JP4016917B2 - 半導体冷却ユニット - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 117
- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims description 107
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 32
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 32
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 24
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 23
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 claims description 7
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims description 5
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims description 4
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 26
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 12
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 12
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 5
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 4
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 3
- 229920006231 aramid fiber Polymers 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 239000004760 aramid Substances 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 description 1
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 1
- 238000009941 weaving Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Description
一般に、電気自動車やハイブリッド自動車等では、交流モータから大きな駆動トルクを得る必要があるため、駆動電流として大電流が必要となる。
そしてそのため、その交流モータ向けの駆動電流を生成する上記電力変換回路においては、該電力変換回路を構成するIGBT等の電力用半導体素子を含む半導体モジュールからの発熱が大きくなる傾向にある。
この電力変換装置では、冷却チューブと半導体モジュールとの間の熱伝達効率を向上するべく、両者間に当接荷重を作用して、その接触面積を広く確保している。
また、荷重の作用方向において、寸法変化を生じるため、その形状精度を高く維持することが難しいという問題がある。
上記半導体モジュールは、上記半導体素子を挟むように相互に対面する2枚の電極板を有してなり、
該各電極板に対しては、電気的な絶縁性を有する絶縁層を介在して上記冷却チューブを接合してあり、かつ、上記電極板と上記絶縁層との間と、該絶縁層と上記冷却チューブとの間との少なくとも一方は、接着剤を用いて接合してあることを特徴とする半導体モジュールにある(請求項1)。
すなわち、上記電極板と上記絶縁層との間と、該絶縁層と上記冷却チューブとの間との少なくとも一方は、接着剤を用いて接合してある。
そのため、上記電極板と上記冷却用チューブとの間に当接荷重を作用しなくても、両者を密着して十分な接触面積を確保することができる。
したがって、本発明の半導体冷却ユニットでは、上記電極板と上記冷却チューブとの間に当接荷重を作用しなくても、上記半導体モジュールを効率良く冷却することができる。
すなわち、当接荷重を作用しない上記半導体冷却ユニットは、積層方向に寸法変化を生じるおそれが少なく、形状精度に優れたユニットである。
この場合には、上記接着剤を介在した上記電極板と上記冷却チューブとの間の熱伝達効率を良好に維持することができる。
上記熱伝導性接着剤としては、例えば、酸化亜鉛あるいはアルミナ粉末フィラーを添加したシリコーンあるいはエポキシ接着剤等を用いることができる。
この場合には、上記電極板と上記冷却チューブとの間の熱伝達効率について、上記接合層が及ぼすおそれがある悪影響を抑制することができる。
この場合には、上記絶縁板により上記半導体素子側と上記冷却用チューブ側との間の電気的な絶縁状態を確実に維持して、上記半導体冷却ユニットの電気的な信頼性を向上できる。
なお、上記絶縁板としては、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ケイ素等よりなる絶縁板を用いることができる。
この場合には、上記絶縁被膜により、上記電極板と上記冷却チューブとの間の電気的な絶縁を確保することができる。
さらに、上記電極板の表面に形成した上記絶縁被膜によれば、上記電極板と上記冷却チューブとの間の絶縁板等を省略できる。また、それに伴って、上記接着剤による接着層を1層にして接着剥離等が生じるおそれを抑制できる。
なお、上記絶縁被膜としては、DLC(ダイヤモンドライク・カーボン)、アルマイト被膜、酸化亜鉛あるいはアルミナ粉末フィラーを添加したエポキシ樹脂等により形成してなる被膜を適用することができる。
この場合には、上記絶縁被膜により、上記半導体素子側と上記冷却用チューブ側との電気的な絶縁性を確保することができる。
さらに、上記電極板と上記冷却チューブとの間の接着層を1層にして、接着剥離が生じるおそれを抑制することができる。
なお、上記絶縁被膜としては、DLC(ダイヤモンドライク・カーボン)、アルマイト被膜、酸化亜鉛あるいはアルミナ粉末フィラーを添加したエポキシ樹脂等により形成してなる被膜を適用することができる。
この場合には、全体を上記モールド樹脂により覆ったことにより、上記半導体モジュールと上記冷却チューブとの接着部分を補強することができる。
さらには、たとえ上記接着部分に剥離やクラック等を生じた場合でも、その進行を抑止して冷却性能の低下を最小限に抑制することができる。
この場合には、上記第1のモールド樹脂により一体的に覆った上記半導体モジュールの取り扱いが容易になる。
この場合には、上記第2のモールド樹脂の成形を行う際、上記半導体モジュールにトラブルが生じるおそれを抑制することができる。
この場合には、上記半導体冷却ユニットの外周に周回させた上記バンドにより、上記電極板と上記冷却チューブとの接着部分を補強することができる。
なお、上記バンドとしては、例えば、アラミド繊維や、ガラス繊維、炭素繊維等により編み込みしたバンドや紐等を用いることができる。
特に、アラミド繊維等、電気的な絶縁性の高い素材により上記バンドを作製すれば、上記半導体冷却ユニットの電気的な信頼性を損なうおそれが少ない。
そのため、この場合には、上記電極板と上記冷却チューブとの間に、上記接着層に代えて、熱伝導性グリス層を配置することもできる。
上記バンドの作用により一定に保持された間隙に形成した上記熱伝導性グリス層によれば、上記電極板と上記冷却チューブとの間の熱伝達効率を良好に維持できる。
この場合には、上記半導体素子が生じる発熱量が特に大きいため、本発明による効果が特に有効である。
なお、上記電力用素子としては、MOS型FET素子、IGBT素子、ダイオード、トランジスタ、サイリスタ、パワー集積回路等がある。
本例の半導体冷却ユニット1について、図1〜図3を用いて説明する。
本例の半導体冷却ユニット1は、図1に示すごとく、半導体素子11を有する半導体モジュール10と、冷媒を流動させる中空部21を有する扁平形状の冷却チューブ20とを有するユニットである。
この半導体モジュール10は、上記半導体素子11を挟むように相互に対面する2枚の電極板15を有してなる。
そして、各電極板15に対しては、電気的な絶縁性を有する絶縁層30を介在して冷却チューブ20を接合してあり、かつ、電極板15と絶縁層30との間と、絶縁層30と冷却チューブ20との間との少なくとも一方は、接着剤を用いて接合してある。
この内容について、以下に詳しく説明する。
そして、この半導体冷却ユニット1は、図1に示すごとく、電力用の半導体素子11としてのIGBT素子(以下、IGBT素子11と記載。)を収容してなり、該IGBT素子11を挟むように一対の電極板15を配置してなる。
そして、上記IGBT素子11が、上記電力変換装置のインバータ回路或いは、DC−DCコンバータ回路を構成している。
なお、この半導体モジュール10では、一対の電極板15の間には、IGBT素子11の他、モータの回転を滑らかにするために必要となるフライホイールダイオード素子12(図2)などを配置してある。
なお、上記ハンダ接合に代えて熱伝導性グリス等を介設し、モールド樹脂100により一体的に覆って上記半導体モジュール10を構成することも可能である。
そして、各電極板15には、窒化ケイ素よりなる絶縁板30を介在して、扁平形状の冷却チューブ20を対面配置してある。
冷却チューブ20は、図1に示すごとく、内部に冷媒を流動させる中空部21を形成した扁平形状の部材である。本例では、アルミ合金により上記冷却チューブ20を形成してある。
なお、本例では、アルミナ添加シリコーンよりなる熱伝導性接着剤を適用した。この熱伝導性接着剤は、熱伝導率が0.9W/m・Kであるという特性を有している。
そして、本例では、この熱伝導性接着剤を用いて、各間隙に0.02mm厚の接合層111を形成した。
この半導体積層ユニット2では、各冷却チューブ20の両端部に、冷媒の供給及び排出を行う一対のヘッダ部41、42を接続してある。
そのため、半導体積層ユニット2とヘッダ部41、42とを接続する際、両者を位置精度高く接続することができる。
さらに、この単層の半導体冷却ユニットを、一対のヘッダ部41、42に対して複数、並列して接続することもできる。
さらになお、本例の半導体積層ユニット2では、一対の冷却チューブ20の間に半導体モジュール10を1個、配置したが、図3に示すごとく複数の半導体モジュールを並列して配置することもできる。
本例は、実施例1の半導体冷却ユニットを基にして、電気的な絶縁構造を変更した例である。この内容について、図4及び図5を用いて説明する。
本例の半導体冷却ユニット1では、実施例1で適用した上記絶縁板を省略してある。そして、この絶縁板に代えて、半導体モジュール10の電極板15の表面に絶縁被膜31を形成してある。
上記絶縁被膜31としては、図4に示すごとく、電極板15の表面に溶射処理によりアルミナよりなる被膜を形成した。
なお、これに代えて、酸化亜鉛あるいはアルミナ粉末フィラーを添加したエポキシ樹脂、DLC(ダイヤモンドライク・カーボン)等による絶縁被膜を電極板15の表面に形成することもできる。
さらに、接着剤による接合層111を、電極板15と冷却チューブ20との間の1層のみとすることができる。それ故、接合層11の数を低減して、接合箇所に剥離等を生じるおそれを抑制することができる。
さらになお、電極板15に絶縁被膜31を形成するのに代えて、図5に示すごとく、冷却チューブ20の表面に絶縁被膜32を形成しても良く、この場合にも本例と同様の効果を得ることができる。
本例は、実施例2の半導体冷却ユニット(図5)をモールド樹脂により覆った例である。この内容について、図6及び図7を用いて説明する。
本例の半導体冷却ユニット1は、実施例2の半導体冷却ユニットを、さらにモールド樹脂101により覆ったユニットである。
なお、本例では、上記第1及び第2のモールド樹脂100、101としては、熱硬化性樹脂を適用した。
なお、第2のモールド樹脂101としては、上記の組み合わせのほか、ポリイミドアミド、フェノール、ポリウレタン等を用いることができる。
そのため、接合箇所に接合剥離等のトラブルを生じるおそれを抑制できる。さらに、たとえ、接合箇所にクラック等があっても、そのクラックの進行を抑制して、冷却チューブ20と電極板15との熱伝達効率を許容できる範囲に維持することができる。
さらになお、図7に示すごとく、モールド樹脂100により、半導体モジュール1のモールド部分(上記第1のモールド樹脂100に相当。)と、半導体冷却ユニット10のモールド部分(上記第2のモールド樹脂101に相当。)とを同時に成形することも可能である。
本例は、実施例2の半導体冷却ユニット(図5)の外周にバンド108を周回させた例である。この内容について、図8及び図9を用いて説明する。
本例の半導体冷却ユニット1は、図8及び図9に示すごとく、冷却チューブ20の長手方向の4箇所にバンド108を周回してなる。
また、この半導体冷却ユニット1では、一対の冷却チューブ20の間に2個の半導体モジュール10を並列して配置してある。
これに代えて、電気的な導電性を有するバンドを適用することもできる。この場合には、バンドと電極端子等とが接触しないように配慮する必要がある。
そのため、接合箇所に接合剥離等のトラブルを生じるおそれを抑制できる。さらに、たとえ、接合箇所にクラック等があっても、そのクラックの進行を抑制して、冷却チューブ20と電極板15との熱伝達効率を許容できる範囲に維持することができる。
さらになお、半導体冷却ユニット1の外周にバンド108を周回させて固定する場合には、冷却チューブ20と電極板15との間の接着剤による接合層111を省略することも可能である。
この場合には、接着剤による接合層111に代えて、冷却チューブ20と電極板15との間に、両者間の熱伝達効率を向上するための熱伝導性グリス等を配置するのが良い。
10 半導体モジュール
100 モールド樹脂(第1のモールド樹脂)
101 第2のモールド樹脂
108 バンド
111 接合層
15 電極板
150 電力端子
2 半導体積層ユニット
20 冷却チューブ
21 中空部
30 絶縁板
31、32 絶縁被膜
Claims (10)
- 半導体素子を有する半導体モジュールと、冷媒を流動させる中空部を有する扁平形状の冷却チューブとを有する半導体冷却ユニットであって、
上記半導体モジュールは、上記半導体素子を挟むように相互に対面する2枚の電極板を有してなり、
該各電極板に対しては、電気的な絶縁性を有する絶縁層を介在して上記冷却チューブを接合してあり、かつ、上記電極板と上記絶縁層との間と、該絶縁層と上記冷却チューブとの間との少なくとも一方は、接着剤を用いて接合してあることを特徴とする半導体モジュール。 - 請求項1において、上記接着剤は、熱伝導率が0.5W/m・K以上の熱伝導性接着剤であることを特徴とする半導体モジュール。
- 請求項1又は2において、上記接着剤がなす接合層の厚さは、0.1mm以下であることを特徴とする半導体モジュール。
- 請求項1〜3のいずれか1項において、上記絶縁層は、平板状を呈する絶縁板よりなり、該絶縁板と上記各電極板との間、及び、上記絶縁板と上記冷却チューブとの間は、上記接着剤により接合してあることを特徴とする半導体モジュール。
- 請求項1〜3のいずれか1項において、上記絶縁層は、上記電極板の表面に形成した絶縁被膜であることを特徴とする半導体モジュール。
- 請求項1〜3のいずれか1項において、上記絶縁層は、上記冷却チューブの表面に形成した絶縁被膜であることを特徴とする半導体モジュール。
- 請求項1〜6のいずれか1項において、上記半導体モジュールと上記冷却チューブとは、モールド樹脂により一体的に覆ってあることを特徴とする半導体モジュール。
- 請求項7において、上記半導体モジュールは、上記半導体素子と上記一対の電極板とを第1のモールド樹脂により一体成形してなり、上記半導体冷却ユニットは、上記半導体モジュールと上記冷却チューブとを第2のモールド樹脂により一体成形してなることを特徴とする半導体モジュール。
- 請求項1〜6のいずれか1項において、上記半導体冷却ユニットは、その外周に周回させたバンドを有してなり、該バンドは、上記冷媒の流動方向に直交して周回してあることを特徴とする半導体モジュール。
- 請求項1〜9のいずれか1項において、上記半導体素子は、電力用の半導体素子であることを特徴とする半導体モジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003323011A JP4016917B2 (ja) | 2003-09-16 | 2003-09-16 | 半導体冷却ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003323011A JP4016917B2 (ja) | 2003-09-16 | 2003-09-16 | 半導体冷却ユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005093593A JP2005093593A (ja) | 2005-04-07 |
JP4016917B2 true JP4016917B2 (ja) | 2007-12-05 |
Family
ID=34454211
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003323011A Expired - Lifetime JP4016917B2 (ja) | 2003-09-16 | 2003-09-16 | 半導体冷却ユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4016917B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8822593B2 (en) | 2012-06-22 | 2014-09-02 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Curable resin composition, hardened material thereof, and optical semiconductor apparatus |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4432892B2 (ja) * | 2005-12-14 | 2010-03-17 | 株式会社デンソー | 半導体冷却構造 |
JP2007251076A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-09-27 | Hitachi Ltd | パワー半導体モジュール |
JP2010073965A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-02 | Denso Corp | 半導体冷却ユニット |
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JP5926654B2 (ja) * | 2012-08-29 | 2016-05-25 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | パワー半導体モジュールおよびパワー半導体モジュールの製造方法 |
WO2015064232A1 (ja) | 2013-10-29 | 2015-05-07 | 富士電機株式会社 | 半導体モジュール |
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JP2016092226A (ja) * | 2014-11-05 | 2016-05-23 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置 |
JP6281506B2 (ja) * | 2015-02-24 | 2018-02-21 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体モジュール |
JP6361597B2 (ja) * | 2015-07-02 | 2018-07-25 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置 |
-
2003
- 2003-09-16 JP JP2003323011A patent/JP4016917B2/ja not_active Expired - Lifetime
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US8822593B2 (en) | 2012-06-22 | 2014-09-02 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Curable resin composition, hardened material thereof, and optical semiconductor apparatus |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005093593A (ja) | 2005-04-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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