JP5536438B2 - Screen printing device - Google Patents

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Description

本発明は、プリント配線板(PWB;Printed wiring board))等の基板に部品を実装するための前処理として当該基板にクリーム半田や導電性ペースト等を印刷するスクリーン印刷装置に関するものである。   The present invention relates to a screen printing apparatus for printing cream solder, conductive paste, or the like on a substrate as a pretreatment for mounting a component on a substrate such as a printed wiring board (PWB).

スクリーン印刷装置は、プリント回路板(PCB;Printed Circuit Board)の製造ラインに組み込まれ、上流側から搬送されてくる基板に導電性ペースト等の印刷を施して下流側の部品実装装置に送り出すものである。   A screen printing device is built into a printed circuit board (PCB) production line, prints conductive paste on the substrate conveyed from the upstream side, and sends it to the component mounting device on the downstream side. is there.

この種のスクリーン印刷装置は、例えば特許文献1に開示されるように、印刷部に対して一枚ずつ基板を受け入れて印刷処理を実施し、印刷後の基板を部品実装装置に送り出すように構成されている。また、近年では、例えば特許文献2に開示されるように、装置内に2つの印刷部を並列に備え、上流側から各印刷部に個別に基板を受け入れつつ印刷を施して個別に下流側に送り出すものも開発されている。これは、1つの装置内に2つの基板搬送ラインをもち、かつ各搬送ラインで部品実装を同時進行(並行)させる所謂デュアル搬送型の部品実装装置が用いられるようになったことによるもので、これらのスクリーン印刷装置と部品実装装置とを連結することで印刷および部品実装の効率化を図ることが狙いである。   This type of screen printing apparatus is configured, for example, as disclosed in Patent Document 1, to receive a substrate one by one with respect to a printing unit, perform a printing process, and send the printed substrate to a component mounting apparatus. Has been. In recent years, for example, as disclosed in Patent Document 2, two printing units are provided in parallel in the apparatus, and printing is performed while receiving a substrate from each upstream to each printing unit, and individually downstream. Something to send out has also been developed. This is because a so-called dual transport type component mounting apparatus has been used which has two substrate transport lines in one apparatus and simultaneously advances (parallel) component mounting in each transport line. The aim is to improve the efficiency of printing and component mounting by connecting the screen printing device and the component mounting device.

特許2682145号公報Japanese Patent No. 2682145 特開2009−70867号公報JP 2009-70867 A

スクリーン印刷装置では、基板とスクリーンマスクとの重装ずれを防止するために、印刷実行位置あるいはその近傍となるマスク下方において基板テーブル上に搬入した基板をクランプ装置等により固定した後、この基板を画像認識して位置ずれを検出し、基板を印刷実行位置においてマスクへ重装する際に基板テーブルの位置を補正するように構成されている。この場合、マスク下方は重装のため基板が上昇するスペースであり、固定的にカメラを配置することが困難なため、例えば特許文献1のものは、マスクの側方位置にカメラを備え、基板テーブル上に基板を搬入した後、クランプされた基板をマスク下方位置からカメラ位置まで移動させて基板を撮像し、再度印刷実行位置に基板を移動しマスクに重装戻して印刷を実施するように構成されている。また、特許文献2のものでは、移動なカメラを備え、このカメラを印刷実行位置においてクランプされた基板とマスクとの間の位置に一時的に介在させて基板を撮像し、撮像後はカメラをマスク側方位置に退避させるように構成されている。   In the screen printing apparatus, in order to prevent the misalignment between the substrate and the screen mask, the substrate carried on the substrate table is fixed by a clamping device or the like below the printing execution position or in the vicinity of the mask. A position shift is detected by image recognition, and the position of the substrate table is corrected when the substrate is placed on the mask at the print execution position. In this case, the lower part of the mask is a space where the substrate rises due to heavy loading, and it is difficult to place the camera in a fixed manner. After loading the substrate on the table, move the clamped substrate from the lower position of the mask to the camera position to take an image of the substrate, move the substrate to the print execution position again, load it back on the mask and perform printing. It is configured. Further, in Patent Document 2, a movable camera is provided, and this camera is temporarily interposed at a position between the substrate clamped at the printing execution position and the mask, and the substrate is imaged. It is configured to retract to the mask side position.

しかし、何れも基板を搬入した後、基板やカメラをマスク下方位置とマスク側方位置との間で移動させるため基板認識に比較的時間を要する。従って、これが印刷機におけるスループット向上(タクトタイムの短縮化)の阻害要因の一つとなっている。   However, in any case, since the substrate and the camera are moved between the mask lower position and the mask side position after the substrate is loaded, it takes a relatively long time to recognize the substrate. Therefore, this is one of the factors that hinder the improvement of throughput (reduction of tact time) in the printing press.

また、特許文献2のスクリーン印刷装置では、基板搬入部と基板搬出部とが基板搬送方向(X軸方向)と直交する方向(Y軸方向)にオフセットされており、基板を支持固定するためのステージがY軸方向に移動するように構成されているが、これは、部品実装装置側の2つの基板搬送ラインが近接配置されているため、これらに連結可能となるように基板搬出部同士を近接させる必要があるためである。   Further, in the screen printing apparatus of Patent Document 2, the substrate carry-in portion and the substrate carry-out portion are offset in a direction (Y-axis direction) orthogonal to the substrate transport direction (X-axis direction), for supporting and fixing the substrate. The stage is configured to move in the Y-axis direction. This is because the two board transfer lines on the component mounting apparatus side are arranged close to each other, so that the board carry-out portions can be connected to each other. This is because they need to be close.

しかしながら、この装置では、基板搬入部に対応する位置(受取位置)でステージ上に基板を受取り、印刷後、ステージを基板搬出部に対応する位置(送出位置)に移動させて基板搬出を行うため、基板の搬出中はステージ上に後続基板を受け入れることが不可能であり、従って、この点もスループット向上の一つの阻害要因となっている。   However, in this apparatus, the substrate is received on the stage at a position (receiving position) corresponding to the substrate carry-in section, and after printing, the stage is moved to a position (feeding position) corresponding to the substrate carry-out section to carry out the substrate. During the unloading of the substrate, it is impossible to receive the subsequent substrate on the stage. Therefore, this point is also an obstacle to improving the throughput.

本発明は、このような事情に鑑みて成されたものであり、スループットを向上させることができるスクリーン印刷装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a screen printing apparatus capable of improving the throughput.

上記課題を解決するための本発明は、スクリーン印刷装置において、スクリーンマスクを具備し基板にスクリーン印刷を実施する印刷実行部と、この印刷実行部を挟んで特定方向における一方側の位置に設けられる基板搬入部および他方側の位置であってかつ前記基板搬入部に対して前記特定方向と直交する直交方向にオフセットされた位置に設けられる基板搬出部と、前記基板搬入部から搬入される基板を前記印刷実行部による印刷が可能となる印刷実行位置よりも基板搬入部側の特定位置で受け取り、この基板を事前に前記印刷実行部による印刷が可能となる状態に保持した上で当該基板を前記特定方向に移動させることにより当該基板を前記特定位置から前記印刷実行位置に搬送して当該基板をその印刷中に保持する搬送保持手段と、前記印刷実行部による印刷前であって前記特定位置から前記印刷実行位置への前記搬送保持手段による基板の搬送途中に、当該搬送保持手段に保持されている基板を撮像する基板撮像手段と、前記搬送保持手段とは別に設けられ、前記基板搬入部から搬入される基板を前記特定位置まで搬送して待機させるとともに、前記搬送保持手段から印刷後の基板を受け取り前記基板搬出部に搬送する搬送手段と、前記搬送保持手段および前記搬送手段が搭載されて、前記基板搬入部から搬入される基板の受け取りが可能となる受取位置と印刷後の基板を前記基板搬出部に送り出し可能となる送出位置とに亘って前記直交方向に移動可能に設けられ、かつ前記特定方向における前記基板搬入部側の所定位置に後続基板を待機させるための待機スペースを有する可動テーブルと、前記搬送保持手段、前記搬送手段及び前記可動テーブルを制御する制御手段とを備え、前記印刷実行部は、前記可動テーブルが前記受取位置に配置された状態で前記印刷実行位置に配置される基板に対して印刷が可能となる位置に設けられ、前記制御手段は、前記可動テーブル上の前記待機スペースを前記特定位置とするとともに当該可動テーブル上の前記特定方向における前記基板搬出部側の所定位置を前記印刷実行位置として、前記搬送保持手段が印刷終了後の先行基板を前記搬送手段に受け渡した後、前記印刷実行位置から移動して前記特定位置に到着するまでに、前記搬送手段が後続基板を前記特定位置に搬送して待機させ、さらに前記搬送保持手段が前記特定位置で前記後続基板を受け取り保持した後、前記特定位置から移動して前記印刷実行位置に到着するまでに、前記搬送手段が前記先行基板を前記印刷実行位置より下流へ搬送し終えるようにする一方で、前記先行基板の印刷終了後、前記可動テーブルを前記受取位置から前記送出位置に移動させて前記搬送手段により前記先行基板を搬送することにより当該先行基板を前記可動テーブルから前記基板搬出部に送り出し、この送り出し後に前記可動テーブルを前記送出位置から前記受取位置に移動させるとともに、その移動中、前記特定位置から前記印刷実行位置に搬送される前記後続基板に記された標識が前記基板撮像手段による撮像位置を経由するように前記可動テーブルおよび前記搬送保持手段を移動させるものである。
The present invention for solving the above-described problems is provided in a screen printing apparatus, which includes a print execution unit that includes a screen mask and performs screen printing on a substrate, and a position on one side in a specific direction across the print execution unit. A substrate carry-in portion and a substrate carry-out portion provided at a position offset to an orthogonal direction perpendicular to the specific direction with respect to the substrate carry-in portion, and a substrate carried from the substrate carry-in portion. The substrate is received at a specific position on the substrate carry-in unit side relative to the print execution position where printing by the print execution unit is possible, and the substrate is held in a state where printing by the print execution unit is possible in advance. a transport holding means for holding the substrate during the printing is transported to the printing execution position the substrate from the specific position by moving in a particular direction, During serial printing unit from the specific position but before printing by the substrate due to the transport retaining means to the printing execution position conveying the board imaging means for imaging the substrate held on the transport retaining means, said A transport unit that is provided separately from the transport holding unit, transports the substrate loaded from the substrate carry-in unit to the specific position, waits, and receives the printed substrate from the transport holding unit and transports it to the substrate unloading unit. A receiving position on which the transport holding means and the transport means are mounted so that a substrate carried in from the substrate carry-in portion can be received, and a sending position where a printed substrate can be sent out to the substrate carry-out portion And a standby space for waiting the subsequent substrate at a predetermined position on the substrate carry-in portion side in the specific direction. A movable table for the transport retaining means, and control means for controlling said conveying means and said movable table, the print execution unit, the print execution position in a state in which the movable table is placed on the receiving position It is provided at a position where printing can be performed on the substrate to be arranged, and the control means sets the standby space on the movable table as the specific position and the substrate carry-out portion in the specific direction on the movable table. With the predetermined position on the side as the print execution position, the transfer holding unit transfers the preceding substrate after printing to the transfer unit, and then moves from the print execution position to arrive at the specific position. The means conveys the subsequent substrate to the specific position and waits, and the conveyance holding means receives and holds the subsequent substrate at the specific position. The transport means finishes transporting the preceding substrate downstream from the print execution position before moving from a specific position and arrives at the print execution position. By moving the table from the receiving position to the sending position and carrying the preceding substrate by the carrying means, the preceding substrate is sent from the movable table to the substrate carry-out section, and after the sending, the movable table is moved to the sending position. To the receiving position, and during the movement, the movable table and the movable table so that the mark on the succeeding board conveyed from the specific position to the printing execution position passes through the imaging position by the board imaging means. a shall moving the carrier holder means.

このスクリーン印刷装置では、基板搬入部から搬入される基板は、受取位置に配置された可動テーブル上に受け入れられ、この可動テーブル上に搭載される前記搬送保持手段により保持された状態で印刷実行部により印刷が実施される。印刷後は、可動テーブルが送出位置に配置されることにより印刷済みの基板が基板搬出部に送り出される。そして、先行基板の送り出し後、可動テーブルが送出位置から受取位置に移動する間に、後続基板が、印刷実行位置よりも基板搬入部側の特定位置で事前に搬送保持手段によって印刷実行部による印刷が可能となる状態に保持された上で当該特定位置から印刷実行位置に搬送される。そして、この前記特定位置から印刷実行位置への基板(後続基板)の搬送中に当該基板の標識が基板撮像手段により撮像される。このようなスクリーン印刷装置によれば、基板を撮像するための独立した工程は不要であり、送出位置から受取位置への可動テーブルの移動、印刷実行位置への基板の搬送および基板(標識)の撮像が並行して行われる。そのため、基板を撮像するための独立した工程が必要な従来装置、例えば一旦印刷実行位置へ基板を搬入しクランプ装置等により固定した後、当該基板を印刷実行位置側方の撮像位置にクランプ装置等とともに移動させて基板を撮像する装置等と比較するとタクトタイムを効果的に短縮することが可能となる。
In this screen printing apparatus, the substrate carried in from the substrate carry-in unit is received on the movable table arranged at the receiving position, and the print execution unit is held in the state of being held by the conveyance holding means mounted on the movable table. Printing is performed by the above. After printing, the printed table is sent out to the substrate carry-out section by placing the movable table at the sending position. Then, after the preceding substrate is sent out, while the movable table moves from the sending position to the receiving position, the succeeding substrate is printed by the print execution unit in advance at a specific position closer to the substrate carry-in portion than the print execution position. Is held in a state where it can be performed, and then conveyed from the specific position to the print execution position. Then, during the transfer of the substrate (subsequent substrate) from the specific position to the print execution position, the sign of the substrate is imaged by the substrate imaging means. According to such a screen printing apparatus, an independent process for imaging the substrate is not required, the movable table is moved from the sending position to the receiving position, the substrate is transported to the printing execution position, and the substrate (marker) is moved. An imaging are performed in parallel. Therefore, a conventional device that requires an independent process for imaging the substrate, for example, once the substrate is carried into the printing execution position and fixed by the clamping device, etc., then the substrate is clamped at the imaging position on the side of the printing execution position, etc. In addition, the tact time can be effectively shortened as compared with an apparatus that images the substrate by moving it together.

この構成において、前記制御手段は、前記基板搬出部への前記先行基板の送り出し後、前記可動デーブルが前記受取位置に到達する時点で前記搬送保持手段に保持された前記後続基板が前記印刷実行位置に配置されているように前記可動テーブルおよび前記搬送保持手段を制御する。   In this configuration, the control unit is configured such that the subsequent substrate held by the transport holding unit is moved to the print execution position when the movable table reaches the receiving position after the preceding substrate is sent to the substrate carry-out unit. The movable table and the conveyance holding means are controlled so as to be arranged in the position.

この構成によれば、可動テーブルを送出位置から受取位置にリセットした後、直ちに印刷実行部による基板の印刷を開始することが可能となるため、タクトタイムを短縮する上で有利となる。   According to this configuration, after the movable table is reset from the sending position to the receiving position, printing of the substrate by the printing execution unit can be started immediately, which is advantageous in reducing the tact time.

なお、上記各スクリーン印刷装置において、前記基板撮像手段は、前記搬送保持手段による後続基板の搬送方向と直交する方向に移動可能に設けられていてもよい。   In each of the above-described screen printing apparatuses, the substrate imaging unit may be provided so as to be movable in a direction orthogonal to the conveyance direction of the subsequent substrate by the conveyance holding unit.

この構成によれば、基板撮像手段が同方向に移動することにより撮像領域が拡大され、基板上における撮像位置の自由度が高まる。   According to this configuration, the imaging area is expanded by moving the board imaging means in the same direction, and the degree of freedom of the imaging position on the board is increased.

また、前記搬送保持手段は、基板を保持する基板保持部材とこれを前記特定位置と前記印刷実行位置との間で移動させる移動手段と含み、前記基板保持部材に、前記スクリーンマスクを撮像するマスク撮像手段が搭載されているものであってもよい。   The transport holding means includes a substrate holding member for holding a substrate and a moving means for moving the substrate holding member between the specific position and the printing execution position, and a mask for imaging the screen mask on the substrate holding member. An imaging unit may be mounted.

この構成によれば前記特定位置から印刷実行位置に基板を搬送する途中でマスク認識カメラによりマスクを撮像することが可能となる。また、マスク認識カメラを移動させるための手段として基板保持部材を兼用した合理的な構成が達成される。   According to this configuration, the mask can be imaged by the mask recognition camera while the substrate is being transported from the specific position to the print execution position. In addition, a rational configuration that also serves as a substrate holding member as means for moving the mask recognition camera is achieved.

以上のような本発明のスクリーン印刷装置によれば、印刷実行位置への基板の搬送と基板の撮像とを並行して行うことができるため、基板を撮像するための独立した工程が必要な従来装置と比較すると、独立した当該基板撮像工程が不要となる分、タクトタイムを短縮することができる。従って、スループットを向上させてプリント回路板の生産性向上に寄与することができる。   According to the screen printing apparatus of the present invention as described above, since the conveyance of the substrate to the printing execution position and the imaging of the substrate can be performed in parallel, a conventional process that requires an independent process for imaging the substrate is required. Compared with the apparatus, the tact time can be shortened by the fact that an independent substrate imaging process is not required. Therefore, it is possible to improve the throughput and contribute to the productivity improvement of the printed circuit board.

本発明に係るスクリーン印刷装置の第1実施形態を示す平面図である。1 is a plan view showing a first embodiment of a screen printing apparatus according to the present invention. スクリーン印刷装置を示す正面図である。It is a front view which shows a screen printing apparatus. スクリーン印刷装置に組み込まれる基板支持テーブル及びその駆動機構等を示す平面図(スクリーン印刷装置から印刷実行部等を除いた状態の平面図)である。It is a top view (plan view of the state where a printing execution part etc. were removed from a screen printing device) which shows a substrate support table built in a screen printing device, its drive mechanism, etc. 基板支持テーブルの構成を示すスクリーン印刷装置の断面図(図3のIV−IV線断面図)である。It is sectional drawing (IV-IV sectional view taken on the line of FIG. 3) of the screen printing apparatus which shows the structure of a board | substrate support table. 図4におけるクランプユニットの要部拡大図である((a)は基板の非クランプ状態、(b)は基板クランプ状態)。It is a principal part enlarged view of the clamp unit in FIG. 4 ((a) is a board | substrate unclamped state, (b) is a board | substrate clamp state). スクリーン印刷装置に組み込まれる印刷実行部等を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the printing execution part etc. which are integrated in a screen printing apparatus. 印刷実行部を示す平面図である。It is a top view which shows a printing execution part. スクリーンマスクを保持するマスク保持機構を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the mask holding mechanism which hold | maintains a screen mask. マスク保持機構に組み込まれる回転駆動機構およびY軸駆動機構を説明するための当該マスク保持機構の平面模式図である((a)はマスク回転前、(b)はマスク回転後の状態をそれぞれ示す)。It is a plane schematic diagram of the said mask holding mechanism for demonstrating the rotation drive mechanism and Y-axis drive mechanism incorporated in a mask holding mechanism ((a) is before mask rotation, (b) shows the state after mask rotation, respectively. ). 制御装置による制御に基づくスクリーン印刷装置の印刷動作を説明する平面模式図である((a)、(b)は印刷動作を時系列的に示している)。FIG. 2 is a schematic plan view for explaining a printing operation of a screen printing apparatus based on control by a control device ((a) and (b) show the printing operation in time series). 制御装置による制御に基づくスクリーン印刷装置の印刷動作を説明する平面模式図である((a)、(b)は印刷動作を時系列的に示している)。FIG. 2 is a schematic plan view for explaining a printing operation of a screen printing apparatus based on control by a control device ((a) and (b) show the printing operation in time series). 本発明に係るスクリーン印刷装置の動作(図(a))と従来装置の動作(図(b))とを比較した工程図である。It is process drawing which compared operation | movement (figure (a)) of the screen printing apparatus which concerns on this invention, and operation | movement (figure (b)) of a conventional apparatus. 本発明に係るスクリーン印刷装置の第2実施形態を示す平面模式図である((a)、(b)は印刷動作を時系列的に示している)。It is a plane schematic diagram which shows 2nd Embodiment of the screen printing apparatus which concerns on this invention ((a), (b) has shown the printing operation in time series). 制御装置による制御に基づく第2実施形態に係るスクリーン印刷装置の印刷動作を説明する平面模式図である((a)〜(c)は印刷動作を時系列的に示している)。It is a plane schematic diagram explaining the printing operation of the screen printing apparatus according to the second embodiment based on the control by the control device ((a) to (c) shows the printing operation in time series). 本発明に係るスクリーン印刷装置の第3実施形態を示す平面模式図である((a)、(b)は印刷動作を時系列的に示している)。FIG. 6 is a schematic plan view showing a third embodiment of a screen printing apparatus according to the present invention ((a) and (b) show printing operations in time series).

以下、添付図面を参照しながら本発明の好ましい実施の形態について詳述する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図1および図2は、本発明に係るスクリーン印刷装置の第1実施形態を示しており、図1は平面図で、図2は正面図でそれぞれスクリーン印刷装置を概略的に示している。   1 and 2 show a first embodiment of a screen printing apparatus according to the present invention. FIG. 1 is a plan view and FIG. 2 is a front view schematically showing the screen printing apparatus.

このスクリーン印刷装置1は、その下流側にデュアル搬送型の部品実装装置Mを連結した状態でプリント回路板(PCB)の製造ラインに組み込まれるものである。図示の例では、スクリーン印刷装置1(以下、印刷装置1と略す)は、並列に配置された2台のローダL1、L2(第1ローダL1、第2ローダL2という)とデュアル搬送型の1台の部品実装装置Mとの間に介設されており、上流側の各ローダL1、L2から繰り出されてくる基板Wに印刷を実施して下流側の部品実装装置Mに送り出す。   This screen printing apparatus 1 is incorporated in a printed circuit board (PCB) production line in a state in which a dual transport type component mounting apparatus M is connected to the downstream side thereof. In the illustrated example, a screen printing apparatus 1 (hereinafter abbreviated as a printing apparatus 1) includes two loaders L1 and L2 (referred to as a first loader L1 and a second loader L2) arranged in parallel and a dual transport type 1 It is interposed between the component mounting apparatuses M of the base, performs printing on the substrate W fed out from each of the upstream loaders L1 and L2, and sends it out to the component mounting apparatus M on the downstream side.

なお、以下の説明では、製造ラインにおける基板Wの搬送方向をX軸方向、水平面上でX軸方向と直交する方向をY軸方向、これらX軸、Y軸の両方向に直交する方句(鉛直方向)をZ軸方向として印刷装置1の説明を行う。   In the following description, the transport direction of the substrate W in the production line is the X-axis direction, the direction orthogonal to the X-axis direction on the horizontal plane is the Y-axis direction, and the phrase (vertical) is orthogonal to both the X-axis and Y-axis directions. The printing apparatus 1 will be described with the (direction) as the Z-axis direction.

印刷装置1は、X軸方向における一方側の端部(基板搬送方向における上流側の端部)に2つの基板搬入部En1、En2(第1基板搬入部En1、第2基板搬入部En2という)を有する一方、これらに対応する2つの基板搬出部Ex1、Ex2(第1基板搬出部En1、第2基板搬出部En2という)を他方側の端部(基板搬送方向における下流側の端部)に有しており、第1ローダL1から繰り出される基板Wを第1基板搬入部En1から装置内に搬入して印刷を実施し、当該印刷後の基板Wを第1基板搬出部Ex1から部品実装装置Mに搬出する一方で、第2ローダL2から繰り出される基板Wを第2基板搬入部En2から装置内に搬入して印刷を実施し、当該印刷後の基板Wを第2基板搬出部Ex2から部品実装装置Mに搬出する。各基板搬出部Ex1、Ex2は、部品実装装置Mの2つの基板搬送ラインに対応するようにY軸方向において各基板搬入部En1、En2よりも内側の位置にオフセットされている。なお、同図中、符号CL1、CL2、CM1、CM2はそれぞれローダL1、L2および部品実装装置Mに搭載されて基板搬送ラインを構成するベルトコンベヤ対であり、基板Wはこれらベルトコンベヤ対CL1、CL2、CM1、CM2(以下、コンベヤ対CL1、CL2、CM1,CM2と略す)に沿って搬送される。   The printing apparatus 1 has two substrate carry-in portions En1 and En2 (referred to as a first substrate carry-in portion En1 and a second substrate carry-in portion En2) at one end portion in the X-axis direction (upstream end portion in the substrate transport direction). On the other hand, the two substrate carry-out portions Ex1 and Ex2 (referred to as the first substrate carry-out portion En1 and the second substrate carry-out portion En2) corresponding to these are disposed at the other end (the end on the downstream side in the substrate carrying direction). The board W fed out from the first loader L1 is carried into the apparatus from the first board carry-in part En1 and printing is performed, and the printed board W is mounted from the first board carry-out part Ex1 to the component mounting apparatus. On the other hand, the substrate W fed out from the second loader L2 is carried into the apparatus from the second substrate carry-in portion En2 and printed, and the printed substrate W is transferred from the second substrate carry-out portion Ex2 to the component. Unload to mounting device MEach board carry-out part Ex1, Ex2 is offset to a position inside the board carry-in parts En1, En2 in the Y-axis direction so as to correspond to two board carrying lines of the component mounting apparatus M. In the figure, reference numerals CL1, CL2, CM1, and CM2 denote a pair of belt conveyors that are mounted on the loaders L1 and L2 and the component mounting apparatus M, respectively, and constitute a board conveyance line, and the board W is the belt conveyor pair CL1, It is conveyed along CL2, CM1, and CM2 (hereinafter abbreviated as conveyor pairs CL1, CL2, CM1, and CM2).

印刷装置1は、その基台2上に、基板Wを支持するための2つの基板支持テーブル10A、10Bと、これら基板支持テーブル10A、10BをY軸方向それぞれ所定位置に停止した状態で、基板支持テーブル10A、10Bに支持された基板Wに個別に印刷を実施する2つの印刷実行部20A、20Bとを備えている。   The printing apparatus 1 has two substrate support tables 10A and 10B for supporting the substrate W on the base 2 and the substrate support tables 10A and 10B stopped at predetermined positions in the Y-axis direction. Two printing execution units 20A and 20B that individually perform printing on the substrates W supported by the support tables 10A and 10B are provided.

基板支持テーブル10A、10B(第1基板支持テーブル10A、第2基板支持テーブル10Bという;それぞれ本発明の可動テーブルに相当する)は、前記基板搬入部En1、En2から搬入される基板Wを受け取って印刷が可能となるように支持するとともに印刷後の基板Wを基板搬出部Ex1、Ex2から送り出すものであり、これらのうち第1基板支持テーブル10Aは、第1基板搬入部En1から搬入されてくる基板Wを受け取って第1印刷実行部20Aにより印刷が可能となるように基板Wを支持し、他方、第2基板支持テーブル10Bは、第2基板搬入部En2から搬入されてくる基板Wを受け取って第2印刷実行部20Bにより印刷が可能となるように基板Wを支持する。   Substrate support tables 10A and 10B (referred to as the first substrate support table 10A and the second substrate support table 10B; respectively corresponding to the movable tables of the present invention) receive the substrates W carried from the substrate carry-in portions En1 and En2. The printed board W is supported so that printing is possible and the printed board W is sent out from the board carry-out parts Ex1 and Ex2. Among these, the first board support table 10A is carried in from the first board carry-in part En1. The substrate W is received and supported by the first print execution unit 20A so that printing can be performed. On the other hand, the second substrate support table 10B receives the substrate W carried in from the second substrate carry-in unit En2. Then, the substrate W is supported so that printing can be performed by the second printing execution unit 20B.

各基板支持テーブル10A、10Bは、図3に示すように、X軸方向に細長の平面視略長方形の形状を有しており、テーブル駆動機構により個別にY軸方向に移動するように構成されている。テーブル駆動機構は、ねじ送り機構により構成されている。すなわち、各基板支持テーブル10A、10Bは、基台2上に設けられたY軸方向に延びる共通の固定レール3上に移動自在に支持されており、それぞれねじ軸5A、5Bを介してモータ4A、4Bにより駆動されるように構成されている。そして、後記制御装置によるモータ制御に基づき、第1基板支持テーブル10Aが、第1基板搬入部En1から搬入されてくる基板Wを受け取り可能な受取位置(図1、図3に示す位置)と基板Wを第1基板搬出部Ex1に送り出し可能な送出位置との間で移動する一方で、第2基板支持テーブル10Bが、第2基板搬入部En2から搬入されてくる基板Wを受け取り可能な受取位置(図1、図3に示す位置)と基板Wを第2基板搬出部Ex2に送り出し可能な送出位置との間で移動するようになっている。   As shown in FIG. 3, each of the substrate support tables 10A and 10B has a substantially rectangular shape that is elongated in the X-axis direction in plan view, and is configured to move individually in the Y-axis direction by a table driving mechanism. ing. The table drive mechanism is constituted by a screw feed mechanism. That is, the substrate support tables 10A and 10B are movably supported on a common fixed rail 3 provided on the base 2 and extending in the Y-axis direction. The motors 4A are respectively connected via screw shafts 5A and 5B. 4B. Then, based on motor control by the control device to be described later, the first substrate support table 10A can receive the substrate W carried in from the first substrate carry-in section En1 (the position shown in FIGS. 1 and 3) and the substrate. A receiving position where the second substrate support table 10B can receive the substrate W carried in from the second substrate carrying-in portion En2 while moving W between the sending position where the W can be sent to the first substrate carrying-out portion Ex1. (Position shown in FIGS. 1 and 3) and a delivery position where the substrate W can be delivered to the second substrate carry-out part Ex2.

各基板支持テーブル10A、10Bは、X軸方向に延びるコンベヤ対12と、このコンベヤ対12上の基板Wを印刷実行部20A、20Bによる印刷が可能となる状態に保持するクランプユニット14と、このクランプユニット14をコンベヤ対12に沿ってX軸方向に移動させるためのクランプユニット駆動機構と、後記スクリーンマスク21を清掃するためのクリーニングユニット18等とを備える。当実施形態では、前記クランプユニット14(基板保持手段)およびクランプユニット駆動機構(移動手段)が本発明における搬送保持手段に相当し、前記コンベヤ対12が本発明における搬送手段に相当する。   Each of the substrate support tables 10A and 10B includes a conveyor pair 12 extending in the X-axis direction, a clamp unit 14 that holds the substrate W on the conveyor pair 12 in a state where printing by the print execution units 20A and 20B is possible, A clamp unit drive mechanism for moving the clamp unit 14 in the X-axis direction along the conveyor pair 12 and a cleaning unit 18 for cleaning the screen mask 21 described later are provided. In the present embodiment, the clamp unit 14 (substrate holding means) and the clamp unit driving mechanism (moving means) correspond to the transport holding means in the present invention, and the conveyor pair 12 corresponds to the transport means in the present invention.

上記コンベヤ対12は、ベルトコンベヤからなり、基板搬入部En1、En2から搬入される基板Wを受け取り後記基板待機位置P1まで搬送するとともに印刷後の基板Wを後記印刷実行位置P2から基板搬出部Ex1、Ex2に搬送するものである。   The conveyor pair 12 is composed of a belt conveyor, receives the substrate W carried in from the substrate carry-in portions En1 and En2, and transports the substrate W to the post-substrate standby position P1 and prints the substrate W from the post-print execution position P2 to the substrate carry-out portion Ex1. , Ex2 is conveyed.

コンベヤ対12は、モータ駆動により周回移動するベルト121により基板WのY軸方向の両端部分を支持した状態で当該ベルトの移動に伴い基板WをX軸方向に搬送する(図5(a)参照)。コンベヤ対12を構成する2つのコンベヤのうち一方側のコンベヤは支柱を介して基板支持テーブル10A、10B上に固定的に支持された固定コンベヤであり、他方側のコンベヤは上記一方側のコンベヤに対して接離可能(Y軸方向に移動可能)となるように基板支持テーブル10A、10Bに支持された上でモータ等のアクチュエータにより駆動される可動コンベヤである。つまり、このコンベヤ対12は、基板Wのサイズに応じて間隔を変更可能な可変ストローク型コンベヤである。   The conveyor pair 12 conveys the substrate W in the X-axis direction along with the movement of the belt W while supporting both end portions in the Y-axis direction of the substrate W by the belt 121 that moves around by the motor drive (see FIG. 5A). ). The conveyor on one side of the two conveyors constituting the conveyor pair 12 is a fixed conveyor fixedly supported on the substrate support tables 10A and 10B via struts, and the conveyor on the other side is the conveyor on the one side. The movable conveyor is supported by the substrate support tables 10A and 10B so as to be able to contact and separate (movable in the Y-axis direction) and is driven by an actuator such as a motor. In other words, the conveyor pair 12 is a variable stroke type conveyor that can change the interval according to the size of the substrate W.

なお、当実施形態では、装置前側(図1、図3の下側)に位置する第1基板支持テーブル10Aについては、コンベヤ対12のうち後側が固定コンベヤ、前側が可動コンベヤとされることにより後側のコンベヤを基準として間隔変更が可能とされ、他方、装置後側に位置する第2基板支持テーブル10Bは、コンベヤ対12のうち前側が固定コンベヤ、後側が可動コンベヤとされることにより前側のコンベヤを基準として間隔変更が可能となっている。   In the present embodiment, the first substrate support table 10A located on the front side of the apparatus (the lower side of FIGS. 1 and 3) is such that the rear side of the conveyor pair 12 is a fixed conveyor and the front side is a movable conveyor. On the other hand, the second substrate support table 10B located at the rear side of the apparatus can be changed with reference to the rear conveyor, and the front side of the pair of conveyors 12 is a fixed conveyor and the rear side is a movable conveyor. The interval can be changed based on the conveyor.

上記クランプユニット14は、基板支持テーブル10A、10B上に設けられた固定レール141に沿ってX軸方向に移動可能に支持されるベース部材140(図4に示す)を有し、このベース部材140上にコンベヤ対12から基板Wを持ち上げて支持するバックアップ機構と、このバックアップ機構により持ち上げられた基板Wを固定するクランプ機構とを備える。   The clamp unit 14 includes a base member 140 (shown in FIG. 4) supported so as to be movable in the X-axis direction along fixed rails 141 provided on the substrate support tables 10 </ b> A and 10 </ b> B. A backup mechanism for lifting and supporting the substrate W from the conveyor pair 12 and a clamp mechanism for fixing the substrate W lifted by the backup mechanism are provided.

図4および図5(a)に示すように、バックアップ機構は、所定配列の複数本のバックアップピン151(以下、ピン151と略す)を備えかつリンク機構等を介して上記ベース部材140上に昇降可能に支持されるバックアップテーブル150(BUテーブル150という)と駆動用のモータ152等とを含み、このモータ152の駆動により、BUテーブル150が所定の退避位置とこの位置から上昇した作動位置とに変位するように構成されている。ここで、退避位置は、ピン151の先端位置がコンベヤ対12(ベルト121)に支持された基板Wの下面より低くなる位置(図5(a)に示す位置)であり、作動位置は、同基板Wの下面よりピン151の先端位置が高くなる位置である。従って、このバックアップ機構は、図5(b)に示すように、BUテーブル150が作動位置に配置されたときに基板Wをコンベヤ対12から持ち上げる。   As shown in FIG. 4 and FIG. 5A, the backup mechanism includes a plurality of backup pins 151 (hereinafter abbreviated as pins 151) in a predetermined arrangement and is moved up and down on the base member 140 via a link mechanism or the like. A backup table 150 (referred to as a BU table 150) that is supported and a driving motor 152 and the like are included. By driving the motor 152, the BU table 150 is moved to a predetermined retracted position and an operating position raised from this position. It is configured to be displaced. Here, the retracted position is a position where the tip position of the pin 151 is lower than the lower surface of the substrate W supported by the conveyor pair 12 (belt 121) (position shown in FIG. 5A), and the operating position is the same. This is a position where the tip position of the pin 151 is higher than the lower surface of the substrate W. Therefore, this backup mechanism lifts the substrate W from the conveyor pair 12 when the BU table 150 is placed in the operating position, as shown in FIG.

クランプ機構は、コンベヤ対12の上方位置に配置されてX軸方向に互いに平行に延びる一対のクランプ部材160と、これらクランプ部材160が組付けられるアーム部材161と、クランプ部材駆動用のアクチュエータ、例えば二方向型のエアシリンダ162とを含む。両クランプ部材160のうち一方側(図4、図5(a)では左側)のものは、アーム部材161に対してY軸方向に変位可能に組付けられており、前記エアシリンダ162の駆動により同図に示す退避位置と図5(b)に示す前進位置とに変位する。つまり、クランプ機構は、同図(b)に示すように、一方側のクランプ部材160が退避位置から前進位置に変位することにより、前記バックアップ機構により持ち上げられた基板Wを他方側のクランプ部材160と共にY軸方向に挟み込んでクランプする。   The clamp mechanism includes a pair of clamp members 160 disposed above the conveyor pair 12 and extending parallel to each other in the X-axis direction, an arm member 161 to which the clamp members 160 are assembled, and an actuator for driving the clamp members, for example, And a two-way type air cylinder 162. One of the clamp members 160 (on the left side in FIGS. 4 and 5A) is assembled so as to be displaceable in the Y-axis direction with respect to the arm member 161, and is driven by the air cylinder 162. It is displaced to the retracted position shown in FIG. 5 and the forward position shown in FIG. That is, as shown in FIG. 4B, the clamp mechanism moves the substrate W lifted by the back-up mechanism by moving the clamp member 160 on one side from the retracted position to the advanced position. At the same time, it is sandwiched in the Y-axis direction and clamped.

なお、この印刷装置1では、このようにクランプユニット14によりコンベヤ対12から持ち上げられてクランプ部材160にクランプされた状態の基板Wに対して後記スクリーンマスク21を重装して印刷を行うようになっており、従って、クランプユニット14は、前記印刷実行部20A、20Bによる印刷が可能となる状態に基板をコンベヤ対12から上方に遊離させて保持するものである。   In the printing apparatus 1, printing is performed by overlapping the screen mask 21 described later on the substrate W that is lifted from the conveyor pair 12 by the clamp unit 14 and clamped by the clamp member 160 as described above. Therefore, the clamp unit 14 is configured to release the substrate from the conveyor pair 12 and hold it in a state where printing by the print execution units 20A and 20B is possible.

クランプ機構の各アーム部材161は、コンベヤ対12を外側(Y軸方向における外側)から抱え込むように形成された上で、それぞれ各コンベヤ対12に組付けられたX軸方向の固定レール122にスライド可能に連結されている。このように各アーム部材161がコンベヤ対12(固定レール122)に連結されて案内されるように構成されることで、クランプユニット駆動機構によりクランプユニット14をX軸方向に移動させるようにしながらもコンベヤ対12と各クランプ部材160とのY軸方向の相対位置が一定に保持される。   Each arm member 161 of the clamp mechanism is formed so as to hold the conveyor pair 12 from the outside (outside in the Y-axis direction), and then slides on the X-axis direction fixed rail 122 assembled to each conveyor pair 12. Connected as possible. In this way, each arm member 161 is configured to be guided by being connected to the conveyor pair 12 (fixed rail 122), so that the clamp unit 14 is moved in the X-axis direction by the clamp unit driving mechanism. The relative position of the conveyor pair 12 and each clamp member 160 in the Y-axis direction is kept constant.

また、各アーム部材161のうち一方側、具体的にはコンベヤ対12のうち固定コンベヤに連結される側のアーム部材161(図4では右側のアーム部材)はベース部材140に固定され、他方、可動コンベヤに連結される側のアーム部材161(図4では左側のアーム部材)はベース部材140上に設けられた固定レール164に沿ってY軸方向に変位可能に支持されている。従って、コンベヤ対12の間隔が変更されると、可動コンベヤと一体に一方側のアーム部材161がY軸方向に移動し、これにより両クランプ部材160の間隔が自動調整される。つまり、コンベヤ対12の間隔変更後に搬送される基板Wをクランプ可能な間隔に両クランプ部材160の間隔が自動的に変更される。なお、上記各クランプ部材160は、それらのうち可動コンベヤ側に組付けられるものが駆動されるように構成されており、この構成により基板Wは、固定コンベヤ側を基準としてクランプされるようになっている。従って、第1基板支持テーブル10Aのクランプユニット14では、装置後側を基準に基板Wがクランプされ、第2基板支持テーブル10Bのクランプユニット14では、装置前側を基準として基板Wがクランプされる。   Also, one arm member 161 of each arm member 161, specifically, the arm member 161 (the right arm member in FIG. 4) connected to the fixed conveyor of the conveyor pair 12 is fixed to the base member 140, The arm member 161 on the side connected to the movable conveyor (left arm member in FIG. 4) is supported along the fixed rail 164 provided on the base member 140 so as to be displaceable in the Y-axis direction. Therefore, when the distance between the conveyor pair 12 is changed, the arm member 161 on one side moves together with the movable conveyor in the Y-axis direction, whereby the distance between both the clamp members 160 is automatically adjusted. That is, the interval between the clamp members 160 is automatically changed to an interval at which the substrate W transported after changing the interval between the conveyor pairs 12 can be clamped. Each of the clamp members 160 is configured such that the one assembled on the movable conveyor side among them is driven. With this configuration, the substrate W is clamped with reference to the fixed conveyor side. ing. Accordingly, in the clamp unit 14 of the first substrate support table 10A, the substrate W is clamped with reference to the rear side of the apparatus, and in the clamp unit 14 of the second substrate support table 10B, the substrate W is clamped with reference to the front side of the apparatus.

クランプユニット駆動機構は、ねじ送り機構により構成されている。すなわち、クランプユニット14の前記ベース部材140は、基台2上に設けられたX軸方向に延びる固定レール141上に移動自在に支持され、ねじ軸142を介してモータ144により駆動されるように構成されている。   The clamp unit drive mechanism is constituted by a screw feed mechanism. That is, the base member 140 of the clamp unit 14 is movably supported on a fixed rail 141 provided on the base 2 and extending in the X-axis direction, and is driven by the motor 144 via the screw shaft 142. It is configured.

ここで、各基板支持テーブル10A、10Bは、図3に示すように、基板搬入部En1、En2側に基板Wの待機スペースが設けられてこの位置が基板待機位置P1(本発明の特定位置に相当する)、これよりも下流側の所定位置が印刷実行位置P2とされ、後記制御装置によるモータ制御に基づき前記クランプユニット14がこれら基板待機位置P1と印刷実行位置P2との間をコンベヤ対12および固定レール141に沿って移動するようになっている。そして、このクランプユニット14の移動に関連付けられて前記BUテーブル150およびクランプ部材160の駆動が制御装置により制御される。すなわち、クランプユニット14の基板待機位置P1への移動後、基板Wがコンベヤ対12から持ち上げられてクランプ部材160によりクランプされて基板Wが印刷実行部20A、20Bによる印刷が可能となる状態で、クランプユニット14の移動に伴い前記印刷実行位置P2に搬送され、印刷後は、前記印刷実行位置P2において基板Wの保持状態が解除されることによりクランプユニット14からコンベヤ対12上に基板Wが受け渡されるようになっている。なお、以下の説明では、便宜上、上記のようにクランプユニット14により基板Wを保持した状態(コンベヤ対12から持ち上げられてクランプ部材160によりクランプされた状態)を単にクランプ状態といい、保持が解除された状態をクランプ解除状態という。   Here, as shown in FIG. 3, each of the substrate support tables 10A and 10B is provided with a standby space for the substrate W on the substrate carry-in portion En1 and En2 side, and this position is the substrate standby position P1 (the specific position of the present invention). The predetermined position on the downstream side of this is the print execution position P2, and the clamp unit 14 moves between the substrate standby position P1 and the print execution position P2 on the basis of the motor control by the control device described later. And it moves along the fixed rail 141. In association with the movement of the clamp unit 14, the drive of the BU table 150 and the clamp member 160 is controlled by the control device. That is, after the clamp unit 14 is moved to the substrate standby position P1, the substrate W is lifted from the conveyor pair 12 and clamped by the clamp member 160, so that the substrate W can be printed by the print execution units 20A and 20B. As the clamp unit 14 moves, it is transported to the print execution position P2, and after printing, the substrate W is received on the conveyor pair 12 from the clamp unit 14 by releasing the holding state of the substrate W at the print execution position P2. It is supposed to be passed. In the following description, for convenience, the state in which the substrate W is held by the clamp unit 14 as described above (the state in which the substrate W is lifted from the conveyor pair 12 and clamped by the clamp member 160) is simply referred to as a clamped state, and the holding is released. This state is referred to as a clamp release state.

図2、図4および図5では、第1基板支持テーブル10Aのクランプユニット14のみ示しているが、基板Wを装置前側基準でクランプする点を除き、第2基板支持テーブル10Bの構成も基本的には第1基板支持テーブル10Aと共通している。   2, 4 and 5, only the clamp unit 14 of the first substrate support table 10A is shown, but the configuration of the second substrate support table 10B is also basic except that the substrate W is clamped on the front side of the apparatus. Is common to the first substrate support table 10A.

クリーニングユニット18は、詳細図を省略しているが、後述するスクリーンマスク21の下面に摺接可能なパッドおよびこのパッドを介してスクリーンマスク21を負圧吸引する吸引ノズル等を含むクリーニングヘッドを備えており、基板支持テーブル10A、10BがY軸方向に移動する際に、このクリーニングヘッドをスクリーンマスク21の下面に摺接させることで当該マスク下面やパターン孔内に溜まったペーストを除去する。   Although not shown in detail, the cleaning unit 18 includes a cleaning head including a pad that can be slidably contacted with the lower surface of a screen mask 21 described later, a suction nozzle that sucks the screen mask 21 through the pad, and the like. When the substrate support tables 10A and 10B move in the Y-axis direction, the cleaning head is brought into sliding contact with the lower surface of the screen mask 21 to remove the paste accumulated on the lower surface of the mask and the pattern holes.

クリーニングヘッドは、基板支持テーブル10A、10Bに対して昇降可能に構成されており、清掃時のみスクリーンマスク21に摺接可能な作動位置に配置され、それ以外はこの作動位置から下降した退避位置に配置されるように構成されている。   The cleaning head is configured to be movable up and down with respect to the substrate support tables 10A and 10B. The cleaning head is disposed at an operating position where the cleaning head can be slidably contacted with the screen mask 21 only at the time of cleaning. It is configured to be arranged.

なお、図1〜図3中の符号15は、前記コンベヤ対12が具備するストッパ機構であり、クランプユニット14が上記基板待機位置P1より上記印刷実行位置P2側にある状態で、基板搬入部En1、En2からコンベヤ対12上に受け入れられコンベア対12の作動で搬送される基板Wを上記基板待機位置P1で停止させ、その位置に待機させるためのものである。このストッパ機構15は、例えばエアシリンダ等のアクチュエータにより進退駆動されるストッパ軸を有しており、コンベヤ対12による基板Wの搬送路中に前記ストッパ軸を進出させて基板Wの移動を規制する作動状態と、搬送路外にストッパ軸を退避させて基板Wの移動を許容する停止状態とに切り換え可能に構成されている。すなわち、ストッパ機構15は、印刷後の基板Wがクランプユニット14からコンベア対12上に受け渡され、基板支持テーブル10A(あるいは10B)が送出位置に移動後、コンベア対12の作動で基板Wが印刷実行位置P2から基板搬出部Ex1(あるいはEx2)を通して搬出される際に、クランプユニット14により基板待機位置P1の基板Wがコンベア対12から持ち上げられるまでは、ストッパ機構15は、コンベア対12の作動に抗して基板Wを上記基板待機位置P1に維持待機させることもできる。   Reference numeral 15 in FIGS. 1 to 3 denotes a stopper mechanism provided in the conveyor pair 12, and the substrate carry-in portion En1 in a state where the clamp unit 14 is located on the print execution position P2 side from the substrate standby position P1. , En2 is for stopping the substrate W received on the conveyor pair 12 and transported by the operation of the conveyor pair 12 at the substrate standby position P1, and waiting at that position. This stopper mechanism 15 has a stopper shaft that is driven back and forth by an actuator such as an air cylinder, for example, and restricts the movement of the substrate W by advancing the stopper shaft into the transport path of the substrate W by the conveyor pair 12. It is configured to be switchable between an operating state and a stopped state in which the stopper shaft is retracted out of the conveyance path and the movement of the substrate W is allowed. That is, the stopper mechanism 15 receives the printed substrate W from the clamp unit 14 onto the conveyor pair 12 and moves the substrate support table 10A (or 10B) to the delivery position. When the substrate W at the substrate standby position P1 is lifted from the conveyor pair 12 by the clamp unit 14 when unloading from the print execution position P2 through the substrate unloading section Ex1 (or Ex2), the stopper mechanism 15 The substrate W can be maintained and waited at the substrate standby position P1 against the operation.

また、同図中の符号16は、クランプユニット14に搭載されるマスク認識カメラである。このマスク認識カメラ16は、CCDエリアセンサ等を備えたカメラであり、後記スクリーンマスク21と基板Wとの相対位置を認識するためにスクリーンマスク下面に記されるマークや記号等の標識を下側から撮像するものである。   Further, reference numeral 16 in the figure denotes a mask recognition camera mounted on the clamp unit 14. The mask recognizing camera 16 is a camera having a CCD area sensor or the like, and a mark such as a mark or a symbol written on the lower surface of the screen mask to recognize the relative position between the screen mask 21 and the substrate W, which will be described later. The image is taken from.

上記基板支持テーブル10A、10Bの上方、詳しくはそれぞれ受取位置に配置された基板支持テーブル10A、10Bにおける上記印刷実行位置P2の上方位置には印刷実行部20A、20B(第1印刷実行部20A、第2印刷実行部20Bという)が設けられている。   Print execution units 20A and 20B (first print execution units 20A, 20B) are located above the substrate support tables 10A and 10B, more specifically at positions above the print execution position P2 in the substrate support tables 10A and 10B arranged at the receiving positions. 2nd printing execution part 20B) is provided.

図6は、印刷装置1から印刷実行部20A、20Bのみを抽出して示した斜視図である。各印刷実行部20A、20Bは、Y軸方向に併設され、それぞれマスク21を保持するためのマスク保持機構と、X軸方向に配設されるスキージユニット40と、Y軸方向に配設され、このスキージユニット40をY軸方向に移動させるスキージ駆動機構等とを含む。印刷実行部20A、20Bを構成する各機構等は、基台2上にX軸方向に所定間隔を隔てて設置され、第1基板搬入部En1から第1受取位置へ移動する基板W、第2基板搬入部En2から第2受取位置へ移動する基板W、および送出位置から基板搬出部Exへ移動する基板をY軸方向に跨ぐように、それぞれ門型に形成された一対の装置フレーム6に組付けられている。   FIG. 6 is a perspective view showing only the print execution units 20 </ b> A and 20 </ b> B extracted from the printing apparatus 1. Each of the print execution units 20A and 20B is provided in the Y-axis direction, and is provided with a mask holding mechanism for holding the mask 21, a squeegee unit 40 provided in the X-axis direction, and a Y-axis direction, And a squeegee driving mechanism for moving the squeegee unit 40 in the Y-axis direction. The mechanisms and the like constituting the print execution units 20A and 20B are installed on the base 2 at a predetermined interval in the X-axis direction, and move from the first substrate carry-in unit En1 to the first receiving position. The substrate W that moves from the substrate carry-in portion En2 to the second receiving position and the substrate that moves from the send-out position to the substrate carry-out portion Ex are assembled in a pair of device frames 6 each formed in a gate shape so as to straddle the Y-axis direction. It is attached.

各マスク保持機構は、図6〜図8に示すように、スクリーンマスク21(以下、マスク21と略す)が着脱可能に組付けられ矩形のマスク固定部材22と、このマスク固定部材22を昇降させるための昇降駆動機構と、同固定部材22を昇降駆動機構ごとZ軸回りに回転させる回転駆動機構と、同固定部材22を昇降駆動機構ごとY軸方向に移動させるためのY軸駆動機構とを含む。   As shown in FIGS. 6 to 8, each mask holding mechanism includes a rectangular mask fixing member 22 in which a screen mask 21 (hereinafter abbreviated as “mask 21”) is detachably attached, and raises and lowers the mask fixing member 22. An elevating drive mechanism, a rotation driving mechanism for rotating the fixing member 22 together with the elevating drive mechanism about the Z axis, and a Y axis driving mechanism for moving the fixing member 22 along the Y axis direction together with the elevating drive mechanism Including.

マスク固定部材22は、図7および図8に示すように、中央に印刷用の開口部22aが形成された矩形形状を有しており、予め枠体に組付けられたマスク21が当該枠体と共に前記開口部22aを塞ぐようにこのマスク固定部材22に固定されるようになっている。   As shown in FIGS. 7 and 8, the mask fixing member 22 has a rectangular shape in which an opening 22a for printing is formed at the center, and the mask 21 assembled in advance in the frame body is the frame body. In addition, the mask fixing member 22 is fixed so as to close the opening 22a.

マスク固定部材22の上記各駆動機構は次のような構成を有する。   Each drive mechanism of the mask fixing member 22 has the following configuration.

各装置フレーム6には、Y軸方向に延びる固定レール25が設けられ、マスク固定部材22を昇降可能に支持するためのマスク支持部材24がこれら固定レール25に移動自在に支持されている。具体的には、マスク支持部材24は、固定レール25に沿って延びる一対のY軸プレート部24aとそれらの一端部同士を繋ぐX軸プレート部24bとからなる平面視コ字型の形状を有しており、前記各固定レール25に装着されたスライダ26a〜26cに対して各Y軸プレート部24aが連結されることによりY軸方向に移動可能となっている。   Each apparatus frame 6 is provided with a fixed rail 25 extending in the Y-axis direction, and a mask support member 24 for supporting the mask fixing member 22 so as to be movable up and down is movably supported by these fixed rails 25. Specifically, the mask support member 24 has a U-shaped shape in a plan view including a pair of Y-axis plate portions 24 a extending along the fixed rail 25 and an X-axis plate portion 24 b connecting the one end portions thereof. The Y-axis plate portions 24a are connected to the sliders 26a to 26c attached to the fixed rails 25, so that they can move in the Y-axis direction.

図8に示すように、マスク支持部材24の各Y軸プレート部24aには、Z軸方向に延びる一対のガイド軸251が貫通しており、これらガイド軸251の下端部に前記マスク固定部材22が固定されるとともに上端部に連結部材252が固定されている。マスク支持部材24の各Y軸プレート部24aには、両ガイド軸251の間の位置に一対のプーリ一体型ナット256が回転自在且つZ軸方向固定に組付けられており、これらプーリ一体型ナット256に対してそれぞれねじ軸254がZ軸方向に螺合挿入されるとともにこのねじ軸254の両端が前記マスク固定部材22および連結部材252に固定支持されている。また、前記マスク支持部材24にモータ260が固定され、このモータ260の出力軸に図外の駆動プーリが装着され、この駆動プーリと、マスク支持部材24に組付けられた複数のアイドルプーリ257と、上記プーリ一体型ナット256とに亘って駆動ベルト258が装着される。   As shown in FIG. 8, a pair of guide shafts 251 extending in the Z-axis direction pass through each Y-axis plate portion 24 a of the mask support member 24, and the mask fixing member 22 is provided at the lower end of these guide shafts 251. Is fixed, and a connecting member 252 is fixed to the upper end. Each Y-axis plate portion 24a of the mask support member 24 has a pair of pulley-integrated nuts 256 assembled at a position between both guide shafts 251 so as to be rotatable and fixed in the Z-axis direction. Each screw shaft 254 is screwed into the Z-axis direction with respect to 256, and both ends of the screw shaft 254 are fixedly supported by the mask fixing member 22 and the connecting member 252. A motor 260 is fixed to the mask support member 24, and a drive pulley (not shown) is mounted on the output shaft of the motor 260. The drive pulley and a plurality of idle pulleys 257 assembled to the mask support member 24 are provided. A drive belt 258 is mounted across the pulley integrated nut 256.

この構成により、モータ260が駆動すると、その回転が駆動ベルト258を介して前記プーリ一体型ナット256に伝動されて当該プーリ一体型ナット256が回転し、この回転に伴いねじ軸254がその軸方向に移動する結果、図8中に矢印で示すように、このねじ軸254に固定された前記マスク固定部材22がガイド軸251によって案内されつつ上下方向(Z軸方向)に移動する。そして、印刷時には、後記制御装置によるモータ260の制御により、マスク21が、基板支持テーブル10A、10Bに支持された基板W、詳しくはコンベヤ対12から持ち上げられた状態で上記クランプユニット14によりクランプされた状態の基板Wに重なる重装高さ位置(図8中の二点鎖線に示す位置)とこの高さ位置よりも上方の退避位置(同図中の実線に示す位置)とに変位するようになっている。   With this configuration, when the motor 260 is driven, the rotation is transmitted to the pulley integrated nut 256 via the drive belt 258 to rotate the pulley integrated nut 256, and the screw shaft 254 is axially moved along with this rotation. As a result, the mask fixing member 22 fixed to the screw shaft 254 moves in the vertical direction (Z-axis direction) while being guided by the guide shaft 251 as indicated by an arrow in FIG. At the time of printing, the mask 21 is clamped by the clamp unit 14 while being lifted from the substrate W supported by the substrate support tables 10A and 10B, specifically the conveyor pair 12, by the control of the motor 260 by the control device described later. So as to be displaced between the overlapping height position (the position indicated by the two-dot chain line in FIG. 8) and the retracted position (the position indicated by the solid line in FIG. 8) above this height position. It has become.

マスク支持部材24は、上記の通り各固定レール25に装着されたスライダ26a〜26cに連結されているが、詳しくは、特定位置を支点としてマスク支持部材24のZ軸回りの変位が許容されるようにリンク部材28a〜28cを介して各Y軸プレート部24aがスライダ26a〜26cに連結されている。図9(a)は、その構造の理解を容易にするためにマスク支持部材24等を模式的に示した図である。この図に示すように、マスク支持部材24は、一方側(同図では左側)のY軸プレート部24aにおける中間位置がピン29を介してスライダ26bに連結された上で、この一方側のY軸プレート部24aにおけるY軸方向両端の位置とスライダ26a、26cとがそれぞれ両端ピン連結のリンク部材28a、28cを介して連結されている。また、マスク支持部材24の他方側のY軸プレート部24aにおけるY軸方向両端および中間の三箇所とスライダ26a〜26cとが同様にそれぞれ両端ピン連結のリンク部材28a〜28cを介して連結されている。   The mask support member 24 is connected to the sliders 26a to 26c mounted on the fixed rails 25 as described above. Specifically, the mask support member 24 is allowed to be displaced around the Z axis with a specific position as a fulcrum. As described above, the Y-axis plate portions 24a are connected to the sliders 26a to 26c through the link members 28a to 28c. FIG. 9A is a diagram schematically showing the mask support member 24 and the like in order to facilitate understanding of the structure. As shown in this figure, the mask support member 24 is connected to a slider 26b via a pin 29 at an intermediate position in the Y-axis plate portion 24a on one side (left side in the figure). Positions at both ends in the Y-axis direction of the shaft plate portion 24a and the sliders 26a, 26c are connected via link members 28a, 28c that are pin-connected at both ends, respectively. Similarly, the Y-axis plate ends 24a on the other side of the mask support member 24, and the three intermediate positions in the Y-axis direction and the sliders 26a to 26c are similarly connected via link members 28a to 28c connected to both ends. Yes.

そして、マスク支持部材24の各Y軸プレート部24aにそれぞれ連結された3つのスライダ26a〜26cのうち真ん中のスライダ26bにそれぞれナット部材33が固定され、これらナット部材33に対してY軸方向に延びるねじ軸32が螺合挿入されるとともにこれらねじ軸32が装置フレーム6に固定されたモータ30の出力軸と一体化されている。   The nut member 33 is fixed to the middle slider 26b among the three sliders 26a to 26c respectively connected to the Y-axis plate portions 24a of the mask support member 24. The nut member 33 is fixed to the nut member 33 in the Y-axis direction. The extending screw shaft 32 is screwed and inserted, and these screw shafts 32 are integrated with the output shaft of the motor 30 fixed to the apparatus frame 6.

この構成により、各モータ30が同方向に等速度で駆動されるとマスク支持部材24がそのままの状態を保ちつつY軸方向に移動する一方で、例えば図9(b)に示すように何れか一方のモータ30だけが駆動されると、上記ピン29を支点としてマスク支持部材24がZ軸回りに回動する。   With this configuration, when each motor 30 is driven at the same speed in the same direction, the mask support member 24 moves in the Y-axis direction while maintaining the state as it is. For example, as shown in FIG. When only one motor 30 is driven, the mask support member 24 rotates around the Z axis with the pin 29 as a fulcrum.

上記印刷実行部20A、20Bにおいてそれぞれ、上記スキージユニット40は、上記マスク保持機構の上方に配置されている。このスキージユニット40は、クリーム半田、導電ペースト等のペーストをマスク21上でローリング(混練)しながら拡張するもので、単一のスキージ42と、マスク21に対するスキージ42の傾き方向および傾き角度を変更するための図外のスキージ角度可変機構と、スキージ42をこれがマスク21に摺接する印刷作業高さ位置とこの位置よりも上方の退避位置(図2、図6に示す位置)とに昇降させる図外のスキージ昇降機構等とを含む。   In each of the print execution units 20A and 20B, the squeegee unit 40 is disposed above the mask holding mechanism. This squeegee unit 40 expands a paste such as cream solder or conductive paste on the mask 21 while rolling (kneading) the squeegee unit 40, and changes the tilt direction and tilt angle of the single squeegee 42 and the squeegee 42 with respect to the mask 21. A squeegee angle variable mechanism (not shown) for moving the squeegee 42 up and down to a printing work height position where the squeegee 42 is in sliding contact with the mask 21 and a retreat position (position shown in FIGS. 2 and 6) above this position. Including an outer squeegee lifting mechanism and the like.

スキージユニット40をY軸方向に駆動するスキージ駆動機構は、ねじ送り機構により構成されている。すなわち、図6および図7に示すように、各印刷実行部20A、20Bの各スキージユニット40は、装置フレーム6に設けられたY軸方向に延びる共通の固定レール44上に移動自在に支持されており、それぞれねじ軸47A、47Bを介してモータ46A、46Bにより互いに独立して駆動されるように構成されている。   The squeegee drive mechanism that drives the squeegee unit 40 in the Y-axis direction is configured by a screw feed mechanism. That is, as shown in FIGS. 6 and 7, the squeegee units 40 of the print execution units 20A and 20B are movably supported on a common fixed rail 44 provided in the apparatus frame 6 and extending in the Y-axis direction. The motors 46A and 46B are driven independently of each other via screw shafts 47A and 47B, respectively.

なお、図6中の符号50A、50Bは基板認識カメラ(本発明の基板撮像手段に相当する)であり、上記各基板支持テーブル10A、10B上に支持される基板Wと印刷実行部20A、20Bとの相対位置を認識するために基板Wの複数のマークや記号等の標識を上側から撮像するものである。これら基板認識カメラ50A、50B(第1基板認識カメラ50A、第2基板認識カメラ50Bという)は、上記マスク認識カメラ16と同様にCCDエリアセンサ等を備えたカメラであり装置フレーム6に固定されている。具体的には、基板搬入部En1、En2側に位置する装置フレーム6のうち、第1基板認識カメラ50Aが第1印刷実行部20Aの側方位置に、第2基板認識カメラ50Bが第2印刷実行部20Bの側方位置にそれぞれ固定されている。これにより第1基板認識カメラ50Aについては、送出位置から受取位置に戻ることによりY軸方向に移動する第1基板支持テーブル10A上において基板待機位置P1から印刷実行位置P2にX軸方向に移動するクランプユニット14の、第1基板認識カメラ50Aに対してX軸方向Y軸方向の両方向に移動する保持基板Wの複数の標識を撮像可能となっており、第2基板認識カメラ50Bについては、送出位置から受取位置に戻ることによりY軸方向に移動する第2基板支持テーブル10B上において基板待機位置P1から印刷実行位置P2にX軸方向に移動するクランプユニット14の、第2基板認識カメラ50Bに対してX軸方向Y軸方向の両方向に移動する保持基板Wの複数の標識を撮像可能となっている。   Reference numerals 50A and 50B in FIG. 6 are substrate recognition cameras (corresponding to the substrate imaging means of the present invention), and the substrates W and print execution units 20A and 20B supported on the substrate support tables 10A and 10B. In order to recognize the relative position, a plurality of marks such as marks and symbols on the substrate W are imaged from above. These substrate recognition cameras 50A and 50B (referred to as the first substrate recognition camera 50A and the second substrate recognition camera 50B) are cameras equipped with a CCD area sensor and the like, similar to the mask recognition camera 16, and are fixed to the apparatus frame 6. Yes. Specifically, among the apparatus frames 6 positioned on the substrate carry-in portions En1 and En2 side, the first substrate recognition camera 50A is located at a side position of the first print execution unit 20A, and the second substrate recognition camera 50B is printed second. Each is fixed to a side position of the execution unit 20B. Accordingly, the first substrate recognition camera 50A moves in the X-axis direction from the substrate standby position P1 to the print execution position P2 on the first substrate support table 10A that moves in the Y-axis direction by returning from the sending position to the receiving position. The clamp unit 14 can image a plurality of marks on the holding substrate W that moves in both the X-axis direction and the Y-axis direction with respect to the first substrate recognition camera 50A, and the second substrate recognition camera 50B is sent out. The second substrate recognition camera 50B of the clamp unit 14 that moves in the X axis direction from the substrate standby position P1 to the print execution position P2 on the second substrate support table 10B that moves in the Y axis direction by returning from the position to the receiving position. On the other hand, it is possible to image a plurality of marks on the holding substrate W that move in both the X-axis direction and the Y-axis direction.

この印刷装置1は、CPU等を構成要素とする図外の制御装置(本発明の制御手段に相当する)を備えており、前記モータ4A、4B等のアクチュエータ類およびマスク認識カメラ16等のカメラ類は全てこの制御装置に電気的に接続されている。従って、前記基板支持テーブル10A、10Bおよび印刷実行部20A、20Bによる一連の印刷処理動作、つまり基板搬入部En1、En2から搬入されてくる基板Wの受け取り、基板Wへの印刷および基板搬出部Ex1、Ex2からの基板Wの搬出の一連の動作はこの制御装置により統括的に制御される。   The printing apparatus 1 includes a control device (not shown) having a CPU or the like as a constituent element (corresponding to the control means of the present invention). The actuators such as the motors 4A and 4B and the camera such as the mask recognition camera 16 are provided. All classes are electrically connected to this controller. Accordingly, a series of printing processing operations by the substrate support tables 10A and 10B and the print execution units 20A and 20B, that is, receiving the substrate W carried in from the substrate carry-in units En1 and En2, printing on the substrate W, and substrate unloading unit Ex1. , A series of operations for unloading the substrate W from Ex2 are comprehensively controlled by this control device.

次に、この制御装置の制御に基づく印刷装置1の印刷動作について図10および図11を参照しつつ説明する。   Next, a printing operation of the printing apparatus 1 based on the control of the control apparatus will be described with reference to FIGS. 10 and 11.

図10(a)は、印刷装置1において連続的に行われている印刷動作の特定時点の状態を模式的に示しており、この時点の基板支持テーブル10A、10Bおよび印刷実行部20A、20Bの状態は以下の通りである。   FIG. 10A schematically shows a state at a specific time point of the printing operation continuously performed in the printing apparatus 1, and the substrate support tables 10A and 10B and the print execution units 20A and 20B at this time point. The state is as follows.

第1基板支持テーブル10Aは、第1基板搬入部En1側の受取位置に配置されている。この第1基板支持テーブル10Aは、先行する基板Wがクランプユニット14に保持された状態で印刷実行位置P2に配置されるとともに後続の基板が基板待機位置P1に搬入されて待機した状態にあり、先行する基板Wに対しては印刷実行部20Aによる印刷が実施されている。なお、印刷実行位置P2の基板Wは、図5(b)に示すように、コンベヤ対12から持ち上げられた状態でクランプユニット14により支持されている。   The first substrate support table 10A is disposed at the receiving position on the first substrate carry-in portion En1 side. The first substrate support table 10A is placed in the print execution position P2 while the preceding substrate W is held by the clamp unit 14, and the subsequent substrate is brought into the substrate standby position P1 and is in a standby state. Printing is performed on the preceding substrate W by the print execution unit 20A. The substrate W at the printing execution position P2 is supported by the clamp unit 14 in a state where it is lifted from the conveyor pair 12 as shown in FIG.

一方、第2基板支持テーブル10Bは、第2基板搬入部Ex2側の送出位置に配置されている。この第2基板支持テーブル10Bは、コンベヤ対12により印刷後の先行基板Wが第2基板搬出部Ex2に送り出されるとともに基板待機位置P1にある後続の基板Wがクランプユニット14によりクランプされた状態にある。   On the other hand, the second substrate support table 10B is disposed at the delivery position on the second substrate carry-in portion Ex2 side. In the second substrate support table 10B, the preceding substrate W after printing is sent out to the second substrate unloading section Ex2 by the conveyor pair 12, and the subsequent substrate W at the substrate standby position P1 is clamped by the clamp unit 14. is there.

このような図10(a)に示す状態において、第1基板支持テーブル10A上の先行基板Wの印刷が終了すると、この第1基板支持テーブル10Aが受取位置から送出位置に向かって移動を開始するとともにクランプユニット14による基板Wのクランプ状態が解除されて先行する印刷済みの基板Wがコンベヤ対12上に受け渡され、このクランプユニット14が印刷実行位置P2から基板待機位置P1に移動することにより当該基板待機位置P1に待機中の後続基板Wがクランプユニット14によりクランプされる(図10(b))。具体的には、クランプユニット14が基板待機位置P1に移動した後、BUテーブル150が退避位置から作動位置に上昇することにより基板Wがコンベヤ対12(ベルト121)から持ち上げられ、この状態でクランプ部材160が退避位置から前進位置に変位することにより基板Wが一対のクランプ部材160によりクランプされる。なお、クランプユニット14による基板Wのクランプは、例えば、当実施形態では第1基板支持テーブル10Aが送出位置に到達する時点までに行われる。   In the state shown in FIG. 10A, when the printing of the preceding substrate W on the first substrate support table 10A is finished, the first substrate support table 10A starts moving from the receiving position toward the sending position. At the same time, the clamping state of the substrate W by the clamp unit 14 is released, and the preceding printed substrate W is transferred onto the conveyor pair 12, and the clamp unit 14 moves from the printing execution position P2 to the substrate standby position P1. The subsequent substrate W waiting in the substrate standby position P1 is clamped by the clamp unit 14 (FIG. 10B). Specifically, after the clamp unit 14 moves to the substrate standby position P1, the BU table 150 is raised from the retracted position to the operating position, whereby the substrate W is lifted from the conveyor pair 12 (belt 121), and the clamp is held in this state. When the member 160 is displaced from the retracted position to the advanced position, the substrate W is clamped by the pair of clamp members 160. The clamping of the substrate W by the clamping unit 14 is performed, for example, by the time when the first substrate support table 10A reaches the delivery position in the present embodiment.

第1基板支持テーブル10Aが送出位置に到達すると、コンベヤ対12が駆動され、これにより印刷済みの先行基板Wが第1基板支持テーブル10Aから第1基板搬出部Ex1に送り出される(図11(a))。   When the first substrate support table 10A reaches the delivery position, the conveyor pair 12 is driven, whereby the printed preceding substrate W is delivered from the first substrate support table 10A to the first substrate unloading section Ex1 (FIG. 11 (a). )).

印刷済みの先行基板Wが第1基板支持テーブル10Aから送り出されると、コンベヤ対12が停止され、第1基板支持テーブル10Aが送出位置から受取位置に向かってY軸方向に移動するとともにこれに同期してクランプユニット14が基板待機位置P1から印刷実行位置P2に向かってX軸方向に移動する。この際、基板W上に記された複数の標識が第1基板認識カメラ50Aの下方位置(本発明の撮像位置に相当する)を順次経由し、かつマスク21下面に記される標識の下方位置をマスク認識カメラ16が経由するように第1基板支持テーブル10Aおよびクランプユニット14が制御される。これにより基板Wおよびマスク21の位置が画像認識され、これら基板Wおよびマスク21の画像認識結果に基づき、印刷実行位置P2に基板Wを配置したときの当該基板Wとマスク21との位置ずれが求められ、さらにこの位置ずれに応じたX軸、Y軸およびR軸(Z軸回り)方向の補正値(ΔX、ΔY、ΔR)が求められる。このような認識処理および補正値の演算は、基板認識カメラ50およびマスク認識カメラ16による撮像画像に基づき上記制御装置により行われる。なお、クランプユニット14は、例えば当実施形態では第1基板支持テーブル10Aが受取位置に到達する時点で第1基板支持テーブル10A上の印刷実行位置P2に基板Wが配置されているように制御される。 When the printed preceding substrate W is sent out from the first substrate support table 10A, the conveyor pair 12 is stopped, and the first substrate support table 10A moves from the sending position toward the receiving position in the Y-axis direction and is synchronized therewith. Then, the clamp unit 14 moves in the X-axis direction from the substrate standby position P1 toward the print execution position P2. At this time, the plurality of signs written on the substrate W sequentially pass through the lower position (corresponding to the imaging position of the present invention) of the first board recognition camera 50A, and the lower position of the mark written on the lower surface of the mask 21 the first substrate supporting table 10A and the clamping unit 14 is controlled so as to pass through mask recognition camera 16 a. As a result, the positions of the substrate W and the mask 21 are image-recognized. Based on the image recognition results of the substrate W and the mask 21, the positional deviation between the substrate W and the mask 21 when the substrate W is disposed at the print execution position P2 is detected. Further, correction values (ΔX, ΔY, ΔR) in the X-axis, Y-axis, and R-axis (around Z-axis) directions corresponding to the positional deviation are obtained. Such recognition processing and calculation of correction values are performed by the control device based on images captured by the substrate recognition camera 50 and the mask recognition camera 16. The clamp unit 14 is controlled such that, for example, in the present embodiment, the substrate W is disposed at the print execution position P2 on the first substrate support table 10A when the first substrate support table 10A reaches the receiving position. The

そして、図11(b)に示すように第1基板支持テーブル10Aが受取位置に到達すると、第1印刷実行部20Aにより基板Wへの印刷が実施されるとともに、その間に、コンベヤ対12の駆動により第1基板搬入部En2から後続の基板Wが第1基板支持テーブル10A上に受け入れられて基板待機位置P1に配置される。この際、印刷実行位置P2の基板Wはコンベヤ対12から持ち上げられた状態でクランプユニット14によりクランプされているため、後続の基板Wの受け入れに伴い印刷実行位置P2の基板Wが位置ずれを起こすことはない。   Then, as shown in FIG. 11B, when the first substrate support table 10A reaches the receiving position, the printing on the substrate W is performed by the first print execution unit 20A, and the conveyor pair 12 is driven in the meantime. Accordingly, the subsequent substrate W is received from the first substrate carry-in portion En2 onto the first substrate support table 10A and is placed at the substrate standby position P1. At this time, since the substrate W at the print execution position P2 is clamped by the clamp unit 14 while being lifted from the conveyor pair 12, the substrate W at the print execution position P2 is displaced as the subsequent substrate W is received. There is nothing.

第1印刷実行部20Aによる基板Wの印刷では、まず、マスク支持部材24が退避位置から重装高さ位置に下降し、これによりマスク21が基板Wに重装される。この際、第1基板支持テーブル10Aが第1受取位置に配置された状態で、上記補正値(ΔX、ΔY、ΔR)に基づきモータ144により基板支持テーブル10A上における基板Wの位置が、X軸方向に補正値ΔX分だけ補正され、2つのモータ30によりマスク21のY軸方向の補正値ΔY分の位置補正とR軸方向の補正値ΔR分の位置補正が、それぞれ実施されることにより、マスク21が基板Wに対して適正に重装される。   In the printing of the substrate W by the first printing execution unit 20A, first, the mask support member 24 is lowered from the retracted position to the heavy equipment height position, whereby the mask 21 is placed on the substrate W. At this time, the position of the substrate W on the substrate support table 10A by the motor 144 based on the correction values (ΔX, ΔY, ΔR) in a state where the first substrate support table 10A is arranged at the first receiving position is The correction is performed in the direction by the correction value ΔX, and the position correction for the correction value ΔY in the Y-axis direction and the correction value ΔR in the R-axis direction of the mask 21 are performed by the two motors 30 respectively. The mask 21 is properly stacked on the substrate W.

そして、印刷実行位置P2に配置された基板Wへのマスク21の重装が完了すると、スキージ42が退避位置から印刷作業高さ位置に移動した後、スキージ42を含むスキージユニット40全体がY軸方向に移動することによって基板Wに印刷が実施される。   When the mask 21 is completely loaded on the substrate W arranged at the printing execution position P2, the squeegee 42 is moved from the retracted position to the printing work height position, and then the entire squeegee unit 40 including the squeegee 42 is moved to the Y axis. Printing on the substrate W is performed by moving in the direction.

以上、第1基板支持テーブル10Aについて図10(a)の状態からの動作について説明したが、第2基板支持テーブル10Bについても、図10(b)、図11(a)、(b)に示すように、第1基板支持テーブル10Aと一定の時間差をもって当該第1基板支持テーブル10Aと同様に第2基板搬入部En2からの基板Wの受け入れ、基板Wの印刷および基板Wの第2基板搬出部Ex2への基板Wの送り出しが行われる。これにより各印刷実行部20A、20Bにおいて基板Wの印刷が交互に行われつつ部品実装装置Mに搬出されることとなる。   The operation of the first substrate support table 10A from the state shown in FIG. 10A has been described above, but the second substrate support table 10B is also shown in FIGS. 10B, 11A, and 11B. As described above, the substrate W is received from the second substrate carry-in portion En2 and printed, and the second substrate carry-out portion of the substrate W, with a certain time difference from the first substrate support table 10A. The substrate W is sent out to Ex2. As a result, the printing of the board W is alternately performed in each of the printing execution units 20A and 20B, and is carried out to the component mounting apparatus M.

以上のように、この印刷装置1では、搬出位置において印刷済みの先行基板Wを基板支持テーブル10A、10Bから基板搬出部Ex1、Ex2に送り出した後、基板支持テーブル10A、10Bが受取位置にリセットされる時点で後続基板Wが印刷実行位置P2に配置されており、このように送出位置から受取位置に基板支持テーブル10A、10Bがリセットされる過程で基板認識カメラ50A,50Bによる後続基板W(標識)の画像認識およびマスク認識カメラ16によるマスク21の画像認識が行われることで、受取位置に基板支持テーブル10A、10Bがリセットされた時点から直ちに印刷実行部20A、20Bによる印刷が開始される。そのため、上記印刷装置1によれば、背景技術で説明した特許文献2に記載されるような従来装置に比べると、先行基板Wの印刷終了後、後続基板Wの印刷を早いタイミングで開始することが可能となる。   As described above, in the printing apparatus 1, after the preceding substrate W printed at the carry-out position is sent from the substrate support tables 10A and 10B to the board carry-out portions Ex1 and Ex2, the substrate support tables 10A and 10B are reset to the receiving position. At this point, the subsequent substrate W is placed at the print execution position P2, and in the process of resetting the substrate support tables 10A, 10B from the sending position to the receiving position in this manner, the subsequent substrate W (by the substrate recognition cameras 50A, 50B) By performing the image recognition of the sign) and the image recognition of the mask 21 by the mask recognition camera 16, printing by the print execution units 20A and 20B is started immediately after the substrate support tables 10A and 10B are reset to the receiving positions. . Therefore, according to the printing apparatus 1, the printing of the subsequent substrate W is started at an early timing after the printing of the preceding substrate W is completed, as compared with the conventional apparatus described in Patent Document 2 described in the background art. Is possible.

図12は、印刷装置1の動作(同図(a))と上記従来装置の動作(同図(b))とを比較した工程図である。同図(b)に示すように、従来装置では、先行基板の印刷、搬出位置への基板支持テーブル(ステージ)の移動、基板搬出、基板受取位置への基板支持テーブルの移動、後続基板の搬入、後続基板のクランプおよび基板・マスク認識が順番に行われるのに対して、上記印刷装置1では、同図(a)に示すように、先行基板Wの印刷中に後続基板Wの基板支持テーブル10A、10Bへの搬入が行われ、基板支持テーブル10A、10Bが送出位置に移動して先行基板Wを搬出して受取位置にリセットされるまでの間に、後続基板Wがクランプされ、基板支持テーブル10A、10B上で基板Wが基板待機位置P1から印刷実行位置P2への移動が開始され、この移動中に基板W・マスク21の画像認識が行われた上で、印刷実行位置P2に当該後続基板Wが配置される。すなわち、上記印刷装置1によれば、同図(b)中、波括弧で括った工程内でほぼ後続基板Wの印刷準備が完了することとなる。従って、この印刷装置1によれば、先行基板Wの印刷終了から後続基板Wの印刷開始までの時間を従来装置に比べて大幅に短縮することができ、その結果、スループットを向上させてプリント回路板の生産性向上に寄与することができる。   FIG. 12 is a process diagram comparing the operation of the printing apparatus 1 (FIG. 12A) and the operation of the conventional apparatus (FIG. 12B). As shown in FIG. 4B, in the conventional apparatus, the preceding substrate is printed, the substrate support table (stage) is moved to the unloading position, the substrate is unloaded, the substrate support table is moved to the substrate receiving position, and the subsequent substrate is loaded. In the printing apparatus 1, the substrate support table for the subsequent substrate W is printed during the printing of the previous substrate W, as shown in FIG. 10A and 10B are carried in, and the subsequent substrate W is clamped until the substrate support tables 10A and 10B are moved to the delivery position, the previous substrate W is unloaded and reset to the reception position, and the substrate support is performed. The substrate W starts to move from the substrate standby position P1 to the print execution position P2 on the tables 10A and 10B. During this movement, image recognition of the substrate W / mask 21 is performed, and then the print execution position P2 is reached. Subsequent substrate W is disposed. That is, according to the printing apparatus 1, the preparation for printing the subsequent substrate W is almost completed within the process enclosed by curly brackets in FIG. Therefore, according to this printing apparatus 1, the time from the end of printing of the preceding substrate W to the start of printing of the subsequent substrate W can be significantly shortened compared to the conventional apparatus, and as a result, the throughput is improved and the printed circuit is improved. It can contribute to productivity improvement of a board.

また、この印刷装置1では、基板支持テーブル10A、10BがY軸方向に、クランプユニット14がX軸方向にそれぞれ移動する点を利用し、基板認識カメラ50A、50Bを装置フレーム6に固定した状態で基板W(標識)の撮像を行うとともに、マスク認識カメラ16をクランプユニット14に搭載することにより二次元的にマスク認識カメラ16を移動させてマスク21(標識)を撮像するようになっている。つまり、この印刷装置1では、基板認識カメラ50A、50Bやマスク認識カメラ16を移動させるための専用の駆動機構は不要であり、従って、合理的な構成で基板Wやマスク21の画像認識を行うことができるという利点もある。   Further, in this printing apparatus 1, the substrate recognition cameras 50 </ b> A and 50 </ b> B are fixed to the apparatus frame 6 using the points that the substrate support tables 10 </ b> A and 10 </ b> B move in the Y-axis direction and the clamp unit 14 move in the X-axis direction, respectively. Then, the substrate W (marker) is imaged, and the mask recognition camera 16 is mounted on the clamp unit 14 to move the mask recognition camera 16 two-dimensionally to image the mask 21 (marker). . That is, in this printing apparatus 1, a dedicated drive mechanism for moving the substrate recognition cameras 50A and 50B and the mask recognition camera 16 is not necessary, and therefore image recognition of the substrate W and the mask 21 is performed with a reasonable configuration. There is also an advantage of being able to.

なお、上記印刷装置1では、基板搬入部En1、En2から基板待機位置P1への基板Wの搬送、および印刷実行位置P2から基板搬出部Ex1、Ex2への基板Wの搬送が共通のコンベヤ対12で行われるが、勿論、基板搬入部En1、En2から基板待機位置P1へ基板Wを搬送するコンベヤ対と、印刷実行位置P2から基板搬出部Ex1、Ex2へ基板Wを搬送するコンベヤ対とを別個独立に設けるようにしてもよい。   In the printing apparatus 1, the conveyance of the substrate W from the substrate carry-in portions En1 and En2 to the substrate standby position P1 and the conveyance of the substrate W from the print execution position P2 to the substrate carry-out portions Ex1 and Ex2 are common conveyor pairs 12. Of course, the conveyor pair for transporting the substrate W from the substrate loading portions En1 and En2 to the substrate standby position P1 and the conveyor pair for transporting the substrate W from the printing execution position P2 to the substrate unloading portions Ex1 and Ex2 are separated. It may be provided independently.

次に、本発明に係るスクリーン印刷装置の第2実施形態について図13及び図14を参照しつつ説明する。   Next, a second embodiment of the screen printing apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS.

図13は第2実施形態に係るスクリーン印刷装置1A(以下、印刷装置1Aと略す)を平面図で模式的に示している。この第2実施形態に係る印刷装置1Aは、下流側にシングル搬送型の部品実装装置Mを連結した状態でプリント回路板(PCB)の製造ラインに組み込まれるもので、次の点で第1実施形態の印刷装置1と構成が相違している。なお、図示の例では、印刷装置1Aは、1台のローダLとシングル搬送型の1台の部品実装装置Mとの間に介設されており、上流側のローダLから繰り出されてくる基板Wに印刷を実施して下流側の部品実装装置Mに送り出す。   FIG. 13 schematically shows a screen printing apparatus 1A (hereinafter abbreviated as printing apparatus 1A) according to the second embodiment in a plan view. The printing apparatus 1A according to the second embodiment is incorporated into a printed circuit board (PCB) production line with a single-carrying-type component mounting apparatus M connected to the downstream side. The configuration is different from the printing apparatus 1 of the embodiment. In the example shown in the figure, the printing apparatus 1A is interposed between one loader L and one single-conveying type component mounting apparatus M, and is fed out from the upstream loader L. Printing is performed on W and sent to the component mounting apparatus M on the downstream side.

この印刷装置1Aでは、基板搬入部、基板搬出部、基板支持テーブルおよび印刷実行部は共に一つであり、基板搬入部Enから搬入される基板Wを基板支持テーブル10に受け入れ、当該基板Wに印刷を実施した後、印刷後の基板Wを基板支持テーブル10から基板搬出部Exに送り出す。なお、この印刷装置1Aでは、基板搬入部Enに対して基板搬出部ExがY軸方向にオフセットされた構成ではないが、基板支持テーブル10は第1実施形態と同様にY軸方向に移動可能に設けられている。   In this printing apparatus 1A, the substrate carry-in unit, the substrate carry-out unit, the substrate support table, and the print execution unit are all one, and the substrate W carried from the substrate carry-in unit En is received by the substrate support table 10 and is transferred to the substrate W. After printing, the printed substrate W is sent out from the substrate support table 10 to the substrate carry-out section Ex. In this printing apparatus 1A, the substrate carry-out portion Ex is not offset in the Y-axis direction with respect to the substrate carry-in portion En, but the substrate support table 10 is movable in the Y-axis direction as in the first embodiment. Is provided.

また、この印刷装置1Aでは基板認識カメラも一つであり、この基板認識カメラ50は、カメラ駆動機構52に連結されておりY軸方向に移動可能となっている。カメラ駆動機構は、詳しく図示していないが、例えばねじ送り機構により構成されている。すなわち、基板認識カメラ50は、装置フレーム6に組付けられた固定レールに移動可能に支持されており、ねじ軸を解してモータにより駆動されるようになっている。   The printing apparatus 1A also has one board recognition camera, and the board recognition camera 50 is connected to the camera drive mechanism 52 and is movable in the Y-axis direction. Although the camera drive mechanism is not shown in detail, it is constituted by, for example, a screw feed mechanism. That is, the board recognition camera 50 is movably supported on a fixed rail assembled to the apparatus frame 6 and is driven by a motor through a screw shaft.

この印刷装置1Aでは、同図に示すように、印刷実行位置P2および基板待機位置P1にそれぞれ基板Wが配置された状態で印刷実行位置P2に配置されている基板Wに対して印刷実行部20により印刷が実施される。   In this printing apparatus 1A, as shown in the figure, the print execution unit 20 for the substrate W arranged at the print execution position P2 with the substrates W arranged at the print execution position P2 and the substrate standby position P1, respectively. Printing is performed by the above.

印刷が終了すると、クランプユニット14のクランプ状態が解除されて印刷済みの先行基板Wがコンベヤ対12に受け渡され、これにより当該基板Wがコンベヤ対12により基板搬出部Exに送り出される一方で、クランプ解除後のクランプユニット14が基板待機位置P1に移動し、停止後待機中の後続基板Wをクランプする(図14(a))。この際、印刷済みの先行基板Wのクランプ解除に同期してコンベヤ対12が駆動されるが、後続の基板Wについてはストッパ機構15により待機状態が維持されるため、これによりクランプユニット14による後続基板Wのクランプが安定的に行われる。   When the printing is finished, the clamp state of the clamp unit 14 is released, and the printed preceding substrate W is transferred to the conveyor pair 12, whereby the substrate W is sent out to the substrate unloading unit Ex by the conveyor pair 12. The clamp unit 14 after releasing the clamp moves to the substrate standby position P1, and clamps the subsequent substrate W that is on standby after the stop (FIG. 14A). At this time, the conveyor pair 12 is driven in synchronization with the clamp release of the printed preceding substrate W, but the subsequent substrate W is maintained in the standby state by the stopper mechanism 15, so that the subsequent by the clamp unit 14 is performed. The substrate W is clamped stably.

なお、基板Wの印刷中、マスク21と基板Wとの位置決めにより基板支持テーブル10が所定の基準位置、つまり基板搬入部Enからの基板Wの受け入れおよび基板搬出部Exへの基板Wの送り出しが可能となる位置に対して基板支持テーブル10がY軸方向に移動した位置に配置されていた場合には、印刷後、先行基板Wのクランプ解除前に基板支持テーブル10が基準位置にリセットされる。   During the printing of the substrate W, the substrate support table 10 receives the substrate W from the predetermined loading position, that is, the substrate loading portion En, and sends the substrate W to the substrate unloading portion Ex by positioning the mask 21 and the substrate W. When the substrate support table 10 is arranged at a position moved in the Y-axis direction with respect to the possible position, the substrate support table 10 is reset to the reference position after printing and before the preceding substrate W is released from the clamp. .

クランプユニット14による後続基板Wのクランプが完了すると、クランプユニット14の移動により当該基板Wが基板待機位置P1から印刷実行位置P2に搬送されるとともに、基板搬入部Enから基板支持テーブル10上に基板Wが受け入れる(図14(b))。この際、基板認識カメラ50がY軸方向に移動することにより基板W上の標識が当該基板認識カメラ50により撮像されるとともに、基板支持テーブル10がY軸方向に移動することによりマスク21下面の標識が前記マスク認識カメラ16により撮像、認識され、これら基板Wおよびマスク21の画像認識結果に基づき補正値(ΔX、ΔY、ΔR)が求められる。例えば基板Wの対角線上の角部にそれぞれ標識が記されている場合には、図14(b)(c)に示すように、クランプユニット14(基板W)の移動に伴い当該標識上の位置に基板認識カメラ50が移動することにより、当該標識が基板認識カメラ50により順次撮像される。   When the clamping of the subsequent substrate W by the clamp unit 14 is completed, the substrate W is transported from the substrate standby position P1 to the print execution position P2 by the movement of the clamp unit 14, and the substrate is transferred from the substrate carry-in portion En onto the substrate support table 10. W accepts (FIG. 14B). At this time, when the substrate recognition camera 50 moves in the Y-axis direction, the marker on the substrate W is imaged by the substrate recognition camera 50, and when the substrate support table 10 moves in the Y-axis direction, The sign is imaged and recognized by the mask recognition camera 16, and correction values (ΔX, ΔY, ΔR) are obtained based on the image recognition results of the substrate W and the mask 21. For example, in the case where a sign is written at each corner on the diagonal line of the substrate W, as shown in FIGS. 14B and 14C, the position on the sign as the clamp unit 14 (substrate W) moves. As the substrate recognition camera 50 moves, the signs are sequentially imaged by the substrate recognition camera 50.

そして、クランプユニット14に保持された基板Wが印刷実行位置P2に到達すると、基台2に対して連結固定された不図示のフレームに脱着可能に装着されたマスク21下面の標識のため、Y軸方向へ移動に移動した基板支持テーブル10を元の位置に戻すべくY軸方向へ移動する。基板支持テーブル10はマスク21の中央部を通るZ軸回り(R軸方向)に所定角回動可能とされており、補正値ΔRだけ回動される。基板Wはこの回動する基板支持テーブル10上においてクランプユニット14により保持されており、基板支持テーブル10のY軸方向の補正値ΔY1とクランプユニット14の基板支持テーブル10に対する移動方向の補正値ΔX1が、それぞれ補正値ΔR、補正値ΔXおよび補正値ΔYに基づき算出される。これらの算出値に基づき補正値ΔX1だけクランプユニット14を移動し、補正値ΔY1だけ基板支持テーブルをY軸方向に移動する。その後、基台2に対して昇降可能とされた基板支持テーブル10が上昇され基板Wがマスク21に下方より重装される。こうして第1印刷実行部20Aにより基板Wへの印刷が実施される。この印刷実行部20による基板Wの印刷動作は、第1実施形態の印刷装置1と同様でありここでは省略する。   Then, when the substrate W held by the clamp unit 14 reaches the printing execution position P2, Y is used as an indicator on the lower surface of the mask 21 that is detachably attached to a frame (not shown) connected and fixed to the base 2. The substrate support table 10 moved to move in the axial direction is moved in the Y-axis direction to return it to the original position. The substrate support table 10 can be rotated by a predetermined angle around the Z axis (R axis direction) passing through the central portion of the mask 21 and is rotated by the correction value ΔR. The substrate W is held on the rotating substrate support table 10 by the clamp unit 14, and the correction value ΔY1 of the substrate support table 10 in the Y-axis direction and the correction value ΔX1 of the movement direction of the clamp unit 14 with respect to the substrate support table 10 are detected. Are calculated based on the correction value ΔR, the correction value ΔX, and the correction value ΔY, respectively. Based on these calculated values, the clamp unit 14 is moved by the correction value ΔX1, and the substrate support table is moved in the Y-axis direction by the correction value ΔY1. Thereafter, the substrate support table 10 that can be raised and lowered with respect to the base 2 is raised, and the substrate W is mounted on the mask 21 from below. Thus, printing on the substrate W is performed by the first printing execution unit 20A. The printing operation of the substrate W by the printing execution unit 20 is the same as that of the printing apparatus 1 of the first embodiment, and is omitted here.

以上のような第2実施形態の印刷装置1Aによれば、基板実行位置よりも上流側の基板待機位置P1でクランプユニット14により基板Wを事前に印刷実行部20による印刷が可能となる状態に保持し、基板Wを基板待機位置P1から印刷実行位置P2に搬送する途中で基板認識カメラ50により当該基板W(標識)を、またマスク認識カメラ16によりマスク21(標識)を撮像するように構成されているので、一旦印刷実行位置へ基板を搬送配置した後、当該基板を刷実行位置側方の撮像位置に移動させて基板を撮像したり、あるいは印刷実行位置へ基板を搬入配置した後、移動カメラを作動させて基板やマスクを撮像する場合(背景技術の特許文献1、2に記載された従来装置)に比べると効率的に基板Wの印刷を行うことができる。すなわち、上記のように一旦印刷実行位置への基板Wの搬入配置後に基板Wやマスクを撮像する場合には、印刷実行位置への基板の搬送工程とは別に基板W等の撮像工程が必要となるが、印刷装置1Bによれば印刷実行位置P2への基板Wの搬送と基板W等の撮像を並行して行うため、その分、タクトタイムを短縮することができる。   According to the printing apparatus 1A of the second embodiment as described above, the substrate W can be printed by the print execution unit 20 in advance by the clamp unit 14 at the substrate standby position P1 upstream of the substrate execution position. In the middle of transporting the substrate W from the substrate standby position P1 to the print execution position P2, the substrate recognition camera 50 captures the substrate W (sign) and the mask recognition camera 16 captures the mask 21 (sign). So, once the substrate is transported and arranged to the printing execution position, the substrate is moved to the imaging position on the side of the printing execution position and the substrate is imaged, or the substrate is carried in and arranged at the printing execution position, The substrate W can be printed more efficiently than when the moving camera is operated to image the substrate or mask (conventional devices described in Patent Documents 1 and 2 of the background art). That is, when the substrate W and the mask are imaged after the substrate W is once carried into the print execution position as described above, an imaging process of the substrate W or the like is required separately from the substrate transport process to the print execution position. However, according to the printing apparatus 1B, since the transport of the substrate W to the printing execution position P2 and the imaging of the substrate W and the like are performed in parallel, the tact time can be shortened accordingly.

しかも、印刷後は、先行する印刷済みの基板Wを基板搬出部Exへ送り出している間にクランプユニット14が基板待機位置P1に戻って後続の基板Wを保持して印刷実行位置P2に搬送するため、印刷済みの基板Wを基板搬出部へ完全に送り出した時点から後続の基板を基板搬入部から受け入れる場合に比べると、短時間で後続基板Wの印刷を開始することができ、この点でもタクトタイムを短縮することができる。   Moreover, after printing, the clamp unit 14 returns to the substrate standby position P1 while holding the preceding printed substrate W to the substrate carry-out section Ex, holds the subsequent substrate W, and transports it to the print execution position P2. Therefore, printing of the subsequent substrate W can be started in a shorter time than when the subsequent substrate is received from the substrate carry-in portion from the time when the printed substrate W is completely sent to the substrate carry-out portion. Tact time can be shortened.

従って、この第2実施形態の印刷装置1Aによれば、下流側にシングル搬送型の部品実装装置等が配置される従来のこの種のスクリーン印刷装置(例えば背景技術の特許文献1に記載された従来装置)に比べてスループットを向上させることができ、これによりプリント回路板の生産性向上に寄与することができる。   Therefore, according to the printing apparatus 1A of the second embodiment, this type of conventional screen printing apparatus (for example, described in Patent Document 1 of the background art) in which a single-conveyance type component mounting apparatus or the like is disposed on the downstream side. The throughput can be improved as compared with the conventional apparatus), which can contribute to the productivity improvement of the printed circuit board.

次に、本発明に係るスクリーン印刷装置の第3実施形態について図15を参照しつつ説明する。   Next, a third embodiment of the screen printing apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG.

図15(a)は第3実施形態に係るスクリーン印刷装置1B(以下、印刷装置1Bと略す)を平面図で模式的に示している。この第3実施形態に係る印刷装置1Bは、上述した第2実施形態の印刷装置1A(図13等参照)の変形であり、次の点で第2実施形態の印刷装置1Aと構成が相違する。すなわち、この印刷装置1Bは、印刷実行位置P2の側方となる位置に、印刷後の基板Wの印刷状態を検査するための検査カメラ60と、この検査カメラ60を二次的に移動させるX−Yロボットからなるカメラ駆動機構62とを備えた検査機能付き印刷装置である。   FIG. 15A schematically shows a screen printing apparatus 1B (hereinafter abbreviated as printing apparatus 1B) according to the third embodiment in a plan view. The printing apparatus 1B according to the third embodiment is a modification of the printing apparatus 1A (see FIG. 13 and the like) according to the second embodiment described above, and differs in configuration from the printing apparatus 1A according to the second embodiment in the following points. . That is, the printing apparatus 1B includes an inspection camera 60 for inspecting the printing state of the printed substrate W to a position that is lateral to the print execution position P2, and an X for moving the inspection camera 60 secondarily. A printing apparatus with an inspection function including a camera drive mechanism 62 formed of a Y robot.

さらに、基板支持テーブル10は第1実施形態に係る基板支持テーブル10Aと同様Y軸方向にのみ移動可能とされ、印刷実行部20の不図示のマスク回りの構成が第1実施形態に係るマスク21と同様とされ、マスクはX軸方向、R軸方向およびZ軸方向に移動可能とされる。このため、第2実施形態に係るマスク認識カメラ16および基板認識カメラ50と同様に、マスク認識カメラ16によるマスク(標識)の撮像がされ、基板認識カメラ50による基板W(標識)の撮像がされ、その結果に基づき求められる補正値(ΔX、ΔY、ΔR)により、第1実施形態と同様に、基板支持テーブル10の位置が補正値ΔYだけ移動され、マスクの位置が補正値ΔXだけ移動されるとともに、補正値ΔRだけ回動される。これを経て基板Wにマスクが上方より重装される。   Further, the substrate support table 10 can be moved only in the Y-axis direction like the substrate support table 10A according to the first embodiment, and the configuration around the mask (not shown) of the print execution unit 20 is the mask 21 according to the first embodiment. The mask is movable in the X-axis direction, the R-axis direction, and the Z-axis direction. Therefore, similarly to the mask recognition camera 16 and the substrate recognition camera 50 according to the second embodiment, the mask recognition camera 16 takes an image of the mask (sign), and the substrate recognition camera 50 takes an image of the substrate W (sign). As in the first embodiment, the position of the substrate support table 10 is moved by the correction value ΔY and the position of the mask is moved by the correction value ΔX by the correction values (ΔX, ΔY, ΔR) obtained based on the result. And is rotated by the correction value ΔR. Through this, the mask is placed on the substrate W from above.

この印刷装置1Bによる印刷動作の大部分は第2実施形態の印刷装置1Aと共通するが、この印刷装置1Bでは、印刷終了後、図15(b)に示すように、一旦、基板支持テーブル10が印刷実行部20側方の検査実行位置に移動し、ここで検査カメラ60による印刷箇所の撮像が行われた後、基板支持テーブル10が基準位置に戻って印刷済みの先行基板Wを搬出するようになっている。   Most of the printing operation by the printing apparatus 1B is the same as that of the printing apparatus 1A of the second embodiment. In the printing apparatus 1B, as shown in FIG. Is moved to the inspection execution position on the side of the print execution unit 20, and after the print location is imaged by the inspection camera 60, the substrate support table 10 returns to the reference position and carries out the printed preceding substrate W. It is like that.

このような第3実施形態の印刷装置1Bによれば、基板Wの印刷を効率的に実施しながら、さらに当該印刷装置1B内で基板Wの検査を行った上で部品実装装置Mに搬出することが可能となる。そのため、印刷不良が生じた基板Wがそのまま部品実装装置Mに送り込まれるといった不都合を未然に回避することが可能となり、印刷装置1Bの機能性を高めることができるという利点がある。   According to the printing apparatus 1B of the third embodiment as described above, the board W is efficiently printed, and further, the board W is inspected in the printing apparatus 1B, and then is carried out to the component mounting apparatus M. It becomes possible. Therefore, it is possible to avoid the inconvenience that the board W in which printing failure has occurred is sent to the component mounting apparatus M as it is, and there is an advantage that the functionality of the printing apparatus 1B can be improved.

以上の第1ないし第3の実施形態の印刷装置1、1A,1Bによれば、クランプユニット14(搬送保持手段)が印刷終了後の先行基板Wをコンベア対12(搬送手段)に受け渡した後、印刷実行位置20から移動し基板待機位置P1(特定位置)に到着するまでに、コンベア対12が後続基板Wを基板待機位置P1に搬送し待機させるようにし、クランプユニット14が基板待機位置P1で後続基板Wを受け取り保持した後、基板待機位置P1から移動し印刷実行位置20に到着するまでに、コンベア対12が先行基板Wを印刷実行位置20より下流へ搬送し終えるように、クランプユニット14、コンベア対を制御する制御装置(制御手段)を備えている。これにより、印刷が終了した先行基板Wの基板搬出部Ex、EX1、Ex2への搬送と待機中の後続基板Wを基板待機位置P1から印刷実行位置P2に搬送するための動作が並行して行われるため、さらにタクトタイムを短縮することが可能となる。   According to the printing apparatuses 1, 1 </ b> A, and 1 </ b> B of the first to third embodiments described above, after the clamp unit 14 (conveyance holding unit) delivers the preceding substrate W after the printing to the conveyor pair 12 (conveyance unit). The conveyor pair 12 transports the subsequent substrate W to the substrate standby position P1 and waits until it moves from the print execution position 20 and arrives at the substrate standby position P1 (specific position), and the clamp unit 14 waits for the substrate standby position P1. The clamping unit is configured so that the conveyor pair 12 finishes transporting the preceding substrate W downstream from the printing execution position 20 until it moves from the substrate standby position P1 and arrives at the printing execution position 20 after receiving and holding the subsequent substrate W. 14. A control device (control means) for controlling the conveyor pair is provided. As a result, the transport of the preceding substrate W, which has been printed, to the substrate carry-out portions Ex, EX1, and Ex2 and the operation for transporting the waiting subsequent substrate W from the substrate standby position P1 to the print execution position P2 are performed in parallel. Therefore, the tact time can be further shortened.

ところで、上述したスクリーン印刷装置1、1A、1Bは、本発明に係るスクリーン印刷装置の好ましい実施形態の例示であって、その具体的な構成は本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば基板支持テーブル10、10A、10B等における基板Wの具体的な支持構造、印刷実行部20、20A、20B等における具体的なマスク21の保持構造、あるいはスキージユニット40の具体的な構造等は必ずしも上記実施形態のスクリーン印刷装置1、1A、1Bのものに限定されるものではなく適宜変更可能である。   By the way, the above-described screen printing apparatuses 1, 1A, and 1B are examples of preferred embodiments of the screen printing apparatus according to the present invention, and the specific configuration thereof can be appropriately changed without departing from the gist of the present invention. is there. For example, the specific support structure of the substrate W in the substrate support tables 10, 10A, 10B, the specific holding structure of the mask 21 in the print execution units 20, 20A, 20B, etc., the specific structure of the squeegee unit 40, etc. It is not necessarily limited to the screen printing apparatuses 1, 1 </ b> A, and 1 </ b> B of the above embodiment, and can be changed as appropriate.

1、1A、1B スクリーン印刷装置
10、10A、10B 基板支持テーブル、第1基板支持テーブル、第2基板支持テーブル
14 クランプユニット
20、20A、20B 印刷実行部、第1印刷実行部、第2印刷実行部
21 スクリーンマスク
40 スキージユニット
42 スキージ
50、50A、50B 基板認識カメラ、第1基板認識カメラ、第2基板認識カメラ
En、En1、En2 基板搬入部、第1基板搬入部、第2基板搬入部
Ex、Ex1、Ex2 基板搬出部、第1基板搬出部、第2基板搬出部
L、L1、L2 ローダ、第1ローダ、第2ローダ
M 部品実装装置
P1 基板待機位置
P2 印刷実行位置
W 基板
1, 1A, 1B Screen printing device 10, 10A, 10B Substrate support table, first substrate support table, second substrate support table 14 Clamp unit 20, 20A, 20B Print execution unit, first print execution unit, second print execution Unit 21 Screen mask 40 Squeegee unit 42 Squeegee 50, 50A, 50B Substrate recognition camera, first substrate recognition camera, second substrate recognition camera En, En1, En2 Substrate carry-in part, first substrate carry-in part, second substrate carry-in part Ex , Ex1, Ex2 Substrate unloading unit, first substrate unloading unit, second substrate unloading unit L, L1, L2 Loader, first loader, second loader M Component mounting device P1 Substrate standby position P2 Print execution position W Substrate

Claims (4)

スクリーン印刷装置において、
スクリーンマスクを具備し基板にスクリーン印刷を実施する印刷実行部と、
この印刷実行部を挟んで特定方向における一方側の位置に設けられる基板搬入部および他方側の位置であってかつ前記基板搬入部に対して前記特定方向と直交する直交方向にオフセットされた位置に設けられる基板搬出部と、
前記基板搬入部から搬入される基板を前記印刷実行部による印刷が可能となる印刷実行位置よりも基板搬入部側の特定位置で受け取り、この基板を事前に前記印刷実行部による印刷が可能となる状態に保持した上で当該基板を前記特定方向に移動させることにより当該基板を前記特定位置から前記印刷実行位置に搬送して当該基板をその印刷中に保持する搬送保持手段と、
前記印刷実行部による印刷前であって前記特定位置から前記印刷実行位置への前記搬送保持手段による基板の搬送途中に、当該搬送保持手段に保持されている基板を撮像する基板撮像手段と
前記搬送保持手段とは別に設けられ、前記基板搬入部から搬入される基板を前記特定位置まで搬送して待機させるとともに、前記搬送保持手段から印刷後の基板を受け取り前記基板搬出部に搬送する搬送手段と、
前記搬送保持手段および前記搬送手段が搭載されて、前記基板搬入部から搬入される基板の受け取りが可能となる受取位置と印刷後の基板を前記基板搬出部に送り出し可能となる送出位置とに亘って前記直交方向に移動可能に設けられ、かつ前記特定方向における前記基板搬入部側の所定位置に後続基板を待機させるための待機スペースを有する可動テーブルと、
前記搬送保持手段、前記搬送手段及び前記可動テーブルを制御する制御手段とを備え、
前記印刷実行部は、前記可動テーブルが前記受取位置に配置された状態で前記印刷実行位置に配置される基板に対して印刷が可能となる位置に設けられ、
前記制御手段は、前記可動テーブル上の前記待機スペースを前記特定位置とするとともに当該可動テーブル上の前記特定方向における前記基板搬出部側の所定位置を前記印刷実行位置として、前記搬送保持手段が印刷終了後の先行基板を前記搬送手段に受け渡した後、前記印刷実行位置から移動して前記特定位置に到着するまでに、前記搬送手段が後続基板を前記特定位置に搬送して待機させ、さらに前記搬送保持手段が前記特定位置で前記後続基板を受け取り保持した後、前記特定位置から移動して前記印刷実行位置に到着するまでに、前記搬送手段が前記先行基板を前記印刷実行位置より下流へ搬送し終えるようにする一方で、前記先行基板の印刷終了後、前記可動テーブルを前記受取位置から前記送出位置に移動させて前記搬送手段により前記先行基板を搬送することにより当該先行基板を前記可動テーブルから前記基板搬出部に送り出し、この送り出し後に前記可動テーブルを前記送出位置から前記受取位置に移動させるとともに、その移動中、前記特定位置から前記印刷実行位置に搬送される前記後続基板に記された標識が前記基板撮像手段による撮像位置を経由するように前記可動テーブルおよび前記搬送保持手段を移動させる、ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
In screen printing equipment,
A print execution unit that includes a screen mask and performs screen printing on the substrate;
A board carry-in part provided at one position in a specific direction across the print execution part and a position on the other side that are offset in an orthogonal direction perpendicular to the specific direction with respect to the board carry-in part A board unloading section provided;
A substrate carried in from the substrate carry-in unit is received at a specific position on the substrate carry-in unit side from a print execution position where printing by the print execution unit is possible, and the substrate can be printed in advance by the print execution unit. Transport holding means for transporting the substrate from the specific position to the printing execution position by holding the substrate during the printing by moving the substrate in the specific direction after being held in a state ;
During conveyance of the substrate by the transport retaining means to the printing execution position from the specific position even before printing by the print execution unit, a board imaging means for imaging the substrate held on the transport retaining means,
A transport unit that is provided separately from the transport and holding unit, transports the substrate loaded from the substrate carry-in unit to the specific position and waits, and receives the printed substrate from the transport and hold unit and transports the substrate to the substrate carry-out unit. Means,
The conveyance holding means and the conveyance means are mounted, and a receiving position where the substrate carried in from the substrate carrying-in portion can be received and a sending position where the printed substrate can be sent out to the substrate carrying-out portion are covered. And a movable table having a standby space for allowing a subsequent substrate to stand by at a predetermined position on the substrate carry-in portion side in the specific direction.
A control means for controlling the transport holding means, the transport means and the movable table ;
The print execution unit is provided at a position where printing can be performed on a substrate disposed at the print execution position in a state where the movable table is disposed at the receiving position.
The control means sets the standby space on the movable table as the specific position, and the transport holding means prints the predetermined position on the substrate carry-out portion side in the specific direction on the movable table as the print execution position. After transferring the preceding substrate after completion to the transport unit, the transport unit transports the subsequent substrate to the specific position and waits until it moves from the print execution position and arrives at the specific position. After the conveyance holding means receives and holds the subsequent substrate at the specific position, the conveyance means conveys the preceding substrate downstream from the print execution position until it moves from the specific position and reaches the print execution position. On the other hand, after the printing of the preceding substrate is finished, the movable table is moved from the receiving position to the sending position, and then transferred to the conveying means. The preceding substrate is transported from the movable table to the substrate unloading unit by transporting the preceding substrate, and the movable table is moved from the sending position to the receiving position after the feeding, and the specific position is moved during the movement. A screen printing apparatus , wherein the movable table and the conveyance holding means are moved so that the mark on the subsequent substrate conveyed from the printing position to the printing execution position passes through the imaging position by the substrate imaging means .
請求項1に記載のスクリーン印刷装置において、
前記制御手段は、前記基板搬出部への前記先行基板の送り出し後、前記可動デーブルが前記受取位置に到達する時点で前記搬送保持手段に保持された前記後続基板が前記印刷実行位置に配置されているように前記可動テーブルおよび前記搬送保持手段を制御することを特徴とするスクリーン印刷装置。
The screen printing apparatus according to claim 1,
The control means is configured such that after the preceding substrate is sent to the substrate carry-out unit, the succeeding substrate held by the transport holding means is arranged at the printing execution position when the movable table reaches the receiving position. screen printing apparatus characterized that you control the movable table and the carrier holder means as are.
請求項1又は2に記載のスクリーン印刷装置において、
前記基板撮像手段は、前記搬送保持手段による後続基板の搬送方向と直交する方向に移動可能に設けられていることを特徴とするスクリーン印刷装置。
The screen printing apparatus according to claim 1 or 2,
The board imaging means, a screen printing apparatus characterized that you have to be movable in the direction perpendicular to the conveying direction of the subsequent substrate by the carrier holder means.
請求項1乃至の何れか一項に記載のスクリーン印刷装置において、
前記搬送保持手段は、基板を保持する基板保持部材とこれを前記特定位置と前記印刷実行位置との間で移動させる移動手段とを含み、
前記基板保持部材に、前記スクリーンマスクを撮像するマスク撮像手段が搭載されていることを特徴とするスクリーン印刷装置。
The screen printing apparatus according to any one of claims 1 to 3,
The transport and holding unit includes a substrate holding member that holds a substrate and a moving unit that moves the substrate between the specific position and the print execution position.
The substrate holding member, a screen printing apparatus according to claim Rukoto mask imaging means for imaging the screen mask are equipped.
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