit detects that all the outputs of the comparator have changed, the sum of the outputs of the first and second voltage generating units is set to the minimum value or the maximum value among the inter-pin variations, and the inter-pin variations are It is characterized by seeking.
[0010]
The second aspect of the present invention
In an IC tester that tests a device under test that outputs multi-stage voltages from multiple pins,
A voltage generating unit for outputting a voltage,
A comparator that is provided for each pin from which a multi-stage voltage is output from the test target, and that compares the output of the test target with the output of the voltage generator,
A change detecting unit that detects a change in the output of the comparator, the voltage generating unit is increased or decreased for each step voltage ΔV1, and the change detecting unit detects that all the outputs of the comparator have changed. When the step voltage ΔV1 is increased, the voltage is decreased for each step voltage ΔV2 (<ΔV1). When the step voltage ΔV1 is decreased, the voltage is increased for each step voltage ΔV2, and the change detection unit indicates that all the outputs of the comparator have changed. When detected, the output of the voltage generation unit is set to the minimum value or the maximum value in the inter-pin variation, and the inter-pin variation is obtained.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention.
[0012]
In the figure, a D / A converter 6 is a first voltage generator and outputs an expected value voltage corresponding to the multi-stage voltage of the DUT 1. The subtractor 7 is provided for each pin of the differential voltage generator DUT 1 and outputs a differential voltage between the multi-stage voltage of the DUT 1 and the expected value voltage of the D / A converter 6. The voltage amplifier 8 amplifies the difference voltage of the subtracter 7. The D / A converter 9 is a second voltage generator and outputs a comparison voltage corresponding to the output of the voltage amplifier 8. The comparator 10 compares the output of the voltage amplifier 8 with the output of the D / A converter 9. The digital comparator 11 is a change detection unit that detects a change and outputs a pass / fail according to the output of the comparator 10. It goes without saying that a control unit (not shown) controls the D / A converters 6 and 9 and inputs the output of the digital comparator 11.
[0013]
The operation of such a device will be described below. First, an inter-pin variation test will be described with reference to FIGS. 2 is a flowchart showing the operation of the apparatus shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a diagram for explaining the operation of the apparatus shown in FIG. The inter-pin variation test is performed in the case of a liquid crystal drive driver because display unevenness occurs when the variation exceeds an allowable range.
[0014]
The DUT 1 outputs a voltage corresponding to the expected value voltage indicated by the broken line in FIG. 3 from all pins. Since the count value SC1 is “0” as an initial value, the step voltage ΔV is “0” (S1). Therefore, the D / A converter 6 outputs a voltage V1 lower than the expected value voltage and lower than the lower limit voltage of variation. A subtracter 7 outputs a difference voltage between the output of the DUT 1 and the output of the D / A converter 6. The voltage amplifier 8 amplifies this difference voltage. The D / A converter 9 outputs 0 V as a comparison voltage in an ideal state. Then, the comparator 10 inputs and compares the output of the voltage amplifier 8 and the output of the D / A converter 9. As a result of this comparison, all outputs of the digital comparator 11 are at a high level.
[0015]
Since all are at the high level, the count value SC1 is set to "1" (S2, S3). Then, the D / A converter 6 outputs “V1 + ΔV”, that is, “V1 + ΔV1” (S1). However, since all outputs of the digital comparator 11 are at a high level, the count value SC1 is set to “2” (S2, S3). Then, the D / A converter 6 outputs “V1 + ΔV”, that is, “V1 + 2 × ΔV1”. As a result, the minimum value VA among the variations is exceeded, and all the outputs of the digital comparator 11 are not at the high level.
[0016]
Next, the count value SC1 is set to “2”, the count value SC2 is set to “1”, and the D / A converter 6 outputs “V1 + ΔV”, that is, “V1 + 2 × ΔV1−ΔV2” (ΔV2 <ΔV1) (S2). , S4). However, since all the outputs of the digital comparator 11 are not at the high level, the count value SC2 is set to “2” (S5, S6). Then, the D / A converter 6 outputs “V1 + ΔV”, that is, “V1 + 2 × ΔV1-2 × ΔV2” (S2, S4). However, since all the outputs of the digital comparator 11 are not at the high level, the count value SC2 is set to “3” (S5, S6). Such an operation is repeated, and when the count value SC2 is “4”, the minimum value VA is not exceeded, and all the outputs of the digital comparator 11 become high level.
[0017]
Then, the count values SC1, SC2, SC3 are set to “2, 4, 1”, and the D / A converter 6 outputs “V1 + 3 × ΔV1-4 × ΔV2” (S5, S7). As a result, since all outputs of the digital comparator 11 are not at the low level, the count value SC3 is increased and the voltage of the D / A converter 6 is increased. When the count value SC3 is "3", the maximum value among the variations Exceeding VB, all outputs of the digital comparator 11 become low level (S8, S9, S7).
[0018]
Next, the count values SC1, SC2, SC3, and SC4 are set to “2, 4, 3, 1”, and the D / A converter 6 outputs “V1 + 5 × ΔV1-5 × ΔV2” (S8, S10). However, since all outputs of the digital comparator 11 are low, the count value SC4 is increased and the voltage of the D / A converter 6 is decreased. When the count value SC4 is “3”, the maximum value VB in the variation is set. As a result, all outputs of the digital comparator 11 are not at a low level (S12, S10, S11).
[0019]
As a result, the inter-pin variation “VB−VA” becomes “ΔV1 × SC3− ΔV2 × SC4 ”. Then, VA = V1 + ΔV1 × SC1−ΔV2 × SC2, and VB = V1 + ΔV1 × (SC1 + SC3) −ΔV2 × (SC2 + SC4). In this way, the variation of each gradation is obtained, and whether the DUT 1 is good or not is determined based on whether the inter-pin variation “VB-VA” is within an allowable range.
[0020]
For example, if the difference between the voltage lower than the lower limit voltage of the pin-to-pin variation and the voltage higher than the upper limit voltage is 40 mV, ΔV1 is 5 mV, and ΔV2 is 0.1 mV, the measurement step is 40 mV / 5 mV + 2 × 5 mV / 0.1 mV = 108 It can be measured in steps.
[0021]
In this way, the output voltage of the D / A converter 6 is changed in two stages, the change is detected by the digital comparator 11, and the inter-pin variation is obtained. Therefore, without using an A / D converter or a digital signal processing unit, Tests can be performed at high speed. Therefore, an IC tester can be configured at a low cost.
[0022]
Next, an output voltage test for each pin of the DUT 1 will be described. The DUT 1 outputs a voltage from all pins, and the D / A converter 6 outputs an expected value voltage. The subtracter 7 outputs a difference voltage between the output of the DUT 1 and the expected value voltage of the D / A converter 6. The voltage amplifier 8 amplifies the difference voltage. Then, the D / A converter 9 outputs a comparison voltage. The comparator 10 compares the output of the voltage amplifier 8 with the output of the D / A converter 9. Normally, the comparator 10 is configured by a window comparator, and the D / A converter 9 gives an upper limit and a lower limit voltage to the comparator 10. Based on the comparison result, the digital comparator 11 outputs pass / fail.
[0023]
The second embodiment will be described with reference to FIG. Here, the same components as those shown in FIG.
[0024]
In the figure, the D / A converter 12 outputs an expected value voltage. The comparator 13 compares the output of the DUT 1 with the output of the D / A converter 12 and outputs the result to the digital comparator 11.
[0025]
In such a device test for variation between pins, the D / A converter 12 performs the same operation as the D / A converter 6 of the device shown in FIG. The description is omitted.
[0026]
The operation of the output voltage test for each pin is omitted because the D / A converter 12 outputs only the combined D / A converters 6 and 9 shown in FIG. .
[0027]
The present invention is not limited to this, and the D / A converter 6 is changed in two stages, ΔV1 and ΔV2, but it may be in three or more stages. Further, the D / A converter 9 may be changed instead of changing the D / A converter 6.
[0028]
The D / A converter 6 is configured to increase ΔV1 and decrease ΔV2 from a voltage lower than the lower limit voltage of inter-pin variation, but is configured to decrease ΔV1 and increase ΔV2 from a voltage higher than the upper limit voltage of inter-pin variation. But you can.
[0029]
Furthermore, although the configuration using the subtractor 7 is shown as the differential voltage generator, an adder may be used. In this case, the D / A converter 6 outputs a negative value of the expected value voltage.
[0030]
【The invention's effect】
According to the present invention, the output voltage of the voltage generator is changed in two or more stages, the change is detected by the change detector, and the inter-pin variation is obtained. The test can be performed at high speed. Therefore, an IC tester can be configured at a low cost.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a flowchart showing the operation of the apparatus shown in FIG.
FIG. 3 is a diagram for explaining the operation of the apparatus shown in FIG. 1;
FIG. 4 is a configuration diagram showing another embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a diagram showing a configuration of a conventional IC tester.
FIG. 6 is a diagram illustrating an output example of a multi-stage voltage.
[Explanation of symbols]
1 DUT
6, 9, 12 D / A converter 7 Subtractor 8 Voltage amplifier 10, 13 Comparator 11 Digital comparator

Claims (3)

複数ピンから多段階電圧を出力する被試験対象を試験するICテスタにおいて、
電圧を出力する第1の電圧発生部と、
前記被試験対象より多段階電圧が出力されるピンごとに設けられ、前記被試験対象の多段階電圧と前記第1の電圧発生部の電圧の差電圧を出力する差電圧発生部と、
電圧を出力する第2の電圧発生部と、
前記差電圧発生部の出力と前記第2の電圧発生部の出力とを比較するコンパレータと、
このコンパレータの出力の変化を検出する変化検出部と
を有し、前記第1の電圧発生部または前記第2の電圧発生部の少なくとも一方をステップ電圧ΔV1ごとに増加または減少させ、前記変化検出部が前記コンパレータの全出力が変化したことを検出したとき、ステップ電圧ΔV1増加だった場合ステップ電圧ΔV2(<ΔV1)ごとに減少させ、ステップ電圧ΔV1減少だった場合ステップ電圧ΔV2ごとに増加させ、前記変化検出部が前記コンパレータの全出力が変化したことを検出したとき、前記第1、第2の電圧発生部の出力の合計をピン間ばらつきの中の最小値または最大値とし、ピン間ばらつきを求めることを特徴とするICテスタ。
In an IC tester that tests a device under test that outputs multi-stage voltages from multiple pins,
A first voltage generator for outputting a voltage;
Said provided for each pin in which a multi-stage voltage than under test is output, the differential voltage generator for outputting a difference voltage multistage voltage and the first voltage generator of the voltage of the under test,
A second voltage generator for outputting a voltage;
A comparator that compares the output of the differential voltage generator with the output of the second voltage generator;
A change detection unit that detects a change in the output of the comparator, and increases or decreases at least one of the first voltage generation unit and the second voltage generation unit for each step voltage ΔV1, and the change detection unit , When it is detected that all the outputs of the comparator have changed, when the step voltage ΔV1 is increased, it is decreased for each step voltage ΔV2 (<ΔV1), and when it is decreased, the voltage is increased for each step voltage ΔV2. When the change detecting unit detects that all the outputs of the comparator have changed, the sum of the outputs of the first and second voltage generating units is set to the minimum value or the maximum value among the inter-pin variations, and the inter-pin variations are An IC tester characterized by the demand.
差電圧発生部とコンパレータとの間に電圧増幅器を設けたことを特徴とする請求項1記載のICテスタ。  2. The IC tester according to claim 1, wherein a voltage amplifier is provided between the differential voltage generator and the comparator. 複数ピンから多段階電圧を出力する被試験対象を試験するICテスタにおいて、
電圧を出力する電圧発生部と、
前記被試験対象より多段階電圧が出力されるピンごとに設けられ、前記被試験対象の出力と電圧発生部の出力とを比較するコンパレータと、
このコンパレータの出力の変化を検出する変化検出部と
を有し、前記電圧発生部をステップ電圧ΔV1ごとに増加または減少させ、前記変化検出部が前記コンパレータの全出力が変化したことを検出したとき、ステップ電圧ΔV1増加だった場合ステップ電圧ΔV2(<ΔV1)ごとに減少させ、ステップ電圧ΔV1減少だった場合ステップ電圧ΔV2ごとに増加させ、前記変化検出部が前記コンパレータの全出力が変化したことを検出したとき、前記電圧発生部の出力をピン間ばらつきの中の最小値または最大値とし、ピン間ばらつきを求めることを特徴とするICテスタ。
In an IC tester that tests a device under test that outputs multi-stage voltages from multiple pins,
A voltage generating unit for outputting a voltage,
A comparator that is provided for each pin from which a multi-stage voltage is output from the test target, and that compares the output of the test target with the output of the voltage generator,
A change detecting unit that detects a change in the output of the comparator, the voltage generating unit is increased or decreased for each step voltage ΔV1, and the change detecting unit detects that all the outputs of the comparator have changed. When the step voltage ΔV1 is increased, the voltage is decreased for each step voltage ΔV2 (<ΔV1). When the step voltage ΔV1 is decreased, the voltage is increased for each step voltage ΔV2, and the change detection unit indicates that all the outputs of the comparator have changed. An IC tester characterized in that, when detected, the output of the voltage generator is set to the minimum value or the maximum value in the inter-pin variation, and the inter-pin variation is obtained.
JP2000349164A 2000-11-16 2000-11-16 IC tester Expired - Fee Related JP4023085B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000349164A JP4023085B2 (en) 2000-11-16 2000-11-16 IC tester

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000349164A JP4023085B2 (en) 2000-11-16 2000-11-16 IC tester

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002156412A JP2002156412A (en) 2002-05-31
JP4023085B2 true JP4023085B2 (en) 2007-12-19

Family

ID=18822620

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000349164A Expired - Fee Related JP4023085B2 (en) 2000-11-16 2000-11-16 IC tester

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4023085B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005157321A (en) 2003-11-07 2005-06-16 Renesas Technology Corp Semiconductor device and test method therefor
CN100359554C (en) * 2003-11-19 2008-01-02 义隆电子股份有限公司 Vernier edjustment device of liquid crystal display comparative voltage and its method
CN112986689B (en) * 2021-04-20 2021-08-06 珠海智融科技有限公司 Detection circuit and method for chip configuration pins

Also Published As

Publication number Publication date
JP2002156412A (en) 2002-05-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4290370B2 (en) Driving device for driving display and display device including driving device
KR100485739B1 (en) Testing method and testing device for semiconductor integrated circuits
US6255839B1 (en) Voltage applied type current measuring circuit in an IC testing apparatus
US5959463A (en) Semiconductor test apparatus for measuring power supply current of semiconductor device
JP3558964B2 (en) Semiconductor integrated circuit inspection apparatus and inspection method
KR100389560B1 (en) Testing device and testing method for semiconductor integrated circuits and storage medium for storing program to execute testing method thereof
JP2009038770A (en) Testing apparatus and manufacturing method
JP4023085B2 (en) IC tester
US6911831B2 (en) Method for automatically changing current ranges
CN100465656C (en) Integrated circuit test device
JP3592647B2 (en) Semiconductor inspection device, semiconductor integrated circuit, and semiconductor inspection method
JP3554767B2 (en) Semiconductor test equipment
CN113253082A (en) Measuring device and method for a display panel comprising optical elements
JP2002098738A (en) Ic tester
JP4043743B2 (en) Semiconductor test equipment
JP3874164B2 (en) IC tester
JP2003240821A (en) Ic tester
JP2009287956A (en) Semiconductor test apparatus
JP2002250754A (en) Semiconductor test apparatus
JP2007132905A (en) Ic tester
JP2006138844A (en) Ic tester
JP3598643B2 (en) Semiconductor integrated circuit measuring device and semiconductor integrated circuit device
JP3806333B2 (en) Semiconductor integrated circuit, semiconductor integrated circuit test apparatus, and semiconductor integrated circuit test method
JP3568938B2 (en) Digital-to-analog conversion circuit
JP2007147469A (en) Ic tester

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040330

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050304

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20061204

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070131

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070810

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070820

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070911

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070924

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101012

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees