JP4003184B2

JP4003184B2 - Substrate transfer device

Info

Publication number: JP4003184B2
Application number: JP2003117940A
Authority: JP
Inventors: 浩道水野; 浩幸田中
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 2003-04-23
Filing date: 2003-04-23
Publication date: 2007-11-07
Anticipated expiration: 2023-04-23
Also published as: JP2004323146A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント基板等に代表される基板を所定位置にて位置決めするための基板位置決め部を備えた基板搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、プリント基板上に電子部品を実装する場合、まずプリント基板上に配設された所定の電極パターン上にクリームハンダが印刷される。次に、該クリームハンダの粘性に基づいてプリント基板上に電子部品が仮止めされる。その後、前記プリント基板がリフロー炉へ導かれ、所定のリフロー工程を経ることでハンダ付けが行われる。かかる一連の工程において、クリームハンダや、リフロー後のハンダの印刷状態を検査したり、電子部品の実装状態を検査したりする必要がある。
【０００３】
ところで、このような検査や、電子部品の実装に際し、基板が所定の位置からずれた状態で検査や実装を行ったのでは、ハンダ等の位置関係が狂ってしまい、正確な検査や実装に支障を来し、ひいては品質に悪影響を与えるおそれがある。それ故、基板を適正に位置決めした上で検査等を行う必要がある。従来、このような位置決めを行うための基板搬送装置が提案されている。かかる基板搬送装置においては、基板を載置状態で所定方向へ搬送するための搬送手段や、前記基板の両側縁を上下方向から挟持するための挟持手段等が備えられている（例えば、特許文献１，２参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−１３０７２８号公報
【特許文献２】
特開２０００−７７８９５号公報
【０００５】
【発明が解決しょうとする課題】
ところで、上記搬送手段や挟持手段は、ＸＹ方向に移動可能なテーブル上に設けられている。そして、文献１に記載された技術では、搬送手段を駆動させるためのモータが、テーブル上に設けられており、文献２に記載された技術では、基板を挟持するべく上方に押し上げるためのシリンダ装置が、テーブル上に設けられている。すなわち、従来では、モータやシリンダ装置といった駆動源が、ＸＹ方向に移動可能なテーブルとともに、移動可能な構成となっている。
【０００６】
このため、テーブルにかかる荷重が大きいものとなり、当該重いテーブルを動かすための駆動装置自体に負荷がかかってしまい、駆動装置として大型のものが必要となってしまう。また、移動する駆動源に対し、電源を供給するための電気配線や、シリンダを駆動させるためのエア配管等を設置しなければならず、これらの取回しのため、配線・配管の複雑化を招くおそれがある。さらに、これら配線・配管の破損、断線等のおそれもある。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、基板を所定位置にて位置決めするための基板位置決め部を備えた基板搬送装置において、基板位置決め部における構造上の簡素化を図ることができ、配線・配管の簡素化及び破損、断線等のトラブルを抑制することのできる基板搬送装置を提供することを主たる目的の一つとしている。
【０００８】
【課題を解決するための手段及びその効果】
上記目的を達成し得る特徴的手段について以下に説明する。また、各手段につき、特徴的な作用及び効果を必要に応じて記載する。
【０００９】
手段１．基板を載置状態で所定方向へ搬送するための搬送手段と、前記基板の両側縁を上下方向から挟持するための挟持手段とを具備し、前記搬送手段にて搬送された基板の両側縁を前記挟持手段にて挟持せしめることで、前記基板を所定位置にて位置決めするための基板位置決め部を備えた基板搬送装置であって、
前記搬送手段を駆動するための搬送駆動手段と、前記挟持手段を駆動するための挟持駆動手段とを、前記基板位置決め部とは異なる固定部位に設けたことを特徴とする基板搬送装置。
【００１０】
手段１によれば、搬送手段により基板が載置状態で所定方向へ搬送される。また、挟持手段により、基板の両側縁が上下方向から挟持される。このように基板位置決め部において、搬送手段にて搬送された基板の両側縁が挟持手段にて挟持させられることで、基板が所定位置にて位置決めされる。さて、手段１では、搬送手段を駆動するための搬送駆動手段と、挟持手段を駆動するための挟持駆動手段とが、共に、基板位置決め部とは異なる固定部位に設けられている。このため、駆動手段が搬送手段等とともに移動させられていた従来技術とは異なり、基板位置決め部には搬送駆動手段及び挟持駆動手段が存在しない。従って、基板位置決め部における構造上の簡素化を図ることができ、軽量化を図ることができる。そのため、基板位置決め部が移動させられるような場合に、移動のための駆動負荷が少なくて済み、当該駆動に関する小型化を図ることができ、基板位置決め部に関し、より高速での移動を実現できる。また、基板位置決め部が移動したとしても、搬送駆動手段及び挟持駆動手段を駆動させるための電気配線・流体配管が移動することがない。そのため、配線・配管の取付回しの容易化、簡素化を図ることができるとともに、配線・配管の破損、断線等のトラブルを抑制することができる。
【００１１】
手段２．基板を載置状態で所定方向へ搬送するための搬送手段と、前記基板の両側縁を上下方向から挟持するべく対となる挟持部を有する挟持手段と、前記対となる挟持部の間隔を調整するための間隔調整手段とを具備し、前記搬送手段にて搬送された基板の両側縁を、前記間隔調整手段にて前記挟持部の間隔が予め調整された前記挟持手段にて挟持せしめることで、前記基板を所定位置にて位置決めするための基板位置決め部を備えた基板搬送装置であって、
前記搬送手段を駆動するための搬送駆動手段と、前記挟持手段を駆動するための挟持駆動手段と、前記間隔調整手段を駆動するための間隔調整駆動手段とを、前記基板位置決め部とは異なる固定部位に設けたことを特徴とする基板搬送装置。
【００１２】
手段２によれば、搬送手段により基板が載置状態で所定方向へ搬送される。また、挟持手段の対となる挟持部によって基板の両側縁が上下方向から挟持される。さらに、間隔調整手段によって、対となる挟持部の間隔が調整される。このように、搬送手段にて搬送された基板の両側縁が、間隔調整手段にて挟持部の間隔が予め調整された挟持手段にて挟持させられることで、基板位置決め部において、基板が所定位置にて位置決めされる。さて、手段２では、搬送手段を駆動するための搬送駆動手段と、挟持手段を駆動するための挟持駆動手段と、間隔調整手段を駆動するための間隔調整駆動手段とが、いずれも、基板位置決め部とは異なる固定部位に設けられている。このため、駆動手段が搬送手段等とともに移動させられていた従来技術とは異なり、基板位置決め部には搬送駆動手段、挟持駆動手段及び間隔調整駆動手段が存在しない。従って、基板位置決め部における構造上の簡素化を図ることができ、軽量化を図ることができる。そのため、基板位置決め部が移動させられるような場合に、移動のための駆動負荷が少なくて済み、当該駆動に関する小型化を図ることができ、基板位置決め部に関し、より高速での移動を実現できる。また、基板位置決め部が移動したとしても、搬送駆動手段、挟持駆動手段、間隔調整駆動手段を駆動させるための電気配線・流体配管が移動することがない。そのため、配線・配管の取付回しの容易化、簡素化を図ることができるとともに、配線・配管の破損、断線等のトラブルを抑制することができる。
【００１３】
手段３．前記搬送駆動手段及び前記間隔調整駆動手段は、共通の駆動源を有していることを特徴とする手段１又は２に記載の基板搬送装置。
【００１４】
手段３によれば、共通の駆動源にて、搬送手段及び間隔調整手段を作動させることができる。このため、個々に駆動源を用いた場合に比べて、設備のコンパクト化、コストの低減を図ることができる。
【００１５】
手段４．前記共通の駆動源は、パルスモータであることを特徴とする手段３に記載の基板搬送装置。
【００１６】
手段４によれば、共通の駆動源がパルスモータであることから、駆動量を適切に制御でき、ひいては基板の搬送位置、挟持位置を適切なものとすることができる。
【００１７】
手段５．前記搬送手段は、回転に基づき前記基板を搬送するための搬送作動軸を有し、前記間隔調整手段は、前記挟持手段を前記基板の幅方向に作動させるための間隔調整作動軸を有し、前記共通の駆動源を移動させることにより、前記搬送作動軸又は間隔調整作動軸の作動を選択的に許容するように構成したことを特徴とする手段３又は４に記載の基板搬送装置。
【００１８】
手段５によれば、搬送作動軸の回転に基づき、搬送手段では、基板が搬送される。また、間隔調整手段では、間隔調整作動軸の作動に基づき、挟持手段が基板の幅方向に作動させられる。これら各軸の作動は、共通の駆動源が移動させられることにより、選択的に許容される。このため、駆動源の共通化によるメリットをより確実なものとすることができる。
【００１９】
手段６．前記挟持駆動手段の駆動に基づき、前記共通の駆動源を移動させるよう構成したことを特徴とする手段５に記載の基板搬送装置。
【００２０】
手段６によれば、挟持駆動手段の駆動に基づき、共通の駆動源が移動させられる。このため、共通の駆動源の移動のために、別途駆動源を用いる必要がない。そのため、より一層の設備の簡素化、コストの増大抑制を図ることができる。
【００２１】
手段７．所定の指令に基づき前記共通の駆動源の駆動量を制御する制御手段を設けたことを特徴とする手段３乃至６のいずれかに記載の基板搬送装置。
【００２２】
手段７によれば、制御手段からの所定の指令に基づき共通の駆動源の駆動量が制御される。このため、品種ごとに基板の所定位置への位置決めを、より確実にかつ自動的に実現することができる。
【００２３】
手段８．前記搬送手段による基板の搬送量及び前記間隔調整手段による前記挟持手段の幅方向への作動量のうち少なくとも一方を検出するための検出手段と、前記検出手段の検出結果に基づき、前記共通の駆動源を制御する制御手段とを設けたことを特徴とする手段３乃至７のいずれかに記載の基板搬送装置。
【００２４】
手段８によれば、搬送手段による基板の搬送量及び間隔調整手段による挟持手段の幅方向への作動量のうち少なくとも一方が、検出手段により検出され、検出手段の検出結果に基づき、制御手段では、共通の駆動源が制御される。このため、そのときどきに応じた適切な制御を実行することができる。
【００２５】
手段９．前記検出手段についても、前記基板位置決め部とは異なる固定部位に設けたことを特徴とする手段８に記載の基板搬送装置。
【００２６】
手段９によれば、検出手段についても、基板位置決め部とは異なる固定部位に設けられているため、基板位置決め部におけるさらなる構造上の簡素化を図ることができる。また、検出手段のための電気配線等の取付回しの容易化、簡素化を図ることができるとともに、当該電気配線等の破損、断線等のトラブルを抑制することができる。
【００２７】
手段１０．前記基板位置決め部は、前記基板の一側部から他側部側に押当力を付与することで、前記基板の幅方向のずれ及び傾きのうち少なくとも一方を調整するための幅方向押当手段を具備し、当該幅方向押当手段を駆動するための幅方向押当駆動手段についても、前記基板位置決め部とは異なる固定部位に設けたことを特徴とする手段１乃至９のいずれかに記載の基板搬送装置。
【００２８】
手段１０によれば、基板位置決め部は、幅方向押当手段を具備し、該幅方向押当手段により、基板の一側部から他側部側に押当力が付与され、これにより、基板の幅方向のずれ及び傾きのうち少なくとも一方が調整される。手段１０では、かかる幅方向押当手段を駆動するための幅方向押当駆動手段についても、基板位置決め部とは異なる固定部位に設けられている。このため、基板位置決め部におけるさらなる簡素化、軽量化を図ることができ、上記作用効果をより確実なものとすることができる。また、基板位置決め部が移動したとしても、幅方向押当駆動手段を駆動させるための配線・配管が移動することがない。そのため、配線・配管の取付回しの容易化、簡素化を図り、配線・配管の破損、断線等のトラブルを抑制することができる。
【００２９】
手段１１．前記幅方向押当駆動手段及び前記挟持駆動手段は、共通の固有駆動源を有していることを特徴とする手段１０に記載の基板搬送装置。
【００３０】
手段１１によれば、共通の固有駆動源にて、幅方向押当駆動手段及び挟持駆動手段を作動させることができる。このため、個々に駆動源を用いた場合に比べて、設備のコンパクト化、コストの低減を図ることができる。
【００３１】
手段１２．前記共通の固有駆動源は、正逆転可能なリバーシブルモータであることを特徴とする手段１１に記載の基板搬送装置。
【００３２】
手段１２によれば、正逆転可能なリバーシブルモータにより、往復動作等をより確実に実現できる。
【００３３】
手段１３．前記リバーシブルモータを一方へ回動させることで、前記幅方向押当手段による押当力付与を許容するとともに、前記挟持手段による挟持を許容するよう構成し、前記リバーシブルモータを他方へ回動させることで、前記幅方向押当手段による押当力付与を解除するとともに、前記挟持手段による挟持を解除するよう構成したことを特徴とする手段１２に記載の基板搬送装置。
【００３４】
手段１３によれば、リバーシブルモータを正逆転させることで、基板位置決め部による押当力付与又は解除、及び、挟持手段による挟持又は解除を一度に実現できる。結果として、手段１１に記載の作用効果がより確実に奏される。
【００３５】
手段１４．前記リバーシブルモータの回動角又はそれに準ずる値を検出可能な検出手段と、前記検出手段の検出結果に基づき前記リバーシブルモータを制御可能な制御手段とを具備することを特徴とする手段１２又は１３に記載の基板搬送装置。
【００３６】
手段１４によれば、リバーシブルモータの回動角又はそれに準ずる値が検出手段により検出され、その検出手段の検出結果に基づきリバーシブルモータが制御手段によって制御される。従って、幅方向押当手段による押当力付与又は解除、及び、挟持手段による挟持又は解除をより適正に行うことができる。
【００３７】
手段１５．前記検出手段についても、前記基板位置決め部とは異なる固定部位に設けたことを特徴とする手段１４に記載の基板搬送装置。
【００３８】
手段１５によれば、手段１４の検出手段についても、基板位置決め部とは異なる固定部位に設けられているため、基板位置決め部におけるさらなる構造上の簡素化を図ることができる。また、検出手段のための電気配線等の取付回しの容易化、簡素化を図ることができるとともに、当該電気配線等の破損、断線等のトラブルを抑制することができる。
【００３９】
手段１６．前記基板位置決め部は、水平方向に移動可能な移動手段上に設けられていることを特徴とする手段１乃至１５のいずれかに記載の基板搬送装置。
【００４０】
手段１６によれば、基板位置決め部が水平方向に移動可能な移動手段上に設けられていることで、検査、部品の実装等に際し、基板位置決め部を適宜移動させることで、検査部位、実装部位を移動させることができる。かかる構成下、検査、部品の実装等に際し、基板位置決め部を比較的高速で移動させるという要請がある。この点、基板位置決め部における簡素化、軽量化等の上記作用効果が奏されることから、移動のための駆動負荷が少なくて済み、当該駆動に関する小型化を図ることができ、より高速での移動を実現できる。また、基板位置決め部が移動したとしても、各種駆動手段が固定部位側に設けられていることから、配線・配管の破損、断線等のトラブルを抑制できる。
【００４１】
手段１７．手段１乃至１６のいずれかにおいて、前記基板搬送装置は、基板上の検査対象を検査するための検査装置の一部をなすものであること。
【００４２】
手段１８．手段１乃至１７のいずれかにおいて、前記検査対象は、基板上に設けられたクリームハンダ、ハンダ、及び部品のうち少なくとも１つであること。
【００４３】
手段１９．前記基板搬送装置は、基板上に部品を実装する実装装置の一部をなすものであること。
【００４４】
手段２０．前記各駆動手段は、電動駆動手段であること。この場合、流体配管が不要になり、より一層の簡素化が図られる。
【００４５】
【発明の実施の形態】
以下、一実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００４６】
図１は本実施の形態における基板搬送装置１の主要部を示す平面図であり、図２は側面視における主要構成を示す図であり、図３は、側面視奥側の主要部の概略構成を示す図である（但し、便宜上、部材を一部省略しているものもある）。本実施の形態の基板搬送装置１は、クリームハンダの印刷されてなるプリント基板（以下、単に「基板」と称する）２の印刷状態を検査する際に用いられる検査装置に対応して設けられている。すなわち、検査装置は、周知のとおり、基板２の表面に対し所定の光（例えば、斜め上方から正弦波状の複数の位相変化する光パターン）を照射するための照明装置や、基板２上の前記照射された部分を撮像するためのＣＣＤカメラ等（いずれも図示略）を備えており、これらの下方に基板２及び基板２を支持可能な基板位置決め部１０が設けられており、該基板位置決め部１０は、基板搬送装置１の主要部分を構成する。
【００４７】
また、前記検査装置は、図示しない駆動モータにより動作するＸ軸レール及び該Ｘ軸レールに対しスライド可能なＹ軸レールを備えており、Ｙ軸レール上に基板位置決め部１０がスライド可能に設けられている。つまり、基板位置決め部１０は、基板２の検査に際し、基板２を含めて、Ｘ軸方向及びＹ軸方向へ水平に移動可能となっている。なお、Ｘ軸レール及びＹ軸レールは移動手段を構成する。
【００４８】
基板搬送装置１は、上述のように移動可能な基板位置決め部１０に加えて、該基板位置決め部１０に設けられた各装置を駆動するための駆動系を具備している。駆動系については後述することとして、まずは、基板位置決め部１０の構成について説明する。基板位置決め部１０は、前記Ｙ軸レールとともにスライド可能に支持された支持プレート１１と、支持プレート１１の両側に立設された一対の側壁１２，１３とを備えている。一方の側壁１２は、支持プレート１１上に固定されているとともに、他方の側壁１３は、支持プレート１１上を基板２の幅方向（図１の上下方向）にスライド可能に支持されている。
【００４９】
両側壁１２，１３の長手方向中央部に対応して、搬送作動軸１４が回転可能に支持されている。搬送作動軸１４の基端部（図１の上端部）には、搬送用ギヤ１５が設けられている。また、搬送作動軸１４は、前記両側壁１２，１３の直内側位置において、図示しない複数の従動プーリに掛装された一対の環状のコンベアベルト１６（図２，４等参照）に対し、所定の張力がかけられた状態で当接されている。この場合、搬送用作動軸１４に図示しない駆動プーリを設け、該駆動プーリがコンベアベルト１６に当接されていてもよい。つまり、搬送用ギヤ１５から伝達される回転力に基づき、搬送作動軸１４が回転させられると、該回転に基づき、コンベアベルト１６が回転する。この回転により、基板位置決め部１０に案内された基板２は、コンベアベルト１６上を移動し、図１の左右方向へと移送されるようになっている。本実施の形態では、前記搬送作動軸１４、コンベアベルト１６等により、搬送手段が構成されている。
【００５０】
前記両側壁１２，１３の直内側位置において、コンベアベルト１６の下側には、一対の上下チャック２１，２２が設けられている。特に、スライド可能な側壁１３側の上下チャック２２は、前記側壁１３とともに、基板２の幅方向に移動可能となっている。これら上下チャック２１，２２は、その名のとおり、上下動可能に設けられており、図４に示すように、他方の上下チャック２２は、チャック本体２３と、該チャック本体２３から外方（基板２から離間する方向）へ突出する押さえ部２４とから構成されている（これに対し、一方の上下チャック２１は、チャック本体のみから構成されている）。前記両側壁１２，１３の上端面には、内方へ突出する上片部２５（図１では図示略）が固定されている。
【００５１】
かかる構成下、上下チャック２１，２２が下方へ移動すると、チャック本体２３上面と、上片部２５下面との間に十分な隙間が形成される。これにより、両者２３，２５間に存在するコンベアベルト１６及び基板２の移動が許容されるようになっている。一方、上下チャック２１，２２が上方へ移動すると、コンベアベルト１６及び基板２が、チャック本体２３上面と、上片部２５下面との間に挟持される格好となる。これにより、コンベアベルト１６及び基板２の移動が禁止される、つまり、基板２の両側縁が上下方向から挟持（チャック）され、当該位置にて位置決めされるようになっている。
【００５２】
次に、かかる上下チャック２１，２２を上下動させるための機構について説明する。ここでは、便宜上、一方の側壁１２側の上下チャック２１の上下動機構についてのみ説明するが、他方の側壁１３側の上下チャック２２についても同様である。図２に示すように、前記側壁１２には、図の左右２箇所位置において、チャック用レバー３１，３２が支持部３３，３４において回動可能に支持されている。両チャック用レバー３１，３２は、上方に延びる伝達部３５，３６と、同図ほぼ左方に延び、先端に図示しないカムフォロアの設けられてなるチャック作用部３７，３８とを備えている。該カムフォロアには、前記上下チャック２１，２２が当接支持されており、上下チャック２１，２２がカムフォロアの凸部に乗り上げることにより、上下チャック２１，２２が上動する。また特に、図の右側のチャック用レバー３１は、下方に延びるアーム部３９を有している。
【００５３】
前記両伝達部３５，３６間には、平行リンク４１が連結されている。かかる平行リンク４１は、図示しないコイルスプリングによって、常には同図右方向への引張力を受けるようになっている。
【００５４】
前記チャック用レバー３１のアーム部３９先端には、第１リンク部材４２の一端が連結され、その他端には、第２リンク部材４３の一端が連結されている。第２リンク部材４３の他端は、後述するチャック開閉バー７４に当接可能となっている。本実施の形態では、前記上下チャック２１，２２、上片部２５、チャック用レバー３１，３２、平行リンク４１、両リンク部材４２，４３等により、挟持手段が構成されている。また、上下チャック２１，２２及び上片部２５等により、挟持部が構成されている。
【００５５】
上述したように、前記他方の側壁１３は、スライド可能に構成されており、かかるスライドにより、対となる挟持部の間隔が調整可能となっている。これは、基板２の品種変更等に応じて、挟持部の間隔を調整するという要請に対応するものである。次には、かかる間隔を調整するための構成について説明する。
【００５６】
図１に示すように、前記一方の側壁１２には、同図左右２箇所位置に貫通孔が形成され、各貫通孔には、一対の幅決めスクリュ軸５１，５２が挿通されている。両スクリュ軸５１，５２には雄ねじが形成されている。また、他方の側壁１３には、前記貫通孔に対向するようにして２つのねじ孔が形成され、各ねじ孔に前記スクリュ軸５１，５２が螺合状態でねじこまれている。一方（同図右方）のスクリュ軸５１の一端（図の上端）には、調整用ギヤ５３が設けられている。また、両スクリュ軸５１，５２の他端には、プーリ５４，５５が設けられている。両プーリ５４，５５にはベルト５６が掛装されている。かかる構成下、調整用ギヤ５３から伝達される回転力に基づき一方のスクリュ軸５１が回転させられると、それともに、他方のスクリュ軸５２も同時に回転させられる。当該回転に基づき、前記ねじ孔の形成された前記側壁１３が上下チャック２１，２２ともども基板２の幅方向（図の上下方向）に移動するようになっている。本実施の形態では、前記スクリュ軸５１，５２、側壁１３に形成されたねじ孔等により、間隔調整手段が構成されている。
【００５７】
また、本実施の形態では、前記基板２の挟持（チャック）に際し、基板２に対して他方の側壁１３側から一方の側壁側へ押当力が付与されるようになっている、かかる押当の機構について説明すると、図４（ａ），（ｂ）に示すように、側壁１３に対応して、所定間隔毎に複数の押当クランプ６１が支点６２を中心に回動可能に支持されている。押当クランプ６１には、側壁１３の長手方向に突出するピン６３が一体形成されている。なお、側壁１３及び上下チャック２２には、押当クランプ６１に対応してそれぞれ逃がし部が形成されている。
【００５８】
上下チャック２２の上部は、コイルスプリング６４の付勢力によって、常には内側、すなわち、基板２側（図では左側）への押圧力を受けるように構成されている。また、前記上下チャック２２から突出する押さえ部２４は、前記押当クランプ６１のピン６３を押さえつけることができるようになっている。つまり、前記上下チャック２２が下方位置にあるとき、押さえ部２４によって、ピン２４が下方へ押さえつけられる。かかる押さえつけにより、前記押当クランプ６１の傾動が規制される（図４（ａ）参照）。これに対し、上下チャック２２が上方へ移動すると、押さえ部２４も上動する。これにより、前記コイルスプリング６４の付勢力によって、ピン２４の上動、つまり、押当クランプ６１の傾動が許容される。そして、この押当クランプ６１の傾動により、基板２の側縁部が反対側、すなわち、前記一方の側壁１２側へと押し当てられるようになっている（図４（ｂ）参照；但し、基板２は図示略）。本実施の形態では、押当クランプ６１、コイルスプリング６４、上下チャック２２等により、幅方向押当手段が構成されている。
【００５９】
次に、上記各種部材、装置等を動作させるための駆動系について説明する。本実施の形態では、これら駆動系は、水平移動可能な基板位置決め部１０とは異なる固定部位に設けられている。
【００６０】
まず、前記挟持手段を作動させるための駆動系について説明する。所定の固定部位（図１の右下部）には、固有駆動源としてのリバーシブルモータ７１が固設されている。このリバーシブルモータ７１の出力軸７２は、前記基板２の幅方向と平行に延びている。該出力軸７２には、所定間隔を隔てて一対の第１のカム７３が設けられている。これら２つの第１のカム７３は互いに同一のプロフィールを有しており、当該第１のカム７３には、前記チャック開閉バー７４のカムフォロア７５が当接状態で支持されている。つまり、チャック開閉バー７４は、第１のカム７３の回動に伴い、図１の左右方向に移動可能となっている。そして、チャック開閉バー７４が左右方向に移動することで、上述した両リンク部材４２，４３、チャック用レバー３１，３２等が作動し、上下チャック２１，２２が上下動させられる。また、これとともに、押当クランプ６１が支点６２を中心に回動させられる。このように、本実施の形態では、上下チャック２１，２２の上下動及びそれに伴う押当クランプ６１の回動（傾動）が、共に、リバーシブルモータ７１により実現されるようになっている。つまり、幅方向押当駆動手段及び挟持駆動手段は、共通の固有駆動源（リバーシブルモータ７１）を有しているといえる。
【００６１】
次に、搬送手段及び間隔調整手段を作動させるための駆動系について説明する。本実施の形態では、基板位置決め部１０の基本ポジション（検査を実行する前におけるスタンバイ位置）において、前記搬送用ギヤ１５と、調整用ギヤ５３との間に対応して駆動源としてのパルスモータ８１が所定の固定部位に設けられている。パルスモータ８１の出力軸先端には、駆動ギヤ８２が設けられ、該駆動ギヤ８２が、前記基本ポジションにおける搬送用ギヤ１５及び調整用ギヤ５３間に位置している。
【００６２】
前記パルスモータ８１は、固定部位に設けられているとはいえ、搬送用ギヤ１５及び調整用ギヤ５３間のストローク間において移動可能となっている。この場合において、パルスモータ８１が図１，３の左側に移動し、駆動ギヤ８２が搬送用ギヤ１５に噛合すると、パルスモータ８１の回転に伴い搬送用ギヤ１５の回転が許容される。これに対し、パルスモータ８１が図１，３の右側に移動し、駆動ギヤ８２が調整用ギヤ５３に噛合すると、パルスモータ８１の回転に伴い調整用ギヤ５３の回転が許容される。本実施の形態におけるパルスモータ８１は、少なくとも搬送用ギヤ１５との噛合位置、調整用ギヤ５３との噛合位置、及び、いずれにも噛合しない中立位置の３つのポジションをとることができるようになっている。
【００６３】
かかる位置切換の機構についてより詳細に説明すると、パルスモータ８１は、スライダ８３に取付けられ、スライダ８３は固設された図示しないベース部に対し、図３の矢印方向にスライド可能に支持されている。前記スライダ８３には、アーム８５が連結されている。
【００６４】
一方、前記リバーシブルモータ７１の出力軸７２の先端には、ポジション切換ギヤ８６が設けられている。ポジション切換ギヤ８６に近接するようにして第１ブラケット８７及び第２ブラケット８８が立設されている。第１ブラケット８７には支軸が回動可能に挿通されており、該支軸の一端側には、従動ギヤ８９が前記ポジション切換ギヤ８６に噛合された状態で設けられている。また、支軸の他端側には、第２のカム９１が設けられている。
【００６５】
さらに、前記第２ブラケット８８には、Ｌ字状の切換レバー９２が回動可能に軸支されている。切換レバー９２の一端側には、カムフォロア９３（図３参照）が設けられ、該カムフォロア９３が前記第２のカム９１に当接している。また、切換レバー９２の他端側には、前記アーム８５の先端が連結されている。切換レバー９２の他端（図の上端）と、前記ベース部８４（スライダ８３でもよい）との間には、図示しないコイルスプリング等の引張部材が連結されている。
【００６６】
かかる構成下、切換レバー９２の他端部（図の上部）は、常には反時計方向への引張力を受けつつ、下部のカムフォロア９３が第２のカム９１に押し当てられている。そして、第２のカム９１が所定の中立状態から反時計方向に回動すると、カムフォロア９３がカムノーズに乗り上げ、前記引張力に抗して切換レバー９２が時計方向へと回動させられる。すると、スライダ８３及びパルスモータ８１が図の右方へと移動し、駆動ギヤ８２は調整用ギヤ５３に噛合する。逆に、第２のカム９１が中立状態から時計方向に回動すると、前記引張力によってカムフォロア９３が上動し、切換レバー９２が反時計方向へと回動させられる。すると、スライダ８３及びパルスモータ８１が図の左方へと移動し、駆動ギヤ８２は搬送用ギヤ１５に噛合される。
【００６７】
このように、本実施の形態では、搬送用ギヤ１５（搬送作動軸１４）の回転及び調整用ギヤ５３（スクリュ軸５１，５２）の回転が、共に、パルスモータ８１により選択的に実現されるようになっている。つまり、搬送駆動手段及び間隔調整駆動手段は、共通の駆動源（パルスモータ８１）を有しているといえる。さらに、上記選択的な切換は、当該パルスモータ８１を所定のストロークだけ移動させることにより許容されるようになっている。しかも、パルスモータ８１の移動は、第２のカム９１の回動、つまり、上述した幅方向押当駆動手段及び挟持駆動手段の共通の固有駆動源たるリバーシブルモータ７１の正・反転により実現されるようになっている。
【００６８】
なお、本実施の形態では、前記出力軸７２や、スライダ８３、チャック開閉バー７４等をはじめとする各種動作対象には、適宜ドグ９４，９５，９６や図示しないセンサ等、動作対象の位置等を検出するための各種検出手段が設けられている。本実施の形態では、これら検出手段についても、前記駆動系と同様、基板位置決め部１０とは異なる固定部位側に設けられている。また、本実施の形態では、上記リバーシブルモータ７１及びパルスモータ８１を制御するための図示しない制御手段が設けられている。制御手段は、オペレータにより入力された所定の指令や、或いは、予め設定された指令プログラムに基づき、及び、上記各検出手段による検出信号に基づき、前記リバーシブルモータ７１及びパルスモータ８１を適宜制御する。
【００６９】
次に、上記のように構成されてなる本実施の形態の基板搬送装置１の動作等について説明する。
【００７０】
まず、制御手段により、基板２の品種に応じた幅決め動作が行われる。この場合には、基板２の幅に応じて、側壁１３及び上下チャック２２が基板２の幅方向に適宜移動制御される。より詳しくは、リバーシブルモータ７１が所定方向へ回動させられる。すると、第２のカム９１が中立状態から反時計方向に回動させられ、カムフォロア９３がカムノーズに乗り上げ、切換レバー９２が時計方向へと回動させられる。これにより、スライダ８３及びパルスモータ８１が図１の右方へと移動させられ、駆動ギヤ８２は調整用ギヤ５３に噛合する。つまり、駆動ギヤ８２の回転力が調整用ギヤ５３に伝達可能な状態となる。そして、この状態で、パルスモータ８１が所定量だけ回転駆動させられることで、この回転力が調整用ギヤ５３、ひいては両スクリュ軸５１，５２へと伝達され、両スクリュ軸５１，５２が回転する。この回転に伴い、スクリュ軸５１，５２の雄ねじに螺合されている側壁１３が、一方の側壁１２と平行状態を維持しつつ基板２の幅方向に移動させられる。これにより、側壁１２，１３及び上下チャック２１，２２等に関し、基板２の品種に応じた幅決めがなされる。
【００７１】
上記幅決めが完了した後、リバーシブルモータ７１が先ほどとは逆方向に回動させられ、一旦、駆動ギヤ８２がいずれもギヤにも噛合しない位置、つまりパルスモータ８１の中立位置へと復帰させられる。
【００７２】
その後、さらにリバーシブルモータ７１が回動させられ、第２のカム９１が中立状態から時計方向に回動すると、カムフォロア９３が上動し、切換レバー９２が反時計方向へと回動させられる。これにより、スライダ８３及びパルスモータ８１が図１の左方へと移動させられ、駆動ギヤ８２は搬送用ギヤ１５に噛合する。つまり、今度は駆動ギヤ８２の回転力が搬送用ギヤ１５に伝達可能な状態となる。そして、この状態で、パルスモータ８１が所定量だけ回転駆動させられることで、この回転力が搬送用ギヤ１５、ひいては搬送作動軸１４へと伝達され、該搬送作動軸１４及びコンベアベルト１６が回転する。この回転に伴い、図１の左側に位置していた基板２が、図の右方へと案内され、所定位置にまで移送される。
【００７３】
このとき、リバーシブルモータ７１の回動に伴い、第１のカム７３が回動させられ、チャック開閉バー７４が図１の左方に移動させられ、両リンク部材４２，４３、チャック用レバー３１，３２等が作動し、上下チャック２１，２２が下動させられている。このため、この時点では、チャック本体２３上面と、上片部２５下面との間に十分な隙間が形成されている。従って、両者２３，２５間に存在するコンベアベルト１６の回転及び基板２の移動が阻害されることがなく、円滑に、基板２の搬送が実行されることとなる。なお、かかる搬送に際しては、搬送方向への微調整を行うこととしても差し支えない。
【００７４】
次に、上記搬送が完了した後、リバーシブルモータ７１がそれまでとは逆方向に回動させられ、一旦、再度駆動ギヤ８２がいずれもギヤにも噛合しない位置、つまりパルスモータ８１の中立位置へと復帰させられる。
【００７５】
この時点で、基板２は所定位置まで搬送されているので、今度は、該基板２の両側縁をチャックする動作が行われる。この場合、前記リバーシブルモータ７１及び第１のカム７３を回動させることで、チャック開閉バー７４を図２の右方へ移動させる。これにより、両リンク部材４２，４３、チャック用レバー３１，３２等が作動し、上下チャック２１，２２が上動させられる。また、これとともに、図４（ｂ）に示すように、押当クランプ６１が支点６２を中心に回動（傾動）させられる。そして、この押当クランプ６１の傾動により、基板２の側縁部が反対側、すなわち、前記一方の側壁１２側へと押し当てられる。そして、上下チャック２１，２２が上動させられることで、基板２は、上下チャック２１，２２及び上片部２５間に挟持（チャック）される。
【００７６】
換言すれば、上記リバーシブルモータ７１の回動に伴い、上下チャック２１，２２等による基板２両側縁の挟持、及び、押当クランプ６１による基板２の幅方向への押当が行われる。このように、一連の動作を経ることで、基板２は、基板位置決め部１０において、所定位置に搬送、位置決めされる。そして、かかる挟持状態において、基板位置決め部１０自体が水平方向へ適宜移動させられ、前述した検査に供される。
【００７７】
以上詳述したように、本実施の形態によれば、搬送手段及び挟持手段を駆動するためのパルスモータ８１と、間隔調整手段及び幅方向押当手段を駆動するためのリバーシブルモータ７１とが、いずれも、基板位置決め部１０とは異なる固定部位に設けられている。このため、駆動手段が搬送手段等とともに移動させられていた従来技術とは異なり、基板位置決め部１０には両モータ７１，８１が存在しない。従って、基板位置決め部１０における構造上の著しい簡素化を図ることができ、また、軽量化を図ることができる。そのため、基板位置決め部１０が検査等のために移動させられる場合に、移動のための駆動負荷（Ｘ軸レール及びＹ軸レールを作動させるためのモータ等の容量）が少なくて済み、当該モータ等に関する小型化を図ることができる。また、生産効率上、検査等に際しては、基板位置決め部１０を比較的高速で移動させるという要請がある。この点、本実施の形態では、基板位置決め部１０に関し、より高速での移動を実現できる。
【００７８】
また、基板位置決め部１０が移動したとしても、両モータ７１，８１を駆動させるための電気配線等が移動することがない。そのため、配線等の取付回しの容易化、簡素化を図ることができるとともに、配線等の破損、断線等のトラブルを抑制することができる。さらに、本実施の形態では、各種センサ等の検出手段に関しても、固定部位に設けることとしているため、上記作用効果をより一層顕著なものとすることができる。
【００７９】
さらに、本実施の形態では、１つのパルスモータ８１を所定のストローク間移動させることによって、搬送手段及び間隔調整手段の作動を選択的に切換えることとしている。このため、個々に駆動源を用いた場合に比べて、設備のコンパクト化、コストの低減を図ることができる。また、パルスモータ８１の移動を、挟持手段及び幅方向押当手段用のリバーシブルモータ７１を駆動させることに基づいて実現させている。このため、パルスモータ８１を移動させるために、別途駆動源を用いる必要がない。そのため、より一層の設備の簡素化、コストの増大抑制を図ることができる。
【００８０】
併せて、１つのリバーシブルモータ７１の駆動に基づき、幅方向押当手段及び挟持手段を動作可能としているため、個々に駆動源を用いた場合に比べて、設備のコンパクト化、コストの低減を図ることができる。
【００８１】
尚、上述した実施の形態の記載内容に限定されることなく、例えば次のように実施してもよい。
【００８２】
（ａ）上記実施の形態では、幅方向押当手段を設けることとしているが、当該手段を省略することとしてもよい。但し、この場合には、検査等に際し、基板２の傾き、ずれ等を把握しておくことが望ましい。
【００８３】
（ｂ）上記実施の形態では、搬送手段及び挟持手段を共通のパルスモータ８１で駆動させることとしているが、それぞれ別のモータで駆動させることとしてもよい。
【００８４】
（ｃ）上記実施の形態では、間隔調整手段を設けることとしているが、基板２の幅が一義的な場合、或いは、手動にて間隔を調整できるような場合には、当該手段を省略することとしてもよい。
【００８５】
（ｄ）上記パルスモータ８１やリバーシブルモータ７１に換えて、別のアクチュエータ（例えばステップモータ等）を採用してもよい。
【００８６】
（ｅ）上記実施の形態では、基板２上のクリームハンダの検査を行うための検査装置に基板搬送装置１が設けられた場合について具体化しているが、他の装置に上記のような基板搬送装置１を設けることとしてもよい。他の装置としては、リフロー後のハンダの検査を行うための検査装置や、電子部品とを実装するための実装装置等が挙げられる。
【００８７】
（ｆ）上記実施の形態では特に言及していないが、基板２の位置決め後、基板位置決め部１０を移動させるに際しては、搬送用ギヤ１５や調整用ギヤ５３が前記パルスモータ８１（駆動ギヤ８２）に干渉しないように移動させることが望ましい。
【００８８】
（ｇ）上記実施の形態では、基板２のチャックに際し、基板２の両側部全てをチャックする構成としているが、基板２の両側縁を部分的にチャックする構成としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】一実施の形態における基板搬送装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】一方の側壁側の挟持機構の一部を示す側面模式図である。
【図３】パルスモータの移動機構の概略構成を説明する模式的な側面図である。
【図４】（ａ）は上下チャックの下動状態における押当クランプの位置関係を示す図であり、（ｂ）は上下チャックの上動状態における押当クランプの位置関係を示す図である。
【符号の説明】
１…基板搬送装置、２…（プリント）基板、１０…基板位置決め部、１１…支持プレート、１２，１３…側壁、１４…搬送作動軸、１５…搬送用ギヤ、１６…コンベアベルト、２１，２２…上下チャック、２３…チャック本体、２４…押さえ部、２５…上片部、３１，３２…チャック用レバー、４１…平行リンク、５１，５２…スクリュ軸、５３…調整用ギヤ、５６…ベルト、６１…押当クランプ、７１…リバーシブルモータ、７２…出力軸、７３…第１のカム、７４…チャック開閉バー、８１…パルスモータ、８２…駆動ギヤ、８６…ポジション切換ギヤ、９１…第２のカム、９２…切換レバー、９４〜９６…ドグ。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a substrate transport apparatus including a substrate positioning unit for positioning a substrate typified by a printed circuit board or the like at a predetermined position.
[0002]
[Prior art]
In general, when an electronic component is mounted on a printed board, first, cream solder is printed on a predetermined electrode pattern provided on the printed board. Next, the electronic component is temporarily fixed on the printed circuit board based on the viscosity of the cream solder. Thereafter, the printed circuit board is guided to a reflow furnace, and soldering is performed through a predetermined reflow process. In such a series of steps, it is necessary to inspect the printed state of cream solder and solder after reflow, and inspect the mounting state of electronic components.
[0003]
By the way, when mounting such an inspection or mounting an electronic component, if the inspection or mounting is performed in a state in which the substrate is displaced from a predetermined position, the positional relationship of solder or the like is distorted, which hinders accurate inspection or mounting. May eventually adversely affect quality. Therefore, it is necessary to perform an inspection or the like after properly positioning the substrate. Conventionally, a substrate transfer apparatus for performing such positioning has been proposed. In such a substrate transport apparatus, a transport unit for transporting the substrate in a predetermined direction in a mounted state, a sandwiching unit for sandwiching both side edges of the substrate from the vertical direction, and the like are provided (for example, Patent Documents). 1 and 2).
[0004]
[Patent Document 1]
JP 2001-130728 A
[Patent Document 2]
JP 2000-77895 A
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, the conveying means and the clamping means are provided on a table movable in the XY directions. In the technique described in Document 1, a motor for driving the conveying unit is provided on the table. In the technique described in Document 2, a cylinder device for pushing up the substrate so as to sandwich the substrate. Is provided on the table. That is, conventionally, a drive source such as a motor or a cylinder device is movable together with a table movable in the XY directions.
[0006]
For this reason, the load applied to the table becomes large, the load is applied to the drive device itself for moving the heavy table, and a large drive device is required. In addition, electrical wiring for supplying power to the moving drive source and air piping for driving the cylinder must be installed, and the wiring and piping are complicated due to these operations. May be incurred. Furthermore, there is a risk of breakage or disconnection of these wires and pipes.
[0007]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and in a substrate transfer apparatus having a substrate positioning unit for positioning a substrate at a predetermined position, it is possible to simplify the structure of the substrate positioning unit. One of the main objectives of the present invention is to provide a substrate transfer device that can prevent troubles such as simplification, breakage, and disconnection of wiring and piping.
[0008]
[Means for solving the problems and effects thereof]
Characteristic means capable of achieving the above object will be described below. For each means, characteristic actions and effects are described as necessary.
[0009]
Means 1. A transport unit for transporting the substrate in a predetermined direction in a mounted state; and a sandwiching unit for sandwiching both side edges of the substrate from above and below, and the both side edges of the substrate transported by the transport unit are A substrate transport apparatus comprising a substrate positioning unit for positioning the substrate at a predetermined position by being clamped by the clamping means,
A substrate transport apparatus, comprising: a transport drive unit for driving the transport unit; and a sandwich drive unit for driving the sandwich unit at a fixed part different from the substrate positioning unit.
[0010]
According to the means 1, the substrate is transported in a predetermined direction by the transport means in a mounted state. Further, both side edges of the substrate are clamped from above and below by the clamping means. As described above, in the substrate positioning unit, the both side edges of the substrate transported by the transport unit are sandwiched by the sandwiching unit, so that the substrate is positioned at a predetermined position. Now, in the means 1, the conveyance driving means for driving the conveyance means and the clamping driving means for driving the clamping means are both provided at a fixed part different from the substrate positioning portion. For this reason, unlike the prior art in which the driving unit is moved together with the conveying unit or the like, the substrate positioning unit does not include the conveying driving unit and the nipping driving unit. Accordingly, it is possible to simplify the structure of the substrate positioning portion and to reduce the weight. For this reason, when the substrate positioning unit is moved, the driving load for the movement can be reduced, the drive can be downsized, and the substrate positioning unit can be moved at a higher speed. Further, even if the substrate positioning portion moves, the electrical wiring / fluid piping for driving the transport driving means and the clamping driving means does not move. Therefore, it is possible to facilitate and simplify the wiring and piping installation, and it is possible to suppress troubles such as breakage and disconnection of the wiring and piping.
[0011]
Mean 2. Adjusts the distance between the conveying means for conveying the substrate in a predetermined direction in a mounted state, the clamping means having a pair of clamping parts to clamp both side edges of the substrate from above and below, and the pair of clamping parts An interval adjusting means for holding the substrate, and holding both side edges of the substrate conveyed by the conveying means with the holding means whose interval between the holding portions is adjusted in advance by the interval adjusting means. A substrate transfer device including a substrate positioning unit for positioning the substrate at a predetermined position,
A conveyance driving unit for driving the conveyance unit, a clamping driving unit for driving the clamping unit, and a gap adjustment driving unit for driving the gap adjusting unit are fixed differently from the substrate positioning unit. A substrate transfer device provided at a site.
[0012]
According to the means 2, the substrate is transported in a predetermined direction by the transport means in the mounted state. Further, both side edges of the substrate are sandwiched from above and below by a sandwiching portion that is a pair of sandwiching means. Further, the distance between the pair of sandwiching portions is adjusted by the distance adjusting means. In this way, the both side edges of the substrate conveyed by the conveying means are held by the holding means whose interval between the holding portions is adjusted in advance by the interval adjusting means, so that the substrate is positioned at a predetermined position in the substrate positioning portion. Positioned with Now, in the means 2, the conveyance driving means for driving the conveyance means, the nipping drive means for driving the nipping means, and the interval adjustment driving means for driving the interval adjusting means are all substrate positioning. It is provided in a fixed part different from the part. For this reason, unlike the prior art in which the driving unit is moved together with the conveying unit and the like, the substrate positioning unit does not include the conveying driving unit, the nipping driving unit, and the interval adjusting driving unit. Accordingly, it is possible to simplify the structure of the substrate positioning portion and to reduce the weight. For this reason, when the substrate positioning unit is moved, the driving load for the movement can be reduced, the drive can be downsized, and the substrate positioning unit can be moved at a higher speed. Further, even if the substrate positioning unit moves, the electrical wiring / fluid piping for driving the transport driving means, the clamping driving means, and the interval adjusting driving means does not move. Therefore, it is possible to facilitate and simplify the wiring and piping installation, and it is possible to suppress troubles such as breakage and disconnection of the wiring and piping.
[0013]
Means 3. 3. The substrate transfer apparatus according to means 1 or 2, wherein the transfer drive unit and the interval adjustment drive unit have a common drive source.
[0014]
According to the means 3, the conveying means and the interval adjusting means can be operated by a common drive source. For this reason, compared with the case where an individual drive source is used, the facility can be made compact and the cost can be reduced.
[0015]
Means 4. 4. The substrate transfer apparatus according to claim 3, wherein the common drive source is a pulse motor.
[0016]
According to the means 4, since the common drive source is a pulse motor, it is possible to appropriately control the drive amount, and accordingly, it is possible to make the substrate transport position and the clamping position appropriate.
[0017]
Means 5. The transport means has a transport operation shaft for transporting the substrate based on rotation, and the interval adjustment means has a distance adjustment operation shaft for operating the clamping means in the width direction of the substrate, 5. The substrate transfer apparatus according to claim 3, wherein the common drive source is moved so as to selectively permit the operation of the transfer operation shaft or the interval adjustment operation shaft.
[0018]
According to the means 5, the substrate is transferred by the transfer means based on the rotation of the transfer operation shaft. Further, in the interval adjusting unit, the clamping unit is operated in the width direction of the substrate based on the operation of the interval adjusting operation shaft. The operation of each of these axes is selectively permitted by moving a common drive source. For this reason, the merit by sharing a drive source can be made more reliable.
[0019]
Means 6. 6. The substrate transfer apparatus according to claim 5, wherein the common drive source is moved based on the driving of the clamping drive means.
[0020]
According to the means 6, the common drive source is moved based on the drive of the clamping drive means. For this reason, it is not necessary to use a separate drive source for moving the common drive source. Therefore, it is possible to further simplify the equipment and suppress cost increase.
[0021]
Mean 7 7. The substrate transfer apparatus according to any one of means 3 to 6, further comprising a control means for controlling a drive amount of the common drive source based on a predetermined command.
[0022]
According to the means 7, the drive amount of the common drive source is controlled based on a predetermined command from the control means. For this reason, it is possible to more reliably and automatically realize the positioning of the substrate at a predetermined position for each product type.
[0023]
Means 8. Based on the detection result of the detection means for detecting at least one of the conveyance amount of the substrate by the conveyance means and the operation amount in the width direction of the clamping means by the interval adjusting means, and the common drive 8. A substrate transfer apparatus according to any one of means 3 to 7, further comprising a control means for controlling the source.
[0024]
According to the means 8, at least one of the transport amount of the substrate by the transport means and the operation amount in the width direction of the clamping means by the interval adjusting means is detected by the detection means, and the control means is based on the detection result of the detection means. The common drive source is controlled. For this reason, appropriate control according to the occasion can be executed.
[0025]
Means 9. 9. The substrate transfer apparatus according to claim 8, wherein the detection means is also provided at a fixed portion different from the substrate positioning portion.
[0026]
According to the means 9, since the detection means is also provided at a fixed portion different from the substrate positioning portion, further structural simplification of the substrate positioning portion can be achieved. In addition, it is possible to facilitate and simplify the attachment and detachment of the electric wiring or the like for the detection means, and it is possible to suppress troubles such as breakage or disconnection of the electric wiring or the like.
[0027]
Means 10. The substrate positioning unit applies a pressing force from one side of the substrate to the other side, thereby adjusting at least one of the displacement and the inclination in the width direction of the substrate. The width direction pushing drive means for driving the width direction pushing means is also provided at a fixed part different from the substrate positioning part. Substrate transfer device.
[0028]
According to the means 10, the substrate positioning portion includes the width direction pressing means, and a pressing force is applied from one side portion of the substrate to the other side portion by the width direction pressing device, whereby the substrate At least one of the shift and the inclination in the width direction is adjusted. In the means 10, the width direction pushing drive means for driving the width direction pushing means is also provided at a fixed portion different from the substrate positioning portion. For this reason, further simplification and weight reduction in a board | substrate positioning part can be achieved, and the said effect can be made more reliable. Further, even if the substrate positioning portion moves, the wiring and piping for driving the width direction pushing drive means do not move. Therefore, it is possible to facilitate and simplify the wiring and piping installation, and it is possible to suppress troubles such as breakage and disconnection of the wiring and piping.
[0029]
Means 11. 11. The substrate transfer apparatus according to claim 10, wherein the width direction pushing drive means and the nipping drive means have a common inherent drive source.
[0030]
According to the means 11, the width direction pushing drive means and the clamping drive means can be operated by a common inherent drive source. For this reason, compared with the case where an individual drive source is used, the facility can be made compact and the cost can be reduced.
[0031]
Means 12. 12. The substrate transfer apparatus according to claim 11, wherein the common inherent drive source is a reversible motor capable of forward and reverse rotation.
[0032]
According to the means 12, a reciprocating operation or the like can be more reliably realized by a reversible motor capable of forward and reverse rotation.
[0033]
Means 13. By rotating the reversible motor to one side, it is configured to allow a pressing force to be applied by the width direction pressing unit, and to allow the clamping by the clamping unit, and to rotate the reversible motor to the other side. The substrate transfer apparatus according to claim 12, wherein the substrate conveying apparatus is configured to cancel the application of the pressing force by the width direction pressing unit and to release the clamping by the clamping unit.
[0034]
According to the means 13, by applying the reversible motor in the forward and reverse directions, it is possible to realize the pressing force application or release by the substrate positioning portion and the clamping or release by the clamping means at a time. As a result, the effects described in the means 11 are more reliably achieved.
[0035]
Means 14. Means 12 or 13 comprising detection means capable of detecting a rotation angle of the reversible motor or a value corresponding thereto, and control means capable of controlling the reversible motor based on a detection result of the detection means. The board | substrate conveyance apparatus of description.
[0036]
According to the means 14, the rotation angle of the reversible motor or a value corresponding thereto is detected by the detection means, and the reversible motor is controlled by the control means based on the detection result of the detection means. Therefore, it is possible to more appropriately perform the pressing force application or release by the width direction pressing means and the clamping or releasing by the clamping means.
[0037]
Means 15. The substrate transport apparatus according to claim 14, wherein the detection unit is also provided at a fixed portion different from the substrate positioning unit.
[0038]
According to the means 15, since the detection means of the means 14 is also provided at a fixed part different from the substrate positioning part, further structural simplification of the substrate positioning part can be achieved. In addition, it is possible to facilitate and simplify the attachment and detachment of the electric wiring or the like for the detection means, and it is possible to suppress troubles such as breakage or disconnection of the electric wiring or the like.
[0039]
Means 16. 16. The substrate transfer apparatus according to any one of means 1 to 15, wherein the substrate positioning part is provided on a moving means that is movable in a horizontal direction.
[0040]
According to the means 16, since the board positioning part is provided on the moving means that can move in the horizontal direction, the board positioning part is appropriately moved during inspection, component mounting, etc. Can be moved. Under such a configuration, there is a demand for moving the substrate positioning portion at a relatively high speed during inspection, component mounting, and the like. In this respect, since the above-described effects such as simplification and weight reduction in the substrate positioning portion can be achieved, the driving load for movement can be reduced, miniaturization related to the driving can be achieved, and higher speed can be achieved. Move can be realized. Even if the substrate positioning part moves, troubles such as breakage of wiring / piping and disconnection can be suppressed because various driving means are provided on the fixed part side.
[0041]
Means 17. In any one of the means 1 to 16, the substrate transport device is a part of an inspection device for inspecting an inspection object on the substrate.
[0042]
Means 18. In any one of the means 1 to 17, the inspection object is at least one of cream solder, solder, and parts provided on the substrate.
[0043]
Means 19. The substrate transfer device is a part of a mounting device for mounting components on a substrate.
[0044]
Means 20. Each driving means is an electric driving means. In this case, fluid piping is not necessary, and further simplification is achieved.
[0045]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment will be described with reference to the drawings.
[0046]
FIG. 1 is a plan view showing a main part of a substrate transfer apparatus 1 according to the present embodiment, FIG. 2 is a view showing a main part in a side view, and FIG. (However, some members are omitted for the sake of convenience). The substrate transport apparatus 1 according to the present embodiment is provided corresponding to an inspection apparatus used when inspecting the printed state of a printed board (hereinafter simply referred to as “substrate”) 2 on which cream solder is printed. Yes. That is, as is well known, the inspection apparatus is a lighting device for irradiating the surface of the substrate 2 with predetermined light (for example, a plurality of sine-wave-shaped light patterns that change in phase from above obliquely), and the above-mentioned on the substrate 2. A CCD camera or the like (not shown) for imaging the irradiated portion is provided, and a substrate positioning unit 10 capable of supporting the substrate 2 and the substrate 2 is provided below these, and the substrate positioning unit 10 constitutes a main part of the substrate transfer apparatus 1.
[0047]
The inspection apparatus includes an X-axis rail that is operated by a drive motor (not shown) and a Y-axis rail that is slidable with respect to the X-axis rail. A substrate positioning unit 10 is slidably provided on the Y-axis rail. ing. That is, the substrate positioning unit 10 can move horizontally in the X-axis direction and the Y-axis direction including the substrate 2 when the substrate 2 is inspected. Note that the X-axis rail and the Y-axis rail constitute moving means.
[0048]
In addition to the movable substrate positioning unit 10 as described above, the substrate transport apparatus 1 includes a drive system for driving each device provided in the substrate positioning unit 10. The drive system will be described later. First, the configuration of the substrate positioning unit 10 will be described. The substrate positioning unit 10 includes a support plate 11 slidably supported together with the Y-axis rail, and a pair of side walls 12 and 13 erected on both sides of the support plate 11. One side wall 12 is fixed on the support plate 11, and the other side wall 13 is supported on the support plate 11 so as to be slidable in the width direction of the substrate 2 (vertical direction in FIG. 1).
[0049]
Corresponding to the longitudinal center of both side walls 12 and 13, the transport operation shaft 14 is rotatably supported. A transport gear 15 is provided at the base end portion (upper end portion in FIG. 1) of the transport operation shaft 14. Further, the conveying operation shaft 14 is in a predetermined position with respect to a pair of annular conveyor belts 16 (see FIGS. 2, 4 and the like) hung on a plurality of driven pulleys (not shown) at positions just inside the side walls 12 and 13. The contact is made in a state where the tension is applied. In this case, a drive pulley (not shown) may be provided on the transport operating shaft 14 and the drive pulley may be in contact with the conveyor belt 16. That is, when the transport operation shaft 14 is rotated based on the rotational force transmitted from the transport gear 15, the conveyor belt 16 rotates based on the rotation. By this rotation, the substrate 2 guided by the substrate positioning unit 10 moves on the conveyor belt 16 and is transferred in the left-right direction in FIG. In the present embodiment, the conveying means is constituted by the conveying operation shaft 14, the conveyor belt 16, and the like.
[0050]
A pair of upper and lower chucks 21 and 22 are provided on the lower side of the conveyor belt 16 at a position immediately inside the side walls 12 and 13. In particular, the upper and lower chucks 22 on the side wall 13 slidable with the side wall 13 are movable in the width direction of the substrate 2. These upper and lower chucks 21 and 22 are, as the name suggests, provided so as to be movable up and down. As shown in FIG. 4, the other upper and lower chucks 22 are connected to the chuck body 23 and the chuck body 23 outward (substrate). 2, and the upper and lower chucks 21 are composed only of the chuck main body. An upper piece 25 (not shown in FIG. 1) protruding inward is fixed to the upper end surfaces of the side walls 12 and 13.
[0051]
With this configuration, when the upper and lower chucks 21 and 22 move downward, a sufficient gap is formed between the upper surface of the chuck body 23 and the lower surface of the upper piece portion 25. Thereby, the movement of the conveyor belt 16 and the board | substrate 2 which exist between both 23 and 25 is permitted. On the other hand, when the upper and lower chucks 21 and 22 are moved upward, the conveyor belt 16 and the substrate 2 are held between the upper surface of the chuck body 23 and the lower surface of the upper piece portion 25. Thereby, the movement of the conveyor belt 16 and the substrate 2 is prohibited, that is, both side edges of the substrate 2 are sandwiched (chucked) in the vertical direction and positioned at the position.
[0052]
Next, a mechanism for moving the vertical chucks 21 and 22 up and down will be described. Here, for the sake of convenience, only the vertical movement mechanism of the vertical chuck 21 on the side wall 12 side will be described, but the same applies to the vertical chuck 22 on the side wall 13 side. As shown in FIG. 2, chuck levers 31 and 32 are rotatably supported by support portions 33 and 34 on the side wall 12 at two left and right positions in the figure. Both chuck levers 31 and 32 are provided with transmission portions 35 and 36 extending upward, and chuck action portions 37 and 38 extending to the left in the figure and having a cam follower (not shown) at the tip. The upper and lower chucks 21 and 22 are in contact with and supported by the cam follower, and the upper and lower chucks 21 and 22 move upward when the upper and lower chucks 21 and 22 ride on the convex portions of the cam follower. In particular, the chuck lever 31 on the right side of the drawing has an arm portion 39 extending downward.
[0053]
A parallel link 41 is connected between the transmission parts 35 and 36. The parallel link 41 is always subjected to a rightward tensile force by a coil spring (not shown).
[0054]
One end of the first link member 42 is connected to the tip of the arm portion 39 of the chuck lever 31, and one end of the second link member 43 is connected to the other end. The other end of the second link member 43 can abut on a chuck opening / closing bar 74 described later. In the present embodiment, the upper and lower chucks 21 and 22, the upper piece 25, chuck levers 31 and 32, parallel links 41, both link members 42 and 43, etc. constitute clamping means. Further, the upper and lower chucks 21 and 22 and the upper piece portion 25 constitute a clamping portion.
[0055]
As described above, the other side wall 13 is configured to be slidable, and the distance between the pair of sandwiching portions can be adjusted by the sliding. This corresponds to the request to adjust the interval between the holding portions in accordance with the change in the type of the substrate 2 or the like. Next, a configuration for adjusting the interval will be described.
[0056]
As shown in FIG. 1, the one side wall 12 is formed with through holes at two positions on the left and right in the figure, and a pair of width determining screw shafts 51 and 52 are inserted into each through hole. Both screw shafts 51 and 52 are formed with male screws. In addition, two screw holes are formed in the other side wall 13 so as to face the through hole, and the screw shafts 51 and 52 are screwed into the screw holes in a screwed state. An adjustment gear 53 is provided at one end (upper end in the figure) of one (right side in the figure) of the screw shaft 51. In addition, pulleys 54 and 55 are provided at the other ends of the screw shafts 51 and 52. A belt 56 is hung on the pulleys 54 and 55. Under this configuration, when one screw shaft 51 is rotated based on the rotational force transmitted from the adjustment gear 53, the other screw shaft 52 is also rotated at the same time. Based on the rotation, the side wall 13 in which the screw hole is formed moves in the width direction of the substrate 2 (up and down direction in the drawing) together with the upper and lower chucks 21 and 22. In the present embodiment, the screw shafts 51 and 52, screw holes formed in the side wall 13 and the like constitute a gap adjusting means.
[0057]
In this embodiment, when the substrate 2 is clamped, a pressing force is applied to the substrate 2 from the other side wall 13 side to the one side wall side. 4 (a) and 4 (b), a plurality of pressing clamps 61 are supported so as to be rotatable around a fulcrum 62 at a predetermined interval corresponding to the side wall 13 as shown in FIGS. Yes. A pin 63 protruding in the longitudinal direction of the side wall 13 is integrally formed with the pressing clamp 61. The side wall 13 and the upper and lower chucks 22 are respectively provided with relief portions corresponding to the pressing clamps 61.
[0058]
The upper part of the upper and lower chucks 22 is configured to always receive a pressing force toward the inside, that is, the substrate 2 side (left side in the figure) by the urging force of the coil spring 64. The pressing portion 24 protruding from the upper and lower chucks 22 can press the pin 63 of the pressing clamp 61. That is, when the upper and lower chucks 22 are in the lower position, the pin 24 is pressed downward by the pressing portion 24. By such pressing, the tilting of the pressing clamp 61 is restricted (see FIG. 4A). On the other hand, when the upper and lower chucks 22 move upward, the presser 24 also moves upward. Thereby, the upward movement of the pin 24, that is, the tilting of the pressing clamp 61 is allowed by the urging force of the coil spring 64. Then, by the tilting of the pressing clamp 61, the side edge portion of the substrate 2 is pressed against the opposite side, that is, the one side wall 12 side (see FIG. 4B; however, the substrate) 2 is not shown). In this embodiment, the pressing clamp 61, the coil spring 64, the upper and lower chucks 22 and the like constitute a width direction pressing means.
[0059]
Next, a drive system for operating the various members and devices will be described. In the present embodiment, these drive systems are provided at a fixed portion different from the horizontally movable substrate positioning unit 10.
[0060]
First, a drive system for operating the clamping means will be described. A reversible motor 71 as a specific drive source is fixed to a predetermined fixing part (lower right part in FIG. 1). An output shaft 72 of the reversible motor 71 extends in parallel with the width direction of the substrate 2. The output shaft 72 is provided with a pair of first cams 73 at a predetermined interval. The two first cams 73 have the same profile, and the cam follower 75 of the chuck opening / closing bar 74 is supported on the first cam 73 in a contact state. That is, the chuck opening / closing bar 74 is movable in the left-right direction in FIG. 1 as the first cam 73 rotates. Then, when the chuck opening / closing bar 74 moves in the left-right direction, the above-described link members 42, 43, the chuck levers 31, 32, etc. are operated, and the upper and lower chucks 21, 22 are moved up and down. At the same time, the pressing clamp 61 is rotated around the fulcrum 62. As described above, in this embodiment, the vertical movement of the vertical chucks 21 and 22 and the rotation (tilting) of the pressing clamp 61 associated therewith are both realized by the reversible motor 71. That is, it can be said that the width direction pushing drive means and the sandwiching drive means have a common inherent drive source (reversible motor 71).
[0061]
Next, a drive system for operating the conveying means and the interval adjusting means will be described. In the present embodiment, a pulse motor 81 as a drive source corresponding to between the conveyance gear 15 and the adjustment gear 53 at the basic position of the substrate positioning unit 10 (standby position before the inspection is executed). Is provided at a predetermined fixing site. A driving gear 82 is provided at the distal end of the output shaft of the pulse motor 81, and the driving gear 82 is located between the conveying gear 15 and the adjusting gear 53 in the basic position.
[0062]
Although the pulse motor 81 is provided at a fixed portion, the pulse motor 81 is movable between strokes between the conveying gear 15 and the adjusting gear 53. In this case, when the pulse motor 81 moves to the left in FIGS. 1 and 3 and the drive gear 82 meshes with the transport gear 15, the transport gear 15 is allowed to rotate with the rotation of the pulse motor 81. On the other hand, when the pulse motor 81 moves to the right side in FIGS. 1 and 3 and the drive gear 82 meshes with the adjustment gear 53, the rotation of the adjustment gear 53 is allowed with the rotation of the pulse motor 81. The pulse motor 81 in the present embodiment can take at least three positions: a meshing position with the conveying gear 15, a meshing position with the adjustment gear 53, and a neutral position that does not mesh with any of them. ing.
[0063]
The position switching mechanism will be described in more detail. The pulse motor 81 is attached to a slider 83, and the slider 83 is supported to be slidable in the direction of the arrow in FIG. . An arm 85 is connected to the slider 83.
[0064]
On the other hand, a position switching gear 86 is provided at the tip of the output shaft 72 of the reversible motor 71. A first bracket 87 and a second bracket 88 are erected so as to be close to the position switching gear 86. A support shaft is rotatably inserted into the first bracket 87, and a driven gear 89 is engaged with the position switching gear 86 at one end of the support shaft. Further, a second cam 91 is provided on the other end side of the support shaft.
[0065]
Further, an L-shaped switching lever 92 is pivotally supported on the second bracket 88 so as to be rotatable. A cam follower 93 (see FIG. 3) is provided on one end side of the switching lever 92, and the cam follower 93 is in contact with the second cam 91. Further, the tip of the arm 85 is connected to the other end of the switching lever 92. A tension member such as a coil spring (not shown) is connected between the other end (upper end in the figure) of the switching lever 92 and the base portion 84 (or the slider 83).
[0066]
Under such a configuration, the lower end cam follower 93 is pressed against the second cam 91 while the other end portion (upper portion in the figure) of the switching lever 92 always receives a tensile force in the counterclockwise direction. When the second cam 91 rotates counterclockwise from a predetermined neutral state, the cam follower 93 rides on the cam nose and the switching lever 92 is rotated clockwise against the tensile force. Then, the slider 83 and the pulse motor 81 move to the right in the figure, and the drive gear 82 meshes with the adjustment gear 53. On the contrary, when the second cam 91 is rotated clockwise from the neutral state, the cam follower 93 is moved upward by the tensile force, and the switching lever 92 is rotated counterclockwise. Then, the slider 83 and the pulse motor 81 move to the left in the figure, and the drive gear 82 is engaged with the transport gear 15.
[0067]
As described above, in the present embodiment, both the rotation of the transport gear 15 (transport operation shaft 14) and the rotation of the adjustment gear 53 (screw shafts 51 and 52) are selectively realized by the pulse motor 81. It is like that. That is, it can be said that the conveyance driving unit and the interval adjustment driving unit have a common driving source (pulse motor 81). Further, the selective switching is allowed by moving the pulse motor 81 by a predetermined stroke. In addition, the movement of the pulse motor 81 is realized by the rotation of the second cam 91, that is, the forward / reverse rotation of the reversible motor 71, which is the common inherent drive source of the above-described width direction pushing drive means and the clamping drive means. It is like that.
[0068]
In the present embodiment, various operation objects including the output shaft 72, the slider 83, the chuck opening / closing bar 74, and the like include the positions of the operation objects such as dogs 94, 95, 96 and sensors (not shown) as appropriate. Various detection means are provided for detecting. In the present embodiment, these detection means are also provided on the fixed part side different from the substrate positioning unit 10 as in the drive system. In the present embodiment, control means (not shown) for controlling the reversible motor 71 and the pulse motor 81 is provided. The control unit appropriately controls the reversible motor 71 and the pulse motor 81 based on a predetermined command input by an operator or a preset command program and based on detection signals from the detection units.
[0069]
Next, an operation and the like of the substrate transfer apparatus 1 of the present embodiment configured as described above will be described.
[0070]
First, a width determining operation corresponding to the type of the substrate 2 is performed by the control means. In this case, the side wall 13 and the upper and lower chucks 22 are appropriately controlled in the width direction of the substrate 2 in accordance with the width of the substrate 2. More specifically, the reversible motor 71 is rotated in a predetermined direction. Then, the second cam 91 is rotated counterclockwise from the neutral state, the cam follower 93 rides on the cam nose, and the switching lever 92 is rotated clockwise. As a result, the slider 83 and the pulse motor 81 are moved rightward in FIG. 1, and the drive gear 82 meshes with the adjustment gear 53. That is, the rotational force of the drive gear 82 can be transmitted to the adjustment gear 53. In this state, when the pulse motor 81 is driven to rotate by a predetermined amount, this rotational force is transmitted to the adjusting gear 53 and thus to both screw shafts 51 and 52, and both screw shafts 51 and 52 rotate. . With this rotation, the side wall 13 screwed into the male screw of the screw shafts 51 and 52 is moved in the width direction of the substrate 2 while maintaining a parallel state with the one side wall 12. As a result, the widths of the side walls 12 and 13 and the upper and lower chucks 21 and 22 are determined according to the type of the substrate 2.
[0071]
After the above width determination is completed, the reversible motor 71 is rotated in the opposite direction to the previous direction, and is once returned to the position where none of the drive gears 82 is engaged with the gear, that is, the neutral position of the pulse motor 81. .
[0072]
Thereafter, when the reversible motor 71 is further rotated and the second cam 91 is rotated clockwise from the neutral state, the cam follower 93 is moved upward, and the switching lever 92 is rotated counterclockwise. As a result, the slider 83 and the pulse motor 81 are moved to the left in FIG. 1, and the drive gear 82 meshes with the transport gear 15. That is, this time, the rotational force of the drive gear 82 can be transmitted to the transport gear 15. In this state, the pulse motor 81 is driven to rotate by a predetermined amount, whereby this rotational force is transmitted to the transport gear 15 and eventually to the transport operation shaft 14, and the transport operation shaft 14 and the conveyor belt 16 rotate. To do. With this rotation, the substrate 2 located on the left side in FIG. 1 is guided to the right in the figure and transferred to a predetermined position.
[0073]
At this time, as the reversible motor 71 rotates, the first cam 73 is rotated, and the chuck opening / closing bar 74 is moved to the left in FIG. 1, and both link members 42, 43, the chuck lever 31, 32 and the like operate, and the upper and lower chucks 21 and 22 are moved downward. For this reason, at this time, a sufficient gap is formed between the upper surface of the chuck body 23 and the lower surface of the upper piece portion 25. Therefore, the rotation of the conveyor belt 16 and the movement of the substrate 2 existing between the two 23 and 25 are not hindered, and the substrate 2 is smoothly transferred. In this case, fine adjustment in the conveyance direction may be performed.
[0074]
Next, after the conveyance is completed, the reversible motor 71 is rotated in the opposite direction, and once again, the drive gear 82 once again engages with the gear, that is, the neutral position of the pulse motor 81. And returned.
[0075]
At this time, since the substrate 2 has been transported to a predetermined position, an operation of chucking both side edges of the substrate 2 is performed. In this case, by rotating the reversible motor 71 and the first cam 73, the chuck opening / closing bar 74 is moved to the right in FIG. As a result, the link members 42 and 43, the chuck levers 31 and 32, etc. are operated, and the upper and lower chucks 21 and 22 are moved up. At the same time, as shown in FIG. 4B, the pressing clamp 61 is rotated (tilted) around the fulcrum 62. Then, by the tilting of the pressing clamp 61, the side edge of the substrate 2 is pressed against the opposite side, that is, the one side wall 12 side. When the upper and lower chucks 21 and 22 are moved upward, the substrate 2 is sandwiched (chucked) between the upper and lower chucks 21 and 22 and the upper piece portion 25.
[0076]
In other words, with the rotation of the reversible motor 71, the upper and lower chucks 21 and 22 hold the both side edges of the substrate 2 and the pressing clamp 61 presses the substrate 2 in the width direction. Thus, the substrate 2 is transported and positioned at a predetermined position in the substrate positioning unit 10 through a series of operations. And in this clamping state, board | substrate positioning part 10 itself is suitably moved to the horizontal direction, and is used for the test | inspection mentioned above.
[0077]
As described above in detail, according to the present embodiment, the pulse motor 81 for driving the conveying means and the clamping means, and the reversible motor 71 for driving the interval adjusting means and the width direction pressing means, Both are provided at a fixed portion different from the substrate positioning portion 10. For this reason, unlike the prior art in which the driving means is moved together with the conveying means or the like, the motors 71 and 81 are not present in the substrate positioning portion 10. Therefore, the structure of the substrate positioning unit 10 can be significantly simplified, and the weight can be reduced. Therefore, when the substrate positioning unit 10 is moved for inspection or the like, the driving load for moving (capacity of a motor or the like for operating the X-axis rail and the Y-axis rail) can be reduced. Can be miniaturized. In addition, for production efficiency, there is a demand for moving the substrate positioning unit 10 at a relatively high speed during inspection and the like. In this regard, in this embodiment, the substrate positioning unit 10 can be moved at a higher speed.
[0078]
Further, even if the substrate positioning unit 10 moves, the electrical wiring for driving both the motors 71 and 81 does not move. For this reason, it is possible to facilitate and simplify the installation of wiring and the like, and it is possible to suppress troubles such as breakage of the wiring and disconnection. Furthermore, in the present embodiment, since the detection means such as various sensors are also provided at the fixed part, the above-described effects can be made more remarkable.
[0079]
Further, in the present embodiment, the operation of the conveying unit and the interval adjusting unit is selectively switched by moving one pulse motor 81 for a predetermined stroke. For this reason, compared with the case where an individual drive source is used, the facility can be made compact and the cost can be reduced. Further, the movement of the pulse motor 81 is realized based on driving the reversible motor 71 for the clamping means and the width direction pressing means. For this reason, it is not necessary to use a separate drive source to move the pulse motor 81. Therefore, it is possible to further simplify the equipment and suppress cost increase.
[0080]
In addition, since the width direction pressing means and the clamping means can be operated based on the driving of one reversible motor 71, the equipment can be made compact and the cost can be reduced as compared with the case where the driving source is used individually. be able to.
[0081]
In addition, you may implement as follows, for example, without being limited to the content of description of embodiment mentioned above.
[0082]
(A) Although the width direction pressing means is provided in the above embodiment, the means may be omitted. However, in this case, it is desirable to grasp the inclination, displacement, etc. of the substrate 2 during inspection or the like.
[0083]
(B) In the above embodiment, the conveying means and the clamping means are driven by the common pulse motor 81, but may be driven by different motors.
[0084]
(C) In the above embodiment, the interval adjusting means is provided. However, when the width of the substrate 2 is unambiguous or the interval can be manually adjusted, the means is omitted. It is good.
[0085]
(D) Instead of the pulse motor 81 or the reversible motor 71, another actuator (for example, a step motor) may be employed.
[0086]
(E) In the above embodiment, the case where the substrate transfer device 1 is provided in the inspection device for inspecting cream solder on the substrate 2 is embodied. The device 1 may be provided. Examples of other apparatuses include an inspection apparatus for inspecting solder after reflow, a mounting apparatus for mounting electronic components, and the like.
[0087]
(F) Although not specifically mentioned in the above embodiment, when the substrate positioning unit 10 is moved after the substrate 2 is positioned, the transfer gear 15 and the adjustment gear 53 are connected to the pulse motor 81 (drive gear 82). It is desirable to move so that it does not interfere with.
[0088]
(G) In the above embodiment, when the substrate 2 is chucked, all the both side portions of the substrate 2 are chucked. However, the both side edges of the substrate 2 may be partially chucked.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of a substrate transfer apparatus according to an embodiment.
FIG. 2 is a schematic side view showing a part of the clamping mechanism on one side wall side.
FIG. 3 is a schematic side view illustrating a schematic configuration of a moving mechanism of a pulse motor.
4A is a diagram showing the positional relationship of the pressing clamp in the downward movement state of the vertical chuck, and FIG. 4B is a diagram showing the positional relationship of the pressing clamp in the upward movement state of the vertical chuck.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Board | substrate conveyance apparatus, 2 ... (Print) board | substrate, 10 ... Board | substrate positioning part, 11 ... Support plate, 12, 13 ... Side wall, 14 ... Conveyance operating shaft, 15 ... Conveying gear, 16 ... Conveyor belt, 21,22 ... upper and lower chucks, 23 ... chuck body, 24 ... pressing part, 25 ... upper piece part, 31, 32 ... chuck lever, 41 ... parallel link, 51, 52 ... screw shaft, 53 ... adjustment gear, 56 ... belt, 61 ... Pushing clamp, 71 ... Reversible motor, 72 ... Output shaft, 73 ... First cam, 74 ... Chuck opening / closing bar, 81 ... Pulse motor, 82 ... Drive gear, 86 ... Position switching gear, 91 ... Second Cam, 92 ... switching lever, 94-96 ... dog.

Claims

A substrate positioning unit provided to be movable in the XY direction, the substrate positioning unit,
Conveying means for conveying in a predetermined horizontal direction in a state where the substrate is guided and mounted horizontally,
Be one that includes a clamping means for clamping the both side edges of the substrate from the vertical direction, the both side edges of the substrate which is transported by the transporting unit that allowed to clamping by the clamping means, said substrate In a substrate transfer device that can be positioned at a predetermined position ,
The conveying means is
A first annular conveyor capable of supporting one side edge of the substrate;
A first side wall rotatably supporting the first annular conveyor;
A second annular conveyor capable of supporting the other side edge of the substrate;
A second side wall rotatably supporting the second annular conveyor;
The first side wall and the second side wall extending in a direction perpendicular to the first side wall and having a conveyance operation shaft capable of rotating the first and second annular conveyors at the same speed by rotation of the first side wall and the second side wall;
The clamping means is
An upper piece portion fixed to extend inside the first side wall and the second side wall and capable of supporting each side edge of the substrate from above;
A vertically moving portion provided below the first annular conveyor and the second annular conveyor so as to be vertically movable, and capable of supporting each side edge of the substrate together with each of the annular conveyors from below by its own upward movement; With
further,
Transport driving means electrically driven to rotationally drive the transport operating shaft of the transport means;
A clamping drive means that is electrically driven to move the vertical movement part of the clamping means up and down ;
A substrate transport apparatus characterized in that both the transport drive means and the clamping drive means are provided at a fixed portion different from the substrate positioning portion movable in the XY direction .

A substrate positioning unit provided to be movable in the XY direction, the substrate positioning unit,
Conveying means for conveying in a predetermined horizontal direction in a state where the substrate is guided and mounted horizontally,
Clamping means for clamping both side edges of the substrate from above and below;
; And a gap adjusting means for adjusting the spacing of said clamping means, the opposite side edges of the substrate transferred by said conveying means, at between hands interval is pre-adjusted to the interval adjusting unit the clamping means In the substrate transfer apparatus that can position the substrate at a predetermined position by sandwiching it,
The conveying means is
A first annular conveyor capable of supporting one side edge of the substrate;
A first sidewall fixed to rotatably support the first annular conveyor;
A second annular conveyor capable of supporting the other side edge of the substrate;
A second side wall provided so as to be movable in the contact / separation direction while maintaining a parallel state with respect to the first side wall to rotatably support the second annular conveyor;
The first side wall and the second side wall extending in a direction perpendicular to the first side wall and having a conveyance operation shaft capable of rotating the first and second annular conveyors at the same speed by rotation of the first side wall and the second side wall;
The clamping means is
An upper piece portion fixed to extend inside the first side wall and the second side wall and capable of supporting each side edge of the substrate from above;
A vertically moving portion provided below the first annular conveyor and the second annular conveyor so as to be vertically movable, and capable of supporting each side edge of the substrate together with each of the annular conveyors from below by its own upward movement; With
The interval adjusting means includes
A distance adjusting operation shaft extending in a direction perpendicular to the first side wall and the second side wall and capable of moving the second side wall in the contact / separation direction with respect to the first side wall by rotation thereof;
further,
Transport driving means electrically driven to rotationally drive the transport operating shaft of the transport means;
Clamping drive means electrically driven to move the vertical movement part of the clamping means up and down ;
An interval adjustment driving means electrically driven to rotationally drive the interval adjustment operating shaft of the interval adjustment means ,
A substrate transport apparatus characterized in that the transport drive means, the clamping drive means, and the interval adjustment drive means are all provided at a fixed portion different from the substrate positioning portion that is movable in the XY directions .

The transport drive unit and the interval adjustment drive unit are configured by a common and single drive source , and transmission of driving force by the drive source can be switched between the transport drive unit and the interval adjustment drive unit. the substrate transport apparatus of claim 2, wherein the are.

4. The substrate transfer apparatus according to claim 3, wherein the common and single drive source is a pulse motor.

By moving the front Symbol common and single drive source, according to claim 3, characterized in that the transmission of the driving force by the drive source and can be switched between the transport drive means and said interval adjusting drive means Or the board | substrate conveyance apparatus of 4.

6. The substrate transfer apparatus according to claim 5, wherein the common and single drive source is moved based on the driving of the clamping drive means.

7. The substrate transfer apparatus according to claim 3, further comprising a control unit that controls a driving amount of the common and single driving source based on a predetermined command.

A detecting means for detecting at least one of the operation amount in the width direction of the clamping means by the conveyance amount and the interval adjusting unit of the substrate by the transport means based on a detection result of said detecting means, the common and single 8. The substrate transfer apparatus according to claim 3, further comprising a control unit that controls one drive source.

The substrate transport apparatus according to claim 8, wherein the detection unit is also provided at a fixed portion different from the substrate positioning unit movable in the XY directions .

The substrate positioning part is
A width-direction pressing means having a pressing clamp for adjusting at least one of the displacement and the inclination in the width direction of the substrate by applying a pressing force from one side of the substrate to the other side ; ,
A width direction pushing drive means electrically driven to apply a pushing force by the pushing clamp ;
The substrate transport apparatus according to any one of claims 1 to 9, wherein the width direction pushing driving means is also provided at a fixed portion different from the substrate positioning portion movable in the XY directions .

The width direction pushing drive means and the clamping drive means are constituted by a common and single reversible motor capable of forward and reverse rotation,
By rotating the reversible motor to one side, it is configured to allow a pressing force to be applied by the width direction pressing unit, and to allow the clamping by the clamping unit, and to rotate the reversible motor to the other side. The substrate transfer apparatus according to claim 10 , wherein the pressing of the pressing force by the width direction pressing unit is released and the holding by the holding unit is released .

According to claim 11, characterized by comprising the detectable means of detection the rotation angle or a value equivalent to that of the reversible motor, and a controllable control means the reversible motor based on a detection result of said detecting means Substrate transfer device.

The substrate transport apparatus according to claim 12 , wherein the detection unit is also provided at a fixed portion different from the substrate positioning unit movable in the XY directions .

The substrate positioning section, a substrate conveying device according to any one of claims 1 to 13, characterized in that provided on the moving means capable of moving an X-Y-direction.