JP4012467B2 - 複数の波長領域のための検査顕微鏡、及び複数の波長領域のための検査顕微鏡のための減反射層 - Google Patents
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Description
更に、各従属請求項により、付加的な効果が後述の通りそれぞれ達成される。
(2)上記形態1の検査顕微鏡において、前記減反射層は、材料:M2(La 2 O 3 ・3.3Al 2 O 3 からなるメルクMerck社の混合物質ないし組成物)及びMgF 2 から構成されるサンドイッチ構造を有すると共に、M2層とMgF 2 層が交互に複数積層され、かつ最終層がMgF 2 から構成されることが好ましい(形態2)。
(3)上記形態1の検査顕微鏡において、前記減反射層は、材料:M2(La 2 O 3 ・3.3Al 2 O 3 からなるメルクMerck社の混合物質ないし組成物)、MgF 2 及びAl 2 O 3 から構成されるサンドイッチ構造を有すると共に、該サンドイッチ構造の下部範囲では、Al 2 O 3 層とMgF 2 層が交互に複数積層され、該サンドイッチ構造の上部範囲ではM2層とMgF 2 層が交互に複数積層され、かつ最終層がMgF 2 から構成されることが好ましい(形態3)。
(4)上記形態1の検査顕微鏡において、前記減反射層は、材料:M2(La 2 O 3 ・3.3Al 2 O 3 からなるメルクMerck社の混合物質ないし組成物)、MgF 2 及びSiO 2 から構成されるサンドイッチ構造を有すると共に、該サンドイッチ構造の下部範囲では、M2層とSiO 2 層が交互に複数積層され、該サンドイッチ構造の上部範囲ではM2層とMgF 2 層が交互に複数積層され、かつ最終層がMgF 2 から構成されることが好ましい(形態4)。
(5)上記形態4の検査顕微鏡において、前記減反射層では、VIS波長領域及びi線に対する反射の平均値は、1.0%以下であり、遠紫外DUV波長領域に対する反射の平均値は、0.5%以下であることが好ましい(形態5)。
(6)上記形態1の検査顕微鏡において、反射低減が行われる前記光学構造要素は、石英ガラス又はCaF 2 から構成され、かつ単一の減反射層を有することが好ましい(形態6)。
(7)上記形態1の検査顕微鏡において、前記照明光路及び前記結像光路に、少なくとも2つの波長領域特異的光学構造要素を有すると共に、当該光学構造要素の少なくとも1つを所定の光路へ選択的に配する一又は複数の構造要素変位装置が配されることが好ましい(形態7)。
(9)上記形態8の減反射層は、石英ガラス又はCaF 2 から構成される光学構造要素に配されることが好ましい(形態9)。
(10)上記形態8又は9の減反射層は、材料:M2(La 2 O 3 ・3.3Al 2 O 3 からなるメルクMerck社の混合物質ないし組成物)及びMgF 2 から構成されるサンドイッチ構造を有すると共に、M2層とMgF 2 層が交互に複数積層され、かつ最終層がMgF 2 から構成されることが好ましい(形態10)。
(11)上記形態10の減反射層は、石英ガラス又はCaF 2 から構成される光学構造要素に配され、かつ以下の表Fに従う構造を有すると共に、層1は、最下層であることが好ましい(形態11)。
(12)上記形態8又は9の減反射層は、材料:M2(La 2 O 3 ・3.3Al 2 O 3 からなるメルクMerck社の混合物質ないし組成物)、MgF 2 及びAl 2 O 3 から構成されるサンドイッチ構造を有すると共に、該サンドイッチ構造の下部範囲では、Al 2 O 3 層とMgF 2 層が交互に複数積層され、該サンドイッチ構造の上部範囲ではM2層とMgF 2 層が交互に複数積層され、かつ最終層がMgF 2 から構成されることが好ましい(形態12)。
(13)上記形態12の減反射層は、Al 2 O 3 からなる単一層のみを有することが好ましい(形態13)。
(14)上記形態12の減反射層において、石英ガラス又はCaF 2 から構成される光学構造要素に配され、かつ以下の表Eに従う構造を有すると共に、層1は、最下層であることが好ましい(形態14)。
(15)上記形態8又は9の減反射層は、材料:M2(La 2 O 3 ・3.3Al 2 O 3 からなるメルクMerck社の混合物質ないし組成物)、MgF 2 及びSiO 2 から構成されるサンドイッチ構造を有すると共に、該サンドイッチ構造の下部範囲では、M2層とSiO 2 層が交互に複数積層され、該サンドイッチ構造の上部範囲ではM2層とMgF 2 の層が交互に複数積層され、かつ最終層がMgF 2 から構成されることが好ましい(形態15)。
(16)上記形態15の減反射層は、少なくとも3つのSiO 2 層及び少なくとも3つのMgF 2 層を有することが好ましい(形態16)。
(17)上記形態15の減反射層において、VIS波長領域及びi線に対する反射の平均値は、1.0%以下であり、遠紫外DUV波長領域に対する反射の平均値は、0.5%以下であることが好ましい(形態17)。
(18)上記形態17の減反射層は、石英ガラス又はCaF 2 から構成される光学構造要素に配され、かつ以下の表Aに従う構造を有すると共に、層1は、最下層であることが好ましい(形態18)。
(19)上記形態17の減反射層は、石英ガラス又はCaF 2 から構成される光学構造要素に配され、かつ以下の表Bに従う構造を有すると共に、層1は、最下層であることが好ましい(形態19)。
(20)上記形態15の減反射層は、石英ガラス又はCaF 2 から構成される光学構造要素に配され、かつ以下の表Cに従う構造を有すると共に、層1は、最下層であることが好ましい(形態20)。
(21)上記形態15の減反射層は、石英ガラス又はCaF 2 から構成される光学構造要素に配され、かつ以下の表Dに従う構造を有すると共に、層1は、最下層であることが好ましい(形態21)。
(22)選択的に石英ガラス又はCaF 2 から構成される光学構造要素は、前記形態11の減反射層が配されることにより、反射が低減されることが可能である(形態22)。
2 照明用ビームスプリッタ摺動装置
3 照明用ビームスプリッタ
4 対物レンズ
5 (主)光軸
6 被検対象
7 オートフォーカス用ビームスプリッタ
8 鏡筒レンズ
9 鏡筒レンズ摺動装置
10 接眼レンズ用ビームスプリッタ
11 接眼レンズ用ビームスプリッタ摺動装置
12 結像光学系
13 バウエルンファイントプリズム(30°俯視プリズムの一種)
14 付加的摺動装置
15 光学的補償要素
16 付加的ビームスプリッタ
AF オートフォーカス装置
OK 接眼レンズ
DUV DUV領域及びi線用カメラ
VIS VIS領域用カメラ
Claims (22)
- 少なくとも1つの照明光路と少なくとも1つの結像光路とを有する、複数の波長領域のための検査顕微鏡において、
前記照明光路及び前記結像光路においてすべての波長領域の光によって通過される光学構造要素に、減反射層が配され、該減反射層において反射が低減される波長領域は、凡そ650nmまでの可視光のVIS波長領域、λ=365nmのi線、及び240nm〜270nmの紫外線の遠紫外DUV波長領域から構成されること
を特徴とする検査顕微鏡。 - 前記減反射層は、材料:
M2(La2O3・3.3Al2O3からなるメルクMerck社の混合物質ないし組成物)及びMgF2
から構成されるサンドイッチ構造を有すると共に、M2層とMgF2層が交互に複数積層され、かつ最終層がMgF2から構成されること
を特徴とする請求項1に記載の検査顕微鏡。 - 前記減反射層は、材料:
M2(La2O3・3.3Al2O3からなるメルクMerck社の混合物質ないし組成物)、MgF2及びAl2O3
から構成されるサンドイッチ構造を有すると共に、該サンドイッチ構造の下部範囲では、Al2O3層とMgF2層が交互に複数積層され、該サンドイッチ構造の上部範囲ではM2層とMgF2層が交互に複数積層され、かつ最終層がMgF2から構成されること
を特徴とする請求項1に記載の検査顕微鏡。 - 前記減反射層は、材料:
M2(La2O3・3.3Al2O3からなるメルクMerck社の混合物質ないし組成物)、MgF2及びSiO2
から構成されるサンドイッチ構造を有すると共に、該サンドイッチ構造の下部範囲では、M2層とSiO2層が交互に複数積層され、該サンドイッチ構造の上部範囲ではM2層とMgF2層が交互に複数積層され、かつ最終層がMgF2から構成されること
を特徴とする請求項1に記載の検査顕微鏡。 - 前記減反射層では、VIS波長領域及びi線に対する反射の平均値は、1.0%以下であり、遠紫外DUV波長領域に対する反射の平均値は、0.5%以下であること
を特徴とする請求項4に記載の検査顕微鏡。 - 反射低減が行われる前記光学構造要素は、石英ガラス又はCaF2から構成され、かつ単一の減反射層を有すること
を特徴とする請求項1に記載の検査顕微鏡。 - 前記照明光路及び前記結像光路に、少なくとも2つの波長領域特異的光学構造要素を有すると共に、当該光学構造要素の少なくとも1つを所定の光路へ選択的に配する一又は複数の構造要素変位装置が配されること
を特徴とする請求項1に記載の検査顕微鏡。 - 複数の波長領域のための減反射層において、
反射が低減される波長領域は、凡そ650nmまでの可視光のVIS波長領域、λ=365nmのi線、及び240nm〜270nmの紫外線の遠紫外DUV波長領域から構成されること
を特徴とする減反射層。 - 前記減反射層は、石英ガラス又はCaF2から構成される光学構造要素に配されること
を特徴とする請求項8に記載の減反射層。 - 材料:
M2(La2O3・3.3Al2O3からなるメルクMerck社の混合物質ないし組成物)及びMgF2
から構成されるサンドイッチ構造を有すると共に、M2層とMgF2層が交互に複数積層され、かつ最終層がMgF2から構成されること
を特徴とする請求項8又は9に記載の減反射層。 - 材料:
M2(La2O3・3.3Al2O3からなるメルクMerck社の混合物質ないし組成物)、MgF2及びAl2O3
から構成されるサンドイッチ構造を有すると共に、該サンドイッチ構造の下部範囲では、Al2O3層とMgF2層が交互に複数積層され、該サンドイッチ構造の上部範囲ではM2層とMgF2層が交互に複数積層され、かつ最終層がMgF2から構成されること
を特徴とする請求項8又は9に記載の減反射層。 - 減反射層がAl2O3からなる単一層のみを有すること
を特徴とする請求項12に記載の減反射層。 - 材料:
M2(La2O3・3.3Al2O3からなるメルクMerck社の混合物質ないし組成物)、MgF2及びSiO2
から構成されるサンドイッチ構造を有すると共に、該サンドイッチ構造の下部範囲では、M2層とSiO2層が交互に複数積層され、該サンドイッチ構造の上部範囲ではM2層とMgF2の層が交互に複数積層され、かつ最終層がMgF2から構成されること
を特徴とする請求項8又は9に記載の減反射層。 - 少なくとも3つのSiO2層及び少なくとも3つのMgF2層を有すること
を特徴とする請求項15に記載の減反射層。 - VIS波長領域及びi線に対する反射の平均値は、1.0%以下であり、遠紫外DUV波長領域に対する反射の平均値は、0.5%以下であること
を特徴とする請求項15に記載の減反射層。 - 選択的に石英ガラス又はCaF2から構成される光学構造要素は、前記減反射層が配されることにより、反射が低減されること
を特徴とする請求項11に記載の減反射層の使用。
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