JP4016917B2 - 半導体冷却ユニット - Google Patents

半導体冷却ユニット Download PDF

Info

Publication number
JP4016917B2
JP4016917B2 JP2003323011A JP2003323011A JP4016917B2 JP 4016917 B2 JP4016917 B2 JP 4016917B2 JP 2003323011 A JP2003323011 A JP 2003323011A JP 2003323011 A JP2003323011 A JP 2003323011A JP 4016917 B2 JP4016917 B2 JP 4016917B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor
semiconductor module
cooling tube
cooling unit
cooling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2003323011A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2005093593A (ja
Inventor
泰幸 酒井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Priority to JP2003323011A priority Critical patent/JP4016917B2/ja
Publication of JP2005093593A publication Critical patent/JP2005093593A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4016917B2 publication Critical patent/JP4016917B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Description

本発明は、半導体素子を有してなり、該半導体素子の冷却手段を備えた半導体冷却ユニットに関する。
従来より、DC−DCコンバータ回路やインバータ回路等の電力変換回路は、例えば、電気自動車やハイブリッド自動車等の動力源である交流モータに通電する駆動電流を生成するのに用いられることがある。
一般に、電気自動車やハイブリッド自動車等では、交流モータから大きな駆動トルクを得る必要があるため、駆動電流として大電流が必要となる。
そしてそのため、その交流モータ向けの駆動電流を生成する上記電力変換回路においては、該電力変換回路を構成するIGBT等の電力用半導体素子を含む半導体モジュールからの発熱が大きくなる傾向にある。
そこで、電力変換回路を構成する複数の半導体モジュールを均一性高く冷却できるように、冷却用媒体(冷媒)の供給及び排出を担う一対のヘッダの間に多数の扁平冷却チューブを配置し、該扁平冷却チューブの間に半導体モジュールを挟持した冷却チューブ並列型の電力変換装置が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。
この電力変換装置では、冷却チューブと半導体モジュールとの間の熱伝達効率を向上するべく、両者間に当接荷重を作用して、その接触面積を広く確保している。
しかしながら、上記従来の電力変換装置では、次のような問題がある。すなわち、上記冷却チューブと上記半導体モジュールとの間に当接荷重を作用するための機構或いは部材が必要となるため、構造が複雑化すると共に、体格が大型化するおそれがある。
また、荷重の作用方向において、寸法変化を生じるため、その形状精度を高く維持することが難しいという問題がある。
特開2002−26215号公報
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので、放熱効率に優れ、高い形状精度を有する優れた半導体冷却ユニットを提供しようとするものである。
本発明は、半導体素子を有する半導体モジュールと、冷媒を流動させる中空部を有する扁平形状の冷却チューブとを有する半導体冷却ユニットであって、
上記半導体モジュールは、上記半導体素子を挟むように相互に対面する2枚の電極板を有してなり、
該各電極板に対しては、電気的な絶縁性を有する絶縁層を介在して上記冷却チューブを接合してあり、かつ、上記電極板と上記絶縁層との間と、該絶縁層と上記冷却チューブとの間との少なくとも一方は、接着剤を用いて接合してあることを特徴とする半導体モジュールにある(請求項1)。
本発明の半導体冷却ユニットは、上記半導体モジュールの表面及び裏面をなす上記電極板に対して、上記接着剤を用いて上記冷却チューブを固定してある。
すなわち、上記電極板と上記絶縁層との間と、該絶縁層と上記冷却チューブとの間との少なくとも一方は、接着剤を用いて接合してある。
そのため、上記電極板と上記冷却用チューブとの間に当接荷重を作用しなくても、両者を密着して十分な接触面積を確保することができる。
したがって、本発明の半導体冷却ユニットでは、上記電極板と上記冷却チューブとの間に当接荷重を作用しなくても、上記半導体モジュールを効率良く冷却することができる。
すなわち、当接荷重を作用しない上記半導体冷却ユニットは、積層方向に寸法変化を生じるおそれが少なく、形状精度に優れたユニットである。
本発明においては、上記接着剤は、熱伝導率が0.5W/m・K以上の熱伝導性接着剤であることが好ましい(請求項2)。
この場合には、上記接着剤を介在した上記電極板と上記冷却チューブとの間の熱伝達効率を良好に維持することができる。
上記熱伝導性接着剤としては、例えば、酸化亜鉛あるいはアルミナ粉末フィラーを添加したシリコーンあるいはエポキシ接着剤等を用いることができる。
また、上記接着剤がなす接合層の厚さは、0.1mm以下であることが好ましい(請求項3)。
この場合には、上記電極板と上記冷却チューブとの間の熱伝達効率について、上記接合層が及ぼすおそれがある悪影響を抑制することができる。
また、上記絶縁層は、平板状を呈する絶縁板よりなり、該絶縁板と上記各電極板との間、及び、上記絶縁板と上記冷却チューブとの間は、上記接着剤により接合してあることが好ましい(請求項4)。
この場合には、上記絶縁板により上記半導体素子側と上記冷却用チューブ側との間の電気的な絶縁状態を確実に維持して、上記半導体冷却ユニットの電気的な信頼性を向上できる。
なお、上記絶縁板としては、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ケイ素等よりなる絶縁板を用いることができる。
また、上記絶縁層は、上記電極板の表面に形成した絶縁被膜であることが好ましい(請求項5)。
この場合には、上記絶縁被膜により、上記電極板と上記冷却チューブとの間の電気的な絶縁を確保することができる。
さらに、上記電極板の表面に形成した上記絶縁被膜によれば、上記電極板と上記冷却チューブとの間の絶縁板等を省略できる。また、それに伴って、上記接着剤による接着層を1層にして接着剥離等が生じるおそれを抑制できる。
なお、上記絶縁被膜としては、DLC(ダイヤモンドライク・カーボン)、アルマイト被膜、酸化亜鉛あるいはアルミナ粉末フィラーを添加したエポキシ樹脂等により形成してなる被膜を適用することができる。
また、上記絶縁層は、上記冷却チューブの表面に形成した絶縁被膜であることが好ましい(請求項6)。
この場合には、上記絶縁被膜により、上記半導体素子側と上記冷却用チューブ側との電気的な絶縁性を確保することができる。
さらに、上記電極板と上記冷却チューブとの間の接着層を1層にして、接着剥離が生じるおそれを抑制することができる。
なお、上記絶縁被膜としては、DLC(ダイヤモンドライク・カーボン)、アルマイト被膜、酸化亜鉛あるいはアルミナ粉末フィラーを添加したエポキシ樹脂等により形成してなる被膜を適用することができる。
また、上記半導体モジュールと上記冷却チューブとは、モールド樹脂により一体的に覆ってあることが好ましい(請求項7)。
この場合には、全体を上記モールド樹脂により覆ったことにより、上記半導体モジュールと上記冷却チューブとの接着部分を補強することができる。
さらには、たとえ上記接着部分に剥離やクラック等を生じた場合でも、その進行を抑止して冷却性能の低下を最小限に抑制することができる。
また、上記半導体モジュールは、上記半導体素子と上記一対の電極板とを第1のモールド樹脂により一体成形してなり、上記半導体冷却ユニットは、上記半導体モジュールと上記冷却チューブとを第2のモールド樹脂により一体成形してなることが好ましい(請求項8)。
この場合には、上記第1のモールド樹脂により一体的に覆った上記半導体モジュールの取り扱いが容易になる。
なお、上記第1及び上記第2のモールド樹脂として熱硬化性樹脂を使用する場合には、上記第1のモールド樹脂の軟化温度を、上記第2のモールド樹脂の硬化温度よりも高くするのが良い。
この場合には、上記第2のモールド樹脂の成形を行う際、上記半導体モジュールにトラブルが生じるおそれを抑制することができる。
また、上記半導体冷却ユニットは、その外周に周回させたバンドを有してなり、該バンドは、上記冷媒の流動方向に直交して周回してあることが好ましい(請求項9)。
この場合には、上記半導体冷却ユニットの外周に周回させた上記バンドにより、上記電極板と上記冷却チューブとの接着部分を補強することができる。
なお、上記バンドとしては、例えば、アラミド繊維や、ガラス繊維、炭素繊維等により編み込みしたバンドや紐等を用いることができる。
特に、アラミド繊維等、電気的な絶縁性の高い素材により上記バンドを作製すれば、上記半導体冷却ユニットの電気的な信頼性を損なうおそれが少ない。
さらになお、上記半導体冷却ユニットの外周に上記バンドを周回させた場合には、該バンドの作用により上記電極板と上記冷却チューブとの接触状態を維持することができる。
そのため、この場合には、上記電極板と上記冷却チューブとの間に、上記接着層に代えて、熱伝導性グリス層を配置することもできる。
上記バンドの作用により一定に保持された間隙に形成した上記熱伝導性グリス層によれば、上記電極板と上記冷却チューブとの間の熱伝達効率を良好に維持できる。
また、上記半導体素子は、電力用の半導体素子であることが好ましい(請求項10)。
この場合には、上記半導体素子が生じる発熱量が特に大きいため、本発明による効果が特に有効である。
なお、上記電力用素子としては、MOS型FET素子、IGBT素子、ダイオード、トランジスタ、サイリスタ、パワー集積回路等がある。
(実施例1)
本例の半導体冷却ユニット1について、図1〜図3を用いて説明する。
本例の半導体冷却ユニット1は、図1に示すごとく、半導体素子11を有する半導体モジュール10と、冷媒を流動させる中空部21を有する扁平形状の冷却チューブ20とを有するユニットである。
この半導体モジュール10は、上記半導体素子11を挟むように相互に対面する2枚の電極板15を有してなる。
そして、各電極板15に対しては、電気的な絶縁性を有する絶縁層30を介在して冷却チューブ20を接合してあり、かつ、電極板15と絶縁層30との間と、絶縁層30と冷却チューブ20との間との少なくとも一方は、接着剤を用いて接合してある。
この内容について、以下に詳しく説明する。
本例の半導体冷却ユニット1は、例えば、電気自動車用の走行モータに通電する駆動電流を生成する電力変換装置(図示略)の一部をなすユニットである。
そして、この半導体冷却ユニット1は、図1に示すごとく、電力用の半導体素子11としてのIGBT素子(以下、IGBT素子11と記載。)を収容してなり、該IGBT素子11を挟むように一対の電極板15を配置してなる。
そして、上記IGBT素子11が、上記電力変換装置のインバータ回路或いは、DC−DCコンバータ回路を構成している。
上記半導体モジュール10は、図1に示すごとく、ハンダ接合したIGBT素子11と一対の電極板15とを、モールド樹脂100により一体的に覆ってなるモジュールである。
なお、この半導体モジュール10では、一対の電極板15の間には、IGBT素子11の他、モータの回転を滑らかにするために必要となるフライホイールダイオード素子12(図2)などを配置してある。
なお、上記ハンダ接合に代えて熱伝導性グリス等を介設し、モールド樹脂100により一体的に覆って上記半導体モジュール10を構成することも可能である。
また、上記各電極板15は、電力端子150を有してなる。上記半導体モジュール10では、一対の電力端子150をモールド樹脂100から突出させてあると共に、各電極板15の表面を外部に露出させてある。
そして、各電極板15には、窒化ケイ素よりなる絶縁板30を介在して、扁平形状の冷却チューブ20を対面配置してある。
冷却チューブ20は、図1に示すごとく、内部に冷媒を流動させる中空部21を形成した扁平形状の部材である。本例では、アルミ合金により上記冷却チューブ20を形成してある。
そして、上記各電極板15と絶縁板30との間、及び、該各絶縁板30と冷却チューブ20との間には、熱伝導性接着剤による接合層111を配置してある。
なお、本例では、アルミナ添加シリコーンよりなる熱伝導性接着剤を適用した。この熱伝導性接着剤は、熱伝導率が0.9W/m・Kであるという特性を有している。
そして、本例では、この熱伝導性接着剤を用いて、各間隙に0.02mm厚の接合層111を形成した。
また、本例の半導体冷却ユニット1を使用するに当たっては、例えば、図2に示すごとく、半導体モジュール10と冷却チューブ20とを交互に積層して多層構造の半導体冷却ユニット(以下、半導体積層ユニット2と記載する。)を形成することもできる。
この半導体積層ユニット2では、各冷却チューブ20の両端部に、冷媒の供給及び排出を行う一対のヘッダ部41、42を接続してある。
なお、ここで、本例の半導体積層ユニット2では、積層方向に荷重を作用させないため、該積層方向に寸法変化を生じるおそれが少ない。
そのため、半導体積層ユニット2とヘッダ部41、42とを接続する際、両者を位置精度高く接続することができる。
なお、半導体モジュール10の配置層が1層のみ(単層)の半導体冷却ユニットを、一対のヘッダ部41、42に接続することもできる。
さらに、この単層の半導体冷却ユニットを、一対のヘッダ部41、42に対して複数、並列して接続することもできる。
さらになお、本例の半導体積層ユニット2では、一対の冷却チューブ20の間に半導体モジュール10を1個、配置したが、図3に示すごとく複数の半導体モジュールを並列して配置することもできる。
(実施例2)
本例は、実施例1の半導体冷却ユニットを基にして、電気的な絶縁構造を変更した例である。この内容について、図4及び図5を用いて説明する。
本例の半導体冷却ユニット1では、実施例1で適用した上記絶縁板を省略してある。そして、この絶縁板に代えて、半導体モジュール10の電極板15の表面に絶縁被膜31を形成してある。
上記絶縁被膜31としては、図4に示すごとく、電極板15の表面に溶射処理によりアルミナよりなる被膜を形成した。
なお、これに代えて、酸化亜鉛あるいはアルミナ粉末フィラーを添加したエポキシ樹脂、DLC(ダイヤモンドライク・カーボン)等による絶縁被膜を電極板15の表面に形成することもできる。
本例の半導体冷却ユニット1によれば、実施例1で適用した上記絶縁板を省略して部品点数を低減することができる。
さらに、接着剤による接合層111を、電極板15と冷却チューブ20との間の1層のみとすることができる。それ故、接合層11の数を低減して、接合箇所に剥離等を生じるおそれを抑制することができる。
なお、その他の構成及び作用効果については実施例1と同様である。
さらになお、電極板15に絶縁被膜31を形成するのに代えて、図5に示すごとく、冷却チューブ20の表面に絶縁被膜32を形成しても良く、この場合にも本例と同様の効果を得ることができる。
(実施例3)
本例は、実施例2の半導体冷却ユニット(図5)をモールド樹脂により覆った例である。この内容について、図6及び図7を用いて説明する。
本例の半導体冷却ユニット1は、実施例2の半導体冷却ユニットを、さらにモールド樹脂101により覆ったユニットである。
すなわち、この半導体冷却ユニット1では、半導体モジュール10をなす第1のモールド樹脂100とは異なる第2のモールド樹脂101により外周を覆ってある。
なお、本例では、上記第1及び第2のモールド樹脂100、101としては、熱硬化性樹脂を適用した。
具体的には、本例では、第1のモールド樹脂100、第2のモールド樹脂101としてエポキシを適用した。
なお、第2のモールド樹脂101としては、上記の組み合わせのほか、ポリイミドアミド、フェノール、ポリウレタン等を用いることができる。
そして、上記第2のモールド樹脂101によれば、冷却チューブ20と電極板15との接合箇所に作用するおそれのある外力を抑制して、この接合箇所を補強することができる。
そのため、接合箇所に接合剥離等のトラブルを生じるおそれを抑制できる。さらに、たとえ、接合箇所にクラック等があっても、そのクラックの進行を抑制して、冷却チューブ20と電極板15との熱伝達効率を許容できる範囲に維持することができる。
なお、その他の構成及び作用効果については実施例2と同様である。
さらになお、図7に示すごとく、モールド樹脂100により、半導体モジュール1のモールド部分(上記第1のモールド樹脂100に相当。)と、半導体冷却ユニット10のモールド部分(上記第2のモールド樹脂101に相当。)とを同時に成形することも可能である。
(実施例4)
本例は、実施例2の半導体冷却ユニット(図5)の外周にバンド108を周回させた例である。この内容について、図8及び図9を用いて説明する。
本例の半導体冷却ユニット1は、図8及び図9に示すごとく、冷却チューブ20の長手方向の4箇所にバンド108を周回してなる。
また、この半導体冷却ユニット1では、一対の冷却チューブ20の間に2個の半導体モジュール10を並列して配置してある。
本例のバンド108は、アラミド繊維を編み込みしてなる電気的な絶縁性を有するバンドであり、半導体冷却ユニット1に周回させたうえ緩みなく固定できるように構成してある。
これに代えて、電気的な導電性を有するバンドを適用することもできる。この場合には、バンドと電極端子等とが接触しないように配慮する必要がある。
上記のバンド108によれば、冷却チューブ20と電極板15との接合箇所に作用するおそれのある外力を抑制して、この接合箇所を補強することができる。
そのため、接合箇所に接合剥離等のトラブルを生じるおそれを抑制できる。さらに、たとえ、接合箇所にクラック等があっても、そのクラックの進行を抑制して、冷却チューブ20と電極板15との熱伝達効率を許容できる範囲に維持することができる。
なお、その他の構成及び作用効果については実施例2と同様である。
さらになお、半導体冷却ユニット1の外周にバンド108を周回させて固定する場合には、冷却チューブ20と電極板15との間の接着剤による接合層111を省略することも可能である。
この場合には、接着剤による接合層111に代えて、冷却チューブ20と電極板15との間に、両者間の熱伝達効率を向上するための熱伝導性グリス等を配置するのが良い。
実施例1における、半導体冷却ユニットの断面構造を示す断面図。 実施例1における、半導体積層ユニットの断面構造を示す断面図。 実施例1における、その他の半導体積層ユニットの断面構造を示す断面図。 実施例2における、半導体冷却ユニットの断面構造を示す断面図。 実施例2における、その他の半導体冷却ユニットの断面構造を示す断面図。 実施例3における、半導体冷却ユニットの断面構造を示す断面図。 実施例3における、その他の半導体冷却ユニットの断面構造を示す断面図。 実施例4における、半導体冷却ユニットの断面構造を示す断面図。 実施例4における、半導体冷却ユニットを示す上面図。
符号の説明
1 半導体冷却ユニット
10 半導体モジュール
100 モールド樹脂(第1のモールド樹脂)
101 第2のモールド樹脂
108 バンド
111 接合層
15 電極板
150 電力端子
2 半導体積層ユニット
20 冷却チューブ
21 中空部
30 絶縁板
31、32 絶縁被膜

Claims (10)

  1. 半導体素子を有する半導体モジュールと、冷媒を流動させる中空部を有する扁平形状の冷却チューブとを有する半導体冷却ユニットであって、
    上記半導体モジュールは、上記半導体素子を挟むように相互に対面する2枚の電極板を有してなり、
    該各電極板に対しては、電気的な絶縁性を有する絶縁層を介在して上記冷却チューブを接合してあり、かつ、上記電極板と上記絶縁層との間と、該絶縁層と上記冷却チューブとの間との少なくとも一方は、接着剤を用いて接合してあることを特徴とする半導体モジュール。
  2. 請求項1において、上記接着剤は、熱伝導率が0.5W/m・K以上の熱伝導性接着剤であることを特徴とする半導体モジュール。
  3. 請求項1又は2において、上記接着剤がなす接合層の厚さは、0.1mm以下であることを特徴とする半導体モジュール。
  4. 請求項1〜3のいずれか1項において、上記絶縁層は、平板状を呈する絶縁板よりなり、該絶縁板と上記各電極板との間、及び、上記絶縁板と上記冷却チューブとの間は、上記接着剤により接合してあることを特徴とする半導体モジュール。
  5. 請求項1〜3のいずれか1項において、上記絶縁層は、上記電極板の表面に形成した絶縁被膜であることを特徴とする半導体モジュール。
  6. 請求項1〜3のいずれか1項において、上記絶縁層は、上記冷却チューブの表面に形成した絶縁被膜であることを特徴とする半導体モジュール。
  7. 請求項1〜6のいずれか1項において、上記半導体モジュールと上記冷却チューブとは、モールド樹脂により一体的に覆ってあることを特徴とする半導体モジュール。
  8. 請求項7において、上記半導体モジュールは、上記半導体素子と上記一対の電極板とを第1のモールド樹脂により一体成形してなり、上記半導体冷却ユニットは、上記半導体モジュールと上記冷却チューブとを第2のモールド樹脂により一体成形してなることを特徴とする半導体モジュール。
  9. 請求項1〜6のいずれか1項において、上記半導体冷却ユニットは、その外周に周回させたバンドを有してなり、該バンドは、上記冷媒の流動方向に直交して周回してあることを特徴とする半導体モジュール。
  10. 請求項1〜9のいずれか1項において、上記半導体素子は、電力用の半導体素子であることを特徴とする半導体モジュール。
JP2003323011A 2003-09-16 2003-09-16 半導体冷却ユニット Expired - Lifetime JP4016917B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003323011A JP4016917B2 (ja) 2003-09-16 2003-09-16 半導体冷却ユニット

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003323011A JP4016917B2 (ja) 2003-09-16 2003-09-16 半導体冷却ユニット

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005093593A JP2005093593A (ja) 2005-04-07
JP4016917B2 true JP4016917B2 (ja) 2007-12-05

Family

ID=34454211

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003323011A Expired - Lifetime JP4016917B2 (ja) 2003-09-16 2003-09-16 半導体冷却ユニット

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4016917B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8822593B2 (en) 2012-06-22 2014-09-02 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Curable resin composition, hardened material thereof, and optical semiconductor apparatus

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4432892B2 (ja) * 2005-12-14 2010-03-17 株式会社デンソー 半導体冷却構造
JP2007251076A (ja) * 2006-03-20 2007-09-27 Hitachi Ltd パワー半導体モジュール
JP2010073965A (ja) * 2008-09-19 2010-04-02 Denso Corp 半導体冷却ユニット
JP2012178513A (ja) * 2011-02-28 2012-09-13 Mitsubishi Materials Corp パワーモジュールユニット及びパワーモジュールユニットの製造方法
JP5926654B2 (ja) * 2012-08-29 2016-05-25 日立オートモティブシステムズ株式会社 パワー半導体モジュールおよびパワー半導体モジュールの製造方法
WO2015064232A1 (ja) 2013-10-29 2015-05-07 富士電機株式会社 半導体モジュール
WO2015140944A1 (ja) * 2014-03-19 2015-09-24 株式会社日立製作所 パワーモジュール
JP2016092226A (ja) * 2014-11-05 2016-05-23 トヨタ自動車株式会社 半導体装置
JP6281506B2 (ja) * 2015-02-24 2018-02-21 トヨタ自動車株式会社 半導体モジュール
JP6361597B2 (ja) * 2015-07-02 2018-07-25 トヨタ自動車株式会社 半導体装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8822593B2 (en) 2012-06-22 2014-09-02 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Curable resin composition, hardened material thereof, and optical semiconductor apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP2005093593A (ja) 2005-04-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107112300B (zh) 冷却组件
JP4292913B2 (ja) 半導体冷却ユニット
US7015578B2 (en) Semiconductor unit with cooling system
WO2012176706A1 (ja) パワー半導体モジュール及びそれを用いた電力変換装置
JP5957396B2 (ja) 両面冷却型電力変換装置
US9992915B2 (en) Power conversion device
JP4016917B2 (ja) 半導体冷却ユニット
JP5217884B2 (ja) 半導体装置
US11476531B2 (en) Battery module for a high-voltage battery of a motor vehicle, high-voltage battery and vehicle
JP6371001B2 (ja) 電力変換装置
JP2010135697A (ja) 積層モジュール構造
JP6101609B2 (ja) パワー半導体モジュール及びそれを用いた電力変換装置
JP2010140969A (ja) 積層モジュール構造
JP2006294921A (ja) 電力変換装置
JP4228830B2 (ja) 半導体冷却ユニット
JP4123279B2 (ja) 電力変換装置
JP4452605B2 (ja) 半導体装置
JP5971051B2 (ja) 半導体ユニット
JP4016907B2 (ja) 電力変換装置
JP4158648B2 (ja) 半導体冷却ユニット
CN116569386A (zh) 电池组件、电池模组及电池组件的制作方法
JP5621812B2 (ja) 半導体装置
WO2016079970A1 (ja) 冷却モジュール
JP4193633B2 (ja) 半導体冷却ユニット
JP7504294B2 (ja) 電子機器

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20051026

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060323

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070828

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070910

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4016917

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100928

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100928

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110928

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110928

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120928

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120928

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130928

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term