JP4006362B2 - 回折光学素子、及びそれを有する光学系 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、回折光学素子およびこれを有する光学系に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
レンズ系の色収差を減じる方法としては、硝材の組み合わせによるものがあるが、レンズの表面や光学系の一部に回折作用を有する回折光学素子若しくは回折格子を設ける方法がある。
【0003】
例えば、非特許文献1や特許文献1〜3等にて提案若しくは開示されている。
【0004】
回折光学素子を用いる方法は、屈折面と回折面とでは、ある基準波長の光線に対する色収差の出方が逆方向に発現するという物理現象を利用したものである。また、回折光学素子には、その周期的構造の周期を適宜変化させることで非球面レンズ的な効果を持たせることができるので、色収差以外の収差の低減にも効果がある。
【0005】
回折光学素子を有するレンズ系において、使用波長領域の光束が特定の1つの次数(以下、「特定次数」又は「設計次数」ともいう)の回折光に集中している場合は、それ以外の回折次数の回折光強度は低いものとなり、強度が0の場合はその回折光は存在しない。
【0006】
しかし、設計次数以外の次数の回折光が存在し、それがある程度の強度を有する場合は、設計次数の光線とは別な所に結像するため、レンズ系でのフレア光となる。
【0007】
従って、前述の回折光学素子の収差低減作用を利用するためには、使用波長領域全域において設計次数の回折光の回折効率が十分高いことが必要であり、この設計次数での回折効率の分光分布および設計次数以外の回折光の振る舞いについても十分考慮することが重要である。
【0008】
図16には、基板302とこの基板302上に形成された回折格子301とからなる回折光学素子(以下、「単層型DOE」と言う)を示しており、この単層型DOEをある面に形成した場合の特定次数に対する回折効率の特性を図17に示す。
【0009】
図17において、横軸は入射光の波長を、縦軸は回折効率を示している。回折効率の値は、全透過光束の光量に対する各次数での回折光の光量の割合であり、格子境界面での反射光などは説明が複雑になるので考慮していない値になっている。
【0010】
図17に示すように、図16に示した単層型DOEは、1次の回折次数(図中に太い実線で示す)において使用波長領域で最も回折効率が高くなるように設計されており、設計次数は1次である。この設計次数で回折効率はある波長で最も高くなり(以下、この波長を「設計波長」という)、それ以外の波長では徐々に低くなる。この設計次数での回折効率の低下分は、他の次数の回折光となり、フレア光となる。図17には、この他の次数として設計次数近傍の次数(設計次数1±1次の0次と2次)の回折効率も併せて並記されている。
【0011】
このように発生するフレア光の影響を低減する構成として、様々な提案がなされている。
【0012】
特許文献4にて提案の回折光学素子は、図18に示すように、3種類の異なる格子材料306〜308と2種類の異なる格子厚d1 ,d2とを最適に選び、複数の回折格子を等しいピッチ分布で密着配置することによって、図19に示すように、設計次数において可視域全域にわたってある程度高い回折効率を実現している。
【0013】
また、特許文献5にて提案の回折光学素子は、図13に示すように、回折格子をそれぞれ含む素子部202,203を空気層210を介して互いに近接させた構造を有する回折光学素子(以下、このような構成の回折光学素子を「積層型DOE」という)201であり、各回折格子を構成する材料の屈折率、分散特性(アッベ数νd)および各層の格子厚を最適化することにより、図14に示すように、設計次数において可視領域全域にわたって高い回折効率を実現している。
【0014】
また、回折格子を構成する材料のアッベ数を規定することで、格子厚が10μm以下で高い回折効率を実現している。そしてこれに応じて、設計次数±1次の回折効率も図17の単層型DOEに比べて、図15に示すように良好に抑制されている。
【0015】
【非特許文献1】
SPIE Vol.1354 International Lens Design Conference(1990)
【特許文献1】
特開平4−213421号公報
【特許文献2】
特開平6−324262号公報
【特許文献3】
米国特許5044706号明細書
【特許文献4】
特開平9−127322号公報
【特許文献5】
特開2000−98118号公報
【0016】
【発明が解決しようとする課題】
上記特許文献4および特許文献5にて提案されている回折光学素子を用いることで、設計次数の回折効率は、単層型DOEに比べて大幅に改善され、使用波長全域で94%以上、450nmから650nmの主波長域では98%以上の高い回折効率が得られる。そして、不要回折次数のフレア光も、使用波長全域で2%以下、450nmから650nmの主波長域では0.6%以下と概ね良好に抑制されている。
【0017】
このため、撮影(投影)条件の変化しない光学系(例えば、複写機のリーダーレンズや液晶プロジェクターの投射レンズ)への応用では、積層型DOEによりフレアの影響は問題ないレベルまで抑制される。
【0018】
しかしながら、スチルカメラ、ビデオカメラ等、様々な被写体を様々な条件で撮影する光学装置の光学系においては、わずかに残存しているフレアが問題になる場合がある。
【0019】
例えば、被写体中に光源が存在する場合、一般に撮影時には光源が適正な露出になるようには撮影をせず、光源以外の被写体が適正露出になるような撮影を行う。
【0020】
このため、被写体中の光源は適正露出以上の露出で撮影されることになる。例えば、光源が適正露出の500倍で露出されると、フレアがわずか0.6%残存していたとしても、光源のフレアは500倍されるので、
0.6×500=300%
と適正露出の3倍のフレアとなり、必ず撮影画像に現れる。
【0021】
上述のように、スチルカメラやビデオカメラの光学系に積層型DOEを応用した場合、わずかなフレアでも問題となる。
【0022】
そこで本発明は、広い使用波長領域で、特に特定次数の光に関して高い回折効率が得られるとともに、不要回折次数の回折光を特に抑制できる回折光学素子およびこの回折光学素子を用いた光学系を提供することを目的としている。
【0023】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明では、それぞれアッベ数νdが異なる材料からなる複数の回折格子を互いに重ね合わせ、積層した構造を有する回折光学素子において、上記複数の回折格子のうち少なくとも1つの回折格子を構成する材料のg線およびF線に対する部分分散比θg,Fが、
θg,F<(−1/600)νd+0.55 ・・・(1)
但し、θg,F=(ng−nF)/(nF−nC)
νd=(nd−1)/(nF−nC)
ng,nF,nd,nCはそれぞれ、g線,F線,d線,C線に対する屈折率
なる条件を満足し、前記条件式(1)を満足する材料のアッベ数νdが30以下であるようにしている。
【0024】
すなわち、g線およびF線に対する部分分散比が上記条件式(1)の右辺の値(図6のグラフ中に実線で示す値)よりも小さな材料を用いた回折格子を少なくとも1つ含んだ積層型の回折光学素子とすることにより、入射光の波長(使用波長)領域の全域において特定次数(設計次数)の回折効率を高くしつつ、光学系に組み込んだ際にフレア光となり得る不要回折次数の光を良好に抑制することが可能な回折光学素子を実現している。
【0025】
さらに、上記複数の回折格子それぞれの格子厚を10μm以下とすることにより、薄い回折格子形状で高い回折効率を達成でき、より広画角の光学系に組み込んだ場合でもフレア光となり得る不要回折次数の光を良好に抑制することが可能な回折光学素子を実現できる。
【0027】
さらに、上記複数の回折格子の材料のうち条件式(1)を満足する材料以外の少なくとも1つの材料のアッベ数νdを40以上とすると、条件式(1)を満足する材料の選択の幅が広がり好ましい。
【0028】
なお、上記条件式(1)を満足する材料として、例えば、アッベ数νdが15以下の微粒子材料(TiO2やITO等で、特に粒子径が入射光波長の1/20以下のものがよい)を樹脂材料(例えば、紫外線硬化樹脂)に混合したものを用いることにより、回折格子の成形性を良好とすることができる。
【0029】
また、上記複数の回折格子のうち少なくとも1つの回折格子における格子周期方向での格子厚の変化方向を他の回折格子における格子厚の変化方向と異ならせることにより、使用波長領域の全域での高い回折効率の達成により効果的である。
【0030】
また、上記複数の回折格子のそれぞれが、格子ピッチをPとし、それぞれの格子厚をdとしたときに、
d/P<1/6
なる条件を満足することにより、回折格子の加工性を良好なものとすることができる。
【0031】
さらに、回折格子を(透明な)基板と同じ材料で基板と一体形成することにより、回折格子および基板からなる素子部(単層型DOEに相当する部分)の製作が容易になり、ひいては複数の素子部を重ね合わせて作られる回折光学素子の製作も容易になる。
【0032】
【発明の実施の形態】
(第1実施形態)
図1(a)は、本発明の第1実施形態である回折光学素子の正面図であり、図1(b)は上記回折光学素子の側面図である。また、図2には、図1の回折光学素子をA−A’線で切断したときの断面形状の一部を拡大して示している。但し、図2は格子深さ方向にかなりデフォルメされた図となっている。
【0033】
これらの図に示すように、回折光学素子1は、第1の素子部2と第2の素子部3とを、それぞれの素子部に形成された第1の回折格子8と第2の回折格子9とが空気層10を挟んで互いに近接するように重ね合わせた構成となっており、これら第1,第2の素子部2,3および空気層10の全体で1つの回折光学素子として作用するものである。
【0034】
第1および第2の回折格子8,9は同心円状の格子形状からなり、径方向における格子ピッチが変化することで、レンズ作用を有する。また、第1の回折格子8と第2の回折格子9はほぼ等しい格子ピッチ分布を持っている。
【0035】
また、図2に示すように、第1の素子部2は、第1の透明基板4と、この第1の透明基板4上に設けられた格子ベース部6およびこの格子ベース部6に一体形成された第1の回折格子8からなる第1格子形成層とを有し、第1の回折格子8における空気層10との境界部には格子面8aが形成されている。
【0036】
一方、第2の素子部3も第1の素子部2と同様に、第2の透明基板5と、この第2の透明基板5上に設けられた格子ベース部7およびこの格子ベース部7に一体形成された第2の回折格子9からなる第2格子形成層とを有し、第2の回折格子9における空気層10との境界部には格子面9aが形成されている。
【0037】
なお、空気層10は、両回折格子8,9の格子面8a,9aと格子側面とがなすエッジ間において厚さがDとなるように設定されている。
【0038】
ここで、第1および第2の素子部2,3の寸法に関してそれぞれ、格子ピッチをP1,P2(μm)、格子厚をd1,d2(μm)としたとき、
d1/P1<1/6
d2/P2<1/6
を満たすようにすると、素子部2,3自体やこれら素子部2,3を製造(樹脂成形)するための型に対して格子形状を機械加工し易いというメリットがある。
【0039】
本実施形態において、回折光学素子1に入射させる光の波長領域、すなわち使用波長領域は可視領域であり、第1および第2の回折格子8,9を構成する材料および格子厚さは、可視領域全体で1次の回折光の回折効率を高くするように選択される。
【0040】
次に、本実施形態の回折光学素子1の回折効率について説明する。図15に示す通常の単層型DOEにおいて、設計波長がλ0の場合に、ある次数の回折光の回折効率が最大となる条件は、光束が回折格子のベース面(図2に点線で示す面)に対して垂直に入射する場合は、回折格子の山と谷の光学光路長差(つまりは、山と谷のそれぞれを通過する光線間における光路長差)が光束の波長の整数倍になることであり、これを式で表わすと、
(n01−1)d=mλ0 …(2)
となる。
【0041】
ここで、n01は波長λ0の光に対する回折格子の材料の屈折率である。また、dは格子厚、mは回折次数である。
【0042】
上記(2)式は波長の項を含むため、同一次数では設計波長でしか等号は成り立たず、設計波長以外の波長では回折効率は最大値から低下してしまう。
【0043】
また、任意の波長λでの回折効率η(λ)は、
η(λ)=sinc2〔π{M−(n1(λ)−1)d/λ}〕 …(3)
で表すことができる。
【0044】
上記(3)式において、Mは評価すべき回折光の次数、n1(λ)は波長λの光に対する回折格子の材料の屈折率である。また、sinc2(x)は、={sin(x)/x}2で表わされる関数である。
【0045】
本実施形態のように、2層以上の積層構造を持つ回折光学素子でも、基本は同様であり、全層を通して1つの回折光学素子として作用させるためには、各層を構成する材料(空気等も含む)の境界に形成された回折格子の山と谷とでの光学光路長差を求め、この光学光路長差を全回折格子にわたって加え合わせたものが波長の整数倍になるように格子形状その他の寸法を決定する。
【0046】
従って、図1に示した回折光学素子1において、設計波長がλ0の場合に、回折次数mの回折光の回折効率が最大となる条件は、
±(n01−1)d1±(n02−1)d2=mλ0 …(4)
となる。
【0047】
ここで、上記(4)式において、n01は第1の素子部2において第1の回折格子8を形成する材料の波長λ0の光に対する屈折率であり、n02は第2の素子部3において第2の回折格子9を形成する材料の波長λ0の光に対する屈折率である。また、d1,d2はそれぞれ、第1の回折格子8と第2の回折格子9の格子厚である。
【0048】
図2中の0次回折光から下向きに回折する光の回折次数を正の回折次数、0次回折光から上向きに回折する光の回折次数を負の回折次数とすると、上記(3)式での各層の加減の符号は、図中上から下に格子厚が減少する格子形状を持つ第1の回折格子8の場合が負となり、逆に上から下に格子厚が増加する格子形状を持つ第2の回折格子9の場合が正となる。
【0049】
図2に示す構成において、設計波長λ0以外の波長λでの回折効率η(λ)は、
η(λ)=sinc2〔π{M−{±(n1(λ)−1)d1±(n2(λ)−1)d2}/λ}〕
=sinc2〔π{M−φ(λ)/λ}〕 …(5)
という式で表わすことができる。
【0050】
上記(5)式中のφ(λ)は、
φ(λ)=±(n1(λ)−1)d1±(n2(λ)−1)d2
である。また、Mは評価すべき回折光の次数、n1(λ)は第1の回折格子8を形成する材料の波長λでの屈折率、n2(λ)は第2の回折格子9を形成する材料の波長λでの屈折率、d1,d2はそれぞれ第1の回折格子8と第2の回折格子9の格子厚である。またsinc2(x)は、={sin(x)/x}2で表わされる関数である。
【0051】
なお、図2に示した回折光学素子1では、格子面8a,9aを空気層10との境界面に形成しているが、本発明の回折光学素子はこれに限定されるものではなく、例えば図9に示すように、空気とは異なる2つの異なる材質(光学材料)の境界面に格子面を形成した2つの回折格子で構成した回折光学素子を用いることもできる。
【0052】
図9(a)は格子厚の異なる回折格子8,9を密着させた場合であり、図9(b)は同じ格子厚の回折格子8,9を密着させた場合の例である。回折格子を構成する材料の組み合わせによっては、2つの回折格子8,9の格子厚を図9(b)に示すごとく等しくすることもできる。
【0053】
次に、本実施形態の回折光学素子1において高い回折効率を得るための条件について説明する。
【0054】
使用波長領域の全域にわたって高い回折効率を得るためには、(5)式で表される値η(λ)が全ての使用波長λに対して、1に近づけばよい。言い換えれば、設計次数mでの回折効率を高めるには、(5)式中のφ(λ)/λがmになればよいことが式から分かる。例えば、設計次数mを1次としたときは、φ(λ)/λが1に近づけばよいわけである。
【0055】
さらに、格子形状から得られる光学光路長差φ(λ)は、上記関係から、波長λに比例して線形に変化していく必要があることが分かる。
【0056】
このためには、光学光路長差φ(λ)の中の波長によって変化する項である、
±n1(λ)d1±n2(λ)d2
が線形性を有することが必要となってくる。つまり、第1の回折格子8を形成する材料の波長による屈折率の変化に対する第2の回折格子9を形成する材料の波長による屈折率の変化が、全使用波長域で一定の比率であることが必要となってくる。
【0057】
このことを式で表現すると、
n1(λ1)−n1(λ2):n2(λ1)−n2(λ2)
=n1(λ3)−n1(λ4):n2(λ3)−n2(λ4) …(6)
但し、λ1,λ2,λ3,λ4は任意の使用波長を示す
となる。
【0058】
ここで、上記(6)式の関係をほぼ満足する構成として、図2に示した積層構造の回折光学素子1を例にとって説明する。まず、高い回折効率を得るためには、少なくとも2つの回折格子が存在すればよいが、図2に示した回折光学素子1はこれを満足するものである。
【0059】
また、図2に示した回折光学素子1において、第1の回折格子8を、本実施形態において特徴となる材料(nd=1.5702,νd=13.5)を用い、格子厚を5.6μmとする。一方、第2の回折格子9を、大日本インキ化学工業(株)製の紫外線硬化樹脂C001(nd=1.524,νd=50.8)を用い、格子厚を7.2μmとする。
【0060】
図3には、この回折光学素子1の設計次数である1次での回折効率特性を、図4には、設計次数±1次(0次と2次)の回折効率特性をそれぞれ示している。これらの特性図から分かるように、上記回折光学素子1は、図13および図14に示した特性に比べて設計次数の回折効率が改善しているとともに、不要次数の回折効率が低減されてよりフレア光が発生しにくくなっている。
【0061】
しかも、設計次数の回折効率は、可視領域全域で99.7%以上得られており、これに伴い不要次数のフレア光も可視領域で0.05%以下と従来の材料を使用した回折光学素子に比べて約1/10まで低下している。
【0062】
ここで、不要次数光の回折効率については、設計次数±1次である0次と2次についてのみ対象としているが、これは設計次数から離れた回折次数ほどフレアに寄与する割合が少ないため、0次と2次のフレア光が低減されれば、それ以外のフレア光も同様に影響を低減できるからである。
【0063】
このことは、特定の設計次数の光が主に回折するように設計された回折光学素子は、設計次数から離れた次数にいくに従って、回折効率は低下している傾向にあること、および設計次数から離れた次数ほど結像面でぼけが大きくフレアとして目立たなくなってくることに起因している。
【0064】
次に、特開2000−98118号公報(前述の特許文献5)に記載されている材料と本実施形態において特徴となる材料の可視波長域での屈折率特性を図5に示す。図5中、材料1は、本実施形態の第2の回折格子9と従来例の両方に用いられている材料であり、材料2は、本実施形態の第1の回折格子8を構成する材料である。また、材料3は、特開2000−98118号公報に記載された第1の回折格子を構成する材料である。
【0065】
この特性図において、本実施形態にて用いられている材料1と材料2とでは、グラフの傾きが異なっているように見えるが、波長の変化に対する屈折率の変化がほぼ一定である。
【0066】
一方、特開2000−98118号公報に記載の回折光学素子で用いられている材料1と材料3とでは、波長に対する屈折率の変化が材料1はほぼ一定であるのに対し、材料3は短波長側の変化の度合いが大きい特性となっている。
【0067】
これは、特開2000−98118号公報で提案されているアッベ数νdの特性が、
νd=(nd−1)/(nF−nC)
但し、nF,nd,nCはそれぞれ、F線,d線,C線に対する屈折率
で表わされるため、d線(波長587nm)付近の屈折率変化の平均的な傾きを定義した値に過ぎないためである。
【0068】
このνd特性は、積層構造の回折光学素子で、格子厚を薄く保ちつつ、回折効率特性を単層型DOEに比べて改善するのには適した評価特性であった。しかし、本発明が目的とするさらなる回折効率特性を改善することのためには、平均的な屈折率変化を表わした従来のνd評価尺度だけでは不十分であることが様々な検討で明らかになってきた。
【0069】
これら2つの材料、すなわち材料2と材料3の違いを明確にするため、光学ガラス材料の特性として用いられている、1つの評価尺度を調べることにする。
【0070】
図6には、その評価尺度であるg線およびF線に対する部分分散比θg,Fの特性を示している。なお、図6において、横軸はνd、縦軸はθg,Fの値である。θg,Fは、
θg,F=(ng−nF)/(nF−nC)
但し、ng,nF,nd,nCはそれぞれ、g線,F線,d線,C線に対する屈折率で定義される値であり、短波長側の屈折率の変化と長波長側の屈折率の変化の比を表わす評価尺度である。
【0071】
図6中の材料2が本実施形態における第1の回折格子8に用いている材料であり、この材料2では、θg,Fが0.3程度のかなり小さな値を示している。
【0072】
また、材料3は特開2000−98118号公報に記載されている材料であり、この材料3は一般光学材料に属している。そして、本実施形態の材料2が、特開2000−98118号公報に記載された材料を含む一般の光学材料のθg,F特性とは大きく異なるθg,F特性を有することも図6から理解できる。
【0073】
図6中に材料4として示されている光学材料を用いた回折光学素子の回折効率を図7と図8に示している。図7は設計次数である1次の回折効率特性を、図8は設計次数±1次である0次と2次の回折効率特性をそれぞれ示している。設計次数の回折効率として、使用波長全域では97%以上、さらに450nmから650nmの主波長域では99.5%以上の高い回折効率が得られている。
【0074】
一方、不要回折次数のフレア光も使用波長全域では0.9%以下、さらに450nmから650nmの主波長域では0.2%以下と、従来例の約1/3と良好に抑制されている。
【0075】
以上のことから分かるように、θg,F特性に関して、材料4でも十分な回折効率特性が得られる。
【0076】
したがって、本発明の目的である回折効率の改善のためには、図6中に実線で示す直線よりもθg,Fの値が小さいこと、すなわち、
θg,F<(−1/600)νd+0.55
を満足するような光学材料を用いればよい。
【0077】
このような光学特性を示す材料としては、ITO(Indium−Tin Oxide)などがある。但し、ITOのままでは格子形状を作成するのが困難である場合には、特開2001−74901号公報にて提案されているような、ITOを直径がナノメートルオーダーの微粒子とし、この微粒子を格子形状が形成し易い樹脂材料に混在させた材料2や材料4に示すような材料を用いるのが好ましい。材料2はベース材としてのフッ素樹脂サイトップ(旭硝子製nd=1.34,νd=90)にITO微粒子を混合したものである。材料4はベース材としてのポリビニルカルバゾール(nd=1.70,νd=18)にITO微粒子を混合したものである。
【0078】
また、同材料として、アッベ数νdが30以下の材料を用いると、回折格子の格子厚を薄くすることができ、好ましい。
【0079】
同様に、上記樹脂材料に微粒子を混在させる光学材料としては、微粒子混合後にアッベ数が30以下であることが望ましく、このために、微粒子としてはアッベ数が15以下の特性を有する微粒子材料を使用することが望ましい。このような条件を満足する微粒子材料として、例えば上記したITO以外にも、TiO2の使用が考えられる。
【0080】
また、混在した微粒子によって光が散乱しないように、使用する微粒子の大きさ(径)は、使用波長の1/20以下であることが好ましい。
【0081】
一方、第2の回折格子9を形成する材料としては、アッベ数が40以上の材料を用いると、格子厚を薄く保つことができるので、好ましい。
【0082】
また、第1の回折格子8を形成する材料や第2の回折格子9を形成する材料として光学ガラスを用いる場合は、図2に示した透明基板4,5とその光学ガラス材料とを同じ材料とすれば、両者を一体で製作することができ、部品点数が減り、低コスト化にも有利である。
【0083】
また、回折格子8,9のそれぞれが、格子ピッチをP、格子厚をdとしたときに、
d/P<1/6
を満たす格子形状を有する場合には、回折格子8,9を成形するための型を製造し易くなり、好ましい。
【0084】
なお、以上説明した第1実施形態では、平板としての基板4,5上に回折格子(積層型DOE)8,9を設けた回折光学素子について説明したが、レンズの凸面や凹面等の曲面表面に回折部を設けても、本実施形態で説明したのと同様の効果を得ることができる。
【0085】
また、本実施形態では、設計次数が1であるいわゆる1次回折光を用いる回折光学素子について説明したが、設計次数は1に限定されるものではなく、2次や3次の1次とは異なる回折光であっても、各回折格子8,9における光学光路長差の合成値を所望の設計次数で所望の設計波長となるように設定すれば、本実施形態と同様の効果が得られる。
【0086】
(第2実施形態)
上記第1実施形態では、従来例と比較するため、2つの回折格子8,9を形成する材料が2種類の場合について説明したが、本発明の実施形態はこれに限定されるものではない。
【0087】
例えば、図10に示すように、3つの回折格子8,9,11をそれぞれ異なる3種類の材料(8,9および11で示す部分の材料)で形成した3層構成の回折光学素子にも本発明を提供することができる。
【0088】
この場合でも、少なくとも1つの材料を、上記(1)式を満足する材料とすればよい。例えば、図10の回折光学素子1’では、第2の回折格子9と空気層10との間に、第2の回折格子9の格子面9aに接するかたちで設けられた第3の回折格子11に上記(1)式を満足する材料を用いるのが好ましい。
【0089】
なお、図10において示した各部の寸法の意味は第1実施形態と同様であり、第1実施形態にはないD1,D2はそれぞれ、第1の回折格子8の格子面8aと格子側面とのなすエッジから第3の回折格子11における空気層10との境界面までの寸法および第2の回折格子9の格子面9aと格子側面とのなすエッジから第3の回折格子11における空気層10との境界面までの寸法である。
【0090】
(第3実施形態)
図11には、本発明の第3実施形態であるカメラ(スチルカメラやビデオカメラ等)の撮影(結像)光学系の構成を示している。この図中、101は大部分が屈折光学素子(例えば通常のレンズ素子)で構成される撮影レンズであり、内部に開口絞り102と第1実施形態にて説明した回折光学素子1を有する。
【0091】
103は結像面に配置されたフィルム又はCCD等の撮影媒体である。回折光学素子1はレンズ機能を有する素子であり、撮影レンズ101中の屈折光学素子で発生する色収差を補正する。
【0092】
そして、回折光学素子1は、第1実施形態にて説明したように、回折効率特性が従来のものに比べて大幅に改善されているので、フレア光が少なく低周波数での解像力も高く、高い光学性能を有した撮影光学系を実現することができる。
【0093】
また、回折光学素子1は、図2に示した空気層10を有する光学素子のように、各回折格子を製造した後に周辺部で貼り合わせるというような簡単な方法でも製作することができるので、撮影光学系として量産性に優れ、かつ安価な光学系を提供することができる。
【0094】
なお、本実施形態では、絞り102の近傍に配置された平板ガラス面に回折光学素子1を設けているが、本発明はこれに限定するものではなく、前述したように、回折光学素子1をレンズの凹面又は凸面上に設けてもよい。さらに、撮影レンズ101内に回折光学素子1を複数個配置してもよい。
【0095】
また、本実施形態では、カメラの撮影レンズに本発明に係る回折光学素子を用いた場合について説明したが、これに限らず、事務機のイメージスキャナーやデジタル複写機のリーダーレンズなど、広い波長域で使用される結像光学系に本発明の回折光学素子を使用しても、先に説明したのと同様の効果が得られる。
【0096】
(第4実施形態)
図12には、本発明の第4実施形態である双眼鏡の観察光学系の構成を示している。この図中、104は対物レンズ、105は倒立像を正立させるためのプリズム、106は接眼レンズ、107は評価面(瞳面)である。1は第1実施形態にて説明した回折光学素子であり、対物レンズ104の結像面103での色収差等を補正する目的で設けられている。
【0097】
この観察光学系は、第1実施形態にて説明したように、回折効率特性が従来のものに比べて大幅に改善されているので、フレア光が少なく低周波数での解像力も高く、高い光学性能を有する。
【0098】
また、回折光学素子1は、図2に示した空気層10を有する光学素子のように、各回折格子を製造した後に周辺部で貼り合わせるというような簡単な方法でも製作することができるので、観察光学系(の対物レンズ部)として量産性に優れた安価な光学系を提供することができる。
【0099】
なお、本実施形態では、平板ガラス面に回折光学素子1を設けた場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、回折光学素子1をレンズの凹面又は凸面上に設けてもよい。さらに、観察光学系内に回折光学素子1を複数個配置してもよい。
【0100】
また、本実施形態では、対物レンズ部に回折光学素子1を設けた場合を示したが、これに限らず、プリズム105の表面や接眼レンズ106内の位置に設けることもでき、この場合も先に説明したのと同様の効果が得られる。但し、回折光学素子1を結像面103より物体側に設けることで対物レンズ部のみでの色収差低減効果があるため、肉眼の観察系の場合、少なくとも対物レンズ部に設けることが望ましい。
【0101】
また、本実施形態では、双眼鏡の観察光学系について説明したが、本発明の回折光学素子は、地上望遠鏡や天体観測用望遠鏡等の観察光学系にも適用することができ、さらにはレンズシャッターカメラやビデオカメラなどの光学式ファインダーにも適用することができ、先に説明したのと同様の効果が得られる。
【0102】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、g線およびF線に対する部分分散比が上記条件式(1)の右辺の値よりも小さな材料を用いた回折格子を少なくとも1つ含んだ積層型の回折光学素子とすることにより、入射光の波長(使用波長)領域の全域において特定次数(設計次数)の回折効率を高くしつつ、光学系に組み込んだ際にフレア光となり得る不要回折次数の光を良好に抑制することが可能な回折光学素子を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態である回折光学素子の正面図および側面図。
【図2】上記第1実施形態の回折光学素子の部分断面図。
【図3】上記第1実施形態の回折光学素子の設計次数での回折効率特性を示すグラフ図。
【図4】上記第1実施形態の回折光学素子の設計次数±1次での回折効率特性を示すグラフ図。
【図5】上記第1実施形態の回折光学素子を構成する材料の屈折率特性(nd−λ特性)を示すグラフ図。
【図6】上記第1実施形態の回折光学素子を構成する材料の部分分散比特性(θg,F−νd特性)を示すグラフ図。
【図7】上記第1実施形態の回折光学素子であって、他の材料を用いた場合の設計次数の回折効率特性を示すグラフ図。
【図8】上記第1実施形態の回折光学素子であって、他の材料を用いた場合の設計次数±1次の回折効率特性を示すグラフ図。
【図9】上記第1実施形態の回折光学素子の他の態様の部分断面図。
【図10】本発明の第2実施形態である回折光学素子の部分断面図。
【図11】本発明の第3実施形態である撮影光学系の構成図。
【図12】本発明の第4実施形態である撮影光学系の構成図。
【図13】従来の積層型回折光学素子の部分断面図。
【図14】従来の積層型回折光学素子の設計次数での回折効率特性を示すグラフ図。
【図15】従来の積層型回折光学素子の設計次数±1次での回折効率特性を示すグラフ図。
【図16】従来の単層型回折光学素子の部分断面図。
【図17】従来の単層型回折光学素子の設計次数での回折効率特性を示すグラフ図。
【図18】従来の積層型回折光学素子の部分断面図。
【図19】従来の積層型回折光学素子の設計次数での回折効率特性を示すグラフ図。
【符号の説明】
1 回折光学素子
2 第1の素子部
3 第2の素子部
4 第1の基板
5 第2の基板
6 第1の格子ベース部
7 第2の回折ベース部
8 第1の回折格子
9 第2の回折格子
10 空気層
11 第3層
101 撮影レンズ
102 絞り
103 結像面
104 対物レンズ
105 プリズム
106 接眼レンズ
107 評価面(瞳面)
Claims (11)
- それぞれアッベ数νdが異なる材料からなる複数の回折格子を積層した構造を有する回折光学素子であって、
前記複数の回折格子のうち少なくとも1つの回折格子を構成する材料のg線およびF線に対する部分分散比θg,Fが、
θg,F<(−1/600)νd+0.55
但し、θg,F=(ng−nF)/(nF−nC)
νd=(nd−1)/(nF−nC)
ng,nF,nd,nCはそれぞれ、g線,F線,d線,C線に対する屈折率
なる条件を満足し、前記条件を満足する材料のアッベ数νdが30以下であることを特徴とする回折光学素子。 - 前記複数の回折格子それぞれの格子厚が10μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の回折光学素子。
- 前記複数の回折格子の材料のうち前記条件を満足する材料以外の少なくとも1つの材料のアッベ数νdが40以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載の回折光学素子。
- 前記条件を満足する材料は、アッベ数νdが15以下の微粒子材料を樹脂材料に混合したものであることを特徴とする請求項1に記載の回折光学素子。
- 前記微粒子材料の粒子径が、入射光の波長の1/20以下であることを特徴とする請求項4に記載の回折光学素子。
- 前記微粒子材料が、TiO 2 又はITOであることを特徴とする請求項4に記載の回折光学素子。
- 前記樹脂材料が、紫外線硬化樹脂であることを特徴とする請求項4に記載の回折光学素子。
- 前記複数の回折格子のうち少なくとも1つの回折格子における格子周期方向の格子厚の変化方向が他の回折格子における格子厚の変化方向と異なることを特徴とする請求項1又は2に記載の回折光学素子。
- 前記複数の回折格子のそれぞれが、格子ピッチをPとし、それぞれの格子厚をdとしたときに、
d/P<1/6
なる条件を満足することを特徴とする請求項1又は2に記載の回折光学素子。 - 可視波長域の光に対して回折作用を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の回折光学素子。
- 屈折光学素子と、請求項1から10のいずれかに記載の回折光学素子を有することを特徴とする光学系。
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